CN212330575U - 玻璃板的制造装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供玻璃板的制造装置。在执行如下工序时，利用多个分支集管(6、7)将流路(4)分支多次，所述工序为：向形成有吸附孔(3a)的支承台(3)上供给液体(9)的工序；在支承台(3)上载置玻璃板(2)的工序；利用通过流路(4)而与吸附孔(3a)连接的真空罐(10)将玻璃板(2)吸附固定于支承台(3)的工序；以及对玻璃板(2)的端面(2a)进行加工的工序。另外，使设置于流路(4)上的第一电磁阀(8)至真空泵(5)侧的流路截面积大于第一电磁阀(8)至吸附孔(3a)侧的流路截面积。

Description

玻璃板的制造装置

技术领域

本实用新型涉及包括将玻璃板吸附固定于支承台的工序在内的玻璃板的制造方法、以及用于执行该方法的玻璃板的制造装置。

背景技术

众所周知，在玻璃板的制造工序中，为了切成产品尺寸而切断玻璃板的情况较多。在伴随切断而形成的玻璃板的端面上包含多个微小裂纹等缺陷，因此，以去除这些缺陷为目的，通常对切断后的玻璃板实施磨削加工等来加工端面。并且，在专利文献1中，公开了对端面进行加工的方式的一例。

在该文献所公开的方式中，使玻璃板吸附固定于形成有吸附孔(该文献中为多个吸附孔)的支承台，并且，利用磨石对从支承台伸出的玻璃板的端面实施磨削加工。需要说明的是，有时向支承台上供给水等液体。例如，在支承台上形成液体的供给口，使液体从该供给口向支承台上流出来供给。这是为了在磨削加工之前在支承台上进行玻璃板的定位时，容易使玻璃板移动。

然而，在使玻璃板吸附于支承台时，大多情况下利用负压产生源，该负压产生源具备通过流体的流路(配管)而与吸附孔连接的真空泵、罐等。由于负压产生源是大型的，因此，配置在制造生产线外。利用这样的负压产生源，经由吸附孔而向支承台上的玻璃板作用负压，由此进行吸附。并且，在专利文献2中公开了如下方式：不将玻璃板作为吸附对象，而将半导体晶片作为吸附对象，但利用负压产生源(该文献中为真空生成源)，使半导体晶片吸附于支承台。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-11547号公报

专利文献2：日本特开2016-174074号公报

实用新型内容

实用新型要解决的课题

但是，如上所述，在对玻璃板的端面进行加工时，在利用负压产生源使玻璃板吸附固定于支承台的方式中，存在下述应解决的问题。即，在开始吸附之后，直到向玻璃板作用所希望的大小(不妨碍端面的加工的大小) 的负压为止，存在不合理地耗费时间的难点。因此，当前情况下，从缩短用于加工端面的工序的生产节拍时间的观点出发，需要实现改善。

鉴于上述情况而完成的本实用新型的技术课题在于，在利用负压产生源使玻璃板吸附固定于支承台的情况下，减少直到所希望的大小的负压作用于玻璃板为止的时间，缩短生产节拍时间。

用于解决课题的方案

为了解决上述课题而完成的本实用新型的第一方法是一种玻璃板的制造方法，包括：载置工序，在该载置工序中，在形成有多个吸附孔的支承台上载置玻璃板；以及吸附固定工序，在该吸附固定工序中，利用通过流体的流路而与多个吸附孔分别连接的负压产生源，经由多个吸附孔将玻璃板吸附固定于支承台，该玻璃板的制造方法的特征在于，在流路中的从负压产生源到多个吸附孔的区间，设置切换机构，该切换机构能够切换打开流路的打开状态与封闭流路的封闭状态，从切换机构到多个吸附孔为止，利用多个分支集管将流路分支多次。

在流路中的从负压产生源到多个吸附孔的区间设置切换机构的情况下，从负压产生源到切换机构的区间的流路始终为负压。另一方面，从切换机构到多个吸附孔的区间的流路在封闭状态下成为常压，在打开状态下成为负压。这里，在本方法中，在从切换机构到多个吸附孔为止，利用多个分支集管将流路分支多次。由此，与将流路分支多次对应地，成功地降低了从切换机构到多个吸附孔的区间的流路的长度(应产生负压的流路的容积)。因此，能够利用负压产生源，迅速在从切换机构到多个吸附孔的区间产生负压，进而，能够减少直到所希望的大小的负压作用于玻璃板为止的时间。其结果是，能够缩短从载置工序到吸附固定工序的一系列工序的生产节拍时间。

在上述方法中，优选的是，多个分支集管包括：在流路上相对地配置在多个吸附孔侧的第一分支集管；以及在流路上相对地配置在负压产生源侧的第二分支集管，使从多个吸附孔分别到第一分支集管为止的流路长度、以及从第一分支集管到第二分支集管为止的流路长度比从第二分支集管到切换机构为止的流路长度短。

在多个分支集管包括第一分支集管和第二分支集管的情况下，连结多个吸附孔与第一分支集管的流路(以下表记为第一流路)、以及连结第一分支集管与第二分支集管的流路(以下表记为第二流路)与连结第二分支集管与切换机构的流路(以下表记为第三流路)相比，流路的条数都成为较多条数。因此，若使成为较多条数的第一流路及第二流路的长度比第三流路的长度短，则在降低从切换机构到多个吸附孔的区间的流路的容积的方面更为有利。

在上述方法中，优选的是，设置用于将玻璃板以平置姿态相对于支承台搬入搬出的并排的多条搬运带，并且利用用于供多条搬运带穿过的并排形成的多个间隙，将支承台分割为多个分割台，在分割台的下方配置第一分支集管，并且在能够由搬运带搬运玻璃板的区域内配置第二分支集管。

这里，若将第一分支集管配置在分割台的下方，能够使多个吸附孔与第一分支集管尽可能地接近。另外，若在能够利用搬运带搬运玻璃板的区域内配置第二分支集管，能够使多个第二流路在制造(搬运)生产线内合流。因此，在缩短上述的第一流路及第二流路的长度的方面更为有利。这里，“在能够利用搬运带搬运玻璃板的区域内配置第二分支集管”包括：在多条搬运带的下方且支承台的下方配置第二分支集管的情况；以及不在支承台的下方而在多条搬运带的下方配置第二分支集管的情况。在进一步缩短第二流路的长度的观点中，更优选在多条搬运带的下方且支承台的下方配置第二分支集管。在设备成本和配管的作业性的观点中，更优选不在支承台的下方而在多条搬运带的下方配置第二分支集管。

在上述方法中，优选的是，以切换机构为基准，使切换机构至负压产生源侧的流路的流路截面积大于切换机构至多个吸附孔侧的流路的流路截面积。

这样，在切换机构至负压产生源侧，相比切换机构至多个吸附孔侧而增大了流路的流路截面积，相应地，能够减小压力损失，因此，在流路内能够流动的流体的流量变多。其结果是，能够更迅速地在流路整个区域产生负压，并且，能够进一步减少直到所希望的大小的负压作用于玻璃板为止的时间。

在上述方法中，优选的是，设置向支承台上供给液体的液体供给单元，负压产生源具备：第一室，其与流路连接且内部被维持为负压；第二室，其经由通路而与第一室相连；第一开闭单元，其能够切换打开通路的打开状态与封闭通路的封闭状态；以及第二开闭单元，其能够切换打开从第二室进行排液的路径的打开状态与封闭该路径的封闭状态，该玻璃板的制造方法执行如下工序：贮存工序，在该贮存工序中，在将第一开闭单元设为打开状态、且将第二开闭单元设为封闭状态的状态下，使液体从流路经由第一室及通路向第二室流入而贮存；以及排液工序，在该排液工序中，在将第一开闭单元设为封闭状态、且将第二开闭单元设为打开状态的状态下，通过路径将贮存于第二室的液体排出。

当向支承台上供给液体时，液体从吸附孔向流路、负压产生源具备的罐等浸入。由于这种原因，在执行吸附固定工序时，容易产生流路内的负压延迟产生等不良情况。而且，在本方法中，为了排出液体，在负压产生源设置第一室及第二室，并且，执行贮存工序和排液工序。在贮存工序中，通过将第一开闭单元设为打开状态且将第二开闭单元设为封闭状态，使液体从流路经由第一室及通路向第二室流入而贮存。然后，在排液工序中，将第一开闭单元设为封闭状态，并且将第二开闭单元设为打开状态，通过路径将贮存于第二室的液体排出。此时，第一开闭单元为封闭状态，位于流路上的第一室与经由通路而与第一室相连的第二室这两室被处于封闭了通路的状态的第一开闭单元分隔，由此，能够一边通过第一室使流路等产生负压一边进行排液。通过像这样能够一边执行负压产生源的功能一边进行排液，能够防止因液体的浸入引起的不良情况。

在上述方法中，优选的是，使流路的高度位置从多个吸附孔侧朝向负压产生源侧逐渐下降。这里，“使流路的高度位置逐渐下降”不仅包括使流路的高度位置从多个吸附孔侧朝向负压产生源侧连续地下降的情况，也包括在流路的一部分包含水平区间的情况。

这样，从吸附孔进入到流路内的液体容易借助重力从多个吸附孔侧朝向负压产生源侧流动，因此，在执行上述的贮存工序和排液工序的方面是适当的。

为了解决上述课题而完成的本实用新型的第二方法是一种玻璃板的制造方法，包括：载置工序，在该载置工序中，在形成有吸附孔的支承台上载置玻璃板；以及吸附固定工序，在该吸附固定工序中，利用通过流体的流路而与吸附孔连接的负压产生源，经由吸附孔将玻璃板吸附固定于支承台，该玻璃板的制造方法的特征在于，在流路上的吸附孔与负压产生源之间，设置切换机构，该切换机构能够切换打开流路的打开状态与封闭流路的封闭状态，以切换机构为基准，使切换机构至负压产生源侧的流路的流路截面积大于切换机构至吸附孔侧的流路的流路截面积。

根据该方法，通过在流路上的吸附孔与负压产生源之间设置切换机构，从负压产生源到切换机构的区间的流路始终为负压。另一方面，从切换机构到吸附孔的区间的流路在封闭状态下成为常压，在打开状态下成为负压。另外，在切换机构至负压产生源侧，与切换机构至吸附孔侧相比而增大了流路的流路截面积，相应地，能够减小压力损失，因此，在流路内能够流动的流体的流量变多。因此，能够利用负压产生源迅速地使切换机构至吸附孔的区间的流路产生负压，能够进一步减少直到所希望的大小的负压作用于玻璃板为止的时间。由此，根据本方法，能够缩短从载置工序到吸附固定工序的一系列工序的生产节拍时间。

为了解决上述课题而完成的本实用新型的第三方法是一种玻璃板的制造方法，包括：液体供给工序，在该液体供给工序中，向形成有吸附孔的支承台上供给液体；载置工序，在该载置工序中，在支承台上载置玻璃板；以及吸附固定工序，在该吸附固定工序中，利用通过流体的流路而与吸附孔连接的负压产生源，经由吸附孔将玻璃板吸附固定于支承台，该玻璃板的制造方法的特征在于，负压产生源具备：第一室，其与流路连接且内部被维持为负压；第二室，其经由通路而与第一室相连；第一开闭单元，其能够切换打开通路的打开状态与封闭通路的封闭状态；以及第二开闭单元，其能够切换打开从第二室进行排液的路径的打开状态与封闭该路径的封闭状态，该玻璃板的制造方法执行如下工序：贮存工序，在该贮存工序中，在将第一开闭单元设为打开状态、且将第二开闭单元设为封闭状态的状态下，使液体从流路经由第一室及通路向第二室流入而贮存；以及排液工序，在该排液工序中，在将第一开闭单元设为封闭状态、且将第二开闭单元设为打开状态的状态下，通过路径将贮存于第二室的液体排出。

由于液体供给工序的执行，使液体从吸附孔向流路、负压产生源具备的罐等浸入。由于这种原因，在执行吸附固定工序时，容易产生流路内的负压延迟产生等不良情况。而且，在本方法中，为了排出液体，在负压产生源设置第一室及第二室，并且，执行贮存工序和排液工序。这里，在排液工序的执行时，第一开闭单元为封闭状态，与流路连接的第一室和经由通路而与第一室相连的第二室这两室被处于封闭了通路的状态的第一开闭单元分隔。因此，能够一边通过第一室使流路等产生负压一边进行排液。通过像这样能够一边执行负压产生源的功能一边进行排液，能够抑制因液体的浸入引起的负压延迟产生。因此，能够减少直到所希望的大小的负压作用于玻璃板为止的时间。通过以上，根据本方法，能够缩短生产节拍时间。

为了解决上述课题而完成的本实用新型的装置是一种玻璃板的制造装置，具备：支承台，其形成有多个吸附孔；以及负压产生源，其通过流体的流路而与多个吸附孔分别连接，并且经由多个吸附孔向载置于支承台上的玻璃板作用负压，该玻璃板的制造装置的特征在于，在流路中的从负压产生源到多个吸附孔的区间，设置切换机构，该切换机构能够切换打开流路的打开状态与封闭流路的封闭状态，从切换机构到多个吸附孔为止，利用多个分支集管将流路分支多次。

根据该装置，能够得到与上述的第一方法相同的作用、效果。

实用新型效果

根据本实用新型的玻璃板的制造方法及制造装置，在利用负压产生源使玻璃板吸附固定于支承台的情况下，能够减少直到所希望的大小的负压作用于玻璃板为止的时间，因此，能够缩短生产节拍时间。

附图说明

图1是示出本实用新型的第一实施方式的玻璃板的制造装置中的流路的配管的配管图。

图2是示出本实用新型的第一实施方式的玻璃板的制造装置中的负压产生源的周边的局部纵剖侧视图。

图3是示出本实用新型的第一实施方式的玻璃板的制造装置中的支承台的周边的局部纵剖主视图。

图4是示出本实用新型的第一实施方式的玻璃板的制造装置中的支承台的周边的局部纵剖侧视图。

图5是示出本实用新型的第二实施方式的玻璃板的制造装置中的负压产生源的周边的局部纵剖侧视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本实用新型的实施方式的玻璃板的制造方法及制造装置进行说明。

＜第一实施方式＞

首先，对本实用新型的第一实施方式的玻璃板的制造装置进行说明。

如图1所示，玻璃板的制造装置1(以下仅表记为制造装置1)具备：支承台3，其形成有用于吸附固定玻璃板2的多个吸附孔3a；真空泵5，其通过流体的流路4而与多个吸附孔3a分别连接，并且，经由多个吸附孔3a向支承台3上的玻璃板2作用负压；第一分支集管6及第二分支集管7，它们使流路4在多个吸附孔3a与真空泵5之间分支；作为切换机构的第一电磁阀8，其能够在第二分支集管7与真空泵5之间切换打开流路 4的打开状态与封闭流路4的封闭状态；真空罐10，其能够将浸入到流路 4内的液体9(参照图2)在第一电磁阀8与真空泵5之间向流路4外排出；压缩机12，其通过在第二分支集管7与第一电磁阀8之间与流路4连接的连接流路11，向流路4内输送压缩气体；以及第二电磁阀13，其能够切换打开连接流路11的打开状态与封闭连接流路11的封闭状态。需要说明的是，在制造装置1中，负压产生源由真空泵5及真空罐10构成。

支承台3能够以平置的姿态从下方支承玻璃板2。该支承台3隔着并排形成的多个间隙14而分割为多个分割台，在各分割台上形成有多个吸附孔3a。在本实施方式中，存在合计十四个分割台(图1中仅图示出一部分)。在以下的说明中，将各分割台依次表记为分割台A、分割台B、…、分割台N。

在分割台A～N的各个分割台上，除了多个吸附孔3a之外，还形成有使液体9(例如水)向各分割台上流出而供给的作为液体供给单元的多个供给口3b。多个供给口3b分别通过供给管15(图1中省略图示)而与液体供给源(例如是泵，省略图示)连接。此外，能够使用于将玻璃板2相对于支承台3搬入搬出的搬运带16(图1中省略图示)穿过多个间隙14 的一部分，对此详细后述。

流路4在从多个吸附孔3a到真空罐10的整个区域内具有圆形的流路截面。能够使存在于该流路4内的气体(例如空气)及从吸附孔3a浸入到流路4内的液体9通过该流路4内。流路4的高度位置从多个吸附孔3a 侧朝向真空罐10侧连续地下降。由此，浸入到流路4内的液体9由于重力而流向真空罐10(负压产生源)侧。

两分支集管6、7中的第一分支集管6在流路4上相对地配置在多个吸附孔3a侧，第二分支集管7相对地配置在真空罐10侧。

第一分支集管6相对于分割台A～N分别各配置有一个。由各第一分支集管6分支出的多个分支流路4a分别与形成于各分割台的吸附孔3a连接。即，由一个第一分支集管6形成的分支流路4a的数量与形成于各分割台的吸附孔3a的数量为相同的数量。

第二分支集管7仅配置有一个。由该第二分支集管7分支出十四个分支流路4b(图1中仅图示出一部分)，十四个分支流路4b分别与第一分支集管6连接。即，由第二分支集管7分支的分支流路4b的数量与第一分支集管6的数量为相同的数量(在本实施方式中一共为十四个)。

需要说明的是，在图1中，为了使针对流路4的配管的理解变得容易，将第一分支集管6以与实际不同的配置图示出。虽然使用后述的图3及图 4进行详述，但实际上，各第一分支集管6配置在各分割台的下方。第二分支集管7不配置在支承台3的下方，而配置在多条搬运带16的下方。需要说明的是，第一电磁阀8、负压产生源(真空泵5及真空罐10)、压缩机12以及第二电磁阀13配置在制造(搬运)生产线外。

这里，在本实施方式中，通过第一分支集管6及第二分支集管7，使流路4分支为两次(两级)，但不限于此。作为本实施方式的变形例，也可以使流路4分支为三次(三级)以上。

若第一电磁阀8处于打开状态，则成为气体及液体9能够从多个吸附孔3a侧朝向真空罐10侧通过第一电磁阀8的状态，并且，若第一电磁阀 8处于封闭状态，则成为气体及液体9不能够通过第一电磁阀8的状态。需要说明的是，在第一电磁阀8处于封闭状态时，针对来自压缩机12的压缩气体，也成为不能够通过第一电磁阀8的状态。

真空泵5始终运行，真空罐10的内部始终维持为负压。由此，在流路4中的将第一电磁阀8与真空罐10(负压产生源)连结的区间4d，与第一电磁阀8的开闭无关地，始终成为产生负压的状态。与此相对，在流路4中的将第一电磁阀8与多个吸附孔3a连结的区间(两分支流路4a、 4b、以及将第二分支集管7与第一电磁阀8连结的区间4c)，若在玻璃板 2载置于支承台3上的状态下第一电磁阀8处于打开状态，则成为产生负压的状态，能够使玻璃板2吸附固定于支承台3。另一方面，若第一电磁阀8处于封闭状态，则能够解除产生负压的状态，能够解除支承台3对玻璃板2的吸附固定。

以第一电磁阀8为基准，真空罐10侧的流路截面积S1大于多个吸附孔3a侧的流路截面积S2。在从第一电磁阀8到多个吸附孔3a的区间更加迅速地产生负压的观点出发，优选流路截面积之比(S1/S2，无单位)为2 以上。另一方面，在设备成本的减少及配管设置的作业性的观点出发，优选流路截面积之比(S1/S2，无单位)为15以下。在本实施方式中，在经由第一电磁阀8而连接的两根配管中，真空罐10侧的配管的截面积大于多个吸附孔3a侧的配管的截面积。由此，区间4d的流路截面积大于区间 4c的流路截面积。

需要说明的是，关于分支流路4a、分支流路4b以及区间4c之间的流路截面积的大小，越接近第一电磁阀8，流路截面积越大。此外，关于这三者4a、4b、4c的长度，分支流路4a及分支流路4b的长度都比区间4c 的长度短。而且，分支流路4a及分支流路4b的长度都优选为，以区间4c 的长度为基准而成为75％以下的长度。另一方面，分支流路4a及分支流路4b的长度都优选为，以区间4c的长度为基准而成为5％以上的长度。这里，“分支流路4a(分支流路4b)的长度”在多个分支流路4a(分支流路4b)的长度相同的情况下，是指该相同的长度，在多个分支流路4a(分支流路4b)的长度不一致的情况下，是指最长的分支流路的长度。

若第二电磁阀13处于打开状态，则成为压缩气体(例如，压缩空气) 能够从压缩机12侧朝向流路4侧通过第二电磁阀13的状态。而且，通过从压缩机12向流路4内输送压缩气体，能够加速流路4内的气压的上升，能够使玻璃板2的吸附固定的解除高速化。另一方面，若第二电磁阀13 处于封闭状态，则成为压缩气体不能够通过第二电磁阀13的状态。需要说明的是，在第二电磁阀13处于封闭状态时，针对从流路4浸入到连接流路11的气体及液体9，也成为不能够通过第二电磁阀13的状态。需要说明的是，也可以在压缩机12与第二电磁阀13之间配置内部被维持为正压的缓冲罐。

这里，在包括图1在内的本实施方式的说明中参照的各附图中，空心箭头表示将第一电磁阀8设为打开状态、且将第二电磁阀13设为封闭状态的状态下的气体及液体9的流动。另外，虚线箭头表示该状态下的仅气体的流动。此外，实线箭头表示该状态下的仅液体9的流动。

如图2所示，真空罐10具备：与流路4连接的作为第一室的第一罐 17；经由第一通路18而与第一罐17连接的作为第二室的第二罐19；能够切换打开第一通路18的打开状态与封闭第一通路18的封闭状态的作为第一开闭单元的第一阀20；能够切换打开从第二罐19进行排液的路径21 的打开状态与封闭该路径21的封闭状态的作为第二开闭单元的第二阀22；使能够向第二罐19输送压缩气体或大气的第二通路23开闭的第三阀 24；以及将第一罐17的上部与真空泵5连接的第三通路25。

第一罐17是缓冲罐，伴随着真空泵5的运行而第一罐17的内部始终被维持为负压。此外，第一罐17具有分配在流路4内通过而到达第一罐 17的气体与液体9的进路的功能。第一罐17能够使到达自身的气体进入第三通路25，并且能够使到达自身的液体9进入与第二罐19相连的第一通路18。

第二罐19配置在比第一罐17靠下方的位置。另外，第一通路18将第一罐17的底部与第二罐19的顶部连接，并且，其高度位置从第一罐17 侧朝向第二罐19侧连续地下降。由此，在第一阀20为打开状态时，能够使到达第一罐17的液体9借助自重而通过第一通路18后向第二罐19流入。

通常，第一阀20处于打开状态，并且，第二阀22处于封闭状态。在该情况下，在流路4内通过而到达第一罐17的液体9被贮存于第二罐19。在排液时，在将第一阀20设为封闭状态之后，将第二阀22设为打开状态。由此，能够通过路径21而将贮存于第二罐19的液体9排出。路径21与第二罐19的底部连接，并且，其高度位置随着远离第二罐19而下降。因此，液体9借助自重在路径21中流动。

通常，第三阀24处于关闭的状态。在排液时，在将第一阀20设为封闭状态之后将第三阀24设为打开状态，然后，若将第二阀22设为打开状态，则空气等经由第二通路23向第二罐19流入，因此，能够促进液体9 的排液。

如图3及图4所示，制造装置1在既述的构成要素的基础上，还具备：用于将玻璃板2以平置姿态相对于支承台3搬入搬出的并排的多条搬运带 16；以及对吸附固定于支承台3的玻璃板2的从支承台3伸出的端面2a 进行加工的作为端面加工单元的磨石26。

多条搬运带16能够将端面2a的加工前的玻璃板2沿着T1方向朝支承台3搬入，并且，能够将加工后的玻璃板2沿着T2方向从支承台3搬出。因此，配置为搬运带16的长边方向的长度比支承台3的长边方向的长度长，搬运带16贯穿支承台3的间隙。这些搬运带16绕挂于驱动带轮及从动带轮(均省略图示)，并且，能够通过升降机构(省略图示)，上下地变更搬运面的高度位置。

多条搬运带16最开始以使搬运面的高度位置高于支承台3的状态将玻璃板2沿着T1方向搬运。接着，如图3及图4的双点划线所示，当玻璃板2到达支承台3的正上方时，停止输送动作，并且，使搬运面的高度位置逐渐降下，将玻璃板2交接于支承台3。在交接后，如图3及图4的实线所示，在间隙14中待机，直至端面2a的加工完成。接着，当端面2a 的加工完成后，使搬运面的高度位置逐渐上升，从支承台3取回玻璃板2。最后，重新开始输送动作，并且，在使搬运面的高度位置高于支承台3的状态将玻璃板2沿着T2方向搬运。

关于磨石26，配置有玻璃板2的平行延伸的两端面2a、2a的一方的磨削用的磨石26、以及两端面2a、2a的另一方的磨削用的磨石26。两磨石26、26分别在以沿上下方向延伸的轴线为中心进行旋转的同时，沿T3 方向(与T1方向及T2方向相反的方向)移动，由此，对两端面2a、2a 实施磨削加工。需要说明的是，磨削加工时的磨石的移动方向也可以是与 T1方向及T2方向相同的方向。在本实施方式中，两磨石26、26构成为一边夹着玻璃板2并行，一边进行磨削加工。

需要说明的是，虽然省略图示，但制造装置1在既述的构成要素的基础上，还具备用于使磨削加工前的玻璃板2在支承台3上移动来进行定位的第一定位机构。第一定位机构例如具有：用于与两端面2a、2a中的一方的端面2a抵接的多个定位用销；以及在与另一方的端面2a抵接的状态下将玻璃板2向一方的端面2a侧按压，由此将玻璃板2的一方的端面2a推压于各定位用销的推压构件。通过该第一定位机构，能够使玻璃板2沿着分割台A～N的并排方向移动而将其配置于所希望的位置。制造装置1 还可以具备第二定位机构(未图示)，该第二定位机构通过使玻璃板2沿着T1方向移动而将其配置于所希望的位置。

如图3及图4所示，各第一分支集管6配置在各分割台A～N的正下方。由此，将各第一分支集管6与形成于各分割台A～N的吸附孔3a连接的分支流路4a沿上下延伸。另外，第二分支集管7不配置在支承台3 的正下方，而配置在多条搬运带16的正下方。此外，第二分支集管7配置在比各第一分支集管6靠下方的位置。

接着，对使用上述的制造装置1的本实用新型的第一实施方式的玻璃板的制造方法进行说明。

在本实施方式的玻璃板的制造方法中，最开始执行向支承台3上供给液体9的液体供给工序。在液体供给工序中，使液体9从形成于各分割台的多个供给口3b流出而供给。由此，在之后的定位工序中，容易使玻璃板2在支承台3上移动。伴随着该液体供给工序的执行，一部分液体9从形成于各分割台的吸附孔3a向流路4内浸入。

当液体供给工序完成后，接着，执行在支承台3上载置玻璃板2的载置工序。载置工序通过将由多条搬运带16搬入的玻璃板2(端面2a的加工前的玻璃板2)从这多条搬运带16交接至支承台3来进行。

当载置工序完成后，接着，执行使玻璃板2在支承台3上移动来进行定位的定位工序。在定位工序的执行中使用上述的第一定位机构。由此，使玻璃板2沿着分割台A～N的并排方向移动而将其配置于所希望的位置。

当定位工序完成后，接着，执行吸附固定工序，在该吸附固定工序中，利用通过流路4而与多个吸附孔3a分别连接的真空罐10，经由多个吸附孔3a而将玻璃板2吸附固定于支承台3。吸附固定工序的执行通过将在初始状态下处于封闭状态的第一电磁阀8设为打开状态来进行。需要说明的是，关于第二电磁阀13，维持作为初始状态的封闭状态。

当将第一电磁阀8设为打开状态时，存在于流路4上的两分支流路4a、 4b及区间4c内的气体及液体9通过第一电磁阀8依次向区间4d流入。与此相伴，两分支流路4a、4b及区间4c内的气压逐渐下降而产生负压，并且，向玻璃板2作用负压，将玻璃板2吸附固定于支承台3。需要说明的是，在本实施方式中，由于将真空罐10的第一罐17始终维持为负压，因此，在流路4上的区间4d内，从第一电磁阀8为打开状态之前开始，成为产生了负压的状态。

流入到区间4d的气体及液体9通过区间4d而到达真空罐10所具备的第一罐17。于是，通过第一罐17而分配进路。气体进入第三通路25 之后到达真空泵5。另一方面，液体9进入与第二罐19相连的第一通路 18之后，通过执行下述的贮存工序和排液工序而向流路4外排出。

在贮存工序中，作为初始状态，将第一阀20设为打开状态，并且将第二阀22设为封闭状态，由此，贮存通过第一通路18而流入空的状态的第二罐19的液体9。在排液工序中，将第一阀20设为封闭状态，并且将第二阀22设为打开状态。由此，通过路径21将贮存于第二罐19的液体9 排出。需要说明的是，当第二罐19内通过排液而再次成为空的状态时，使第二阀22恢复到封闭状态，之后使第一阀恢复到打开状态。通过这种方式，成为能够反复执行贮存工序与排液工序的状态。

在通过执行吸附固定工序而成为在支承台3上吸附固定了玻璃板2的状态时，接着，执行对玻璃板2的从支承台3伸出的端面2a进行加工的端面加工工序。在端面加工工序中，对玻璃板2的平行延伸的两端面2a、 2a实施磨削加工。需要说明的是，作为本实施方式的变形例，代替磨削加工或者在磨削加工的基础上，也可以对两端面2a、2a实施研磨加工。

当端面加工工序完成后，接着，执行将支承台3对玻璃板2的吸附固定解除的吸附解除工序。吸附解除工序的执行通过在将第一电磁阀8设为封闭状态且将第二电磁阀13设为打开状态的基础上从压缩机12向流路4 内输送压缩气体来进行。

当向流路4内输送压缩气体时，两分支流路4a、4b及区间4c内的气压逐渐上升，产生了负压的状态被解除。由此，解除了支承台3对玻璃板 2的吸附固定。

需要说明的是，在本实施方式中，伴随着吸附解除工序的执行，向流路4内输送压缩气体，但不限于此。作为本实施方式的变形例，即便不输送压缩气体而仅将第一电磁阀8设为封闭状态，也能够解除玻璃板2的吸附固定。另外，作为本实施方式的变形例，也可以通过向流路4内输送从流路4外取入的大气，来解除玻璃板2的吸附固定。

当吸附解除工序完成后，最后，利用多条搬运带16从支承台3取回玻璃板2(端面2a的加工后的玻璃板2)，并且，伴随着上述多条搬运带 16的搬运，将玻璃板2进一步送至下游侧的工序。

接着，对上述的制造装置1及制造方法所产生的主要作用、效果进行说明。

在上述的制造装置1及制造方法中，在从第一电磁阀8(切换机构) 到达多个吸附孔3a为止，利用第一分支集管6及第二分支集管7将流路4 分支多次(两次)。由此，降低了从第一电磁阀8到达多个吸附孔3a的区间的流路4的容积，因此，能够利用真空罐10(负压产生源)迅速地在从第一电磁阀8到达多个吸附孔3a的区间的流路4中产生负压。因此，能够减少直到所希望的大小的负压作用于玻璃板2为止的时间。其结果是，能够缩短用于加工端面2a的工序的生产节拍时间。

另外，在第一电磁阀8至真空罐10侧，与第一电磁阀8至多个吸附孔3a侧相比增大了流路截面积，相应地，能够减小压力损失。因此，在比第一电磁阀8靠真空罐10侧的流路4内能够流动的气体及液体9的流量变多。因此，能够更加迅速地在比第一电磁阀8靠多个吸附孔3a侧的流路4中产生负压，并且，能够进一步减少直至所希望的大小的负压作用于玻璃板2为止的时间。

此外，在成为负压延迟产生的原因的将液体9从流路4内向流路4外排出时，能够在不停止真空罐10(负压产生源)的运行的状态下进行排液。由此，能够抑制因液体9的浸入引起的负压的产生的延迟。因此，能够迅速地在流路4的整个区域产生负压，并且，能够减少直到所希望的大小的负压作用于玻璃板2为止的时间。

＜第二实施方式＞

接着，对本实用新型的第二实施方式的玻璃板的制造装置、以及使用该装置的本实用新型的第二实施方式的玻璃板的制造方法进行说明。需要说明的是，关于第二实施方式，仅对与上述的第一实施方式的不同点进行说明。关于与第一实施方式的共同点，通过对在第二实施方式的说明中参照的附图标注相同的标号而省略重复的说明。

如图5所示，第二实施方式的制造装置1与上述的第一实施方式的制造装置1的不同之处在于，真空罐10的结构。在第二实施方式的真空罐 10中，将第一实施方式中的真空罐10的第一罐17、第二罐19及第一阀 20分别置换为挡板28，该挡板28能够打开及封闭罐27的上室27a、罐 27的下室27b、以及使上室27a与下室27b连续的通路。

关于使用第二实施方式的制造装置1的第二实施方式的玻璃板的制造方法，也能够与第一实施方式的玻璃板的制造方法同样地实施。另外，根据第二实施方式的制造装置1及制造方法，也能够得到与第一实施方式的制造装置1及制造方法同样的主要作用、效果。

附图标记说明：

1 玻璃板的制造装置

2 玻璃板

2a 端面

3 支承台

3a 吸附孔

3b 供给口

4 流路

4a 分支流路

4b 分支流路

4c 区间

4d 区间

5 真空泵

6 第一分支集管

7 第二分支集管

8 第一电磁阀

9 液体

10 真空罐

14 间隙

16 搬运带

17 第一罐

18 第一通路

19 第二罐

20 第一阀

21 路径

22 第二阀

26 磨石

A～N 分割台。

Claims (7)

1.一种玻璃板的制造装置，具备：支承台，其形成有多个吸附孔；负压产生源，其通过流体的流路而与所述多个吸附孔分别连接，并且经由所述多个吸附孔向载置于所述支承台上的玻璃板作用负压；以及加工单元，其对吸附固定于所述支承台的所述玻璃板的从支承台伸出的端面进行加工，

所述玻璃板的制造装置的特征在于，

在所述流路中的从所述负压产生源到所述多个吸附孔的区间，设置切换机构，所述切换机构能够切换打开所述流路的打开状态与封闭所述流路的封闭状态，

从所述切换机构到所述多个吸附孔为止，利用多个分支集管将所述流路分支多次。

2.根据权利要求1所述的玻璃板的制造装置，其特征在于，

所述多个分支集管包括：在所述流路上相对地配置在所述多个吸附孔侧的第一分支集管；以及在所述流路上相对地配置在所述负压产生源侧的第二分支集管，

从所述多个吸附孔分别到所述第一分支集管为止的流路长度、以及从所述第一分支集管到所述第二分支集管为止的流路长度比从所述第二分支集管到所述切换机构为止的流路长度短。

3.根据权利要求2所述的玻璃板的制造装置，其特征在于，

设置有用于将所述玻璃板以平置姿态相对于所述支承台搬入搬出的并排的多条搬运带，并且利用用于供所述多条搬运带穿过的并排形成的多个间隙，将所述支承台分割为多个分割台，

在所述分割台的下方配置所述第一分支集管，并且在能够由所述搬运带搬运所述玻璃板的区域内配置所述第二分支集管。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃板的制造装置，其特征在于，

以所述切换机构为基准，使所述切换机构至所述负压产生源侧的所述流路的流路截面积大于所述切换机构至所述多个吸附孔侧的所述流路的流路截面积。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃板的制造装置，其特征在于，

设置向所述支承台上供给液体的液体供给单元，

所述负压产生源具备：第一室，其与所述流路连接且内部被维持为负压；第二室，其经由通路而与所述第一室相连；第一开闭单元，其能够切换打开所述通路的打开状态与封闭所述通路的封闭状态；以及第二开闭单元，其能够切换打开从所述第二室进行排液的路径的打开状态与封闭所述路径的封闭状态，

所述玻璃板的制造装置构成为，在将所述第一开闭单元设为打开状态、且将所述第二开闭单元设为封闭状态的状态下，使所述液体从所述流路经由所述第一室及所述通路向所述第二室流入而贮存，并且，

所述玻璃板的制造装置构成为，在将所述第一开闭单元设为封闭状态、且将所述第二开闭单元设为打开状态的状态下，通过所述路径将贮存于所述第二室的所述液体排出。

6.根据权利要求5所述的玻璃板的制造装置，其特征在于，

所述流路的高度位置从所述多个吸附孔侧朝向所述负压产生源侧逐渐下降。

7.一种玻璃板的制造装置，具备：支承台，其形成有吸附孔；液体供给单元，其向所述支承台上供给液体；以及负压产生源，其通过流体的流路而与所述吸附孔连接，并且经由所述吸附孔向载置于所述支承台上的玻璃板作用负压，

所述玻璃板的制造装置的特征在于，

所述负压产生源具备：第一室，其与所述流路连接且内部被维持为负压；第二室，其经由通路而与所述第一室相连；第一开闭单元，其能够切换打开所述通路的打开状态与封闭所述通路的封闭状态；以及第二开闭单元，其能够切换打开从所述第二室进行排液的路径的打开状态与封闭所述路径的封闭状态，

所述玻璃板的制造装置构成为，在将所述第一开闭单元设为打开状态、且将所述第二开闭单元设为封闭状态的状态下，使所述液体从所述流路经由所述第一室及所述通路向所述第二室流入而贮存，并且，

所述玻璃板的制造装置构成为，在将所述第一开闭单元设为封闭状态、且将所述第二开闭单元设为打开状态的状态下，通过所述路径将贮存于所述第二室的所述液体排出。

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