CN212364177U - 一种自动检测单晶硅棒晶向的机构 - Google Patents

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朱亮
卢嘉彬
周锋
吴兵兵
高红刚
罗叶枫
严浩
曹建伟
傅林坚
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Zhejiang Jingsheng Mechanical and Electrical Co Ltd
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Zhejiang Jingsheng Mechanical and Electrical Co Ltd
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Abstract

本实用新型涉及单晶硅加工技术领域,尤其涉及一种自动检测单晶硅棒晶向的机构。包括底座,滑台气缸,测量臂、磁性传感器和磁条。底座上设有滑台气缸,连接座设于滑台气缸上。连接座上端面设有导轨,连接座上端面后端设有挡板。导轨上通过滑块设有测量臂,测量臂前端设有滚动体;磁性传感器通过传感器连接板安装在测量臂侧部,连接座上端面开有槽口,槽口方向与测量臂运动方向一致,磁条设于槽口内,并位于磁性传感器下方;导向杆前端插在测量臂里,导向杆后端固设于挡板上。本实用新型实现了自动检测晶棒晶向,取代人工操作,节约时间和成本。

Description

一种自动检测单晶硅棒晶向的机构
技术领域
本实用新型涉及单晶硅加工技术领域,尤其涉及一种用于硅棒切割设备的自动检测单晶硅棒晶向的机构。
背景技术
在国家大力支持下,我国光伏产业近几年持续快速发展,对原材料硅的需求量越来越大,各种光伏原材料硅的加工设备也持续换代更新。在现有设备中,单晶硅棒开方切割设备迅速发展。在现有的单晶硅棒开方切割设备中,大部分采用人工确认晶向,靠人工划线和摆正位置,然后再沿着晶向开方。这种人工确认的方式有很大的不确定性和误差,经常会出现晶线被切到的情况,导致整颗晶棒报废。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是,克服现有技术中的不足,提供一种自动检测单晶硅棒晶向的机构。
为解决上述技术问题,本实用新型的解决方案是:
提供一种自动检测单晶硅棒晶向的机构,包括底座,滑台气缸,测量臂、磁性传感器和磁条。
底座上设有滑台气缸,连接座设于滑台气缸上。连接座上端面设有导轨,连接座上端面后端设有挡板。导轨上通过滑块设有测量臂,测量臂前端设有滚动体;磁性传感器通过传感器连接板安装在测量臂侧部,连接座上端面开有槽口,槽口方向与测量臂运动方向一致,磁条设于槽口内,并位于磁性传感器下方;导向杆前端插在测量臂里,导向杆后端固设于挡板上。
作为一种改进,滚动体为轴承,测量臂前端开槽,轴承内置,通过销轴与测量臂连接。
作为一种改进,导向杆外套设有弹簧。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型实现了自动检测晶棒晶向,取代人工操作,节约时间和成本。
附图说明
图1为本实用新型正视图;
图2为本实用新型侧视图。
附图中的标记为:1-轴承,2-销轴,3-测量臂,4-传感器连接板,5-弹簧,6-导向杆,7-挡板,8-连接座,9-滑台气缸,10-底座;11-导轨,12-滑块,13-磁性传感器,14-磁条。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式,进一步阐明本实用新型。在阅读了本实用新型之后,其他技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均属于本申请所附权利要求所限定的范围。
如图1所示,一种自动检测单晶硅棒晶向的机构,包括底座10,滑台气缸9,测量臂3、磁性传感器和磁条。
底座10上设有滑台气缸9,连接座8设于滑台气缸9上。连接座8上端面设有导轨11,连接座8上端面后端设有挡板7。导轨上通过滑块12设有测量臂3,测量臂3前端设有滚动体。磁性传感器13通过传感器连接板4安装在测量臂3侧部,连接座8上端面沿测量臂3运动方向开有槽口,磁条14设于槽口内,并位于磁性传感器13下方。导向杆6前端插在测量臂3里,导向杆6后端固设于挡板7上。导向杆6外套设有弹簧5。滚动体为轴承1,测量臂3前端开槽,轴承1内置,通过销轴2与测量臂3连接。
整个装置通过底座10安装在自动化机械手上,机械手夹取单晶硅棒时测量单晶硅棒晶向。本实用新型的原理是:滑台气缸9打开,测量臂3前进,安装在测量臂3前面的轴承1接触到晶棒的圆周面上,由于晶棒有四条凸起的棱边,晶棒在转动过程中,四条棱边的最大半径会通过磁性传感器被计算出来,从而确定出晶向位置。
最后需要注意的是,以上列举的仅是本实用新型的具体实施例。显然,本实用新型不限于以上实施例,还可有很多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容中直接导出或联想到的所有变形,均应认为是本实用新型的保护范围。

Claims (3)

1.一种自动检测单晶硅棒晶向的机构,其特征在于,包括底座,滑台气缸,测量臂、磁性传感器和磁条;
所述底座上设有滑台气缸,连接座设于滑台气缸上;连接座上端面设有导轨,连接座上端面后端设有挡板;导轨上通过滑块设有测量臂,测量臂前端设有滚动体;磁性传感器通过传感器连接板安装在测量臂侧部,连接座上端面开有槽口,槽口方向与测量臂运动方向一致,磁条设于槽口内,并位于磁性传感器正下方;导向杆前端插在测量臂里,导向杆后端固设于挡板上。
2.根据权利要求1所述的一种自动检测单晶硅棒晶向的机构,其特征在于:所述滚动体为轴承,测量臂前端开槽,轴承内置,通过销轴与测量臂连接。
3.根据权利要求1所述的一种自动检测单晶硅棒晶向的机构,其特征在于:所述导向杆外套设有弹簧。
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