CN212278714U - T-fof的等离子清洗和acf的贴附组合机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种T‑FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，包括底板、平台组件以及清洗贴附组件，平台组件具有一等离子膜放置平台、安装于所述底板上的Y轴驱动机构，所述Y轴驱动机构上设有Y轴向移动的第一滑块组件，该第一滑块组件的顶面分别安装有一用于Z向调节所述等离子膜放置平台高度的Z轴机构、2组设于所述Z轴机构两侧的剥离杆机构以及一可调式顶针分离机构；清洗贴附组件，具清洗机构和贴附机构。本实用新型对产品的清洗和ACF胶的贴附采用同一工作平台，根据产品的复杂性，设置了自动剥离杆机构，便于对M‑FPC与T‑FPC的清洗和ACF胶的贴附，更有利于后续绑定精度的提高。

Description

T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构

技术领域

本实用新型涉及自动化设备技术领域，具体的说是涉及一种T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构。

背景技术

以下Plasma为等离子，ACF为导电膜。

传统Plasma清洗与ACF贴附组合机构是分开独立，只能使用于简单的屏产品的Plasma清洗和ACF贴附，XYQ轴是不能自动调节，并且清洗和贴附平台都是独立，清洗工序完成后需要机械手搬运至ACF贴附平台重新调节对位进行对产品ACF的贴附，这样比较耗时并对贴附的精度和洁净度有一定的影响。

实用新型内容

针对现有技术中的不足，本实用新型要解决的技术问题在于提供了一种T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，设计该贴附组合机构的目的是：Plasma清洗后能够快速进行自动对ACF贴附，在清洗和ACF的贴附XYZQ轴根据产品的不同形状自动可调，还设置了可调的项针分离，根据T-FPC的不同位置，将T-FPC顶出分离开，便于剥离杆的分离。并且Panel【面板】放置平台，ACF贴附平台和ACF贴附平台及FPC辅助支撑平台是独立的便于调节。

为解决上述技术问题，本实用新型通过以下方案来实现：本实用新型的一种T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，包括：

底板；

平台组件，具有一等离子膜放置平台、安装于所述底板上的Y轴驱动机构，所述Y轴驱动机构上设有Y轴向移动的第一滑块组件，该第一滑块组件的顶面分别安装有一用于Z向调节所述等离子膜放置平台高度的Z轴机构、2组设于所述Z轴机构两侧的剥离杆机构以及一可调式顶针分离机构；

清洗贴附组件，具有安装于所述底板上且与所述Y轴驱动机构垂直设置的X轴驱动机构，所述X轴驱动机构上设有X轴向移动的第二滑块组件，所述第二滑块组件上安装有做XYZQ轴向微调的UVW微调平台，所述UVW微调平台上设有清洗机构和贴附机构，所述Y轴驱动机构能够驱动所述等离子膜放置平台移动至所述清洗机构和贴附机构。

进一步的，所述Y轴驱动机构采用直线电机驱动第一滑块组件在双导轨上做Y轴向移动。

进一步的，所述Z轴机构包括：

电机支架座，呈“冂”型结构的固立于所述第一滑块组件的顶面；

Z轴电机，其卧设于所述电机支架座上，其驱动端连接有手动滑台，所述手动滑台是通过一个活动斜块和一个安装于所述等离子膜放置平台下板面的固定斜块形成斜面贴合结构，所述Z轴电机的驱动端驱动所述活动斜块移动，进而驱动所述固定斜块做升降运动，所述固定斜块带动所述等离子膜放置平台做升降运动。

进一步的，所述剥离杆机构包括：

对称的悬接于所述第一滑块组件顶面的L型支架；

第一Z轴气缸，固立于所述L型支架的顶端，其驱动端朝上；

剥离杆，安装于所述第一Z轴气缸的驱动端，其水平向延伸至所述等离子膜放置平台，两个剥离杆相向且同轴。

进一步的，所述平台组件还包括贴附支撑块，所述贴附支撑块固立于所述第一滑块组件的顶面一侧且其上部与所述等离子膜放置平台之间留有间隙，所述贴附支撑块的板体侧面设置有X向滑轨，其顶面设有负压孔，所述可调式顶针分离机构滑接于该X向滑轨上，所述可调式顶针分离机构包括：

第二Z轴气缸，侧滑接于所述X向滑轨，其驱动端朝上设置；

可调式顶针，安装于所述第二Z轴气缸的驱动端，其上部通过升降运动能够穿过和隐藏所述间隙，所述可调式顶针的顶端折弯且该折弯方向朝向X向；

FPC辅助托板，安装于所述贴附支撑块的顶端台阶处且水平悬置。

进一步的，所述X轴驱动机构通过伺服电机驱动丝杆旋转，进而带动所述第二滑块组件移动，所述UVW微调平台的顶面安装有安装支架，所述安装支架随所述第二滑块组件做XYZQ轴向移动，其上安装有竖置的立板，所述立板悬空于所述安装支架上且其悬空下侧的间隙用于所述平台组件的进入，所述立板，其朝向所述平台组件的一面设置有所述清洗机构，其背向所述平台组件的一面设置有所述贴附机构。

更进一步的，所述清洗机构用于清洗等离子膜，其包括一清洗器，该清洗器侧安装于所述立板侧面，其设有朝下方向的清洗头，所述清洗头被一固定于所述立板上的笔杆气缸驱动，沿一竖置滑轨升降，所述竖置滑轨设于所述立板上。

更进一步的，所述立板上还设置有相机组件，该相机组件包括：

相机，其镜头朝下，其对ACF角贴附的对位和检测；

一驱动所述相机升降的相机驱动机构，所述相机驱动机构安装于所述立板上，其通过一手动滑台对所述相机高度进行微调节。

更进一步的，所述贴附机构包括：

ACF卷带组件，其设有三组安装于所述立板顶部的ACF卷带，其中间的一组ACF卷带为用于卷绕废料ACF的废料收集卷带，与中间的ACF卷带相邻的一组ACF卷带为上料ACF卷带，最后一组该ACF卷带为备用卷带；

送料驱动机构，用于对所述上料ACF卷带拉出送料，包括调速电机，该调速电机安装于废料收集卷带上，其驱动废料收集卷带旋转，所述上料ACF卷带上的ACF带通过若干导向轮拉至所述废料收集卷带上；

ACF带崩紧装置，安装于立板上，其包括压紧气缸、凸轮随动器以及承压轮，所述压紧气缸驱动所述凸轮随动器升降，所述凸轮随动器设有呈Y结构安装的两个随动轮，两个随动轮抵紧于所述承压轮上；

ACF胶剥离装置，安装于立板上，用于将所述ACF带的ACF胶膜剥离；

剪切组件，安装于立板上且置于所述ACF胶剥离装置的后置工序，其用于将剥离后的ACF胶剪切；

ACF贴附压头，其通过一压头连接件连接于一贴附气缸的驱动端，所述贴附气缸固定于立板上，所述ACF贴附压头下方是所述ACF带的水平向路径，其将剪切后的ACF胶贴附于等离子膜上。

更进一步的，所述ACF贴附压头置于所述清洗机构的正后侧。

相对于现有技术，本实用新型的有益效果是：本实用新型的贴附组合机构是在Plasma清洗后能够快速进行自动对ACF贴附，在清洗和ACF的贴附XYZQ轴根据产品的不同形状自动可调，还设置了可调的项针分离，根据T-FPC的不同位置，将T-FPC顶出分离开，便于剥离杆的分离。并且Panel【面板】放置平台，ACF贴附平台和ACF贴附平台及FPC辅助支撑平台是独立的便于调节。

本实用新型的贴附组合机构是将T-FOF产品的T-FPC自动分离及位置的调节，便于Plasma的清洗和ACF胶对绑定位置的贴附，共用相同的工作平台组件，节省调节位置度的时间也保证贴附精度的提高，对Plasma的清洗和ACF胶的贴附，采用共同的X轴和UVW平台及根据实际需求对产品进行位置度的微调。

附图说明

图1为本实用新型贴附组合机构的整机结构图。

图2为本实用新型平台组件结构示意图。

图3为本实用新型清洗贴附组件具有清洗机构的一侧结构示意图。

图4为本实用新型清洗贴附组件的另一侧结构示意图。

图5为本实用新型剥离杆机构的结构示意图。

图6为本实用新型可调式顶针分离机构的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。显然，本实用新型所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1：本实用新型的具体结构如下：

请参照附图1-6，本实用新型的一种T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，包括：

底板100；

平台组件101，具有一等离子膜放置平台5、安装于所述底板100上的Y轴驱动机构1，所述Y轴驱动机构1上设有Y轴向移动的第一滑块组件，该第一滑块组件的顶面分别安装有一用于Z向调节所述等离子膜放置平台5高度的Z轴机构2、2组设于所述Z轴机构2两侧的剥离杆机构3以及一可调式顶针分离机构4；

清洗贴附组件102，具有安装于所述底板100上且与所述Y轴驱动机构1垂直设置的X轴驱动机构8，所述X轴驱动机构8上设有X轴向移动的第二滑块组件，所述第二滑块组件上安装有做XYZQ轴向微调的UVW微调平台9，所述UVW微调平台9上设有清洗机构和贴附机构，所述Y轴驱动机构1能够驱动所述等离子膜放置平台5移动至所述清洗机构和贴附机构。

本实施例的一种优选技术方案：所述Y轴驱动机构1采用直线电机驱动第一滑块组件在双导轨上做Y轴向移动。

本实施例的一种优选技术方案：所述Z轴机构2包括：

电机支架座，呈“冂”型结构的固立于所述第一滑块组件的顶面；

Z轴电机，其卧设于所述电机支架座上，其驱动端连接有手动滑台，所述手动滑台是通过一个活动斜块和一个安装于所述等离子膜放置平台5下板面的固定斜块形成斜面贴合结构，所述Z轴电机的驱动端驱动所述活动斜块移动，进而驱动所述固定斜块做升降运动，所述固定斜块带动所述等离子膜放置平台5做升降运动。

本实施例的一种优选技术方案：所述剥离杆机构3包括：

对称的悬接于所述第一滑块组件顶面的L型支架31；

第一Z轴气缸32，固立于所述L型支架的顶端，其驱动端朝上；

剥离杆33，安装于所述第一Z轴气缸32的驱动端，其水平向延伸至所述等离子膜放置平台5，两个剥离杆33相向且同轴。

本实施例的一种优选技术方案：所述平台组件101还包括贴附支撑块6，所述贴附支撑块6固立于所述第一滑块组件的顶面一侧且其上部与所述等离子膜放置平台5之间留有间隙，所述贴附支撑块6的板体侧面设置有X向滑轨，其顶面设有负压孔，所述可调式顶针分离机构4滑接于该X向滑轨上，所述可调式顶针分离机构4包括：

第二Z轴气缸41，侧滑接于所述X向滑轨，其驱动端朝上设置；

可调式顶针42，安装于所述第二Z轴气缸41的驱动端，其上部通过升降运动能够穿过和隐藏所述间隙，所述可调式顶针42的顶端折弯且该折弯方向朝向X向；

FPC辅助托板7，安装于所述贴附支撑块6的顶端台阶处且水平悬置。

本实施例的一种优选技术方案：所述X轴驱动机构8通过伺服电机驱动丝杆旋转，进而带动所述第二滑块组件移动，所述UVW微调平台9的顶面安装有安装支架10，所述安装支架10随所述第二滑块组件做XYZQ轴向移动，其上安装有竖置的立板，所述立板悬空于所述安装支架10上且其悬空下侧的间隙用于所述平台组件101的进入，所述立板，其朝向所述平台组件101的一面设置有所述清洗机构，其背向所述平台组件101的一面设置有所述贴附机构。

本实施例的一种优选技术方案：所述清洗机构用于清洗等离子膜，其包括一清洗器12，该清洗器12侧安装于所述立板侧面，其设有朝下方向的清洗头，所述清洗头被一固定于所述立板上的笔杆气缸驱动，沿一竖置滑轨升降，所述竖置滑轨设于所述立板上。

本实施例的一种优选技术方案：所述立板上还设置有相机组件，该相机组件包括：

相机11，其镜头朝下，其对ACF角贴附的对位和检测；

一驱动所述相机11升降的相机驱动机构，所述相机驱动机构安装于所述立板上，其通过一手动滑台对所述相机11高度进行微调节。

本实施例的一种优选技术方案：所述贴附机构包括：

ACF卷带组件13，其设有三组安装于所述立板顶部的ACF卷带，其中间的一组ACF卷带为用于卷绕废料ACF的废料收集卷带，与中间的ACF卷带相邻的一组ACF卷带为上料ACF卷带，最后一组该ACF卷带为备用卷带；

送料驱动机构，用于对所述上料ACF卷带拉出送料，包括调速电机，该调速电机安装于废料收集卷带上，其驱动废料收集卷带旋转，所述上料ACF卷带上的ACF带通过若干导向轮拉至所述废料收集卷带上；

ACF带崩紧装置，安装于立板上，其包括压紧气缸、凸轮随动器以及承压轮，所述压紧气缸驱动所述凸轮随动器升降，所述凸轮随动器设有呈Y结构安装的两个随动轮，两个随动轮抵紧于所述承压轮上；

ACF胶剥离装置，安装于立板上，用于将所述ACF带的ACF胶膜剥离；

剪切组件16，安装于立板上且置于所述ACF胶剥离装置的后置工序，其用于将剥离后的ACF胶剪切；

ACF贴附压头14，其通过一压头连接件连接于一贴附气缸的驱动端，所述贴附气缸固定于立板上，所述ACF贴附压头14下方是所述ACF带的水平向路径，其将剪切后的ACF胶贴附于等离子膜上。

本实施例的一种优选技术方案：所述ACF贴附压头14置于所述清洗机构的正后侧。

实施例2：

本实用新型的T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构的工作原理：

被清洗与贴附ACF胶产品放置于等离子膜放置平台5，开启放置主平台的真空，将Panel吸附，根据T-FPC的位置，可调式顶针分离机构4自动调节位置，将T-FPC向上顶出分离，两侧的剥离杆机构3根据产品的形状进行自动剥离，Y轴驱动机构1带动等离子膜放置平台5移动，将产品运行到Plasma清洗机【即上述的清洗器12】下方，对贴附位置进行清洗后再进行ACF贴附，其次通过高精度相机进行ACF贴附精度的检测，平台组件退回机械手取料位完成Plasma的清洗和ACF的贴附。

实施例3：

本实用新型T-FOF的Plasma清洗与ACF贴附组合机构用于T-FPC与M-FPC绑定前清洗和ACF胶的贴附，也使用于多种平面的FPC与Panel绑定前的清洗和贴附。由于异形T-FPC与M-FPC结构比较复杂，在绑定位置特殊，需要将T-FPC自动剥离开，才能方便进行清洗及ACF的贴附，特为此设置了Plasma清洗和ACF贴附共用放置平台机构。Plasma清洗和ACF贴附放置平台机构对Panel放置采用防静电的真空吸嘴吸附，ACF贴附支撑背拖根据产品的不同位置对真空的吸附及剥离杆可自动调节，贴附背拖采用优质不锈钢440C材料，背拖支撑面的平面度达0.005mm,对产品的ACF贴附时固定产品才用真空吸附，对T-FPC分离机构固定在横向导轨根据不同产品T-FPC的位置可调，Z向采用气缸带动顶针分离杆运行。剥离杆结构分别位于Panel放置平台板的两侧，将剥离杆固定在回转夹紧气缸上，可以自动调节剥离角度。还设置了FPC辅助支撑板，预防FPC过长在贴附ACF胶时往下跌，影响贴附精度。

本实用新型同现有技术区别在于，对产品的清洗和ACF胶的贴附采用同一工作平台，根据产品的复杂性，设置了自动剥离杆机构，便于对M-FPC与T-FPC的清洗和ACF胶的贴附，更有利于后续绑定精度的提高。第二部分在于根据产品异形情况，设置了XYZQ都可以自动微调，并采用高精度相机对产品贴附位置的对位和贴附ACF胶后精度的检测。设置Plasma的清洗更近一步提高产品的绑定精度。整个ACF胶的贴附精度X向为:±100μm，Y向为:±200μm(3σ)，进行每个动作都是以保护产品和提高精度为目的。

综上所述，本实用新型的贴附组合机构是在Plasma清洗后能够快速进行自动对ACF贴附，在清洗和ACF的贴附XYZQ轴根据产品的不同形状自动可调，还设置了可调的项针分离，根据T-FPC的不同位置，将T-FPC顶出分离开，便于剥离杆的分离。并且Panel【面板】放置平台，ACF贴附平台和ACF贴附平台及FPC辅助支撑平台是独立的便于调节。本实用新型的贴附组合机构是将T-FOF产品的T-FPC自动分离及位置的调节，便于Plasma的清洗和ACF胶对绑定位置的贴附，共用相同的工作平台组件，节省调节位置度的时间也保证贴附精度的提高，对Plasma的清洗和ACF胶的贴附，采用共同的X轴和UVW平台及根据实际需求对产品进行位置度的微调。

以上所述仅为本实用新型的优选实施方式，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，包括：

底板(100)；

平台组件(101)，具有一等离子膜放置平台(5)、安装于所述底板(100)上的Y轴驱动机构(1)，所述Y轴驱动机构(1)上设有Y轴向移动的第一滑块组件，该第一滑块组件的顶面分别安装有一用于Z向调节所述等离子膜放置平台(5)高度的Z轴机构(2)、2组设于所述Z轴机构(2)两侧的剥离杆机构(3)以及一可调式顶针分离机构(4)；

清洗贴附组件(102)，具有安装于所述底板(100)上且与所述Y轴驱动机构(1)垂直设置的X轴驱动机构(8)，所述X轴驱动机构(8)上设有X轴向移动的第二滑块组件，所述第二滑块组件上安装有做XYZQ轴向微调的UVW微调平台(9)，所述UVW微调平台(9)上设有清洗机构和贴附机构，所述Y轴驱动机构(1)能够驱动所述等离子膜放置平台(5)移动至所述清洗机构和贴附机构。

2.根据权利要求1所述的T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，所述Y轴驱动机构(1)采用直线电机驱动第一滑块组件在双导轨上做Y轴向移动。

3.根据权利要求1所述的T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，所述Z轴机构(2)包括：

电机支架座，呈“冂”型结构的固立于所述第一滑块组件的顶面；

Z轴电机，其卧设于所述电机支架座上，其驱动端连接有手动滑台，所述手动滑台是通过一个活动斜块和一个安装于所述等离子膜放置平台(5)下板面的固定斜块形成斜面贴合结构，所述Z轴电机的驱动端驱动所述活动斜块移动，进而驱动所述固定斜块做升降运动，所述固定斜块带动所述等离子膜放置平台(5)做升降运动。

4.根据权利要求1所述的T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，所述剥离杆机构(3)包括：

对称的悬接于所述第一滑块组件顶面的L型支架(31)；

第一Z轴气缸(32)，固立于所述L型支架的顶端，其驱动端朝上；

剥离杆(33)，安装于所述第一Z轴气缸(32)的驱动端，其水平向延伸至所述等离子膜放置平台(5)，两个剥离杆(33)相向且同轴。

5.根据权利要求1所述的T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，所述平台组件(101)还包括贴附支撑块(6)，所述贴附支撑块(6)固立于所述第一滑块组件的顶面一侧且其上部与所述等离子膜放置平台(5)之间留有间隙，所述贴附支撑块(6)的板体侧面设置有X向滑轨，其顶面设有负压孔，所述可调式顶针分离机构(4)滑接于该X向滑轨上，所述可调式顶针分离机构(4)包括：

第二Z轴气缸(41)，侧滑接于所述X向滑轨，其驱动端朝上设置；

可调式顶针(42)，安装于所述第二Z轴气缸(41)的驱动端，其上部通过升降运动能够穿过和隐藏所述间隙，所述可调式顶针(42)的顶端折弯且该折弯方向朝向X向；

FPC辅助托板(7)，安装于所述贴附支撑块(6)的顶端台阶处且水平悬置。

6.根据权利要求1所述的T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，所述X轴驱动机构(8)通过伺服电机驱动丝杆旋转，进而带动所述第二滑块组件移动，所述UVW微调平台(9)的顶面安装有安装支架(10)，所述安装支架(10)随所述第二滑块组件做XYZQ轴向移动，其上安装有竖置的立板，所述立板悬空于所述安装支架(10)上且其悬空下侧的间隙用于所述平台组件(101)的进入，所述立板，其朝向所述平台组件(101)的一面设置有所述清洗机构，其背向所述平台组件(101)的一面设置有所述贴附机构。

7.根据权利要求6所述的T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，所述清洗机构用于清洗等离子膜，其包括一清洗器(12)，该清洗器(12)侧安装于所述立板侧面，其设有朝下方向的清洗头，所述清洗头被一固定于所述立板上的笔杆气缸驱动，沿一竖置滑轨升降，所述竖置滑轨设于所述立板上。

8.根据权利要求6所述的T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，所述立板上还设置有相机组件，该相机组件包括：

相机(11)，其镜头朝下，其对ACF角贴附的对位和检测；

一驱动所述相机(11)升降的相机驱动机构，所述相机驱动机构安装于所述立板上，其通过一手动滑台对所述相机(11)高度进行微调节。

9.根据权利要求6所述的T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，所述贴附机构包括：

ACF卷带组件(13)，其设有三组安装于所述立板顶部的ACF卷带，其中间的一组ACF卷带为用于卷绕废料ACF的废料收集卷带，与中间的ACF卷带相邻的一组ACF卷带为上料ACF卷带，最后一组该ACF卷带为备用卷带；

送料驱动机构，用于对所述上料ACF卷带拉出送料，包括调速电机，该调速电机安装于废料收集卷带上，其驱动废料收集卷带旋转，所述上料ACF卷带上的ACF带通过若干导向轮拉至所述废料收集卷带上；

ACF带崩紧装置，安装于立板上，其包括压紧气缸、凸轮随动器以及承压轮，所述压紧气缸驱动所述凸轮随动器升降，所述凸轮随动器设有呈Y结构安装的两个随动轮，两个随动轮抵紧于所述承压轮上；

ACF胶剥离装置，安装于立板上，用于将所述ACF带的ACF胶膜剥离；

剪切组件(16)，安装于立板上且置于所述ACF胶剥离装置的后置工序，其用于将剥离后的ACF胶剪切；

ACF贴附压头(14)，其通过一压头连接件连接于一贴附气缸的驱动端，所述贴附气缸固定于立板上，所述ACF贴附压头(14)下方是所述ACF带的水平向路径，其将剪切后的ACF胶贴附于等离子膜上。

10.根据权利要求9所述的T-FOF的等离子清洗和ACF的贴附组合机构，其特征在于，所述ACF贴附压头(14)置于所述清洗机构的正后侧。

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