CN215869315U - 一种用于异质结太阳能电池的载板 - Google Patents

Abstract

本实用新型适用太阳能电池技术领域，提供了一种用于异质结太阳能电池的载板，包括：第一框体，包括第一主体，第一框体设置有贯穿第一主体的至少一个凹槽，凹槽的内壁设有用于支撑硅片边缘部分的支撑台阶，支撑台阶围成一通孔；与第一框体可拆装连接的第二框体，包括第二主体、设置于第二主体上并与通孔配合的凸台；第二框体可与第一框体组装时，凸台置入对应通孔内以用于支撑硅片的中间部分；第二框体与第一框体拆分时，凸台从对应通孔内移出。本实用新型提供的用于异质结太阳能电池的载板可避免硅片大面积被划伤，提升电池效率，且可防止硅片背面产生绕镀，从而提升电池镀膜效果。

Description

一种用于异质结太阳能电池的载板

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池加工技术领域，具体涉及一种用于异质结太阳能电池的载板。

背景技术

异质结太阳能电池是一种利用晶体硅和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池。目前，异质结太阳能电池通常需要利用板式PECVD设备沉积本征非晶硅薄膜和掺杂非晶硅薄膜。异质结太阳能电池生产过程使用到两个设备，一个是PECVD镀膜设备；另外一个是完成硅片上料、下料、翻面的自动化设备。异质结太阳能电池镀膜过程中，主要分为三个步骤：(1)、自动化设备将承载有硅片的载板从上料区或翻转区传送至PECVD设备的上料腔室前；(2)、载板通过自动设备的机械手送入PECVD设备的上料腔室内；(3)、载板通过自动设备的机械手完成在PECVD设备的工艺腔和PECVD设备的上料腔室之间的转移。

现有技术中，用于异质结太阳能电池的载板通常需要设置有用于放置硅片的凹槽，在进行异质结电池片的生产时，将硅片放置在载板的凹槽内，硅片的整个下表面与凹槽底面接触。由于将承载有硅片的载板从上料区或翻转区传送至PECVD设备的上料腔室过程中，载板移动主要由皮带传动和滚轮配合传动完成，载板移动过程中难免会发生抖动，加之传送距离较长且整个过程需要重复四次这样相同动作，若硅片的整个下表面与凹槽底面接触，载板发生抖动会造成硅片和凹槽底面发生摩擦，最终导致硅片大面积被划伤，使电池内部产生缺陷，从而影响电池效率。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于异质结太阳能电池的载板，旨在解决现有技术中的用于异质结太阳能电池的载板存在易导致硅片表面大面积划伤，从而影响异质结太阳能电池效率的问题。

本实用新型是这样实现的，提供一种用于异质结太阳能电池的载板，包括：

第一框体，包括第一主体，所述第一框体设置有贯穿所述第一主体的至少一个凹槽，所述凹槽的内壁设有用于支撑硅片边缘部分的支撑台阶，所述支撑台阶围成一通孔；

与所述第一框体可拆装连接的第二框体，包括第二主体、设置于所述第二主体上并与所述通孔配合的凸台；所述第二框体与所述第一框体组装时，所述凸台置入对应所述通孔内以用于支撑所述硅片的中间部分；所述第二框体与所述第一框体拆分时，所述凸台从对应所述通孔内移出。

优选的，所述支撑台阶呈封闭的环状结构，所述支撑台阶环绕所述凹槽的内壁设置。

优选的，所述支撑台阶的宽度为2～3mm。

优选的，所述支撑台阶的下表面与所述第一主体的下表面相平齐；所述支撑台阶的高度与所述凸台的高度相等。

优选的，所述支撑台阶及所述凸台的高度分别为6～8mm。

优选的，所述第一框体设置有多个凹槽，所述第二框体设置有多个所述凸台，多个所述凹槽及多个所述凸台分别呈多行多列分布，且多个所述凸台与多个所述凹槽的位置一一对应。

优选的，所述第一主体及所述第二主体的厚度分别为10～12mm。

优选的，所述支撑台阶与所述第一主体一体加工成型。

优选的，所述凸台与所述第二主体一体加工成型。

优选的，所述通孔为方形孔，所述凸台的横截面为方形。

本实用新型提供的一种用于异质结太阳能电池的载板通过设置第一框体、以及与第一框体可拆装连接的第二框体，利用该载板承载转移硅片时，可以根据需要将第二框体与第一框体进行组装或拆分；当载板从上料区或翻转区传送至PECVD设备的上料腔室过程中，将第二框体与第一框体进行拆分，并将硅片放置在第一框体的凹槽内，使得只有硅片边缘和支撑台阶接触，硅片中间部分不与凹槽接触，使硅片和凹槽之间的接触面积大大减小，避免硅片大面积被划伤而导致电池内部产生缺陷，从而提升电池效率；同时，载板送入PECVD设备的上料腔室内及载板在PECVD设备的工艺腔和PECVD设备的上料腔室之间转移过程中，将第二框体与第一框体进行组装，以使第二框体上的凸台置入对应通孔内以支撑硅片的中间部分，避免硅片中间部分向下凹陷变形而导致硅片和支撑台阶之间产生缝隙，防止气流通过硅片和支撑台阶之间缝隙绕到硅片背面而产生绕镀的问题，从而提升异质结太阳能电池的镀膜效果，提高电池性能。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种用于异质结太阳能电池的载板的第一框体的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种用于异质结太阳能电池的载板的第一框体的局部剖面示意图；

图3为本实用新型实施例提供的一种用于异质结太阳能电池的载板的第二框体的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的一种用于异质结太阳能电池的载板的第二框体的局部剖面示意图；

图5为本实用新型实施例提供的一种用于异质结太阳能电池的载板的第一框体与第二框体组装时的俯视结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的一种用于异质结太阳能电池的载板的第一框体与第二框体组装时的局部剖面示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实用新型实施例提供的一种用于异质结太阳能电池的载板通过设置第一框体1、以及与第一框体1可拆装连接的第二框体2，可以根据需要将第二框体2与第一框体1进行组装或拆分，以避免载板从上料区或翻转区传送至PECVD设备的上料腔室过程中，硅片大面积被划伤而导致电池内部产生缺陷的问题，可以提升电池效率，同时可以避免载板送入PECVD设备的上料腔室内及载板在PECVD设备的工艺腔和PECVD设备的上料腔室之间的转移过程中因硅片向下凹陷变形导致硅片和支撑台阶12之间产生缝隙，防止气流通过硅片和支撑台阶12之间缝隙绕到硅片背面而产生绕镀的问题，从而提升异质结太阳能电池的镀膜效果，提高电池性能。

请参照图1-图6，本实用新型实施例提供一种用于异质结太阳能电池的载板，包括：

第一框体1，第一框体1包括第一主体10，第一框体1设置有贯穿第一主体10的至少一个凹槽11，凹槽11的内壁设有用于支撑硅片边缘部分的支撑台阶12，支撑台阶12围成一通孔13；

与第一框体1可拆装连接的第二框体2，第二框体2包括第二主体20、设置于第二主体20上并与通孔13配合的凸台21；第二框体2与第一框体1组装时，凸台21置入对应通孔13内以用于支撑硅片的中间部分；第二框体2与第一框体1拆分时，凸台21从对应通孔13内移出。

本实用新型实施例中，第一框体1和第二框体2可以分别设置成一体式结构，即第一框体1和第二框体2均为一体成型制成，此结构的载板稳定性强，载板在移动过程中更加平稳，且可以节省第一框体1和第二框体2的组装工序；另外，第一框体1和第二框体2也可以是拼接式结构，即第一框体1和第二框体2分别通过组装方式形成，此结构的载板维修方便，便于载板的后期维修。

作为本实用新型的一个实施例，第一框体1和第二框体2为石墨框体或碳纤维框体，即第一框体1和第二框体2由石墨或碳纤维制成，利用石墨或碳纤维的高稳定性，使第一框体1和第二框体2具有较好的稳定性和耐磨性。

作为本实用新型的一个实施例，第一框体1设置有多个凹槽11，第二框体2设置有多个凸台21；多个凹槽11及多个所述凸台21呈多行多列分布，多个凸台21与多个凹槽11的位置一一对应。其中，凹槽11与凸台21的具体数量不限。多个凹槽11和多个凸台21分别呈多行多列排布，便于一次性放置多个硅片，可以提升硅片的转移效率。

本实施例中，图1示出的第一框体1的凹槽11的数量为50个，50个凹槽11呈五行十列排布；图3示出的第二框体2的凸台21的数量为50个，50个凸台21呈五行十列排布。其中，凹槽11的形状尺寸与异质结太阳能电池的硅片的形状尺寸相配合。本实施例中，图1示出的凹槽11的形状为方形。

作为本实用新型的一个实施例，支撑台阶12与第一主体10一体加工成型，即支撑台阶12与第一主体10为一体式结构，便于第一框体1的加工，且使支撑台阶12与第一主体10固定稳固。除此之外，支撑台阶12也可以与第一主体10分体加工，再将支撑台阶12固定在第一主体10上的凹槽11的内壁上。

作为本实用新型的一个实施例，凸台21与第二主体20一体加工成型，即凸台21与第二主体20为一体式结构，便于第二框体2的加工，且使凸台21与第二主体20固定稳固。除此之外，凸台21可以与第二主体20分体加工，再将凸台21固定在第二主体20。

本实用新型实施例中，该用于异质结太阳能电池的载板通过设置第一框体1、以及与第一框体1可拆装连接的第二框体2，利用该载板在承载转移硅片时，可以根据需要将第二框体2与第一框体1进行组装或拆分，以避免硅片大面积被划伤，提升电池效率，且避免硅片背面产生绕镀的问题，从而提升电池镀膜效果。

具体的，当载板从上料区或翻转区传送至PECVD设备的上料腔室之前，此时将第二框体2与第一框体1进行拆分，以使第二框体2与第一框体1相互分离，此时凸台21从对应通孔13内移出，然后将硅片放置在第一框体1的凹槽11内。由于只有支撑台阶12与硅片边缘部分接触，硅片中间部分不与凹槽11任何位置接触，使得硅片和凹槽11之间的接触面积大大减小，载板的第一框体1通过自动化设备从上料区和翻转区经皮带和滚轮传送至PECVD设备的上料腔室前的过程中，由于硅片和凹槽11之间的接触面积大大减小，硅片和凹槽11之间的摩擦大大减小，避免硅片大面积被划伤而导致电池内部产生缺陷，从而提升电池效率。

在载板的第一框体1带动硅片到达PECVD设备的上料腔前时，通过自动化设备的机械手将第二框体2与第一框体1进行组装(如图6所示)，使第二框体2上的凸台21置入对应通孔13内以支撑硅片的中间部分，这样在载板送入上料腔室内及载板在工艺腔和上料腔室之间转移过程中，可以避免硅片中间部分向下凹陷变形而使硅片和支撑台阶12之间产生缝隙，以防止气流通过硅片和支撑台阶12之间缝隙绕到硅片背面而产生绕镀的问题，从而提升异质结太阳能电池的镀膜效果，提高电池性能。如此按照上述过程，载板从上料区或翻转区传送至PECVD设备的上料腔室过程中，第二框体2与第一框体1拆分；载板送入上料腔室内及载板在工艺腔和上料腔室之间转移过程中，第二框体2与第一框体1进行拆组装，以避免硅片大面积被划伤，提升电池效率，且避免硅片背面产生绕镀，从而提升电池镀膜效果。

作为本实用新型的一个实施例，支撑台阶12呈封闭的环状结构，所述支撑台阶12环绕所述凹槽11的内壁设置。即支撑台阶12整体为连续分布的环形。当硅片放置在载板上的凹槽11时，硅片的四周边缘部分均与支撑台阶12接触，使硅片稳定支撑在支撑台阶12；而且，可以利用硅片和支撑台阶12之间形成密封，避免气流会通过缝隙绕到硅片背面而产生绕镀的问题。本实施例中，凹槽11具体为方形，支撑台阶12具体为方形。

本实用新型实施例中，凸台21可与通孔13紧配合，凸台21也可以与通孔13松配合。凸台21可与通孔13紧配合时，这样第一框体1与第二框体2可直接通过凸台21与通孔13卡接,实现第一框体1与第二框体2的拆装，这样第一框体1与第二框体2无需另外设置卡接结构，结构更加简单。当凸台21与通孔13松配合时，第一框体1上的第一主体10与第二框体2的第二主体20分别设置相互配合的卡接结构，以使第一框体1与第二框体2通过卡接结构进行卡接，从而实现第一框体1与第二框体2的拆装。

作为本实用新型的一个实施例，通孔13为方形孔，凸台21的横截面为方形。除本实施例外，通孔13也可以为圆形孔、多边形孔或其它形成的孔状结构，凸台21的横截面形状则与通孔13的形状相匹配。

作为本实用新型的一个实施例，支撑台阶12的宽度为2-3mm，使硅片可以稳定支撑在支撑台阶12上，且尽可能减少了硅片与支撑台阶12的接触面积。

作为本实用新型的一个实施例，支撑台阶12的下表面与第一主体10的下表面相平齐；支撑台阶12的高度与凸台21的高度相等。

本实施例中，由于支撑台阶12的高度与凸台21的高度相等，第二框体2上的凸台21置入对应通孔13内后，可以使凸台21与支撑台阶12上表面平齐，从而使硅片水平支撑在凸台21与支撑台阶12上。

作为本实用新型的一个实施例，支撑台阶12及凸台21的高度分别为6～8mm，既可以确保硅片稳定支撑在凸台21与支撑台阶12上，而且便于支撑台阶12及凸台21的加工。

在本实施例中，凹槽11的长、宽分别为216mm、216mm；支撑台阶12的宽度为2mm，高度为6mm。凸台21的长、宽分别为200mm、200mm，凸台21的高度为6mm。

作为本实用新型的一个实施例，第一主体10及第二主体20的厚度分别为10～12mm。其中，第一主体10与第二框体2为板状结构。通过将第一主体10及第二主体20的厚度控制在10～12mm，便于凹槽11及凸台21的设置。优选的，第一主体10及第二主体20的厚度分别为10mm。

本实用新型提供的一种用于异质结太阳能电池的载板通过设置第一框体1、以及与第一框体1可拆装连接的第二框体2，载板在承载转移硅片时，可以根据需要将第二框体2与第一框体1进行组装或拆分；当载板从上料区或翻转区传送至PECVD设备的上料腔室过程中，将第二框体2与第一框体1拆分，并将硅片放置在第一框体1的凹槽11内，使得只有硅片边缘和支撑台阶12接触，硅片中间部分不与凹槽11接触，使得硅片和凹槽11之间的接触面积大大减小，避免硅片大面积被划伤而导致电池内部产生缺陷，从而提升电池效率。同时，载板送入上料腔室内及载板在工艺腔和上料腔室之间转移过程中，将第二框体2与第一框体1进行组装，以使第二框体2上的凸台21置入对应通孔13内以支撑硅片的中间部分，避免硅片中间部分向下凹陷变形而使硅片和支撑台阶12之间产生缝隙，防止气流通过硅片和支撑台阶12之间缝隙绕到硅片背面而产生绕镀的问题，从而提升异质结太阳能电池的镀膜效果，提高电池性能。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于异质结太阳能电池的载板，其特征在于，包括：

第一框体，包括第一主体，所述第一框体设置有贯穿所述第一主体的至少一个凹槽，所述凹槽的内壁设有用于支撑硅片边缘部分的支撑台阶，所述支撑台阶围成一通孔；

与所述第一框体可拆装连接的第二框体，包括第二主体、设置于所述第二主体上并与所述通孔配合的凸台；所述第二框体与所述第一框体组装时，所述凸台置入对应所述通孔内以用于支撑所述硅片的中间部分；所述第二框体与所述第一框体拆分时，所述凸台从对应所述通孔内移出。

2.根据权利要求1所述的一种用于异质结太阳能电池的载板，其特征在于，所述支撑台阶呈封闭的环状结构，所述支撑台阶环绕所述凹槽的内壁设置。

3.根据权利要求1所述的一种用于异质结太阳能电池的载板，其特征在于，所述支撑台阶的宽度为2～3mm。

4.根据权利要求1所述的一种用于异质结太阳能电池的载板，其特征在于，所述支撑台阶的下表面与所述第一主体的下表面相平齐；所述支撑台阶的高度与所述凸台的高度相等。

5.根据权利要求4所述的一种用于异质结太阳能电池的载板，其特征在于，所述支撑台阶及所述凸台的高度分别为6～8mm。

6.根据权利要求1所述的一种用于异质结太阳能电池的载板，其特征在于，所述第一框体设置有多个凹槽，所述第二框体设置有多个所述凸台，多个所述凹槽及多个所述凸台分别呈多行多列分布，且多个所述凸台与多个所述凹槽的位置一一对应。

7.根据权利要求1所述的一种用于异质结太阳能电池的载板，其特征在于，所述第一主体及所述第二主体的厚度分别为10～12mm。

8.根据权利要求1所述的一种用于异质结太阳能电池的载板，其特征在于，所述支撑台阶与所述第一主体一体加工成型。

9.根据权利要求1所述的一种用于异质结太阳能电池的载板，其特征在于，所述凸台与所述第二主体一体加工成型。

10.根据权利要求1所述的一种用于异质结太阳能电池的载板，其特征在于，所述通孔为方形孔，所述凸台的横截面为方形。

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