CN211760653U

CN211760653U - 一种晶圆抛光装置

Info

Publication number: CN211760653U
Application number: CN201921908868.6U
Authority: CN
Inventors: 潘国刚; 段勇
Original assignee: Jiangsu Yingrui Semiconductor Co ltd
Current assignee: Jiangsu Yingrui Semiconductor Co ltd
Priority date: 2019-11-07
Filing date: 2019-11-07
Publication date: 2020-10-27
Anticipated expiration: 2029-11-07

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆抛光装置，包括抛光台，所述抛光台下部固定设置有底箱，所述抛光台上部固定设置有上板，所述底箱与上板之间固定连接有后板，所述底箱上表面中部位置固定设置有承台，所述承台内部固定设置有托板，所述上板上表面中部位置固定设置有第一气缸，所述第一气缸贯穿上板上表面中部位置固定连接下部第一伸缩杆，所述第一伸缩杆下端固定连接有连接盘。本实用新型中，放置位置设为槽形，使圆晶片表面整体暴露，便于整面抛光，槽深可直接设置抛光后圆晶片厚度，托板连有气缸，实现圆晶片顶出作业，实现抛光后圆晶片简卸作业，抛光盘底面间接式抛光片设置，各抛光片间有抛光槽，抛光槽内设注液口，实现抛光注液，抛光效率相对较高。

Description

一种晶圆抛光装置

技术领域

本实用新型涉及抛光领域，尤其涉及一种晶圆抛光装置。

背景技术

众所周知，晶圆抛光设备是一种用于降低晶圆表面粗糙度的设备，其在晶圆制造的领域中得到了广泛的使用，现有的晶圆抛光设备包括工作台、夹紧设备和抛光轮，夹紧设备顶侧壁与工作台顶侧壁连接，抛光轮位于工作台上方，现有的晶圆抛光设备使用时，使用者将夹紧设备安装在工作台上，使用夹紧设备将需抛光物品夹紧，使用抛光轮打磨即可。

现有的抛光设备使用，需要对圆晶进行夹持作业，这就导致一次抛光作业无法使圆晶整体表面抛光，抛光精度一般以抛光盘上下移动距离为参照，这种方式无法保证移动距离的精确性，从而无法简易的实现圆晶厚度的对比，需要借助人工或其他机械进行供液处理，操作过程繁琐，损耗成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆抛光装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶圆抛光装置，包括抛光台，所述抛光台下部固定设置有底箱，所述抛光台上部固定设置有上板，所述底箱与上板之间固定连接有后板，所述底箱上表面中部位置固定设置有承台，所述承台内部固定设置有托板，所述上板上表面中部位置固定设置有第一气缸，所述第一气缸贯穿上板上表面中部位置固定连接下部第一伸缩杆，所述第一伸缩杆下端固定连接有连接盘，所述连接盘上表面中部位置固定连接有电机，所述电机制动端贯穿连接盘上表面固定连接下部抛光盘，所述抛光盘大小与连接盘相同，所述抛光盘位置与承台相互对应，所述连接盘一侧端部位置固定连接有注液对接管。

进一步地，所述承台内部固定设置有卡槽，所述卡槽内部固定连接有托板，所述承台下部固定设置有对接口，所述托板下表面位置固定设置有连接柱，所述连接柱贯穿对接口中部位置。

进一步地，所述底箱上表面中部位置固定设置有四个对接槽，所述对接槽与对接口对应设置，且对接口外径大小与对接槽内径大小相同。

进一步地，所述底箱内部设置为中空，所述底箱内部下表面中部位置固定设置有第二气缸，所述第二气缸上端固定连接有第二伸缩杆，所述第二伸缩杆上端与对接口对应设置。

进一步地，所述第一伸缩杆在连接盘上表面圆周上等距设置有四个，所述电机连接于四个第一伸缩杆中部位置，所述第二伸缩杆上部结构与第一伸缩杆下部结构设置为相同。

进一步地，所述抛光盘下表面沿中心位置四周等距设置有多个抛光片，各所述抛光片之间固定设置有抛光槽，所述抛光槽内表面固定设置有注液口，所述注液口与注液对接管间接连通。

进一步地，所述承台的大小与抛光盘的大小相同，且抛光盘与承台上下对应设置。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型上部放置圆晶片位置处设置为槽形，可以使圆晶片上表面整体暴露，便于直接整面抛光，槽深调节可以直接设置抛光后圆晶片厚度。

2、本实用新型承台内部托板直接连接有气缸，可以实现圆晶片的顶出作业，实现抛光后圆晶片简卸作业。

3、本实用新型上部抛光盘底面间接式抛光片设置，各抛光片之间设置有抛光槽，抛光槽内部设置有注液口，实现抛光注液作业，且抛光效率相对较高。

附图说明

图1为一种晶圆抛光装置的主视图；

图2为一种晶圆抛光装置的承台结构示意图；

图3为一种晶圆抛光装置的底箱内部结构示意图；

图4为一种晶圆抛光装置的抛光盘结构示意图。

图例说明：

1、抛光台；2、底箱；3、后板；4、上板；5、承台；6、第一气缸；7、第一伸缩杆；8、连接盘；9、抛光盘；10、电机；11、注液对接管；12、卡槽；13、托板；14、对接口；15、连接柱；16、对接槽；17、第二气缸；18、第二伸缩杆；19、抛光片；20、抛光槽；21、注液口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

参照图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种晶圆抛光装置，包括抛光台1，抛光台1下部固定设置有底箱2，提供工作平台，抛光台1上部固定设置有上板4，提供连接位置，底箱2与上板4之间固定连接有后板3，实现整体连接，底箱2上表面中部位置固定设置有承台5，托承晶片的作用，承台5内部固定设置有托板13，直接对圆晶托覆作业，上板4上表面中部位置固定设置有第一气缸6，制动作用，第一气缸6贯穿上板4上表面中部位置固定连接下部第一伸缩杆7，第一伸缩杆7下端固定连接有连接盘8，连接盘8上表面中部位置固定连接有电机10，提供转动制动，电机10制动端贯穿连接盘8上表面固定连接下部抛光盘9，提供抛光主体，抛光盘9大小与连接盘8相同，抛光盘9位置与承台5相互对应，实现整体结构对应性，连接盘8一侧端部位置固定连接有注液对接管11，实现抛光液的对接。

承台5内部固定设置有卡槽12，卡置圆晶，卡槽12内部固定连接有托板13，承台5下部固定设置有对接口14，托板13下表面位置固定设置有连接柱15，连接柱15贯穿对接口14中部位置，可以实现相对移动，底箱2上表面中部位置固定设置有四个对接槽16，对接槽16与对接口14对应设置，对应连接作业，且对接口14外径大小与对接槽16内径大小相同，底箱2内部设置为中空，提供连接空间，底箱2内部下表面中部位置固定设置有第二气缸17，第二气缸17上端固定连接有第二伸缩杆18，第二伸缩杆18上端与对接口14对应设置，实现托板13的上下移动作业，第一伸缩杆7在连接盘8上表面圆周上等距设置有四个，保证稳定性，电机10连接于四个第一伸缩杆7中部位置，第二伸缩杆18上部结构与第一伸缩杆7下部结构设置为相同，抛光盘9下表面沿中心位置四周等距设置有多个抛光片19，各抛光片19之间固定设置有抛光槽20，抛光槽20内表面固定设置有注液口21，实现抛光液的使用，注液口21与注液对接管11间接连通，承台5的大小与抛光盘9的大小相同，且抛光盘9与承台5上下对应设置，保证结构统一性。

工作原理：在进行圆晶抛光作业时，将圆晶片置于承台5内部的卡槽12内，通过启动第二气缸17带动第二伸缩杆18调节托板13在卡槽12内部的高度，实现抛光后晶片所需厚度的调节，放置完成后，启动第一气缸6，使第一伸缩杆7带动连接盘8向下移动，启动电机10使抛光盘9开始转动，同时向注液对接管11接入抛光液体，在第一伸缩杆7带动抛光盘9与下部圆晶接触后，抛光液和抛光盘9的旋转使晶圆开始抛光，抛光完成后第一气缸6带动第一伸缩杆7和抛光盘9向上部移动，同时第二气缸17可以使托板13向上移动，从而实现圆晶片的顶出作业，抛光作业完成。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解，上述实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims

1.一种晶圆抛光装置，包括抛光台（1），其特征在于：所述抛光台（1）下部固定设置有底箱（2），所述抛光台（1）上部固定设置有上板（4），所述底箱（2）与上板（4）之间固定连接有后板（3），所述底箱（2）上表面中部位置固定设置有承台（5），所述承台（5）内部固定设置有托板（13），所述上板（4）上表面中部位置固定设置有第一气缸（6），所述第一气缸（6）贯穿上板（4）上表面中部位置固定连接下部第一伸缩杆（7），所述第一伸缩杆（7）下端固定连接有连接盘（8），所述连接盘（8）上表面中部位置固定连接有电机（10），所述电机（10）制动端贯穿连接盘（8）上表面固定连接下部抛光盘（9），所述抛光盘（9）大小与连接盘（8）相同，所述抛光盘（9）位置与承台（5）相互对应，所述连接盘（8）一侧端部位置固定连接有注液对接管（11）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光装置，其特征在于：所述承台（5）内部固定设置有卡槽（12），所述卡槽（12）内部固定连接有托板（13），所述承台（5）下部固定设置有对接口（14），所述托板（13）下表面位置固定设置有连接柱（15），所述连接柱（15）贯穿对接口（14）中部位置。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光装置，其特征在于：所述底箱（2）上表面中部位置固定设置有四个对接槽（16），所述对接槽（16）与对接口（14）对应设置，且对接口（14）外径大小与对接槽（16）内径大小相同。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光装置，其特征在于：所述底箱（2）内部设置为中空，所述底箱（2）内部下表面中部位置固定设置有第二气缸（17），所述第二气缸（17）上端固定连接有第二伸缩杆（18），所述第二伸缩杆（18）上端与对接口（14）对应设置。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆抛光装置，其特征在于：所述第一伸缩杆（7）在连接盘（8）上表面圆周上等距设置有四个，所述电机（10）连接于四个第一伸缩杆（7）中部位置，所述第二伸缩杆（18）上部结构与第一伸缩杆（7）下部结构设置为相同。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光装置，其特征在于：所述抛光盘（9）下表面沿中心位置四周等距设置有多个抛光片（19），各所述抛光片（19）之间固定设置有抛光槽（20），所述抛光槽（20）内表面固定设置有注液口（21），所述注液口（21）与注液对接管（11）间接连通。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆抛光装置，其特征在于：所述承台（5）的大小与抛光盘（9）的大小相同，且抛光盘（9）与承台（5）上下对应设置。