CN216387741U - 一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，包括：机体，作用于将掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到芯片上，所述机体内部开设有缺口，所述缺口内部安装有工件台，所述机体内部开设有安装槽，所述安装槽内部嵌合有控制器。该集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，首先，采用齿条板，齿条板滑动时会通过推动固定块而带动控制器向安装槽外滑动，以便于对控制器进行维护，接着，采用防尘板，当防尘板滑动到适应位置时会对缺口处进行遮盖，从而可以对缺口进行密封防尘，最后，采用挤压板，当挤压板会沿螺纹杆与固定杆滑出后，此时再拉动散热网板会与机体进行分离，便于拆卸散热网板进行更换。

Description

一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机

技术领域

本实用新型涉及集成电路芯片制造技术领域，具体为一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机。

背景技术

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，现有的光刻机在使用时还存在一定缺陷，就比如；

如公开号CN209149068U一种光刻机框架及光刻机，光刻机框架包括测量支架、主基板、Y向干涉仪支架及连接臂，测量支架的下底面形成有一延伸部，延伸部上沿Y向相对的两个侧壁分别为第一侧壁和第二侧壁，测量支架的下底面上沿Y向位于延伸部的两侧的底面分别为第一下底面和第二下底面，主基板上开设有一凹槽，延伸部位于凹槽内，并且测量支架通过第一下底面和第二下底面与主基板连接，Y向干涉仪支架固定连接于测量支架一端，连接臂设置于主基板内，连接臂一端固定连接于Y向干涉仪支架，另一端固定连接于第一侧壁。测量支架和主基板T形嵌设连接，提高了干涉测量系统的测量精度，减少了震动的传递对曝光成像系统的影响，有效提高了光刻机整机系统的稳定性；

这种现有技术方案在使用时还存在以下问题：

1.不便于维护控制器；

2.不便于对缺口处进行防尘；

3.不便于更换散热网板；

所以需要针对上述问题进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，以解决上述背景技术提出的目前市场上的不便于维护控制器，不便于对缺口处进行防尘，不便于更换散热网板的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，包括：

机体，作用于将掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到芯片上，所述机体内部开设有缺口，所述缺口内部安装有工件台，所述机体内部开设有安装槽，所述安装槽内部嵌合有控制器，所述机体一侧设置有散热网板；

滑槽，开设在所述安装槽顶部，所述滑槽内部滑动连接有齿条板，所述滑槽一侧开设有操作槽，所述操作槽内部安装有电机，靠近齿条板的所述电机一侧安装有齿轮，所述齿条板底部固定连接有固定块，所述固定块固定连接在控制器一侧，所述控制器底部固定连接有导向块，所述导向块滑动连接在导向槽内部，所述导向槽开设在安装槽底部。

优选的，所述齿条板与齿轮之间构成啮合结构，且齿轮与电机之间构成旋转结构，启动电机驱动齿轮进行转动，齿轮转动时会与齿条板进行啮合。

优选的，所述缺口包括有：

移动槽，开设在所述缺口两侧，所述移动槽内部安装有马达，启动马达驱动丝杆进行在移动槽内进行转动，丝杆转动时会拉动滑块沿其进行螺纹滑动，所述马达与移动槽之间通过轴承连接有丝杆，所述丝杆上螺纹连接有滑块，所述滑块之间固定连接有防尘板，所述防尘板一侧嵌合在收纳槽内部，所述收纳槽开设在缺口顶部。

优选的，所述移动槽、马达、丝杆、滑块关于缺口的中心线对称分布有两组，且缺口、收纳槽与防尘板之间构成滑动连接，当防尘板滑动到适应位置时会对缺口处进行遮盖，从而可以对缺口进行密封防尘。

优选的，所述散热网板包括有：

固定杆，固定连接在所述散热网板一侧，靠近固定杆的所述机体一侧固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆与固定杆之间套接有挤压板，靠近挤压板的所述螺纹杆上螺纹连接有螺母，转动螺母沿螺纹杆向外进行螺纹滑动。

优选的，所述螺纹杆、固定杆与挤压板之间构成滑动连接，且螺纹杆与固定杆处于同一水平直线上，拉动挤压板，挤压板会沿螺纹杆与固定杆滑出。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，首先，采用齿条板，齿条板滑动时会通过推动固定块而带动控制器向安装槽外滑动，以便于对控制器进行维护，接着，采用防尘板，当防尘板滑动到适应位置时会对缺口处进行遮盖，从而可以对缺口进行密封防尘，最后，采用挤压板，当挤压板会沿螺纹杆与固定杆滑出后，此时再拉动散热网板会与机体进行分离，便于拆卸散热网板进行更换。

1.首先，启动电机驱动齿轮进行转动，齿轮转动时会与齿条板进行啮合，进而会推动齿条板沿滑槽进行滑动，齿条板滑动时会通过推动固定块而带动控制器向安装槽外滑动，与此同时控制器会拉动导向块沿导向槽进行移动，从而可以将控制器移出安装槽内部，以便于对控制器进行维护。

2.接着，启动马达驱动丝杆进行在移动槽内进行转动，丝杆转动时会拉动滑块沿其进行螺纹滑动，此时滑块会拉动防尘板沿收纳槽向缺口处滑动，当防尘板滑动到适应位置时会对缺口处进行遮盖，从而可以对缺口进行密封防尘。

3.最后，转动螺母沿螺纹杆向外进行螺纹滑动，当螺母与螺纹杆螺纹分离后再拉动挤压板，挤压板会沿螺纹杆与固定杆滑出，此时再拉动散热网板会与机体进行分离，便于拆卸散热网板进行更换。

附图说明

图1为本实用新型主视结构示意图；

图2为本实用新型侧视结构示意图；

图3为本实用新型散热网板侧视结构示意图；

图4为本实用新型散热网板俯视结构示意图。

图中：1、机体；2、缺口；3、工件台；4、安装槽；5、控制器；6、滑槽；7、齿条板；8、操作槽；9、电机；10、齿轮；11、导向块；12、导向槽；13、移动槽；14、马达；15、丝杆；16、滑块；17、防尘板；18、收纳槽；19、散热网板；20、固定杆；21、螺纹杆；22、挤压板；23、螺母；24、固定块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，包括：机体1，作用于将掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到芯片上，机体1内部开设有缺口2，缺口2内部安装有工件台3，机体1内部开设有安装槽4，安装槽4内部嵌合有控制器5，机体1一侧设置有散热网板19，滑槽6，开设在安装槽4顶部，滑槽6内部滑动连接有齿条板7，滑槽6一侧开设有操作槽8，操作槽8内部安装有电机9，靠近齿条板7的电机9一侧安装有齿轮10，齿条板7底部固定连接有固定块24，固定块24固定连接在控制器5一侧，控制器5底部固定连接有导向块11，导向块11滑动连接在导向槽12内部，导向槽12开设在安装槽4底部。齿条板7与齿轮10之间构成啮合结构，且齿轮10与电机9之间构成旋转结构。齿条板7滑动时会通过推动固定块24而带动控制器5向安装槽4外滑动，与此同时控制器5会拉动导向块11沿导向槽12进行移动，从而可以将控制器5移出安装槽4内部，以便于对控制器5进行维护。

缺口2包括有：移动槽13，开设在缺口2两侧，移动槽13内部安装有马达14，马达14与移动槽13之间通过轴承连接有丝杆15，丝杆15上螺纹连接有滑块16，滑块16之间固定连接有防尘板17，防尘板17一侧嵌合在收纳槽18内部，收纳槽18开设在缺口2顶部。移动槽13、马达14、丝杆15、滑块16关于缺口2的中心线对称分布有两组，且缺口2、收纳槽18与防尘板17之间构成滑动连接。当防尘板17滑动到适应位置时会对缺口2处进行遮盖，从而可以对缺口2进行密封防尘。

散热网板19包括有：固定杆20，固定连接在散热网板19一侧，靠近固定杆20的机体1一侧固定连接有螺纹杆21，螺纹杆21与固定杆20之间套接有挤压板22，靠近挤压板22的螺纹杆21上螺纹连接有螺母23。螺纹杆21、固定杆20与挤压板22之间构成滑动连接，且螺纹杆21与固定杆20处于同一水平直线上。当螺母23与螺纹杆21螺纹分离后再拉动挤压板22沿螺纹杆21与固定杆20滑出，此时再拉动散热网板19会与机体1进行分离。

工作原理：如图1-4所示，在使用该集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机时，首先，启动电机9驱动齿轮10进行转动，齿轮10转动时会与齿条板7进行啮合，进而会推动齿条板7沿滑槽6进行滑动，齿条板7滑动时会通过推动固定块24而带动控制器5向安装槽4外滑动，与此同时控制器5会拉动导向块11沿导向槽12进行移动，从而可以将控制器5移出安装槽4内部，以便于对控制器5进行维护，接着，启动马达14驱动丝杆15进行在移动槽13内进行转动，丝杆15转动时会拉动滑块16沿其进行螺纹滑动，此时滑块16会拉动防尘板17沿收纳槽18向缺口2处滑动，当防尘板17滑动到适应位置时会对缺口2处进行遮盖，从而可以对缺口2进行密封防尘，最后，转动螺母23沿螺纹杆21向外进行螺纹滑动，当螺母23与螺纹杆21螺纹分离后再拉动挤压板22，挤压板22会沿螺纹杆21与固定杆20滑出，此时再拉动散热网板19会与机体1进行分离，便于拆卸散热网板19进行更换，本说明中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，其特征在于，包括：

机体(1)，所述机体(1)内部开设有缺口(2)，所述缺口(2)内部安装有工件台(3)，所述机体(1)内部开设有安装槽(4)，所述安装槽(4)内部嵌合有控制器(5)，所述机体(1)一侧设置有散热网板(19)；

滑槽(6)，开设在所述安装槽(4)顶部，所述滑槽(6)内部滑动连接有齿条板(7)，所述滑槽(6)一侧开设有操作槽(8)，所述操作槽(8)内部安装有电机(9)，靠近齿条板(7)的所述电机(9)一侧安装有齿轮(10)，所述齿条板(7)底部固定连接有固定块(24)，所述固定块(24)固定连接在控制器(5)一侧，所述控制器(5)底部固定连接有导向块(11)，所述导向块(11)滑动连接在导向槽(12)内部，所述导向槽(12)开设在安装槽(4)底部。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，其特征在于：所述齿条板(7)与齿轮(10)之间构成啮合结构，且齿轮(10)与电机(9)之间构成旋转结构。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，其特征在于：所述缺口(2)包括有：

移动槽(13)，开设在所述缺口(2)两侧，所述移动槽(13)内部安装有马达(14)，所述马达(14)与移动槽(13)之间通过轴承连接有丝杆(15)，所述丝杆(15)上螺纹连接有滑块(16)，所述滑块(16)之间固定连接有防尘板(17)，所述防尘板(17)一侧嵌合在收纳槽(18)内部，所述收纳槽(18)开设在缺口(2)顶部。

4.根据权利要求3所述的一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，其特征在于：所述移动槽(13)、马达(14)、丝杆(15)、滑块(16)关于缺口(2)的中心线对称分布有两组，且缺口(2)、收纳槽(18)与防尘板(17)之间构成滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，其特征在于：所述散热网板(19)包括有：

固定杆(20)，固定连接在所述散热网板(19)一侧，靠近固定杆(20)的所述机体(1)一侧固定连接有螺纹杆(21)，所述螺纹杆(21)与固定杆(20)之间套接有挤压板(22)，靠近挤压板(22)的所述螺纹杆(21)上螺纹连接有螺母(23)。

6.根据权利要求5所述的一种集成电路芯片制造用便于维护控制器的光刻机，其特征在于：所述螺纹杆(21)、固定杆(20)与挤压板(22)之间构成滑动连接，且螺纹杆(21)与固定杆(20)处于同一水平直线上。

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