CN211497837U - 一种晶圆电镀用双面挂具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种晶圆电镀用双面挂具，包括上盖、晶圆本体、下载板，下载板两侧对称开设有对位斜面，对位斜面外圈处设置有气囊槽，气囊槽外圈处设置有卡环下凸台，下载板内圈处设置有凸台，凸台内圈处设置有排气孔，上盖上开设有斜面槽。本实用新型下载板提供双面的装载功能，作业前能够被安装两片晶圆于此电镀夹具上，可以将电镀过程效率提高一倍，解决现有技术中晶圆级电镀生产过程使用的晶圆挂具多数为单面电镀装置，限制了电镀过程的有效产出，生产效率低，电镀液利用率低的技术问题。

Description

一种晶圆电镀用双面挂具

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种晶圆电镀用双面挂具。

背景技术

随着半导体产业的发展，半导体芯片加工已接近摩尔定律的极限；需要尺寸小、薄、高集成度、高传速效率方向发展，对很多设备提出了更高的要求。其中晶圆级电镀、扇出封装等要求很高产出效率，合理有效的电镀液利用、电镀均匀性等提出了很高的要求。这些都对电镀产品良率以及电镀效率提出了新的挑战。仅仅改善电镀药水本身无法满足这些方面的要求，需要配合电镀设备的改善以达到提升电镀效率和均匀性的效果。对电镀的挂具提出了很高的要求；目前的电镀设备大多为单面挂具，生产效率低，装载困难，对位不准，即使有出现双面装载挂具，但均为旋转式装片产生摩擦静电破坏晶圆电镀产出良率等。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆电镀用双面挂具，解决以下技术问题：(1)晶圆本体面向下放置在上盖内部，通过上盖内部的斜面槽限位自动完成定位；通过导气管给气囊进行充气，气囊推动锁片向外部运动，同时限位环通过卡环上凸台锁定到下载板的卡环下凸台上锁定，进而对气囊进行限位运动，此时锁片打开，电镀用双面挂具可以实现快速稳定的安装，由气囊压力推动锁柱上夹具，快速将晶圆锁住，露出有效的电镀面积实现电镀目的，解决现有技术中目前的单面或双面晶圆电镀装载挂具不仅装载过程复杂，安装对位不准易破片、漏液、边缘电镀不良、密封性不良等的件问题；(2)通过上盖自下而上平稳压到下载板上后，停止给气，此时锁片内部弹簧推动锁片向内运动，锁住上盖上的金属锁环，不需要借助外力做特别对位动作，解决现有技术中静电在严重情况下会损坏芯片，严重影响电镀晶圆的良率的技术问题；(3)下载板提供双面的装载功能，作业前能够被安装两片晶圆于此电镀夹具上，可以将电镀过程效率提高一倍，解决现有技术中晶圆级电镀生产过程使用的晶圆挂具多数为单面电镀装置，限制了电镀过程的有效产出，生产效率低，电镀液利用率低的技术问题。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种晶圆电镀用双面挂具，包括上盖、晶圆本体、下载板，所述下载板两侧对称开设有对位斜面，所述对位斜面外圈处设置有气囊槽，所述气囊槽外圈处设置有卡环下凸台，所述下载板内圈处设置有凸台，所述凸台内圈处设置有排气孔，所述上盖上开设有斜面槽，所述晶圆本体设置于下载板、上盖之间，所述斜面槽与对位斜面相互卡接，所述气囊槽内壁设置有气囊，所述气囊、上盖之间设置有限位环，所述限位环上等弧度开设有若干限位槽，相邻限位槽之间设置有卡环上凸台，所述卡环上凸台与卡环下凸台相互卡接，所述限位槽上活动安装有锁片，所述气囊设置于锁片、晶圆本体之间，所述上盖上安装有金属锁环，所述金属锁环与锁片配合卡接。

进一步的，其中一个所述卡环上凸台上开设有导电杆连接孔。

进一步的，所述气囊上连通有导气管，所述限位环上安装有导电杆。

进一步的，所述上盖开设有弹性密封边，所述弹性密封边与晶圆本体外边缘接触。

进一步的，所述上盖外圈安装有密封橡胶，所述密封橡胶与下载板相接触。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的一种晶圆电镀用双面挂具，下载板提供双面的装载功能，作业前能够被安装两片晶圆于此电镀夹具上，可以将电镀过程效率提高一倍；有效地提升了电镀的产出效率；

晶圆本体面向下放置在上盖内部，通过上盖内部的斜面槽限位自动完成定位；通过导气管给气囊进行充气，气囊推动锁片向外部运动，同时限位环通过卡环上凸台锁定到下载板的卡环下凸台上锁定，进而对气囊进行限位运动，此时锁片打开，电镀用双面挂具可以实现快速稳定的安装，由气囊压力推动锁柱上夹具，快速将晶圆锁住，露出有效的电镀面积实现电镀目的；

通过上盖自下而上平稳压到下载板上后，停止给气，此时锁片内部弹簧推动锁片向内运动，锁住上盖上的金属锁环，完成单面装载过程，此时翻转180度，重复之前动作完成另一面的安装动作，电镀用双面挂具可以实现晶圆快速与挂具完成对位安装，不需要借助外力做特别对位动作。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型一种晶圆电镀用双面挂具的结构示意图；

图2是本实用新型下载板的剖面图；

图3是本实用新型锁片的结构图；

图4是本实用新型限位环的结构图；

图5是本实用新型上盖的剖视图

图6是本实用新型图4中A处放大图。

图中：1、上盖；2、限位环；21、导电杆；3、锁片；31、导杆；32、弹簧；4、气囊；43、导气管；5、晶圆本体；6、下载板；7、卡环下凸台；8、气囊槽；9、对位斜面；10、排气孔；11、凸台；12、卡环上凸台；13、限位槽；14、导电杆连接孔；15、弹性密封边；16、金属锁环；18、斜面槽；19、密封橡胶。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6所示，本实用新型为一种晶圆电镀用双面挂具，包括上盖1、晶圆本体5、下载板6，下载板6两侧对称开设有对位斜面9，对位斜面9外圈处设置有气囊槽8，气囊槽8外圈处设置有卡环下凸台7，下载板6内圈处设置有凸台11，凸台11内圈处设置有排气孔10，上盖1上开设有斜面槽18，晶圆本体5设置于下载板6、上盖1之间，斜面槽18与对位斜面9相互卡接，气囊槽8内壁设置有气囊4，气囊4、上盖1之间设置有限位环2，限位环2上等弧度开设有若干限位槽13，相邻限位槽13之间设置有卡环上凸台12，卡环上凸台12与卡环下凸台7相互卡接，限位槽13上活动安装有锁片3，气囊4设置于锁片3、晶圆本体5之间，上盖1上安装有金属锁环16，金属锁环16与锁片3配合卡接。

具体的，其中一个卡环上凸台12上开设有导电杆连接孔14。气囊4上连通有导气管43，限位环2上安装有导电杆21。上盖1开设有弹性密封边15，弹性密封边15与晶圆本体5外边缘接触。上盖1外圈安装有密封橡胶19，密封橡胶19与下载板6相接触，锁片3包括导杆31、弹簧32。

请参阅图1-6所示，本实施例的一种晶圆电镀用双面挂具的使用方法如下：

下载板6提供双面的装载功能，作业前能够被安装两片晶圆于此电镀夹具上；晶圆本体5面向下放置在上盖1内部，通过上盖1内部的斜面槽18限位自动完成定位；通过导气管43给气囊4进行充气，气囊4推动锁片3向外部运动，同时限位环2通过卡环上凸台12锁定到下载板6的卡环下凸台7上锁定，进而对气囊4进行限位运动，此时锁片3打开；最后通过上盖1自下而上平稳压到下载板6上后，停止给气，此时锁片3内部弹簧32推动锁片3向内运动，锁住上盖1上的金属锁环16，完成单面装载过程，此时翻转180度，重复之前动作完成另一面的安装动作；外部密封靠上盖1的密封橡胶19压在下载板6的面上，完成外部密封；上盖1内部弹性密封边15压在晶圆本体5的外边缘完成内部密封。

以上内容仅仅是对本实用新型结构所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种晶圆电镀用双面挂具，其特征在于，包括上盖(1)、晶圆本体(5)、下载板(6)，所述下载板(6)两侧对称开设有对位斜面(9)，所述对位斜面(9)外圈处设置有气囊槽(8)，所述气囊槽(8)外圈处设置有卡环下凸台(7)，所述下载板(6)内圈处设置有凸台(11)，所述凸台(11)内圈处设置有排气孔(10)，所述上盖(1)上开设有斜面槽(18)，所述晶圆本体(5)设置于下载板(6)、上盖(1)之间，所述斜面槽(18)与对位斜面(9)相互卡接，所述气囊槽(8)内壁设置有气囊(4)，所述气囊(4)、上盖(1)之间设置有限位环(2)，所述限位环(2)上等弧度开设有若干限位槽(13)，相邻限位槽(13)之间设置有卡环上凸台(12)，所述卡环上凸台(12)与卡环下凸台(7)相互卡接，所述限位槽(13)上活动安装有锁片(3)，所述气囊(4)设置于锁片(3)、晶圆本体(5)之间，所述上盖(1)上安装有金属锁环(16)，所述金属锁环(16)与锁片(3)配合卡接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀用双面挂具,其特征在于，其中一个所述卡环上凸台(12)上开设有导电杆连接孔(14)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀用双面挂具,其特征在于，所述气囊(4)上连通有导气管(43)，所述限位环(2)上安装有导电杆(21)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀用双面挂具,其特征在于，所述上盖(1)开设有弹性密封边(15)，所述弹性密封边(15)与晶圆本体(5)外边缘接触。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆电镀用双面挂具,其特征在于，所述上盖(1)外圈安装有密封橡胶(19)，所述密封橡胶(19)与下载板(6)相接触。

Images