CN211603841U - 一种光刻机的取片装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种光刻机的取片装置，包括底座，所述底座上表面焊接有片盒，所述底座上表面焊接有安装块，所述安装块与片盒侧壁焊接，所述安装块为空心结构，所述安装块内通过轴承转动连接有转动轴，所述转动轴两端均过盈配合有齿轮，所述齿轮啮合有第一齿条，所述第一齿条与安装块顶壁贯穿滑动连接，所述第一齿条位于安装块外部的一端焊接有挡板，所述挡板与安装块上表面之间固定连接有弹簧，所述齿轮啮合有第二齿条，所述第二齿条与所述安装块和片盒侧壁贯穿滑动连接。本实用新型可以在取片过程中保证片盒内的硅片不被灰尘污染，保障了优质的光刻效果，同时可以对不同厚度的硅片进行夹持，具有更强实用性。
Description
技术领域
本实用新型涉及光刻机辅助装置技术领域，尤其涉及一种光刻机的取片装置。
背景技术
在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机(曝光机)。光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。而光刻机的光刻过程中，需要利用取片装置将片盒中的硅片逐片取出，而然后在传递给其他的送片机构，最后将硅片送光刻工位光刻，光刻完成后，又需要通过取片装置将硅片回送至片盒中。
现有技术中，现有的取片装置在取片的过程中，片盒一般都是敞口放置，敞口放置可能会导致硅片表面沾染灰尘，从而导致光刻效果较差，且现有的取片装置不能适用于各种不同厚度硅片的取放。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种光刻机的取片装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种光刻机的取片装置，包括底座，所述底座上表面焊接有片盒，所述底座上表面焊接有安装块，所述安装块与片盒侧壁焊接，所述安装块为空心结构，所述安装块内通过轴承转动连接有转动轴，所述转动轴两端均过盈配合有齿轮，所述齿轮啮合有第一齿条，所述第一齿条与安装块顶壁贯穿滑动连接，所述第一齿条位于安装块外部的一端焊接有挡板，所述挡板与安装块上表面之间固定连接有弹簧，所述齿轮啮合有第二齿条，所述第二齿条与所述安装块和片盒侧壁贯穿滑动连接，所述片盒上表面开设有滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有第一滑块，所述第一滑块下表面与第二齿条焊接，所述第一滑块上表面共同焊接有盒盖，所述底座上表面设置有取片装置。
优选地，所述底座上表面焊接有立柱，所述立柱远离底座的一端通过轴承转动连接有转动杆，所述转动杆为L形杆，所述转动杆另一端固定连接有电动推杆，所述电动推杆的输出端设置有夹持装置，所述夹持装置为空心结构，所述夹持装置侧壁焊接有固定板。
优选地，所述夹持装置侧壁通过支架焊接有微型电机，所述微型电机的输出轴焊接有螺纹杆，所述螺纹杆与夹持装置通过轴承贯穿转动连接，所述螺纹杆位于夹持装置内部的两端设置有旋向相反的螺纹，所述螺纹杆位于夹持装置内部的两端均螺纹连接有第二滑块，所述第二滑块与夹持装置底壁贯穿滑动连接，所述第二滑块远离螺纹杆一侧的侧壁焊接有夹块。
优选地，所述齿轮的宽度大于所述第一齿条与第二齿条的宽度之和，所述第二齿条的长度大于所述片盒的滑动槽的长度。
优选地，所述片盒与盒盖的滑动连接处设置有密封垫，所述夹块相近一侧的侧壁粘接有橡胶垫。
优选地，所述电动推杆应采用DT-700型号电动推杆，所述微型电机应采用90YYJT40-3型号微型电机，所述底座底壁粘接有防滑垫。
本实用新型对比现有技术，其优点在于：
1、当夹持装置伸入片盒内取片时，夹持装置带动固定板将第一齿条压下，通过第一齿条与齿轮的啮合带动齿轮转动，从而使得第二齿条滑动，第二齿条通过第一滑块带动盒盖滑动打开，保证夹持装置可以伸入片盒内进行取片，取片完成后，夹持装置升起，在弹簧的作用下盒盖滑动关闭，将片盒密封，防止片盒内的硅片沾染灰尘，从而保证了优质的光刻效果；
2、通过微型电机带动螺纹杆转动，由于螺纹杆两端设置有旋向相反的螺纹，使得两个第二滑块可以同时向内或向外运动，使得夹持装置可以夹持不同厚度的硅片，具有更强实用性。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种光刻机的取片装置的结构示意图。
图2为本实用新型提出的一种光刻机的取片装置的A处剖面图。
图3为本实用新型提出的一种光刻机的取片装置的B处放大图。
图4为本实用新型提出的一种光刻机的取片装置的C处放大图。
图中：1底座、2安装块、3片盒、101立柱、102转动杆、103电动推杆、21转动轴、22齿轮、23第一齿条、24挡板、25弹簧、26第二齿条、31盒盖、32第一滑块、33滑动槽、5夹持装置、51微型电机、52螺纹杆、53第二滑块、54夹块、55固定板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-4，一种光刻机的取片装置，包括底座1，底座1上表面焊接有片盒3，底座1上表面焊接有安装块2，安装块2与片盒3侧壁焊接，安装块2为空心结构，安装块2内通过轴承转动连接有转动轴21，转动轴21两端均过盈配合有齿轮22，齿轮22啮合有第一齿条23，第一齿条23与安装块2顶壁贯穿滑动连接，第一齿条23位于安装块2外部的一端焊接有挡板24，挡板24与安装块2上表面之间固定连接有弹簧25，齿轮22啮合有第二齿条26，第二齿条26与安装块2和片盒3侧壁贯穿滑动连接，片盒3上表面开设有滑动槽33，滑动槽33内滑动连接有第一滑块32，第一滑块32下表面与第二齿条26焊接，第一滑块32上表面共同焊接有盒盖31，底座1上表面设置有取片装置,齿轮22、第一齿条23、挡板24、弹簧25、第二齿条26位于安装块3内部两侧分别设置有一组。
底座1上表面焊接有立柱101，立柱101远离底座1的一端通过轴承转动连接有转动杆102，转动杆102为L形杆，转动杆102另一端固定连接有电动推杆103，电动推杆103的输出端设置有夹持装置5，夹持装置5为空心结构，夹持装置5侧壁焊接有固定板55。
夹持装置5侧壁通过支架焊接有微型电机51，微型电机51的输出轴焊接有螺纹杆52，螺纹杆52与夹持装置5通过轴承贯穿转动连接，螺纹杆52位于夹持装置5内部的两端设置有旋向相反的螺纹，螺纹杆52位于夹持装置5内部的两端均螺纹连接有第二滑块53，第二滑块53与夹持装置5底壁贯穿滑动连接，第二滑块53远离螺纹杆52一侧的侧壁焊接有夹块54。
齿轮22的宽度大于第一齿条23与第二齿条26的宽度之和，第二齿条26的长度大于片盒3的滑动槽33的长度。
片盒3与盒盖31的滑动连接处设置有密封垫，夹块54相近一侧的侧壁粘接有橡胶垫，密封垫保证盒盖31将片盒3内部保持密封，防止灰尘与水分进入片盒内污染硅片，夹块54上的橡胶垫防止在夹紧过程中夹块54将硅片夹坏。
电动推杆103应采用DT-700型号电动推杆，微型电机51应采用90YYJT40-3型号微型电机，底座1底壁粘接有防滑垫，防滑垫防止在工作过程中，装置受到外力出现滑动的现象，增加装置稳定性。
本实用新型的装置在使用时，当需要夹持硅片进行光刻时，操作电动推杆103，使得夹持装置5伸入片盒3内，夹持装置5带动固定板55向下运动，固定板55将第一齿条23向下压，第一齿条23向下运动带动与其啮合的齿轮22转动，齿轮22转动带动与齿轮22啮合的第一齿条26运动，第一齿条26通过第一滑块32带动盒盖31运动，将盒盖31打开，保证夹持装置5可以伸入片盒内，夹持装置5伸入片盒内后，操作微型电机51，微型电机51转动带动螺纹杆52转动，螺纹杆52转动带动两个第二滑块53同时向内运动，第二滑块53带动夹块54同时向内运动，将硅片夹持，操作电动推杆103收缩，夹持装置5向上运动出片盒，此时在弹簧25的作用下，第一齿条23向上运动，通过齿轮22带动第二齿条26运动，使得盒盖31滑动将片盒密封，然后操作转动杆102转动至光刻机处将硅片放置进行光刻即可。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种光刻机的取片装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上表面焊接有片盒(3)，所述底座(1)上表面焊接有安装块(2)，所述安装块(2)与片盒(3)侧壁焊接，所述安装块(2)为空心结构，所述安装块(2)内通过轴承转动连接有转动轴(21)，所述转动轴(21)两端均过盈配合有齿轮(22)，所述齿轮(22)啮合有第一齿条(23)，所述第一齿条(23)与安装块(2)顶壁贯穿滑动连接，所述第一齿条(23)位于安装块(2)外部的一端焊接有挡板(24)，所述挡板(24)与安装块(2)上表面之间固定连接有弹簧(25)，所述齿轮(22)啮合有第二齿条(26)，所述第二齿条(26)与所述安装块(2)和片盒(3)侧壁贯穿滑动连接，所述片盒(3)上表面开设有滑动槽(33)，所述滑动槽(33)内滑动连接有第一滑块(32)，所述第一滑块(32)下表面与第二齿条(26)焊接，所述第一滑块(32)上表面共同焊接有盒盖(31)，所述底座(1)上表面设置有取片装置。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于，所述底座(1)上表面焊接有立柱(101)，所述立柱(101)远离底座(1)的一端通过轴承转动连接有转动杆(102)，所述转动杆(102)为L形杆，所述转动杆(102)另一端固定连接有电动推杆(103)，所述电动推杆(103)的输出端设置有夹持装置(5)，所述夹持装置(5)为空心结构，所述夹持装置(5)侧壁焊接有固定板(55)。
3.根据权利要求2所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于，所述夹持装置(5)侧壁通过支架焊接有微型电机(51)，所述微型电机(51)的输出轴焊接有螺纹杆(52)，所述螺纹杆(52)与夹持装置(5)通过轴承贯穿转动连接，所述螺纹杆(52)位于夹持装置(5)内部的两端设置有旋向相反的螺纹，所述螺纹杆(52)位于夹持装置(5)内部的两端均螺纹连接有第二滑块(53)，所述第二滑块(53)与夹持装置(5)底壁贯穿滑动连接，所述第二滑块(53)远离螺纹杆(52)一侧的侧壁焊接有夹块(54)。
4.根据权利要求1所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于，所述齿轮(22)的宽度大于所述第一齿条(23)与第二齿条(26)的宽度之和，所述第二齿条(26)的长度大于所述片盒(3)的滑动槽(33)的长度。
5.根据权利要求3所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于，所述片盒(3)与盒盖(31)的滑动连接处设置有密封垫，所述夹块(54)相近一侧的侧壁粘接有橡胶垫。
6.根据权利要求3所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于，所述电动推杆(103)应采用DT-700型号电动推杆，所述微型电机(51)应采用90YYJT40-3型号微型电机，所述底座(1)底壁粘接有防滑垫。
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