CN211980594U - 一种晶圆检测的夹具机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆检测的夹具机构，包括底座、调节组件和夹持组件，所述底座的顶端外壁上设置有调节组件，所述底座的外部设置有夹持组件，底座的内部上开设有安装槽，所述安装槽的底端内壁上镶嵌固定有第一旋转电机，第一旋转电机输出轴的一端上套接固定有第二齿轮，底座的顶端外壁上转动安装有转轴，转轴位于安装槽内部的外壁上套接固定有第一齿轮；本实用新型设置调节组件，通过旋转电机和液压缸的共同配合，可以对空心安装盘多角度调节，能方便稳定的对晶圆进行转运，省去了人工手动操作，提高了工作效率，设置的夹持组件，使夹持比较稳定，设置的挤压杆和弹簧，在夹持时不易损坏晶圆，比较的节约成本。

Description

一种晶圆检测的夹具机构

技术领域

本实用新型属于晶圆生产设备技术领域，具体涉及一种晶圆检测的夹具机构。

背景技术

圆晶(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶，圆晶是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片，单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了圆晶，现有的硅晶圆在生产过后都需要进行质量检测，检测过程中需要对硅晶圆进行夹持转运和固定，而现有的检测夹具夹持不稳定，夹持时容易损坏晶圆，比较浪费成本，还有把晶圆传动到下个检测工序时，大部分时人工手动操作，很不稳定，容易损坏到晶圆，还比较费时费力，降低了工作效率，不值得广泛推应用。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种晶圆检测的夹具机构，具有特点，本实用新型设置调节组件，通过旋转电机和液压缸的共同配合，可以对空心安装盘多角度调节，能方便稳定的对晶圆进行转运，省去了人工手动操作，提高了工作效率，设置的夹持组件，使夹持比较稳定，设置的挤压杆和弹簧，在夹持时不易损坏晶圆，比较的节约成本。

为实现上述目的，一种晶圆检测的夹具机构，包括底座、调节组件和夹持组件，所述底座的顶端外壁上设置有调节组件，所述底座的外部设置有夹持组件。

优选的，所述调节组件内部上设置有安装槽、转轴、第一齿轮、第一旋转电机、第二齿轮、旋转台、安装板、第一滑槽、丝杆、第二旋转电机、移动块、第一支杆、第一液压缸、第一连杆和第二液压缸，所述底座的内部上开设有安装槽，所述安装槽的底端内壁上镶嵌固定有第一旋转电机，所述第一旋转电机输出轴的一端上套接固定有第二齿轮，所述底座的顶端外壁上转动安装有转轴，所述转轴位于安装槽内部的外壁上套接固定有第一齿轮，且第一齿轮与第二齿轮相互啮合，所述转轴的顶端外壁上焊接有旋转台，所述旋转台的顶端外壁上焊接有安装板，所述安装板的一侧外壁上开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内壁上转动安装有丝杆，所述安装板的顶端外壁上对应丝杆螺栓固定有第二旋转电机，且第二旋转电机输出轴的一端与丝杆的顶端相互焊接，所述丝杆位于第一滑槽内部的外壁上套接有移动块，且移动块与丝杆螺纹连接，所述移动块的一侧外壁上焊接有第一支杆，所述第一支杆的另一端外壁上转动安装有第一连杆，所述第一支杆的底端外壁上安装固定有第一液压缸，且第一液压缸伸缩轴的一端转动安装于第一连杆的底端外壁上。

优选的，所述夹持组件内部上设置有空心安装盘、第三旋转电机、转盘、斜槽、滑孔、Z型夹持杆、第二滑槽、第二滑块、挤压杆、弹簧、T型滑槽和T型滑块，所述第一连杆的另一端外壁上转动安装有空心安装盘，所述空心安装盘的顶端内壁上螺栓固定有第三旋转电机，所述第三旋转电机输出轴的一端上套接固定有转盘，所述转盘的顶端外壁上分布开设有斜槽，所述空心安装盘的底端外壁上对应斜槽贯通开设有滑孔，所述滑孔的内部上安装有Z型夹持杆，所述滑孔的内壁上对称开设有第二滑槽，所述Z型夹持杆的外壁上对应第二滑槽焊接有第二滑块，且第二滑块的外壁与第二滑槽的内壁贴合，所述Z型夹持杆的一侧外壁上安装有挤压杆，所述挤压杆的一侧外壁上焊接有弹簧，且弹簧的另一端焊接与Z型夹持杆的一侧外壁上。

优选的，所述第一连杆的底端外壁上安装固定有第二液压缸，且第二液压缸的另一端转动安装于空心安装盘的一侧外壁上。

优选的，所述挤压杆的顶端外壁上焊接有T型滑块，所述Z型夹持杆的外壁上对应T型滑块开设有T型滑槽，且T型滑块的外壁与T型滑槽的内壁贴合。

优选的，所述斜槽、滑孔、Z型夹持杆和挤压杆的个数有四个。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型设置调节组件，通过旋转电机和液压缸的共同配合，可以对空心安装盘多角度调节，能方便稳定的对晶圆进行转运，省去了人工手动操作，比较省时省力，提高了工作效率，降低了劳动强度，设置的夹持组件，结构简单操作方便，使夹持比较稳定，设置的挤压杆和弹簧，在夹持时不易损坏晶圆，比较的节约成本，值得广泛推广应用。

附图说明

图1为本实用新型的整体立体结构示意图；

图2为本实用新型的调节组件的局部剖切结构示意图；

图3为本实用新型的夹持组件主视图剖切结构示意图；

图4为本实用新型的夹持组件俯视图剖切结构示意图。

图中：1、底座；2、调节组件；3、夹持组件；21、安装槽；22、转轴；23、第一齿轮；24、第一旋转电机；25、第二齿轮；26、旋转台；27、安装板；28、第一滑槽；29、丝杆；210、第二旋转电机；211、移动块；212、第一支杆；213、第一液压缸；214、第一连杆；215、第二液压缸；31、空心安装盘；32、第三旋转电机；33、转盘；34、斜槽；35、滑孔；36、Z型夹持杆；37、第二滑槽；38、第二滑块；39、挤压杆；310、弹簧；311、T型滑槽；312、T型滑块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供以下技术方案：一种晶圆检测的夹具机构，包括底座1、调节组件2和夹持组件3，底座1的顶端外壁上设置有调节组件2，底座1的外部设置有夹持组件3；调节组件2内部上设置有安装槽21、转轴22、第一齿轮23、第一旋转电机24、第二齿轮25、旋转台26、安装板27、第一滑槽28、丝杆29、第二旋转电机210、移动块211、第一支杆212、第一液压缸213、第一连杆214和第二液压缸215，底座1的内部上开设有安装槽21，安装槽21的底端内壁上镶嵌固定有第一旋转电机24，第一旋转电机24输出轴的一端上套接固定有第二齿轮25，底座1的顶端外壁上转动安装有转轴22，转轴22位于安装槽21内部的外壁上套接固定有第一齿轮23，且第一齿轮23与第二齿轮25相互啮合，转轴22的顶端外壁上焊接有旋转台26，旋转台26的顶端外壁上焊接有安装板27，安装板27的一侧外壁上开设有第一滑槽28，第一滑槽28的内壁上转动安装有丝杆29，安装板27的顶端外壁上对应丝杆29螺栓固定有第二旋转电机210，且第二旋转电机210输出轴的一端与丝杆29的顶端相互焊接，丝杆29位于第一滑槽28内部的外壁上套接有移动块211，且移动块211与丝杆29螺纹连接，移动块211的一侧外壁上焊接有第一支杆212，第一支杆212的另一端外壁上转动安装有第一连杆214，第一支杆212的底端外壁上安装固定有第一液压缸213，且第一液压缸213伸缩轴的一端转动安装于第一连杆214的底端外壁上，方便调节空心安装盘31的角度和方向，也便于转运，省去了人工手动传送到下个工序，比较实用和完善；夹持组件3内部上设置有空心安装盘31、第三旋转电机32、转盘33、斜槽34、滑孔35、Z型夹持杆36、第二滑槽37、第二滑块38、挤压杆39、弹簧310、T型滑槽311和T型滑块312，第一连杆214的另一端外壁上转动安装有空心安装盘31，空心安装盘31的顶端内壁上螺栓固定有第三旋转电机32，第三旋转电机32输出轴的一端上套接固定有转盘33，转盘33的顶端外壁上分布开设有斜槽34，空心安装盘31的底端外壁上对应斜槽34贯通开设有滑孔35，滑孔35的内部上安装有Z型夹持杆36，滑孔35的内壁上对称开设有第二滑槽37，Z型夹持杆36的外壁上对应第二滑槽37焊接有第二滑块38，且第二滑块38的外壁与第二滑槽37的内壁贴合，Z型夹持杆36的一侧外壁上安装有挤压杆39，挤压杆39的一侧外壁上焊接有弹簧310，且弹簧310的另一端焊接与Z型夹持杆36的一侧外壁上，便于对晶圆的夹持，比较完善和实用，加夹持比较稳定，夹持时不易损坏晶圆；第一连杆214的底端外壁上安装固定有第二液压缸215，且第二液压缸215的另一端转动安装于空心安装盘31的一侧外壁上，便于调节空心安装盘31的角度，比较实用；挤压杆39的顶端外壁上焊接有T型滑块312，Z型夹持杆36的外壁上对应T型滑块312开设有T型滑槽311，且T型滑块312的外壁与T型滑槽311的内壁贴合，使挤压杆39移动比较稳定，使夹持也比较稳定；斜槽34、滑孔35、Z型夹持杆36和挤压杆39的个数有四个，使整体比较完整和完善，使夹持比较稳定。

本实用新型中弹簧310为已经公开的广泛运用与日常生活的已知技术，弹簧310是一种利用弹性来工作的机械零件，用弹性材料制成的零件在外力作用下发生形变，除去外力后又恢复原状。

本实用新型的工作原理及使用流程：在使用该设备时，启动第一旋转电机24，第一旋转电机24通过第一齿轮23和第二齿轮25的配合带动旋转台26上的安装板27旋转，并调节到与晶圆相对位置，然后启动第二旋转电机210，带动丝杆29旋转，丝杆29旋转带动移动块211上的第一支杆212上下移动，并调节到合适位置，启动第一液压缸213，带动第一连杆214转动，在启动第二液压缸215带动空心安装盘31转动，并调节到合适角度，对准晶圆，启动第三旋转电机32，第三旋转电机32带动转盘33旋转，通过斜槽34、滑孔35和Z型夹持杆36的配合，带动Z型夹持杆36相互收缩移动，使挤压杆39对晶圆进行夹持固定，并把晶圆送到另一个检测工作区，比较省时省力，提高了工作效率。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种晶圆检测的夹具机构，包括底座(1)、调节组件(2)和夹持组件(3)，其特征在于：所述底座(1)的顶端外壁上设置有调节组件(2)，所述底座(1)的外部设置有夹持组件(3)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测的夹具机构，其特征在于：所述调节组件(2)内部上设置有安装槽(21)、转轴(22)、第一齿轮(23)、第一旋转电机(24)、第二齿轮(25)、旋转台(26)、安装板(27)、第一滑槽(28)、丝杆(29)、第二旋转电机(210)、移动块(211)、第一支杆(212)、第一液压缸(213)、第一连杆(214)和第二液压缸(215)，所述底座(1)的内部上开设有安装槽(21)，所述安装槽(21)的底端内壁上镶嵌固定有第一旋转电机(24)，所述第一旋转电机(24)输出轴的一端上套接固定有第二齿轮(25)，所述底座(1)的顶端外壁上转动安装有转轴(22)，所述转轴(22)位于安装槽(21)内部的外壁上套接固定有第一齿轮(23)，且第一齿轮(23)与第二齿轮(25)相互啮合，所述转轴(22)的顶端外壁上焊接有旋转台(26)，所述旋转台(26)的顶端外壁上焊接有安装板(27)，所述安装板(27)的一侧外壁上开设有第一滑槽(28)，所述第一滑槽(28)的内壁上转动安装有丝杆(29)，所述安装板(27)的顶端外壁上对应丝杆(29)螺栓固定有第二旋转电机(210)，且第二旋转电机(210)输出轴的一端与丝杆(29)的顶端相互焊接，所述丝杆(29)位于第一滑槽(28)内部的外壁上套接有移动块(211)，且移动块(211)与丝杆(29)螺纹连接，所述移动块(211)的一侧外壁上焊接有第一支杆(212)，所述第一支杆(212)的另一端外壁上转动安装有第一连杆(214)，所述第一支杆(212)的底端外壁上安装固定有第一液压缸(213)，且第一液压缸(213)伸缩轴的一端转动安装于第一连杆(214)的底端外壁上。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测的夹具机构，其特征在于：所述夹持组件(3)内部上设置有空心安装盘(31)、第三旋转电机(32)、转盘(33)、斜槽(34)、滑孔(35)、Z型夹持杆(36)、第二滑槽(37)、第二滑块(38)、挤压杆(39)、弹簧(310)、T型滑槽(311)和T型滑块(312)，所述第一连杆(214)的另一端外壁上转动安装有空心安装盘(31)，所述空心安装盘(31)的顶端内壁上螺栓固定有第三旋转电机(32)，所述第三旋转电机(32)输出轴的一端上套接固定有转盘(33)，所述转盘(33)的顶端外壁上分布开设有斜槽(34)，所述空心安装盘(31)的底端外壁上对应斜槽(34)贯通开设有滑孔(35)，所述滑孔(35)的内部上安装有Z型夹持杆(36)，所述滑孔(35)的内壁上对称开设有第二滑槽(37)，所述Z型夹持杆(36)的外壁上对应第二滑槽(37)焊接有第二滑块(38)，且第二滑块(38)的外壁与第二滑槽(37)的内壁贴合，所述Z型夹持杆(36)的一侧外壁上安装有挤压杆(39)，所述挤压杆(39)的一侧外壁上焊接有弹簧(310)，且弹簧(310)的另一端焊接与Z型夹持杆(36)的一侧外壁上。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆检测的夹具机构，其特征在于：所述第一连杆(214)的底端外壁上安装固定有第二液压缸(215)，且第二液压缸(215)的另一端转动安装于空心安装盘(31)的一侧外壁上。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆检测的夹具机构，其特征在于：所述挤压杆(39)的顶端外壁上焊接有T型滑块(312)，所述Z型夹持杆(36)的外壁上对应T型滑块(312)开设有T型滑槽(311)，且T型滑块(312)的外壁与T型滑槽(311)的内壁贴合。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆检测的夹具机构，其特征在于：所述斜槽(34)、滑孔(35)、Z型夹持杆(36)和挤压杆(39)的个数有四个。

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