CN212031546U

CN212031546U - 一种探针卡固定装置

Info

Publication number: CN212031546U
Application number: CN202020423496.4U
Authority: CN
Inventors: 于海超; 赵梁玉; 王艾琳
Original assignee: Maxone Semiconductor Suzhou Co Ltd
Current assignee: Strong Half Conductor Suzhou Co ltd
Priority date: 2020-03-30
Filing date: 2020-03-30
Publication date: 2020-11-27
Anticipated expiration: 2030-03-30

Abstract

本实用新型公开了一种探针卡固定装置，包括固定盘，所述固定盘包括圆盘、螺孔、固定柱、扇形分盘插口，且圆盘的上端边缘处开设有螺孔，所述圆盘的上端中间处设置有固定柱，且固定柱的侧壁开设有多组扇形分盘插口，所述圆盘的上端设置有基盘，且基盘的上端中间处开设有通孔，所述基盘的侧壁设置有第一连接块，且第一连接块的上端开设有第一连接孔，所述基盘的上端设置有分盘结构，所述圆盘和固定柱一体设置，且固定柱上端开设螺纹孔。本实用新型所述的一种探针卡固定装置，分盘结构设置的探针卡分盘能够实现拼装，方便探针卡分盘的组装和拆卸，分盘分开进行维修跟换，一定程度上减少维修成本。

Description

一种探针卡固定装置

技术领域

本实用新型涉及探针卡固定装置领域，特别涉及一种探针卡固定装置。

背景技术

近年来半导体制程技术突飞猛进，超前摩尔定律预估法则好几年，现阶段已向32奈米以下挺进，产品讲求轻薄短小，IC体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多，为了降低芯片封装所占的面积与改善IC效能，现阶段覆晶(Flip Chip)方式封装普遍被应用于绘图芯片、芯片组、存储器及CPU等，上述高阶封装方式单价高昂，如果能在封装前进行芯片测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本，探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号，对芯片参数进行测试，探针卡主要目的是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的，探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程，因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一；使用探针卡固定装置过程中，由于探针卡损坏，造成探针卡连接盘需要跟换，维修成本增加。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种探针卡固定装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种探针卡固定装置，包括固定盘，所述固定盘包括圆盘、螺孔、固定柱、扇形分盘插口，且圆盘的上端边缘处开设有螺孔，所述圆盘的上端中间处设置有固定柱，且固定柱的侧壁开设有多组扇形分盘插口，所述圆盘的上端设置有基盘，且基盘的上端中间处开设有通孔，所述基盘的侧壁设置有第一连接块，且第一连接块的上端开设有第一连接孔，所述基盘的上端设置有分盘结构。

优选的，所述圆盘和固定柱一体设置，且固定柱上端开设螺纹孔，所述固定柱上端开设螺纹孔与扇形分盘插口相通。

优选的，所述分盘结构包括第一探针卡分盘、第二探针卡分盘、第三探针卡分盘、第四探针卡分盘、第二连接块、第二连接孔、分盘插环，且第一探针卡分盘、第二探针卡分盘、第三探针卡分盘、第四探针卡分盘的结构相同，所述第一探针卡分盘的外侧壁设置有第二连接块，且第二连接块的上端开设有第二连接孔，所述第一探针卡分盘的内侧壁设置有分盘插环。

优选的，所述第二探针卡分盘、第三探针卡分盘、第四探针卡分盘内外侧壁设置的结构与第一探针卡分盘内外侧壁设置的结构相同，所述探针卡分盘呈扇形设置，且探针卡分盘内侧壁设置的分盘插环与固定柱侧壁开设的扇形分盘插口相匹配。

优选的，所述分盘插环开设螺纹孔与固定柱开设的螺纹孔对齐设置，所述第一连接块开设的第一连接孔与第二连接块和第二连接孔对齐设置。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型中，分盘结构设置的探针卡分盘能够实现拼装，方便探针卡分盘的组装和拆卸，分盘分开进行维修跟换，一定程度上减少维修成本。

附图说明

图1为本实用新型一种探针卡固定装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种探针卡固定装置的整体结构拆分示意图；

图3为本实用新型一种探针卡固定装置的固定盘剖切示意图；

图4为本实用新型一种探针卡固定装置的分盘结构拆分示意图。

图中：1、固定盘；101、圆盘；102、螺孔；103、固定柱；104、扇形分盘插口；2、基盘；3、分盘结构；301、第一探针卡分盘；302、第二探针卡分盘；303、第三探针卡分盘；304、第四探针卡分盘；305、第二连接块；306、第二连接孔；307、分盘插环；4、通孔；5、第一连接块；6、第一连接孔。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-4所示，一种探针卡固定装置，包括固定盘1，固定盘1包括圆盘101、螺孔102、固定柱103、扇形分盘插口104，且圆盘101的上端边缘处开设有螺孔102，圆盘101的上端中间处设置有固定柱103，且固定柱103的侧壁开设有多组扇形分盘插口104，圆盘101的上端设置有基盘2，且基盘2的上端中间处开设有通孔4，基盘2的侧壁设置有第一连接块5，且第一连接块5的上端开设有第一连接孔6，基盘2的上端设置有分盘结构3。

其中，圆盘101和固定柱103一体设置，且固定柱103上端开设螺纹孔，固定柱103上端开设螺纹孔与扇形分盘插口104相通。

其中，分盘结构3包括第一探针卡分盘301、第二探针卡分盘302、第三探针卡分盘303、第四探针卡分盘304、第二连接块305、第二连接孔306、分盘插环307，且第一探针卡分盘301、第二探针卡分盘302、第三探针卡分盘303、第四探针卡分盘304的结构相同，第一探针卡分盘301的外侧壁设置有第二连接块305，且第二连接块305的上端开设有第二连接孔306，第一探针卡分盘301的内侧壁设置有分盘插环307；分盘结构3设置的探针卡分盘能够实现拼装，方便探针卡分盘的组装和拆卸，分盘分开进行维修跟换，一定程度上减少维修成本。

其中，第二探针卡分盘302、第三探针卡分盘303、第四探针卡分盘304内外侧壁设置的结构与第一探针卡分盘301内外侧壁设置的结构相同，探针卡分盘呈扇形设置，且探针卡分盘内侧壁设置的分盘插环307与固定柱103侧壁开设的扇形分盘插口104相匹配。

其中，分盘插环307开设螺纹孔与固定柱103开设的螺纹孔对齐设置，第一连接块5开设的第一连接孔6与第二连接块305和第二连接孔306对齐设置。

需要说明的是，本实用新型为一种探针卡固定装置，组装固定盘1、基盘2、分盘结构3时，固定盘1设置的圆盘101和固定柱103一体设置，固定柱103的外壁开设四个扇形分盘插口104，基盘2上端中间处开设的通孔4对准圆盘101上端固定柱103，固定柱103贯穿基盘2上端开设的通孔4，固定柱103侧壁开设四个扇形分盘插口104露出，第一探针卡分盘301与第二连接块305、分盘插环307一体设置，第一探针卡分盘301、第二探针卡分盘302、第三探针卡分盘303和第四探针卡分盘304结构相同，第一探针卡分盘301外壁设置有分盘插环307对准固定盘1开设的扇形分盘插口104进行插入，直至第一探针卡分盘301设置的分盘插环307插入进扇形分盘插口104内，分盘插环307上端开设的螺纹孔与固定柱103上端开设的螺纹孔对齐，第二探针卡分盘302、第三探针卡分盘303和第四探针卡分盘304和固定柱103之间的连接方式与第一探针卡分盘301和固定柱103之间的连接方式相同，使用螺栓对准圆盘101下端中间处开设的螺纹孔进行插入，螺栓插入进固定柱103开设螺纹孔、探针卡分盘设置的分盘插环307内，实现探针卡分盘设置的分盘插环307与固定柱103之间的固定连接，探针卡分盘设置的第二连接块305开设的第二连接孔306与基盘2侧壁第一连接块5上端面开设的第一连接孔6对齐，使用螺栓进行两者之间的固定，即可进行安装使用。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims

1.一种探针卡固定装置，其特征在于：包括固定盘（1），所述固定盘（1）包括圆盘（101）、螺孔（102）、固定柱（103）、扇形分盘插口（104），且圆盘（101）的上端边缘处开设有螺孔（102），所述圆盘（101）的上端中间处设置有固定柱（103），且固定柱（103）的侧壁开设有多组扇形分盘插口（104），所述圆盘（101）的上端设置有基盘（2），且基盘（2）的上端中间处开设有通孔（4），所述基盘（2）的侧壁设置有第一连接块（5），且第一连接块（5）的上端开设有第一连接孔（6），所述基盘（2）的上端设置有分盘结构（3）。

2.根据权利要求1所述的一种探针卡固定装置，其特征在于：所述圆盘（101）和固定柱（103）一体设置，且固定柱（103）上端开设螺纹孔，所述固定柱（103）上端开设螺纹孔与扇形分盘插口（104）相通。

3.根据权利要求2所述的一种探针卡固定装置，其特征在于：所述分盘结构（3）包括第一探针卡分盘（301）、第二探针卡分盘（302）、第三探针卡分盘（303）、第四探针卡分盘（304）、第二连接块（305）、第二连接孔（306）、分盘插环（307），且第一探针卡分盘（301）、第二探针卡分盘（302）、第三探针卡分盘（303）、第四探针卡分盘（304）的结构相同，所述第一探针卡分盘（301）的外侧壁设置有第二连接块（305），且第二连接块（305）的上端开设有第二连接孔（306），所述第一探针卡分盘（301）的内侧壁设置有分盘插环（307）。

4.根据权利要求3所述的一种探针卡固定装置，其特征在于：所述第二探针卡分盘（302）、第三探针卡分盘（303）、第四探针卡分盘（304）内外侧壁设置的结构与第一探针卡分盘（301）内外侧壁设置的结构相同，所述探针卡分盘呈扇形设置，且探针卡分盘内侧壁设置的分盘插环（307）与固定柱（103）侧壁开设的扇形分盘插口（104）相匹配。

5.根据权利要求4所述的一种探针卡固定装置，其特征在于：所述分盘插环（307）开设螺纹孔与固定柱（103）开设的螺纹孔对齐设置，所述第一连接块（5）开设的第一连接孔（6）与第二连接块（305）和第二连接孔（306）对齐设置。