CN212342591U - 一种开放式晶圆盒适配器 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体技术领域，具体公开了一种开放式晶圆盒适配器，用于安装于设有三个定位柱和夹锁的装载台上。开放式晶圆盒适配器包括主体和多个限位块。主体上设有用于与装载台上设置的三个定位柱和夹锁可拆卸连接的定位件；多个限位块选择性地可拆卸安装于主体上以定位不同的开放式晶圆盒。本实用新型开放式晶圆盒适配器可安装不同尺寸的开放式晶圆盒于装载台上，提高了装载台的互换性，便捷操作过程的同时，也提高了工作效率。

Description

一种开放式晶圆盒适配器

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种开放式晶圆盒适配器。

背景技术

晶圆是一种非常贵重的产品，在放置过程中必须要保证其不能损坏。其中开放式晶圆盒是其行业常见装晶圆及蓝宝石的装置。现在一般由人工轻拿轻放搬取，在放置过程需要非常小心，对操作人员的素质要求很高。如果人工拿取有损伤或掉落，会给公司带来极大的效益损失。

现今常采用装载台对晶圆盒进行装载和搬运，如图1所示，装载台上设置有夹锁9、三个定位柱8和三个感应器6。通过定位柱8限定晶圆盒位置，通过感应器6检测晶圆盒是否水平放置，通过夹锁9将晶圆盒锁固于装载台上。

现有技术中采用装载台直接安装晶圆盒的技术安装方案步骤繁琐，操作费时费力，而且效率低下；同样目前的装载台只能装配一种尺寸的晶圆盒，互换性极差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种开放式晶圆盒适配器，以解决装载台互换性差的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种开放式晶圆盒适配器，用于安装于装载台上，所述装载台上设有三个定位柱和夹锁，包括主体和限位块。所述主体上设有定位件，所述定位件用于与三个所述定位柱和所述夹锁可拆卸连接；所述限位块设有多个，多个所述限位块选择性地可拆卸安装于所述主体上以定位不同的开放式晶圆盒。

其中，所述主体包括内主体和外主体，所述内主体为Y形板，所述外主体开设有Y形的安装孔，所述内主体置于所述安装孔内，且与所述外主体连接。

进一步地，所述定位件包括开设于所述内主体上的卡位凹槽和三个贯穿所述内主体或所述外主体的限位槽，且三个所述限位槽的延伸方向互不相同，所述定位柱能穿设所述限位槽；所述卡位凹槽的一侧与所述安装孔连通，所述夹锁能穿过所述安装孔抵接于所述卡位凹槽的槽底。

更进一步地，三个所述限位槽分别设置于所述内主体的三个端部。

优选地，所述主体上设有两个压块组件，且分别位于所述装载台的两个感应器上方，所述晶圆盒放置于所述主体上能使所述压块组件抵压于所述感应器上。

进一步地，所述压块组件包括压块主体，所述主体上设有容纳槽，所述压块主体活动设置于所述容纳槽内，且所述压块主体与所述容纳槽的槽底弹性连接，所述容纳槽的槽底开设有压块主体孔，压块连接件的一端活动穿设所述压块主体孔与所述压块主体连接，所述压块连接件的另一端用于抵压所述感应器。

更进一步地，所述压块主体和所述容纳槽的槽底对应开设有多个弹性件槽，所述压块主体与所述容纳槽的槽底通过多个弹性件连接，所述弹性件的一端与所述主体上的所述弹性件槽的槽底连接，另一端与所述压块主体的所述弹性件槽的槽底连接。

再进一步地，所述弹性件为弹簧。

优选地，所述压块主体上还设置有多个压块定位件，所述容纳槽的槽底开设有多个与所述压块定位件对应的压块定位件孔，所述压块定位件活动安装于所述压块定位件孔内。

优选地，所述限位块包括U型限位块和长条形限位块。

本实用新型的有益效果：

限位块定位开放式晶圆盒使开放式晶圆盒可拆卸安装于开放式晶圆盒适配器上；装载台的定位柱和夹锁与定位件可拆卸连接，使得开放式晶圆盒适配器可拆卸安装于装载台上。根据不同的开放式晶圆盒选择性的安装限位块，以便使装载台能装载和搬运多种开放式晶圆盒，提高了装载台使用的灵活性。

附图说明

图1是装载台的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的开放式晶圆盒适配器的结构示意图；

图3是图2中A-A平面的横截面图。

图中：

1、主体；11、内主体；12、外主体；121、安装孔；2、限位槽；3、把手；4、卡位凹槽；5、限位块；6、感应器；7、压块组件；71、压块主体；72、压块主体孔；73、弹性件槽；74、弹簧；75、压块定位件孔；76、压块定位件；77、容纳槽；78、压块连接件；8、定位柱；9、夹锁。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案做进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

本实施例提供了一种开放式晶圆盒适配器，如图2所示，用于安装于设有三个定位柱8和夹锁9的装载台上。开放式晶圆盒适配器包括主体1和多个限位块5。主体1上设有用于与装载台上设置的三个定位柱8和夹锁9可拆卸连接的定位件；多个限位块5选择性地可拆卸安装于主体1上以定位不同的开放式晶圆盒。限位块5定位开放式晶圆盒使开放式晶圆盒可拆卸安装于开放式晶圆盒适配器上；装载台的定位柱8和夹锁9与定位件可拆卸连接，使得开放式晶圆盒适配器可拆卸安装于装载台上。根据不同的开放式晶圆盒选择性的安装限位块5，以便使装载台能装载和搬运多种开放式晶圆盒，提高了装载台使用的灵活性。

在本实施例中，限位块5包括U型限位块和长条形限位块，相同形状的限位块5的尺寸可以相同或者不同，不同形状与大小的限位块5安装于主体1的不同位置上，可实现对不同类型以及不同尺寸的开放式晶圆盒定位安装。在其它实施例中，限位块5还可以是其它形状，根据开放式晶圆盒的安装需求进行设定，在此不作限定。

在本实施例中，主体1包括内主体11和外主体12，内主体11为Y形板，外主体12开设有Y形的安装孔121，内主体11置于安装孔121内，且与外主体12连接。主体1的分离设计降低了开放式晶圆盒适配器的制造成本，简化了加工步骤，且提高了生产效率。

定位件包括开设于内主体11上的卡位凹槽4和三个贯穿内主体11或外主体12的限位槽2，且三个限位槽2的延伸方向互不相同，定位柱8能穿设限位槽2；卡位凹槽4的一侧与安装孔121连通，夹锁9能穿过安装孔121抵接于卡位凹槽4的槽底。每个限位槽2可任意设置在内主体11或外主体12上，方便不同情况下内主体11和外主体12结构的设计与制造。三个限位槽2朝向互不相同的方向延伸，使得定位柱8只能在唯一的位置与三个限位槽2穿设连接。卡位凹槽4与安装孔121连通设计，简化了与夹锁9锁固配合结构的加工步骤，降低了制造成本。限位槽2和卡位凹槽4通过与定位柱8和夹锁9连接使得开放式晶圆盒适配器可拆卸安装于装载台上。

其中，三个限位槽2同时设置于内主体11或外主体12上。使得生产内主体11或外主体12时可以将三个限位槽2同时加工完成，缩短了加工的步骤。优选地，三个限位槽2分别设置于内主体11的三个端部。

主体1上设有两个压块组件7，且分别位于装载台的两个感应器6上方，晶圆盒放置于主体1上能使压块组件7抵压于感应器6上。通过设置压块组件7进行防呆处理，当操作人员未水平放置开放式晶圆盒时，两个压块组件7不会同时被有效下压，装载台将无法通过感应器6感应到开放式晶圆盒。

如图3所示，压块组件7包括压块主体71，主体1上设有容纳槽77，压块主体71活动设置于容纳槽77内，且压块主体71与容纳槽77的槽底弹性连接，容纳槽77的槽底开设有压块主体孔72，压块连接件78的一端活动穿设压块主体孔72与压块主体71连接，压块连接件78的另一端用于抵压感应器6。压块组件7活动安装于感应器6上方，当压块组件7受到放置于其上的开放式晶圆盒的压力时，压块主体71下移进而带动压块连接件78下压感应器6，以检测开放式晶圆盒适配器上是否放有开放式晶圆盒，同时两个感应器6配合检测开放式晶圆盒是否水平放置。取走开放式晶圆盒适配器上放置的开放式晶圆盒时，压块主体71在弹力的作用下复位。

其中，压块主体71和容纳槽77的槽底对应开设有多个弹性件槽73，压块主体71与容纳槽77的槽底通过多个弹性件连接，弹性件的一端与主体1上的弹性件槽73的槽底连接，另一端与压块主体71的弹性件槽73的槽底连接。弹性件的设置不仅连接了主体1与压块组件7，还消除了未放置开放式晶圆盒时误触发感应器6的可能性以及辅助压块主体71复位。弹性件优选为弹簧74，是由于弹簧74具有造价成本低、占用空间小等特点。

进一步地，压块主体71上还设置有多个压块定位件76，容纳槽77的槽底开设有多个与压块定位件76对应的压块定位件孔75，压块定位件76活动安装于压块定位件孔75内。压块定位件76与对应的压块定位件孔75的设计确定了压块主体71的位置，对压块主体71的运动起到了导向的作用，使其不会发生设计要求轨迹外的相对运动。

主体1上还设置有把手3，优选地，把手3设置于外主体12上。方便开放式晶圆盒适配器的拿取与搬运。

主体1的表面进行了硬质阳极氧化处理。使得主体1表面更加耐磨、防锈且防形变。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种开放式晶圆盒适配器，用于安装于装载台上，所述装载台上设有三个定位柱(8)和夹锁(9)，其特征在于，包括：

主体(1)，所述主体(1)上设有定位件，所述定位件用于与三个所述定位柱(8)和所述夹锁(9)可拆卸连接；

限位块(5)，设有多个，多个所述限位块(5)选择性地可拆卸安装于所述主体(1)上以定位不同的开放式晶圆盒。

2.根据权利要求1所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述主体(1)包括内主体(11)和外主体(12)，所述内主体(11)为Y形板，所述外主体(12)开设有Y形的安装孔(121)，所述内主体(11)置于所述安装孔(121)内，且与所述外主体(12)连接。

3.根据权利要求2所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述定位件包括开设于所述内主体(11)上的卡位凹槽(4)和三个贯穿所述内主体(11)或所述外主体(12)的限位槽(2)，且三个所述限位槽(2)的延伸方向互不相同，所述定位柱(8)能穿设所述限位槽(2)；所述卡位凹槽(4)的一侧与所述安装孔(121)连通，所述夹锁(9)能穿过所述安装孔(121)抵接于所述卡位凹槽(4)的槽底。

4.根据权利要求3所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，三个所述限位槽(2)分别设置于所述内主体(11)的三个端部。

5.根据权利要求1所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述主体(1)上设有两个压块组件(7)，且分别位于所述装载台的两个感应器(6)上方，所述晶圆盒放置于所述主体(1)上能使所述压块组件(7)抵压于所述感应器(6)上。

6.根据权利要求5所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述压块组件(7)包括压块主体(71)，所述主体(1)上设有容纳槽(77)，所述压块主体(71)活动设置于所述容纳槽(77)内，且所述压块主体(71)与所述容纳槽(77)的槽底弹性连接，所述容纳槽(77)的槽底开设有压块主体孔(72)，压块连接件(78)的一端活动穿设所述压块主体孔(72)与所述压块主体(71)连接，所述压块连接件(78)的另一端用于抵压所述感应器(6)。

7.根据权利要求6所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述压块主体(71)和所述容纳槽(77)的槽底对应开设有多个弹性件槽(73)，所述压块主体(71)与所述容纳槽(77)的槽底通过多个弹性件连接，所述弹性件的一端与所述主体(1)上的所述弹性件槽(73)的槽底连接，另一端与所述压块主体(71)的所述弹性件槽(73)的槽底连接。

8.根据权利要求7所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述弹性件为弹簧(74)。

9.根据权利要求6所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述压块主体(71)上还设置有多个压块定位件(76)，所述容纳槽(77)的槽底开设有多个与所述压块定位件(76)对应的压块定位件孔(75)，所述压块定位件(76)活动安装于所述压块定位件孔(75)内。

10.根据权利要求1所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述限位块(5)包括U型限位块和长条形限位块。

Images