CN209890746U - 一种两片式电镀夹具 - Google Patents

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刘金升
夏前刚
张辉
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Suzhou Smick Microelectronic Equipment Co Ltd
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Suzhou Smick Microelectronic Equipment Co Ltd
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Abstract

本实用新型提供一种两片式电镀夹具,包含夹具底座和夹具盖板;夹具盖板设于夹具底座上,夹具盖板能够与夹具底座连接;夹具底座上设有安装沉台,安装沉台内设有两个放置槽;夹具底座的一侧设有两个快插接头,夹具底座的内部设有两个穿线槽,穿线槽没设有线缆,每条线缆的一端连接一个快插接头;放置槽内设有多个导电圈,导电圈与线缆的另一端连接;夹具底座的底部设有锥形的进液口和出液口,进液口和出液口分别连接安装沉台。本实用新型的一种两片式电镀夹具,实现了两面产品同时对指定面进行电镀,采用分体式设计,结构简单,拆卸方便,操作难度小,电镀均匀效果好,成本低;且能够有效避免电镀液浪费,节省成本。

Description

一种两片式电镀夹具
技术领域
本实用新型涉及电镀设备技术领域,具体涉及一种两片式电镀夹具。
背景技术
电镀过程中产品的拿取较为危险,因此需要专用的夹具进行辅助。现有技术中的硅片电镀夹具操作复杂,步骤繁琐,对操作人员要求较高,且对硅片的保护不够全面,易导致硅片损坏,造成成本增加和效率低下;且电镀液浪费严重,造成污染及成本升高。
实用新型内容
为解决上述现有技术中存在的问题,本实用新型提供一种两片式电镀夹具,能够为指定面单独电镀,电镀精准性高,拆卸方便,操作简单,使用安全。
为了达到上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
一种两片式电镀夹具,其特征在于,包含夹具底座和夹具盖板;所述夹具盖板设于所述夹具底座上,所述夹具盖板能够与所述夹具底座连接;
所述夹具底座上设有安装沉台,所述安装沉台内设有两个放置槽;
所述夹具底座的一侧设有两个快插接头,所述夹具底座的内部设有两个穿线槽,所述穿线槽没设有线缆,每条所述线缆的一端连接一个所述快插接头;
所述放置槽内设有多个导电圈,所述导电圈与所述线缆的另一端连接;
所述夹具底座的底部设有锥形的进液口和出液口,所述进液口和所述出液口分别连接所述安装沉台。
进一步地,所述夹具底座上两个放置槽的连接处的对应两侧分别设有定位销,所述夹具盖板上设有两个定位孔,两个所述定位孔与两个所述定位销对应设置。
进一步地,所述夹具盖板上设有两个凸台,两个所述凸台与两个所述放置槽对应设置。
进一步地,所述夹具底座与所述夹具盖板的接触面处,所述夹具底座与所述凸台的接触面处分别设有凹槽,所述凹槽内分别设有防腐蚀密封圈。
进一步地,所述夹具盖板与所述夹具底座之间通过多个螺栓连接,多个螺栓均匀分布与所述安装沉台的周边。
进一步地,所述夹具底座设有所述快插接头的一侧设有手握开口。
进一步地,所述夹具盖板的两端分别设有拆卸凹槽。
进一步地,多个所述导电圈均匀分布与两个所述放置槽的四周。
与现有技术相比,本实用新型的有益技术效果为:本实用新型的一种两片式电镀夹具,实现了两面产品同时对指定面进行电镀,采用分体式设计,结构简单,拆卸方便,操作难度小,电镀均匀效果好,成本低;且能够有效避免电镀液浪费,节省成本。
附图说明
图1为本实用新型实施例的俯视结构示意图;
图2为本实用新型实施例的剖面结构示意图。
图中:1—夹具底板、2—夹具盖板、3—手持开口、4—快插接头、5—定位销、6—导电圈、7—密封圈、8—螺栓、9—穿线槽。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例的附图,对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
以下结合说明书附图对本实用新型的技术方案做进一步的详细说明。
如图1-2所示,一种两片式电镀夹具,包含夹具底座1和夹具盖板2;
具体地,夹具盖板2设于夹具底座1上,夹具盖板2能够与夹具底座1连接;
夹具底座1上设有安装沉台,安装沉台内设有两个放置槽,放置槽用于放置硅片;
夹具底座1的一侧设有两个快插接头4,夹具底座1的内部设有两个穿线槽9,穿线槽9没设有线缆,每条线缆的一端连接一个快插接头4;快插接头4用于连接电源,电源将电流由快插接头4传递给线缆;
放置槽内设有多个导电圈6,导电圈6与线缆的另一端连接,导电圈6用于通电并为硅片进行电镀;导电圈6远离夹具底座1的一侧还设有固定板,固定板用于固定导电圈6,提高电镀效果;
夹具底座1的底部设有锥形的进液口和出液口,进液口的一端连接电镀液供料装置,另一端连接安装沉台,出液口的一端连接废液回收装置,另一端连接安装沉台;
工作时,快插接头4接电,导电圈6通电,电镀液从进液口进入夹具底座1,为硅片进行电镀,电镀结束后,电镀废液由出液口流出夹具底座1。
优选地,夹具底座上两个放置槽的连接处的对应两侧分别设有定位销,夹具盖板上设有两个定位孔,两个定位孔与两个定位销对应设置;
安装时,将夹具盖板2通过定位销5定位到夹具底座1上,确保安装精准,减少安装时间和难度,保证硅片不受损坏,降低损失。
在本实用新型的一个实施例中,夹具盖板2上设有两个凸台,两个凸台与两个放置槽对应设置,凸台的形状及尺寸与硅片相同,以便有效地定位硅片,防止硅片在移动过程中发生晃动而造成损伤。
可选地,夹具底座1与夹具盖板2的接触面处,夹具底座1与凸台的接触面处分别设有凹槽,凹槽内分别设有防腐蚀密封圈7,以使夹具盖板2安装在夹具底座1上时,对硅片进行有效密封,防止电镀液流入硅片背部,同时有效保护硅片不受损伤。
在本实用新型的另一个实施例中,夹具盖板2与夹具底座1之间通过多个螺栓8连接,多个螺栓8均匀分布与安装沉台的周边;夹具盖板2能够通过螺栓8与夹具底座1连接,或通过拆卸螺栓8与夹具底座1分离,方便拆卸和更换硅片。
优选地,夹具底座1设有快插接头4的一侧设有手握开口3,使手握取时舒适方便,受力均匀,在减轻负重感同时也有利于展示挂取;也可挂在适用的机械臂上。
在本实用新型的一些实施例中,夹具盖板2的两端分别设有拆卸凹槽,方便拿取夹具盖板2,减少拆卸时间,并减小事故率和拿取难度。
在本实用新型的另一些实施例中,多个导电圈6均匀分布与两个放置槽的四周,以有效保证电镀的均匀性,进而保证产品质量。
本实用新型的一种两片式电镀夹具,实现了两面产品同时对指定面进行电镀,采用分体式设计,结构简单,拆卸方便,操作难度小,电镀均匀效果好,成本低;且能够有效避免电镀液浪费,节省成本。
以上所述是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型所述原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种两片式电镀夹具,其特征在于,包含夹具底座和夹具盖板;所述夹具盖板设于所述夹具底座上,所述夹具盖板能够与所述夹具底座连接;
所述夹具底座上设有安装沉台,所述安装沉台内设有两个放置槽;
所述夹具底座的一侧设有两个快插接头,所述夹具底座的内部设有两个穿线槽,所述穿线槽没设有线缆,每条所述线缆的一端连接一个所述快插接头;
所述放置槽内设有多个导电圈,所述导电圈与所述线缆的另一端连接;
所述夹具底座的底部设有锥形的进液口和出液口,所述进液口和所述出液口分别连接所述安装沉台。
2.根据权利要求1所述的一种两片式电镀夹具,其特征在于,所述夹具底座上两个放置槽的连接处的对应两侧分别设有定位销,所述夹具盖板上设有两个定位孔,两个所述定位孔与两个所述定位销对应设置。
3.根据权利要求1所述的一种两片式电镀夹具,其特征在于,所述夹具盖板上设有两个凸台,两个所述凸台与两个所述放置槽对应设置。
4.根据权利要求3所述的一种两片式电镀夹具,其特征在于,所述夹具底座与所述夹具盖板的接触面处,所述夹具底座与所述凸台的接触面处分别设有凹槽,所述凹槽内分别设有防腐蚀密封圈。
5.根据权利要求1所述的一种两片式电镀夹具,其特征在于,所述夹具盖板与所述夹具底座之间通过多个螺栓连接,多个螺栓均匀分布与所述安装沉台的周边。
6.根据权利要求1所述的一种两片式电镀夹具,其特征在于,所述夹具底座设有所述快插接头的一侧设有手握开口。
7.根据权利要求1所述的一种两片式电镀夹具,其特征在于,所述夹具盖板的两端分别设有拆卸凹槽。
8.根据权利要求1所述的一种两片式电镀夹具,其特征在于,多个所述导电圈均匀分布与两个所述放置槽的四周。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI734620B (zh) * 2020-09-25 2021-07-21 翁健名 具定位孔之電鍍夾具

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