CN211741035U - 一种用于半导体设备的光学检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于半导体设备的光学检测装置，包括光学检测仪本体，所述光学检测仪本体的底端一侧安装有两个万向脚轮，且光学检测仪本体的底端另一侧设置有两个方管支腿，所述方管支腿的顶部设置有阻尼合页，且方管支腿通过阻尼合页活动安装在光学检测仪本体上，所述方管支腿的底部设置有防滑座，且防滑座的上端外表面开设有矩形凹孔，所述方管支腿的上下两端均焊接连接有固定板，所述光学检测仪本体的侧面设置有两个定位机构，本实用新型所达到的有益效果是：利用可调节的方管支腿配合万向脚轮，既方便了光学检测仪的移动，也提高了光学检测仪的稳定性，且移动操作十分简单，同时显著提升了检测台的防尘性能，提高了检测结果的准确度。

Description

一种用于半导体设备的光学检测装置

技术领域

本实用新型涉及一种检测装置，特别涉及一种用于半导体设备的光学检测装置，属于半导体检测技术领域。

背景技术

半导体器件生产中，从半导体单晶片到制成最终成品，须经历数十甚至上百道工序，为了确保产品性能合格、稳定可靠，需要对成品进行检测，该检测的设备一般使用光学检测仪，光学检测仪是基于光学原理来对焊接生产中遇到的常见缺陷进行检测的设备，其基本原理是：机器通过摄像头自动扫描PCB，采集图像，测试的焊点与数据库中的合格的参数进行比较，经过图像处理，检查出PCB上的缺陷，并通过显示器或自动标志把缺陷显示或标示出来，供维修人员修整，目前的光学检测仪在使用时仍存在一定的不足之处，首先，目前的光学检测仪虽然在其底部安装有脚轮，但由于脚轮既能够滚动，也能够在水平方向上发生转动，因此就会导致光学检测仪的稳定性较差，不利于实际的使用，其次，光学检测仪的防尘效果较差，空气中的灰尘容易沉积到光学检测仪的检测台上，影响最终的检测结果。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，针对现有的光学检测仪稳定性较差以及防尘效果差的问题提供一种用于半导体设备的光学检测装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种用于半导体设备的光学检测装置，包括光学检测仪本体，所述光学检测仪本体的底端一侧安装有两个万向脚轮，且光学检测仪本体的底端另一侧设置有两个方管支腿，所述方管支腿的顶部设置有阻尼合页，且方管支腿通过阻尼合页活动安装在光学检测仪本体上，所述方管支腿的底部设置有防滑座，且防滑座的上端外表面开设有矩形凹孔，所述方管支腿的上下两端均焊接连接有固定板，所述光学检测仪本体的侧面设置有两个定位机构，且定位机构包括定位插销与限位凸块，所述定位插销上套接有第一销管、第二销管与第三销管，所述第一销管焊接连接在方管支腿的侧面，所述第二销管与第三销管均通过第一螺钉固定安装在光学检测仪本体上，所述限位凸块通过第二螺钉固定安装在光学检测仪本体上，所述定位插销的顶部焊接有第一把手杆，所述限位凸块的顶部开设有弧面槽，所述光学检测仪本体的侧面通过第三螺钉固定安装有第二把手杆，且光学检测仪本体上设置有防尘罩，所述防尘罩的顶部一侧设置有铰链，且防尘罩通过铰链活动安装在光学检测仪本体上。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述防滑座为塑料材质制成，且防滑座通过矩形凹孔套接在方管支腿的底部。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述防滑座的底端外表面所在平面与万向脚轮最低点所在平面相重合，且防滑座的底端外表面开设有若干互相交叉的防滑槽。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述弧面槽的槽宽大于第一把手杆的横截面直径，且弧面槽的长度小于第一把手杆的长度。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第二把手杆的外侧套接有橡胶套管，橡胶套管的外表面开设有若干防滑槽体。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述防尘罩的内表面通过紧固螺钉固定安装有若干防尘刷。

本实用新型所达到的有益效果是：

1、本实用新型通过设置方管支腿、阻尼合页、防滑座、矩形凹孔、固定板、定位机构、定位插销、限位凸块、第一销管、第二销管、第三销管、第一把手杆、弧面槽和第二把手杆，利用可调节的方管支腿配合万向脚轮，既方便了光学检测仪的移动，也提高了光学检测仪的稳定性，同时移动操作十分简单，实际使用效果好；

2、本实用新型通过设置防尘罩和铰链，利用防尘罩的作用实现对检测台的保护，避免了灰尘等的沉积，防尘效果显著提升，提高了检测结果的准确度。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。

在附图中：

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型中定位机构的侧视图；

图3是本实用新型中方管支腿的剖视图；

图4是本实用新型实施例二中防尘罩的结构图；

图5是本实用新型实施例二中防尘罩的侧视图。

图中：1、光学检测仪本体；2、万向脚轮；3、方管支腿；4、阻尼合页；5、防滑座；6、矩形凹孔；7、固定板；8、定位机构；9、定位插销；10、限位凸块；11、第一销管；12、第二销管；13、第三销管；14、第一把手杆；15、弧面槽；16、第二把手杆；17、防尘罩；18、铰链；19、防尘刷。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例一

如图1-3所示，本实用新型提供一种用于半导体设备的光学检测装置，包括光学检测仪本体1，光学检测仪本体1的底端一侧安装有两个万向脚轮2，且光学检测仪本体1的底端另一侧设置有两个方管支腿3，方管支腿3的顶部设置有阻尼合页4，且方管支腿3通过阻尼合页4活动安装在光学检测仪本体1上，方管支腿3的底部设置有防滑座5，且防滑座5的上端外表面开设有矩形凹孔6，方管支腿3的上下两端均焊接连接有固定板7，光学检测仪本体1的侧面设置有两个定位机构8，且定位机构8包括定位插销9与限位凸块10，定位插销9上套接有第一销管11、第二销管12与第三销管13，第一销管11焊接连接在方管支腿3的侧面，第二销管12与第三销管13均通过第一螺钉固定安装在光学检测仪本体1上，限位凸块10通过第二螺钉固定安装在光学检测仪本体1上，定位插销9的顶部焊接有第一把手杆14，限位凸块10的顶部开设有弧面槽15，光学检测仪本体1的侧面通过第三螺钉固定安装有第二把手杆16，且光学检测仪本体1上设置有防尘罩17，防尘罩17的顶部一侧设置有铰链18，且防尘罩17通过铰链18活动安装在光学检测仪本体1上。

防滑座5为塑料材质制成，塑料质地较软，能够防止地面出现划痕，且防滑座5通过矩形凹孔6套接在方管支腿3的底部，防滑座5的底端外表面所在平面与万向脚轮2最低点所在平面相重合，使得光学检测仪本体1能够在静置时保持水平，有利于半导体设备的检测，且防滑座5的底端外表面开设有若干互相交叉的防滑槽，弧面槽15的槽宽大于第一把手杆14的横截面直径，且弧面槽15的长度小于第一把手杆14的长度，使得第一把手杆14在放入到弧面槽15的内部后会有一部分凸出，从而便于人们向上拉动第一把手杆14，第二把手杆16的外侧套接有橡胶套管，橡胶套管的外表面开设有若干防滑槽体，橡胶套管配合防滑槽体可以增大手掌与第二把手杆16之间的摩擦力。

实施例二

如图1-5所示，本实用新型提供一种用于半导体设备的光学检测装置，包括光学检测仪本体1，光学检测仪本体1的底端一侧安装有两个万向脚轮2，且光学检测仪本体1的底端另一侧设置有两个方管支腿3，方管支腿3的顶部设置有阻尼合页4，且方管支腿3通过阻尼合页4活动安装在光学检测仪本体1上，方管支腿3的底部设置有防滑座5，且防滑座5的上端外表面开设有矩形凹孔6，方管支腿3的上下两端均焊接连接有固定板7，光学检测仪本体1的侧面设置有两个定位机构8，且定位机构8包括定位插销9与限位凸块10，定位插销9上套接有第一销管11、第二销管12与第三销管13，第一销管11焊接连接在方管支腿3的侧面，第二销管12与第三销管13均通过第一螺钉固定安装在光学检测仪本体1上，限位凸块10通过第二螺钉固定安装在光学检测仪本体1上，定位插销9的顶部焊接有第一把手杆14，限位凸块10的顶部开设有弧面槽15，光学检测仪本体1的侧面通过第三螺钉固定安装有第二把手杆16，且光学检测仪本体1上设置有防尘罩17，防尘罩17的顶部一侧设置有铰链18，且防尘罩17通过铰链18活动安装在光学检测仪本体1上。

防滑座5为塑料材质制成，塑料质地较软，能够防止地面出现划痕，且防滑座5通过矩形凹孔6套接在方管支腿3的底部，防滑座5的底端外表面所在平面与万向脚轮2最低点所在平面相重合，使得光学检测仪本体1能够在静置时保持水平，有利于半导体设备的检测，且防滑座5的底端外表面开设有若干互相交叉的防滑槽，弧面槽15的槽宽大于第一把手杆14的横截面直径，且弧面槽15的长度小于第一把手杆14的长度，使得第一把手杆14在放入到弧面槽15的内部后会有一部分凸出，从而便于人们向上拉动第一把手杆14，第二把手杆16的外侧套接有橡胶套管，橡胶套管的外表面开设有若干防滑槽体，橡胶套管配合防滑槽体可以增大手掌与第二把手杆16之间的摩擦力，防尘罩17的内表面通过紧固螺钉固定安装有若干防尘刷19，防尘刷19能够避免灰尘等通过防尘罩17与光学检测仪本体1之间的间隙进入到防尘罩17的内部。

具体的，使用本实用新型时，当需要对半导体设备进行检测时，直接夹紧防尘罩17并向上翻动，在铰链18的作用下，防尘罩17就会从光学检测仪本体1的前侧翻转至光学检测仪本体1的后侧，然后启动光学检测仪本体1，并将待检测的工件放置于光学检测仪本体1的检测台上，即可进行检测，检测的结果会显示在光学检测仪本体1的显示屏上，待检测完成后，取出工件，并重新盖好防尘罩17即可，防尘罩17避免了灰尘等的沉积，防尘效果显著提升，当需要对光学检测仪本体1进行移动时，人们可移动至第二把手杆16的一侧，然后手动握紧第一把手杆14并施加向上的拉力，使得定位插销9缓缓向上移动，当定位插销9的底部完全退出第一销管11后，继续上拉定位插销9，直至第一把手杆14的水平高度高于限位凸块10的高度，然后再转动第一把手杆14，使得第一把手杆14转动至弧面槽15的正上方，然后撤销作用在第一把手杆14上的拉力，第一把手杆14就会在重力作用下掉落至弧面槽15的内部，实现对定位插销9的定位，防止其重新插接到第一销管11的内部，然后手动握紧第二把手杆16并向上抬动，当方管支腿3与地面之间具有一定的距离后(此时整个光学检测仪本体1的重心向左偏移)，利用脚部向外拨动两个方管支腿3，在阻尼合页4的作用下，方管支腿3就会由原本的竖直状态缓缓转变成倾斜状态，然后可适当调整第二把手杆16的高度，以便将光学检测仪本体1的重心右移，方便人们掌控光学检测仪本体1，此时人们即可推动光学检测仪本体1，利用万向脚轮2实现光学检测仪本体1的移动，固定板7能够增大方管支腿3与光学检测仪本体1、防滑座5之间的接触面积，从而分散了压强，有利于保护光学检测仪本体1、防滑座5的安全，相较于实施例一，实施例二中通过设置的防尘刷19能够避免灰尘等通过防尘罩17与光学检测仪本体1之间的间隙进入到防尘罩17的内部，防尘效果更佳。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于半导体设备的光学检测装置，包括光学检测仪本体(1)，其特征在于，所述光学检测仪本体(1)的底端一侧安装有两个万向脚轮(2)，且光学检测仪本体(1)的底端另一侧设置有两个方管支腿(3)，所述方管支腿(3)的顶部设置有阻尼合页(4)，且方管支腿(3)通过阻尼合页(4)活动安装在光学检测仪本体(1)上，所述方管支腿(3)的底部设置有防滑座(5)，且防滑座(5)的上端外表面开设有矩形凹孔(6)，所述方管支腿(3)的上下两端均焊接连接有固定板(7)，所述光学检测仪本体(1)的侧面设置有两个定位机构(8)，且定位机构(8)包括定位插销(9)与限位凸块(10)，所述定位插销(9)上套接有第一销管(11)、第二销管(12)与第三销管(13)，所述第一销管(11)焊接连接在方管支腿(3)的侧面，所述第二销管(12)与第三销管(13)均通过第一螺钉固定安装在光学检测仪本体(1)上，所述限位凸块(10)通过第二螺钉固定安装在光学检测仪本体(1)上，所述定位插销(9)的顶部焊接有第一把手杆(14)，所述限位凸块(10)的顶部开设有弧面槽(15)，所述光学检测仪本体(1)的侧面通过第三螺钉固定安装有第二把手杆(16)，且光学检测仪本体(1)上设置有防尘罩(17)，所述防尘罩(17)的顶部一侧设置有铰链(18)，且防尘罩(17)通过铰链(18)活动安装在光学检测仪本体(1)上。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的光学检测装置，其特征在于，所述防滑座(5)为塑料材质制成，且防滑座(5)通过矩形凹孔(6)套接在方管支腿(3)的底部。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的光学检测装置，其特征在于，所述防滑座(5)的底端外表面所在平面与万向脚轮(2)最低点所在平面相重合，且防滑座(5)的底端外表面开设有若干互相交叉的防滑槽。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的光学检测装置，其特征在于，所述弧面槽(15)的槽宽大于第一把手杆(14)的横截面直径，且弧面槽(15)的长度小于第一把手杆(14)的长度。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的光学检测装置，其特征在于，所述第二把手杆(16)的外侧套接有橡胶套管，橡胶套管的外表面开设有若干防滑槽体。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体设备的光学检测装置，其特征在于，所述防尘罩(17)的内表面通过紧固螺钉固定安装有若干防尘刷(19)。

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