CN211913013U - 抛光机漫流过滤盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及机械技术领域。抛光机漫流过滤盘，包括一中空外壳、一进液管以及排液管；还包括一用于上下分隔中空外壳内腔的漫流盘，漫流盘的外边缘开设有出液孔，漫流盘上沿着径向从内至外依次设置有至少两个外凸部，外凸部为首尾相连的封闭状结构；还包括至少三个纵向排布的挡流管，挡流管首尾相连，挡流管固定在中空外壳的内壁；挡流管设置在所述中空外壳内位于所述漫流盘下方的区域。本专利通过在漫流盘减缓抛光液流速，途中大颗粒杂质在重力的作用下，被外凸部进行阻挡，进而沉降在漫流盘上，抛光液经漫流盘外边缘的出液孔流出；通过挡流管，实现对抛光液的第二级激荡汇流，使抛光液中抛光颗粒SiO2搅拌均匀并加速从排液管中流出。
Description
技术领域
本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及抛光机抛光液循环用过滤装置。
背景技术
抛光是硅片生产加工过程中必不可少的工序。
抛光液因为使用量大，一般会采用抛光液循环系统对抛光液进行回收使用。目前，抛光液循环系统往往采用尼龙过滤网进行过滤，来实现抛光颗粒的回收。
当过滤网的目数大到1000目时，过滤网很容易阻塞。当过滤网的目数小于1000目时，对13μm以下的颗粒不能过滤，而需要回收的抛光颗粒为10nm，这种小于1000目的过滤网，过滤精度不佳，未过滤掉的大颗粒会划伤硅片。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题，本实用新型提供抛光机漫流过滤盘，以解决上述至少一个技术问题。
本实用新型的技术方案是：抛光机漫流过滤盘，其特征在于，包括一中空外壳、一用于导入抛光液的进液管以及用于导出抛光液的排液管，所述进液管安装在所述中空外壳的顶部，所述进液管伸入所述中空外壳内，所述排液管安装在所述中空外壳的底部，且与所述中空外壳的内腔导通；
还包括一用于上下分隔中空外壳内腔的漫流盘，所述漫流盘固定在中空外壳内，且设置在所述进液管与所述排液管之间，所述漫流盘的外边缘开设有出液孔，所述漫流盘上沿着径向从内至外依次设置有至少两个用于阻挡抛光液中的大颗粒的外凸部，所述外凸部为首尾相连的封闭状结构；
还包括至少三个纵向排布且用于搅拌出液孔导出的抛光液的挡流管，所述挡流管首尾相连，所述挡流管固定在所述中空外壳的内壁；
所述中空外壳位于所述漫流盘下方区域的内壁的横截面面积从上至下递减；
所述挡流管设置在所述中空外壳内位于所述漫流盘下方的区域。
本专利通过在漫流盘减缓抛光液流速，途中大颗粒杂质在重力的作用下，被外凸部进行阻挡，进而沉降在漫流盘上，抛光液经漫流盘外边缘的出液孔流出；通过挡流管，实现对抛光液的第二级激荡汇流，使抛光液中抛光颗粒SiO2搅拌均匀并加速从排液管中流出。
本装置用于小于1000目的过滤网过滤后的抛光液的二次过滤，保证过滤精度。使用方法：抛光液循环系统对抛光液采用小于1000目的过滤网过滤后的抛光液的一次过滤后，导入本装置进行二次过滤。
进一步优选的，所述中空外壳位于所述漫流盘下方区域的内壁呈上宽下窄的圆锥状；
所述挡流管呈圆环状。
进而实现对抛光液的二次激荡汇流。
进一步优选的，所述挡流管设有三个。
进一步优选的，所述挡流管与所述中空外壳的内壁围成依次开口向上的环状容纳槽。
便于实现大颗粒的沉降容纳。
进一步优选的，所述挡流管的断面呈圆形。
进一步优选的，所述出液孔设有至少8个，所有的出液孔等间隔呈环状排布在漫流盘的外边缘。
便于保证出液均匀性。
进一步优选的，所述漫流盘的上表面的竖直方向上的断面呈波浪状。
便于实现对大颗粒的多次阻挡。
进一步优选的，所述中空外壳包括上下设置的上壳以及下壳，所述上壳与下壳可拆卸连接。
便于实现对中空外壳内部的清洗。
进一步优选的，所述上壳包括圆锥状的第一上部以及环状的第一下部；
所述下壳包括环状的第二上部以及圆锥状的第二下部；
所述漫流盘限位固定在所述第一上部与所述第二上部之间。
便于实现对漫流盘的限位固定。
或者，所述中空外壳可以包括从上至下依次设置的上壳、中壳以及下壳，所述上壳与所述中壳可拆卸连接，所述中壳与所述下壳可拆卸连接；
所述下壳呈上宽下窄的圆锥状，所述排液管固定在所述下壳；
所述进液管固定在所述上壳；
所述漫流盘固定在中壳，
所述挡流管固定在下壳。
便于对中空外壳内部的清洗。
附图说明
图1为本实用新型的一种抛光液导流示意图；
图2为本实用新型漫流盘的俯视图。
图中：1为漫流盘，2为中空外壳，3为进液管，4为挡流管，5为排液管，6为出液孔，7为外凸部。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
参见图1至图2，抛光机漫流过滤盘，包括一中空外壳2、一用于导入抛光液的进液管3以及用于导出抛光液的排液管5，进液管3安装在中空外壳2的顶部，进液管3伸入中空外壳2内，排液管5安装在中空外壳2的底部，且与中空外壳2的内腔导通。
还包括一用于上下分隔中空外壳2内腔的漫流盘1，漫流盘1固定在中空外壳2内，且设置在进液管3与排液管5之间，漫流盘1的外边缘开设有出液孔6，漫流盘1上沿着径向从内至外依次设置有至少两个用于阻挡抛光液中的大颗粒的外凸部7，外凸部7为首尾相连的封闭状结构。
还包括至少三个纵向排布且用于搅拌出液孔6导出的抛光液的挡流管4，挡流管4首尾相连，挡流管4固定在中空外壳2的内壁；中空外壳2位于漫流盘1下方区域的内壁的横截面面积从上至下递减；挡流管4设置在中空外壳2内位于漫流盘1下方的区域。
本专利通过在漫流盘1减缓抛光液流速，途中大颗粒杂质在重力的作用下，被外凸部7进行阻挡，进而沉降在漫流盘1上，抛光液经漫流盘1外边缘的出液孔6流出；通过挡流管4，实现对抛光液的第二级激荡汇流，使抛光液中抛光颗粒SiO2搅拌均匀并加速从排液管5中流出。
本装置用于小于1000目的过滤网过滤后的抛光液的二次过滤，保证过滤精度。使用方法：抛光液循环系统对抛光液采用小于1000目的过滤网过滤后的抛光液的一次过滤后，导入本装置进行二次过滤。
中空外壳2位于漫流盘1下方区域的内壁呈上宽下窄的圆锥状；挡流管4呈圆环状。进而实现对抛光液的二次激荡汇流。挡流管4设有三个。挡流管4与中空外壳1的内壁围成依次开口向上的环状容纳槽。便于实现大颗粒的沉降容纳。挡流管的断面呈圆形。
出液孔6设有至少8个，所有的出液孔6等间隔呈环状排布在漫流盘1的外边缘。便于保证出液均匀性。
漫流盘1的上表面的竖直方向上的断面呈波浪状。便于实现对大颗粒的多次阻挡。
中空外壳2可以包括上下设置的上壳以及下壳，上壳与下壳可拆卸连接。便于实现对中空外壳2内部的清洗。上壳和下壳螺纹连接。也可以采用其他可拆卸方式。上壳可以包括圆锥状的第一上部以及环状的第一下部。第一上部与第一下部固定连接。下壳可以包括环状的第二上部以及圆锥状的第二下部；漫流盘1限位固定在第一上部与第二上部之间。第二上部与第二下部固定连接。漫流盘被上壳和下壳夹持固定。便于实现对漫流盘1的限位固定。进液管固定在上壳。排液管固定在下壳。
或者，中空外壳2可以包括从上至下依次设置的上壳、中壳以及下壳，上壳与中壳可拆卸连接，中壳与下壳可拆卸连接。漫流盘固定在中壳，挡流管固定在下壳。进液管固定在上壳。排液管固定在下壳。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (8)
1.抛光机漫流过滤盘，其特征在于，包括一中空外壳、一用于导入抛光液的进液管以及用于导出抛光液的排液管，所述进液管安装在所述中空外壳的顶部，所述进液管伸入所述中空外壳内，所述排液管安装在所述中空外壳的底部，且与所述中空外壳的内腔导通；
还包括一用于上下分隔中空外壳内腔的漫流盘，所述漫流盘固定在中空外壳内，且设置在所述进液管与所述排液管之间，所述漫流盘的外边缘开设有出液孔，所述漫流盘上沿着径向从内至外依次设置有至少两个用于阻挡抛光液中的大颗粒的外凸部，所述外凸部为首尾相连的封闭状结构；
还包括至少三个纵向排布且用于搅拌出液孔导出的抛光液的挡流管，所述挡流管首尾相连，所述挡流管固定在所述中空外壳的内壁；
所述中空外壳位于所述漫流盘下方区域的内壁的横截面面积从上至下递减；
所述挡流管设置在所述中空外壳内位于所述漫流盘下方的区域。
2.根据权利要求1所述的抛光机漫流过滤盘，其特征在于：所述中空外壳位于所述漫流盘下方区域的内壁呈上宽下窄的圆锥状；
所述挡流管呈圆环状。
3.根据权利要求2所述的抛光机漫流过滤盘，其特征在于：所述挡流管与所述中空外壳的内壁围成依次开口向上的环状容纳槽。
4.根据权利要求1所述的抛光机漫流过滤盘，其特征在于：所述出液孔设有至少8个，所有的出液孔等间隔呈环状排布在漫流盘的外边缘。
5.根据权利要求1所述的抛光机漫流过滤盘，其特征在于：所述漫流盘的上表面的竖直方向上的断面呈波浪状。
6.根据权利要求1所述的抛光机漫流过滤盘，其特征在于：所述中空外壳包括上下设置的上壳以及下壳，所述上壳与下壳可拆卸连接。
7.根据权利要求6所述的抛光机漫流过滤盘，其特征在于：所述上壳包括圆锥状的第一上部以及环状的第一下部；
所述下壳包括环状的第二上部以及圆锥状的第二下部；
所述漫流盘限位固定在所述第一上部与所述第二上部之间。
8.根据权利要求1所述的抛光机漫流过滤盘，其特征在于：所述中空外壳包括从上至下依次设置的上壳、中壳以及下壳，所述上壳与所述中壳可拆卸连接，所述中壳与所述下壳可拆卸连接；
所述下壳呈上宽下窄的圆锥状，所述排液管固定在所述下壳；
所述进液管固定在所述上壳；
所述漫流盘固定在所述中壳，
所述挡流管固定在所述下壳。
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2020
- 2020-02-25 CN CN202020206233.8U patent/CN211913013U/zh active Active
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