CN211957610U - 一种取料装置及半导体制造设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种取料装置及半导体制造设备；所述取料装置包括底座、可向上转动设置在所述底座上的手臂，所述底座上设置有水平支撑面，还包括用于检测所述手臂是否离开所述水平支撑面的检测传感器，通过检测传感器检测手臂的位置，当取料手臂工作异常时及时发出警报，避免了因手臂操作异常而导致批量损坏半导体产品。

Description

一种取料装置及半导体制造设备

技术领域

本实用新型一般涉及半导体制造领域，具体涉及一种取料装置及半导体制造设备。

背景技术

在半导体制造业中，大量设备从料架中取出半导体产品时需使用自动化手臂，当手臂行程出现问题后易出现取料高度变化，可能导致手臂刮伤半导体产品表面，出现刮伤后机台及人无法第一时间发现，往往在发现异常时已刮伤整批甚至多批的半导体产品。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本实用新型公布了一种取料装置及半导体制造设备，当手臂行程发生变化时，该取料装置可以在第一时间发出警报，提醒操作人员，有效的避免了手臂批量刮伤半导体产品。

第一方面，本实用新型所提供的一种取料装置包括底座、可向上转动设置在所述底座上的手臂，所述底座上设置有水平支撑面，所述手臂支撑于所述水平支撑面；还包括用于检测所述手臂是否离开所述水平支撑面的检测传感器。

进一步的，所述检测传感器设置在底座上且位于所述手臂正下方的，所述检测传感器为近接开关、行程开关、微动开关中的任意一种。

进一步地，所述检测传感器固定在所述底座上且位于所述手臂的左右两侧，所述检测传感器为对射传感器。

进一步地，所述底座上沿所述手臂的长度方向设置有多个用于固定所述检测传感器的固定装置。

进一步地，所述检测传感器设置在所述手臂上；所述检测传感器为近接开关、行程开关、微动开关中的任意一种。

进一步地，所述底座上沿所述手臂的长度方向设置有多个用于固定所述检测传感器的固定装置。

进一步地，还包括连接所述检测传感器的报警装置，当所述检测传感器检测到所述手臂离开所述水平支撑面时触发所述报警器发出报警信号。

进一步地，所述报警装置为声报警装置或所述报警装置为光报警装置。

进一步地，所述底座和所述手臂之间设置有手臂底座，所述手臂底座固定设置在所述底座上，所述手臂转动设置在所述手臂底座上。

第二方面，本申请还公开了一种半导体制造设备，所述设备上设置有以上任一所述的取料装置，利用所述取料装置取出放置在料架上的半导体产品。

有益效果

本实用新型公开了一种取料装置，包括底座、可向上转动设置在所述底座上的手臂，所述底座上设置有水平支撑面，所述手臂支撑于所述水平支撑面；还包括用于检测所述手臂是否离开所述水平支撑面的检测传感器，通过设置可向上翻转的手臂可以降低手臂刮到半导体产品时对产品表面的损害，通过设置所述检测传感器检测所述手臂是否向上翻转，当所述手臂向上反转时所述检测传感器可以第一时间检测到发出报警，从而避免了批量刮伤半导体产品。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型的实施例的整体结构示意图；

图2为图1中的俯视图；

图3为本实用新型的另一种实施例的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

第一方面，参考图1-图3，本实用新型包括底座10、可向上转动设置在所述底座10上的手臂20，所述底座10上设置有水平支撑面11，所述手臂20支撑于所述水平支撑面11；还包括用于检测所述手臂20是否离开所述水平支撑面11的检测传感器30。

具体的，当手臂20处于正常工作状态时，手臂20水平支撑与水平支撑面11上，当用手臂20插取半导体产品时，由于取料单元的高度行程发生错误，导致手臂20插取半导体产品时所述手臂20的高度与半导体产品的高度重合时，会导致手臂20碰撞后刮到半导体产品，由于手臂20转动设置在底座10上，所以手臂10在触碰半导体产品时可以向上转动，达到降低对半导体产品的损坏程度，进一步地，当手臂10发生向上转动时检测传感器30可以检测到手臂10的动作，及时进行反馈，提醒工作人员对设备进行检查，避免了批量刮伤产品的质量事故发生。

参照图1,所述检测传感器30设置在底座10上且位于所述手臂20的正下方，所述检测传感器30为近接开关、行程开关、微动开关中的任意一种。

具体的，检测传感器30为近接开关、行程开关、微动开关中的任意一种，将检测传感器30向下设置在手臂20的下方，或设置在底座10上，在取料单元正常工作时，手臂20压在检测传感器30的上方，检测传感器30处于断开状态，当手臂20向上转动时，手臂20离开检测传感器30，检测传感器处于接通状态，触发相应的报警装置，发出警报，可以调整近接开关、行程开关、微动开关的触发行程或检测传感器的固定位置来调整触发警报装置的灵敏度。

参照图3，作为另一种可实时的方式，所述检测传感器30固定在所述底座10上且位于所述手臂20的左右两侧，所述检测传感器30为对射传感器。

具体的，当手臂20处于正常状态时，手臂20处于对射传感器的中间，遮挡了信号的传递，当手臂20发生转动时，手臂不能对对射传感器遮挡，对射传感器接通触发报警装置发出警报。

参考图1，所述底座10上沿所述手臂20的长度方向上设置有多个固定装置12，固定装置可以为设置在底座10上的孔，通过将检测传感器30设置在固定装置内，通过设置多个固定装置20来调整检测传感器30的位置，应该以理解的，手臂20发生转动幅度相同时，越远离转动轴21的位置手臂20相对于水平支撑面11的位移量越大，通过设置调整检测传感器30的位置来达到调整灵敏度的目的。

作为另一种可实施方式，所述检测传感器30设置在所述手臂20上，所述检测传感器30为近接开关、行程开关、微动开关中的任意一种。其工作方式与上述检测传感器30设置在底座10上且位于所述手臂20的下方的工作原理一致，此处不再一一赘述。

进一步的，通过在手臂20的下表面沿手臂20的长度方向设置多个孔(图中未示出)来固定检测传感器30并调整设备的感应灵敏度；或者通过或在手臂的侧面设置多个孔或螺栓等装置来固定检测传感器30并调整设备的灵敏度。

进一步地，所述报警装置为声报警装置或所述报警装置为光报警装置，当取料单元的行程发生错误时触发感应传感器，感应传感器触发报警器发出报警信号，发出声报警信号或光报警信号，及时提醒操作人员对设备进行检查，避免了手臂20批量划伤半导体产品的情况发生。

参考图1-图3，所述底座10和所述手臂20之间设置有手臂底座21，所述手臂底座21固定设置在所述底座10上，所述手臂20转动设置在所述手臂底座21上。

具体的，手臂底座21固定设置在底座10上，手臂20转动设置在手臂底座21上，手臂20与手臂底座21可以通过合页装置40连接，也可以通过铰接方式连接、通过销连接等方式连接，可以使手臂20可以相对手臂底座21向上转动。

所述设备上设置有以上任一所述的取料装置，利用所述取料装置取出放置在料架上的半导体产品。

具体的，将取料单元设置在设备上，通过取料装置取出放置在料架上的半导体产品，然后将半导体产品放置在相应的工位，使设备完成对半导体产品的生产，此外，除了声光报警的方式外，报警信号还可以为一些报警代码，当触发报警传感器时，设备除了声光报警信号外，还可以生成相应的报警代码，显示在设备的显示屏上，使操作人员根据报警代码可以快速地确定设备因何报警，从而能够快速的排出故障，节约故障排除时间提高工作效率，此外，如图2、图3所示，手臂20的取料部21位可以根据半导体产品的形状接结构而设置为不同的结构，有利于快速准确地取出半导体产品。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本实用新型中所涉及的实用新型范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (10)

1.一种取料装置，其特征在于，包括底座、可向上转动设置在所述底座上的手臂，所述底座上设置有水平支撑面，所述手臂支撑于所述水平支撑面；

还包括用于检测所述手臂是否离开所述水平支撑面的检测传感器。

2.根据权利要求1所述的一种取料装置，其特征在于，所述检测传感器设置在所述底座上且位于所述手臂正下方，所述检测传感器为近接开关、行程开关、微动开关中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的一种取料装置，其特征在于，所述检测传感器固定在所述底座上且位于所述手臂的左右两侧，所述检测传感器为对射传感器。

4.根据权利要求2或3任一所述的一种取料装置，其特征在于，所述底座上沿所述手臂的长度方向设置有多个用于固定所述检测传感器的固定装置。

5.根据权利要求1所述的一种取料装置，其特征在于，所述检测传感器设置在所述手臂上；所述检测传感器为近接开关、行程开关、微动开关中的任意一种。

6.根据权利要求5所述的一种取料装置，其特征在于，所述手臂上沿其长度方向设置有多个用于固定所述检测传感器的固定装置。

7.根据权利要求1所述的一种取料装置，其特征在于，还包括连接所述检测传感器的报警装置，当所述检测传感器检测到所述手臂离开所述水平支撑面时触发所述报警装置发出报警信号。

8.根据权利要求7所述的一种取料装置，其特征在于，所述报警装置为声报警装置或所述报警装置为光报警装置。

9.根据权利要求1-3、6-8任一所述的一种取料装置，其特征在于，所述底座和所述手臂之间设置有手臂底座，所述手臂底座固定设置在所述底座上，所述手臂转动设置在所述手臂底座上。

10.一种半导体制造设备，其特征在于，所述设备上设置有如权利要求1-9任一所述的取料装置，利用所述取料装置取出放置在料架上的半导体产品。

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