CN209766395U - 一种硅片单面处理夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种硅片单面处理夹具，其特征在于，包含圆形夹具底座；所述夹具底座连接手握柄，所述夹具底座的上侧中心处设有圆形安装沉台，所述夹具底座上侧连接圆环形夹具盖板，所述夹具盖板的内径小于所述安装沉台的直径；所述夹具盖板与所述夹具底座接触的一侧设有环形第一凹槽，所述第一凹槽内设有第一密封圈，所述第一密封圈的直径等于所述安装沉台的直径。本实用新型的一种硅片单面处理夹具，体积小巧美观，使用分体式设计，拆装简单快捷，采用双重防腐蚀密封圈设计，有效地保证了硅片不被损坏；且可定向面清洗，大大节约了资源，降低了处理成本。

Description

一种硅片单面处理夹具

技术领域

本实用新型涉及硅片处理技术领域，具体涉及一种硅片单面处理夹具。

背景技术

现有技术中的硅片载具单面清洗成本较高，且拿取安全度不高，为保证拿取安全，在拿取硅片时往往需要专用工具辅助，步骤繁琐，效率低下，对于操作人员的要求较高；且在处理过程中容易造成硅片损坏，成本增加，效率低。

实用新型内容

为解决上述现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种硅片单面处理夹具，体积小、拆装方便、使用简单，作业效率高，并有效保证硅片完整。

为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种硅片单面处理夹具，其特征在于，包含圆形夹具底座；

所述夹具底座连接手握柄，所述夹具底座的上侧中心处设有圆形安装沉台，所述夹具底座上侧连接圆环形夹具盖板，所述夹具盖板的内径小于所述安装沉台的直径；

所述夹具盖板与所述夹具底座接触的一侧设有环形第一凹槽，所述第一凹槽内设有第一密封圈，所述第一密封圈的直径等于所述安装沉台的直径。

进一步地，所述夹具底座上沿所述安装沉台外侧设有环形第二凹槽，所述第二凹槽内设有第二密封圈。

进一步地，所述夹具底座和所述夹具盖板通过多个螺栓固定连接，多个所述螺栓共同组成一个虚拟圆，所述虚拟圆的直径大于所述第二密封圈的直径。

进一步地，所述夹具底座的左右两侧分别设有拆卸凹槽。

进一步地，所述夹具底座上设有两个定位柱，所述夹具盖板上设有两个定位孔，两个所述定位孔与两个所述定位柱对应设置。

进一步地，两个所述定位柱分别位于一条穿过所述夹具底座中心的直线的两端。

与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果为：本实用新型的一种硅片单面处理夹具，体积小巧美观，使用分体式设计，拆装简单快捷，采用双重防腐蚀密封圈设计，有效地保证了硅片不被损坏；且可定向面清洗，大大节约了资源，降低了处理成本。

附图说明

图1为本实用新型实施例的俯视结构示意图；

图2为本实用新型实施例的剖面结构示意图。

图中：1—手握柄、2—夹具盖板、3—定位柱、4—硅片、5—螺栓、6—夹具底座、7—第一密封圈、8—第二密封圈。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

以下结合说明书附图对本实用新型的技术方案做进一步的详细说明。

如图1-2所示，一种硅片单面处理夹具，包含圆形夹具底座；

具体地，夹具底座6连接手握柄1，手握柄1远离夹具底座的一端设有开口，开口用于手握，以使操作时拿取更加顺手，操作更加顺利；

夹具底座6的上侧中心处设有圆形安装沉台，安装沉台用于放置硅片4，以使硅片4安装更加快速精准；

夹具底座6上侧连接圆环形夹具盖板2，夹具盖板2的内径小于安装沉台的直径；硅片4放置于安装沉台后，将夹具盖板2固定在夹具底座6上，进而固定硅片4；

夹具盖板2与夹具底座6接触的一侧设有环形第一凹槽，第一凹槽内设有第一密封圈7，第一密封圈7的直径等于安装沉台的直径；

当夹具盖板2与夹具底座6固定连接以固定硅片4时，第一密封圈7用于密封，防止处理液进入安装沉台后侵蚀硅片4背面，造成硅片4损坏。

优选地，夹具底座6上沿安装沉台外侧设有环形第二凹槽，第二凹槽内设有第二密封圈8；第二密封圈8与第一密封圈7均为防腐蚀型，并与紧贴第一密封圈7设置，以使夹具底座6与夹具盖板2之间形成双重密封结构，确保密封效果，有效确保硅片4安全。

在本实用新型的一些实施例中，夹具底座6和夹具盖板2通过多个螺栓5固定连接，多个螺栓5共同组成一个虚拟圆，虚拟圆的直径大于第二密封圈8的直径；

第一密封圈7和第二密封圈8均位于多个螺栓5形成的圆的内部，当用螺栓5将夹具底座6和夹具盖板2锁紧固定时，第一密封圈7和第二密封圈8将硅片4清洗面与夹具底座6的安装沉台之间密封，保证处理液不会流到硅片4背面。

在本实用新型的另一些实施例中，夹具底座6的左右两侧分别设有拆卸凹槽，以便夹具盖板2的拿取，防止拿取时发生危险或造成硅片4损坏，增加成本。

可选地，夹具底座6上设有两个定位柱3，夹具盖板2上设有两个定位孔，两个定位孔与两个定位柱3对应设置；定位柱3和定位孔的设置能够帮助夹具盖2板快速定位安装，使夹具盖板2安装更加快速简单。

优选地，两个定位柱3分别位于一条穿过夹具底座6中心的直线的两端，以使夹具盖板2定位更加精确，进一步保证硅片4不受损坏。

使用时，将夹具盖板2从夹具底座6上拆下，将硅片4待处理的一面向上放置于夹具底座6上安装沉台内，将夹具盖板2通过定位柱3预安装到夹具底座6上，随后用螺栓5将夹具盖板2和夹具底座6锁紧，将硅片4固定在二者之间；随后手持手握柄1对硅片4的待处理面进行处理。处理完成后，将夹具盖板2拆下，取出硅片，完成整个操作。

本实用新型的一种硅片单面处理夹具，体积小巧美观，使用分体式设计，拆装简单快捷，采用双重防腐蚀密封圈设计，有效地保证了硅片不被损坏；且可定向面清洗，大大节约了资源，降低了处理成本。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种硅片单面处理夹具，其特征在于，包含圆形夹具底座；

所述夹具底座连接手握柄，所述夹具底座的上侧中心处设有圆形安装沉台，所述夹具底座上侧连接圆环形夹具盖板，所述夹具盖板的内径小于所述安装沉台的直径；

所述夹具盖板与所述夹具底座接触的一侧设有环形第一凹槽，所述第一凹槽内设有第一密封圈，所述第一密封圈的直径等于所述安装沉台的直径。

2.根据权利要求1所述的硅片单面处理夹具，其特征在于，所述夹具底座上沿所述安装沉台外侧设有环形第二凹槽，所述第二凹槽内设有第二密封圈。

3.根据权利要求2所述的硅片单面处理夹具，其特征在于，所述夹具底座和所述夹具盖板通过多个螺栓固定连接，多个所述螺栓共同组成一个虚拟圆，所述虚拟圆的直径大于所述第二密封圈的直径。

4.根据权利要求1所述的硅片单面处理夹具，其特征在于，所述夹具底座的左右两侧分别设有拆卸凹槽。

5.根据权利要求1所述的硅片单面处理夹具，其特征在于，所述夹具底座上设有两个定位柱，所述夹具盖板上设有两个定位孔，两个所述定位孔与两个所述定位柱对应设置。

6.根据权利要求5所述的硅片单面处理夹具，其特征在于，两个所述定位柱分别位于一条穿过所述夹具底座中心的直线的两端。