CN212075099U - 误差吸收模块、搬运装置和检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种误差吸收模块、搬运装置和检测设备，该误差吸收模块包括：压板，所述压板上设置有与压接平台对应的导向组件；下浮动板，设置于所述压板上部并与所述压板连接，所述下浮动板的底顶部中间设置有球形凸起；上浮动板，位于所述下浮动板上方，用于与外部机构连接；角度调节板，设置于所述上浮动板与下浮动板之间，且所述角度调节板底部表面设有与所述球形凸起对应的球面凹槽；及弹性复位机构，分别与所述下浮动板和上浮动板连接，以吸收所述压板与压接平台之间的角度位置误差。本实用新型能够吸收压接平台的安装误差，使得安装时稍有误差的压接平台，依然可以正常作业，降低了加工成本，同时提高了设备的运行稳定性。

Description

误差吸收模块、搬运装置和检测设备

技术领域

本实用新型涉及测试领域，特别涉及一种误差吸收模块、搬运装置和检测设备。

背景技术

随着半导体行业的迅速发展，芯片设计、封装及检测等行业具有广阔的应用前景。尤其在芯片的检测领域中，经常需要精确搬运、放置工件或将工件插入固定型腔中。在芯片搬运过程中，芯片需要由标准治具搬运至测试工位，测试工位上的治具多为加工品且需要频繁更换，用常规搬运装置，在更换测试工位的治具后，由于治具的安装误差，芯片往往被放偏，造成工程实践浪费。

为了保证工件的位置精度和检测效果，现有技术中采用以下两种通用方式：一种是提高设备的运行、装配和加工精度，保证工件放置或插入固定型腔时，精度完全在控制范围内。然而，该方式对设备加工件的加工精度、装备精度和运行精度都有特别高的要求，造成了加工资源的浪费，同时也导致设备成本增加。另一种方式是采用对位相机对工件进行光学对准，但是增加对位相机同样导致设备的成本提高。

实用新型内容

本实用新型提供一种误差吸收模块、搬运装置和检测设备，可以在不增加设备成本的前提下，保证工件的搬运和放置精度。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种误差吸收模块，包括：

压板，所述压板上设置有与压接平台对应的导向组件；

下浮动板，设置于所述压板上部并与所述压板连接，所述下浮动板的顶部中间设置有球形凸起；

上浮动板，位于所述下浮动板上方，用于与外部机构连接；

角度调节板，设置于所述上浮动板与下浮动板之间，且所述角度调节板底部表面设有与所述球形凸起对应的球面凹槽；

以及弹性复位机构，分别与所述下浮动板和上浮动板连接，以吸收所述压板与压接平台之间的角度位置误差，并带动所述压板复位。

作为优选，所述导向组件采用底部设置有倒圆锥台结构的导向销，所述压接平台上设置有与所述导向销对应的导向孔。

作为优选，所述上浮动板的中部设置有用于容纳所述角度调节板的安装槽。

作为优选，所述弹性复位机构包括：连接支撑件和弹簧，其中，所述连接支撑件的顶端与所述上浮动板固接，所述弹簧套设在所述连接支撑件上，并由所述下浮动板和所述连接支撑件的底端限位。

作为优选，所述连接支撑件包括：头部、杆部和尾部，其中，所述下浮动板与所述杆部间隙配合，所述弹簧套设于所述杆部并由所述头部和所述下浮动板限位，所述尾部与所述上浮动板固接。

作为优选，所述头部上设置有一字槽或者十字槽。

作为优选，所述上浮动板上还设有连接螺栓。

本实用新型还提供一种搬运装置，包括所述的误差吸收模块。

本实用新型还提供一种检测设备，包括所述的误差吸收模块。

与现有技术相比，本实用新型能够吸收压接平台的安装误差，使得安装时稍有误差的压接平台，依然可以正常作业，相对于现有技术降低了压接平台的加工精度要求，降低了加工成本，同时提高了设备的运行稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的误差吸收模块的爆炸结构图；

图2为本实用新型的误差吸收模块的仰视图；

图3为图2的A-A面剖视图；

图4为图2的B-B面剖视图。

图中所示：1-压板；2、下浮动板；21、球形凸起；3、上浮动板；31、安装槽；4、角度调节板；5、导向组件；6、连接螺栓；7、定位支撑件；71、头部； 72、杆部；73、尾部；8、弹簧。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

芯片检测之前，需要将芯片搬运至测试工位处的治具上，由于治具为加工品且需要频繁更换，在更换治具之后，会出现治具安装误差，导致芯片在治具中被放偏。采用本实施例的误差吸收模块可以在放置芯片的过程中，吸收掉治具的安装误差，确保芯片可以被正确放置。

如图1至图4所示，本实用新型提供一种误差吸收模块，包括：压板1、下浮动板2、上浮动板3、角度调节板4和弹性复位机构。其中，所述上浮动板3 用于与外部机构连接，以便为其他部件提供支撑和安装空间，所述下浮动板2 安装在上浮动板3的下方。且所述下浮动板2通过角度调节板4与上浮动板3 接触。所述压板1的底部设置有与压接平台对应的导向组件5，以便在导向组件 5与压接平台对准时，跟随导向组件5转动，将导向组件5与压接平台之间的角度位置误差传递至弹性复位机构。所述弹性复位机构分别与下浮动板2和上浮动板3连接，用于对浮动板3限位，并带动上浮动板3恢复原始位置。

请继续参照图1，所述上浮动板3的形状可以根据外部机构的需要进行调整，故本实施例不对上浮动板3的具体结构做限定。优选地，为了方便上浮动板3 连接至搬运装置或检测设备，本实施例的上浮动板3上设置有连接螺栓6，且所述连接螺栓6的顶部伸出所述上浮动板3。

所述下浮动板2设置于所述上浮动板3的下部并通过螺栓与所述压板1固接，且所述下浮动板2的顶部中间设置有球形凸起21。

所述上浮动板3设置在所述下浮动板2的下方，并通过所述弹性复位机构与所述下浮动板2连接。所述上浮动板3通过压板1及其上的导向组件5与压接平台对准连接，并在导向组件5与压接平台存在角度位置误差时，跟随导向组件5转动，以吸收压接平台的角度位置误差。

所述角度调节板4设置在所述下浮动板2与所述上浮动板3之间，并且所述上浮动板3上设置有用于容纳所述角度调节板4的安装槽31，所述角度调节板4的底部表面设置有与所述球形凸起21对应的球面凹槽。也即是说，所述上浮动板3与下浮动板2通过球面连接，所述下浮动板2和压板1可以相对于上浮动板3转动，进而实现误差吸收。

继续参照图1至图4，所述弹性复位机构分别连接至下浮动板2和上浮动板3，可以吸收下浮动板2移动后的角度位置误差，并带动下浮动板2复位。具体地，所述弹性复位机构分设在下浮动板2和上浮动板3的四个拐角处，可以实现全部角度的误差吸收。重点参照图1和图3，所述弹性复位机构包括：连接支撑件7和弹簧8，其中，所述连接支撑件7包括：头部71、杆部72和尾部73，其中，所述下浮动板2与所述杆部72间隙配合，所述弹簧8套设于所述杆部72 并由所述头部71和所述下浮动板2限位，所述尾部73与所述上浮动板3固接。因此，当下浮动板2跟随导向组件5下压时会发生偏移，进而拉伸或者压缩弹簧8，使弹簧8变形。待导向组件5脱离压接平台后，所述弹簧8的反弹力会带动连接支撑件7以及下浮动板2恢复到初始位置处。

作为优选，所述头部71设置有一字槽或者十字槽，一方面便于安装所述连接支撑件7，另一方面可以根据需要调节所述弹簧8的弹性，所述弹簧8具有良好的弹性，且恢复能力强。

需要说明的是，所述导向组件5采用导向销，所述压接平台上设置有与所述导向销对应的导向孔。在进行芯片放置或者芯片压入操作时，需要将导向销插入到所述导向孔中，以实现精确对准。由于压接平台存在安装误差问题，在实际操作中，导向销与导向孔并不是处于完全对准的状态，故，本实施例优选将所述导向销的底部设置为倒圆锥台结构，该倒圆锥台结构的底面直径小于倒圆锥台顶面也即是导向销的直径，使得所述导向销可以在一定误差范围内顺利进入到导向孔中，消除偏移误差，实现精确对准。当然，所述导向销的最底端也即是倒圆锥台结构进入到所述导向孔时，会向导向孔的某一侧偏移；接着，所述导向销由倒圆锥台结构的倾斜面作用和引导，逐步向导向孔的中心移动，实现精确对准。由于导向组件5与压板1固接，且压板1通过下浮动板2连接至弹性复位机构，因此，在导向销与导向孔的对准过程中，所述下浮动板2跟随导向销移动，从而可以在导向销与导向孔对准的同时，实现对芯片的偏移误差调整。

于本文的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”，仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一实施例”、“示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。

此外，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (9)

1.一种误差吸收模块，其特征在于，包括：

压板，所述压板上设置有与压接平台对应的导向组件；

下浮动板，设置于所述压板上部并与所述压板连接，所述下浮动板的顶部中间设置有球形凸起；

上浮动板，位于所述下浮动板上方，用于与外部机构连接；

角度调节板，设置于所述上浮动板与下浮动板之间，且所述角度调节板底部表面设有与所述球形凸起对应的球面凹槽；

以及

弹性复位机构，分别与所述下浮动板和上浮动板连接，以吸收所述压板与压接平台之间的角度位置误差，并带动所述压板复位。

2.根据权利要求1所述的误差吸收模块，其特征在于，所述导向组件采用底部设置有倒圆锥台结构的导向销，所述压接平台上设置有与所述导向销对应的导向孔。

3.根据权利要求1所述的误差吸收模块，其特征在于，所述上浮动板的中部设置有用于容纳所述角度调节板的安装槽。

4.根据权利要求1所述的误差吸收模块，其特征在于，所述弹性复位机构包括：连接支撑件和弹簧，其中，所述连接支撑件的顶端与所述上浮动板固接，所述弹簧套设在所述连接支撑件上，并由所述下浮动板和所述连接支撑件的底端限位。

5.根据权利要求4所述的误差吸收模块，其特征在于，所述连接支撑件包括：头部、杆部和尾部，其中，所述下浮动板与所述杆部间隙配合，所述弹簧套设于所述杆部并由所述头部和所述下浮动板限位，所述尾部与所述上浮动板固接。

6.根据权利要求5所述的误差吸收模块，其特征在于，所述头部上设置有一字槽或者十字槽。

7.根据权利要求1所述的误差吸收模块，其特征在于，所述上浮动板上还设有连接螺栓。

8.一种搬运装置，其特征在于，包括权利要求1～7任意一项所述的误差吸收模块。

9.一种检测设备，其特征在于，包括权利要求1～7任意一项所述的误差吸收模块。

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