CN212365936U - 一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板 - Google Patents
一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板 Download PDFInfo
- Publication number
- CN212365936U CN212365936U CN202021442650.9U CN202021442650U CN212365936U CN 212365936 U CN212365936 U CN 212365936U CN 202021442650 U CN202021442650 U CN 202021442650U CN 212365936 U CN212365936 U CN 212365936U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- support plate
- silicon wafer
- carrier plate
- sash
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板，包括载板本体、框格和硅片，所述载板本体由多个阵列框格组成，所述硅片可放入框格内并构成上镀膜载板或下镀膜载板，所述载板本体的两侧开设有多个工艺孔，该工艺孔的孔径为1‑5mm,且工艺孔和载板本体形成夹角；本实用新型的有益效果是：通过在载板两侧边缘位置加工多个工艺孔,开孔直径为3mm,夹角为60°,每框格开孔10‑12个，有助于平衡上下压差,起到导流作用,使得载板四方向的压力更加均衡,有助于提高成膜质量；通过在上镀膜载板中设置稳固机构，使得载板装载硅片由输送设备输送至设备工艺腔内时，减少硅片的撞击，减少硅片所受的损坏，延长硅片的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型属于太阳能电池片生产技术领域，具体涉及一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板。
背景技术
载板作为太阳能电池片镀膜工序中，装载电池片进入镀膜设备的一个装载用具，其材料由碳碳复合材料和石墨材料组成。载板长度尺寸700-2000mm，常用的规格有756，788,844，854，1000，1050，1524，1690，1740，1860，1920；宽度尺寸1000-1300mm，常用的规格有1000mm，1110mm,1160mm；根据载板的规格的不同，横向和纵向分4-11行或列的阵列框格，工作时每个框格内放置太阳能电池硅片，进入镀膜设备镀膜。
载板装载硅片由输送设备输送至设备工艺腔内，工艺腔封闭，输送过程需要进入多个不同的工艺腔，分别有不同的工艺条件，如温度不同，真空度不同，镀膜反应气体不同等；镀膜工艺完成后，输出工艺腔，取出硅片，再次装载新的硅片循环使用；载板水平输送，进入不同工艺腔，在单个工艺腔内,由载板分隔形成上下两个腔体,那么上镀膜设备中,工艺腔在载板的上方,下镀膜设备,工艺腔在设备的下方,当工艺条件形成的初期,设备处于一定的温度和真空度环境之下,上下腔体的工艺环境是相差不大的,当进入到工艺进程后,工艺腔将喷入一定的工艺气体,上下腔体之间将产生一定的压力差,受设备结构限制,载板与设备之间两侧的间隙小于载板前后端的间隙,会导致在载板两侧和前后端的工艺气体流量不同,最终成膜的厚度会有偏差,膜层不均对电池片的质量产生比较大的影响。
为了提高成膜质量，使得膜层均匀，提高电池片的质量，为此我们提出一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板，包括载板本体、框格和硅片，所述载板本体由多个阵列框格组成，所述硅片可放入框格内并构成上镀膜载板或下镀膜载板，所述载板本体的两侧开设有多个工艺孔，该工艺孔的孔径为1-5mm,且工艺孔和载板本体形成夹角。
优选的，每排框格对应6-12个工艺孔。
优选的，所述载板本体由碳碳复合材料和石墨材料组成。
优选的，上镀膜载板中还设置有稳固机构，该稳固机构包括伸缩弹簧和抵块，所述伸缩弹簧的一端和载板本体连接，另一端和抵块连接，且抵块可抵在硅片的侧表面。
优选的，所述抵块为直角梯形结构，且抵块的顶部为倾斜边。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
(1)通过在载板两侧边缘位置加工多个工艺孔,开孔直径为3mm,夹角为60°,每框格开孔10-12个，有助于平衡上下压差,起到导流作用,使得载板四方向的压力更加均衡,有助于提高成膜质量；
(2)通过在上镀膜载板中设置稳固机构，使得载板装载硅片由输送设备输送至设备工艺腔内时，减少硅片的撞击，减少硅片所受的损坏，延长硅片的使用寿命。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的上镀膜载板开孔直径和夹角关系结构示意图；
图3为本实用新型的图2中的H区结构示意图；
图4为本实用新型的下镀膜载板开孔直径和夹角关系结构示意图；
图5为现有的载板结构示意图；
图6为现有的硅片置于上镀膜载板上结构示意图；
图7为现有的硅片置于下镀膜载板上结构示意图；
图中：1、载板本体；2、框格；3、工艺孔；4、硅片；5、伸缩弹簧；6、抵块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
对比例
请参阅图5、图6和图7，现有的载板结构示意图，包括载板本体1、框格2和硅片4，载板本体1由多个阵列框格2组成，硅片4可放入框格2内并构成上镀膜载板或下镀膜载板；载板装载硅片4水平输送，进入不同工艺腔，在单个工艺腔内,由载板分隔形成上下两个腔体,上镀膜设备中,工艺腔在载板的上方,下镀膜设备,工艺腔在设备的下方,当工艺条件形成的初期,设备处于一定的温度和真空度环境之下,上下腔体的工艺环境相差不大,当进入到工艺进程后,工艺腔将喷入一定的工艺气体,上下腔体之间将产生一定的压力差,受设备结构限制,载板与设备之间两侧的间隙小于载板前后端的间隙,导致在载板两侧和前后端的工艺气体流量不同,最终成膜的厚度会有偏差,膜层不均对电池片的质量产生较大的影响。
实施例
请参阅图1、图2、图3和图4，本实用新型提供一种技术方案：一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板，包括载板本体1、框格2和硅片4，载板本体1由多个阵列框格2组成，硅片4可放入框格2内并构成上镀膜载板或下镀膜载板，下镀膜载板中，硅片4通过挂钩固定，载板本体1的两侧开设有多个工艺孔3，工艺孔3和载板本体1形成夹角，定义：开孔直径为A,夹角为C°，通过在两侧边缘位置加工多个工艺孔3,开孔直径A为3mm,夹角为60°,每框格2开孔10-12个，有助于平衡上下压差,起到导流作用,使得载板四方向的压力更加均衡,有助于提高成膜质量。
本实施例中，优选的，载板本体1由碳碳复合材料和石墨材料组成，承载硅片4进行镀膜生产。
本实施例中，优选的，上镀膜载板中还设置有稳固机构，该稳固机构包括伸缩弹簧5和抵块6，伸缩弹簧5的一端和载板本体1连接，另一端和抵块6连接，且抵块6可抵在硅片4的侧表面；抵块6为直角梯形结构，且抵块6的顶部为倾斜边，硅片4竖直放置时，硅片4对直角梯形抵块6施压，直角梯形抵块6受压后压缩伸缩弹簧5，伸缩弹簧5受压并复位，推动直角梯形抵块6抵在硅片4上，使得硅片4放置稳固，使得载板装载硅片4由输送设备输送至设备工艺腔内时，减少硅片4的撞击，减少硅片4所受的损坏，延长硅片的使用寿命。
实施例和对比例相比，有助于平衡上下压差,提高成膜质量，从而提高电池片的质量。
本实用新型的工作原理及使用流程：待加工的硅片4放入框格2内，在载板本体1的两侧开设多个工艺孔3,开孔直径为3mm,夹角为60°,每框格2开孔10-12个，载板装载硅片4水平输送，进入不同工艺腔中，此种方式，有助于平衡上下压差,起到导流作用,使得载板四方向的压力更加均衡,提高成膜质量。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板，包括载板本体(1)、框格(2)和硅片(4)，所述载板本体(1)由多个阵列框格(2)组成，所述硅片(4)可放入框格(2)内并构成上镀膜载板或下镀膜载板，其特征在于：所述载板本体(1)的两侧开设有多个工艺孔(3)，该工艺孔(3)的孔径为1-5mm,且工艺孔(3)和载板本体(1)形成夹角。
2.根据权利要求1所述的一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板，其特征在于：每排框格(2)对应6-12个工艺孔(3)。
3.根据权利要求1所述的一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板，其特征在于：所述载板本体(1)由碳碳复合材料和石墨材料组成。
4.根据权利要求1所述的一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板，其特征在于：上镀膜载板中还设置有稳固机构，该稳固机构包括伸缩弹簧(5)和抵块(6)，所述伸缩弹簧(5)的一端和载板本体(1)连接，另一端和抵块(6)连接，且抵块(6)可抵在硅片(4)的侧表面。
5.根据权利要求4所述的一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板，其特征在于：所述抵块(6)为直角梯形结构，且抵块(6)的顶部为倾斜边。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021442650.9U CN212365936U (zh) | 2020-07-21 | 2020-07-21 | 一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021442650.9U CN212365936U (zh) | 2020-07-21 | 2020-07-21 | 一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN212365936U true CN212365936U (zh) | 2021-01-15 |
Family
ID=74131307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202021442650.9U Active CN212365936U (zh) | 2020-07-21 | 2020-07-21 | 一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN212365936U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113764543A (zh) * | 2021-11-10 | 2021-12-07 | 晋能清洁能源科技股份公司 | 太阳能电池在镀膜生产中提升非晶硅表面洁净度的方法 |
-
2020
- 2020-07-21 CN CN202021442650.9U patent/CN212365936U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113764543A (zh) * | 2021-11-10 | 2021-12-07 | 晋能清洁能源科技股份公司 | 太阳能电池在镀膜生产中提升非晶硅表面洁净度的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN212365936U (zh) | 一种改善边缘电池片膜层均匀性的载板 | |
| US8893526B2 (en) | Method and equipment for manufacturing curved glass sheet | |
| KR101249999B1 (ko) | 화학기상증착 장치 | |
| TWI405261B (zh) | 乾蝕刻設備 | |
| US20130233491A1 (en) | Dry etching apparatus | |
| WO2021218760A1 (zh) | 传送载板、真空镀膜设备及真空镀膜方法 | |
| JP2012099371A (ja) | 燃料電池用セパレータの製造装置及び製造方法 | |
| TWD213081S (zh) | 半導體製造裝置用反應管（一） | |
| CN207572352U (zh) | 太阳能电池硅片承载装置以及传输系统 | |
| CN107046080A (zh) | 一种无接触插片石墨舟 | |
| US8752580B2 (en) | Vacuum chamber for processing substrate and apparatus including the same | |
| KR101525234B1 (ko) | 반도체 기판의 표면 에칭 장치, 및 그것을 이용하여 표면에 요철 형상이 형성된 반도체 기판을 제조하는 방법 | |
| CN218203036U (zh) | 一种太阳能电池片真空镀膜载板 | |
| CN206505900U (zh) | 一种卡点位置优化的石墨舟 | |
| TWM610353U (zh) | 立式爐管及用於其之立式晶舟 | |
| JP2007026899A (ja) | 燃料電池および燃料電池用セパレータの製造方法 | |
| KR102006435B1 (ko) | 보트 장치 | |
| CN111690911B (zh) | 承载装置 | |
| CN210012900U (zh) | 一种平板式pecvd设备用石墨框 | |
| KR20110059227A (ko) | 트레이 및 이를 사용하는 기판처리장치 | |
| JPH11158642A (ja) | プラズマｃｖｄ装置及びそれを用いた多層薄膜形成装置 | |
| CN207320078U (zh) | 一种沿水平方向放置太阳能电池的石墨舟 | |
| CN206505940U (zh) | 一种无接触插片石墨舟 | |
| CN215869315U (zh) | 一种用于异质结太阳能电池的载板 | |
| CN217418803U (zh) | 用于真空镀膜的基片夹具、上下料设备和连续真空镀膜系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |