CN215240923U - 静电吸盘氦漏固定夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了静电吸盘氦漏固定夹具，涉及到静电吸盘夹具领域，包括固定圆柱盘，所述固定圆柱盘的上表面开设有固定圆槽，所述固定圆槽的一侧内壁固定连接有第一密封垫，所述第一密封垫的表面固定连接有密封圈，所述固定圆槽的内壁下表面固定连接有第二密封垫，所述固定圆槽内壁的两侧和前面表面均螺纹连接有螺纹杆，多个所述螺纹杆的一端均固定连接有弧形固定板，所述固定圆柱盘的内壁中心处开设有进气孔，所述进气孔的内壁下表面设置有进气连接器。本实用新型能够便于装置对不同规格大小的静电吸盘进行夹紧固定使用，还能便于氦检设备进行真空处理，提高了装置实用性能，并且本装置具有适配机型广泛，安装过程简单等优点。

Description

静电吸盘氦漏固定夹具

技术领域

本实用新型涉及静电吸盘夹具领域，特别涉及静电吸盘氦漏固定夹具。

背景技术

静电吸盘是一种适用于大气或真空环境的超洁净薄片承载体、抓取搬运设备的总称，在真空中两个静止的点电荷Q1与Q2之间的相互作用力的大小和Q1、Q2的乘积成正比，和它们之间的距离r的平方成反比，作用力的方向沿着它们的连线，同种电荷相互排斥，异种电荷相互吸引，当一个带有静电的物体靠近另一个不带静电的物体时，由于静电感应，没有静电的物体内部靠近带静电物体的一边会集聚与带电物体所携带电荷相反极性的电荷，另一侧产生相同数量的同极性电荷，由于异性电荷互相吸引，就会表现出静电吸附现象。

目前随着科技的发展静电吸盘以及逐渐代替了传统的统机械夹持，成为半导体、面板显示、光学等领域中有着广泛应用夹持吸附装置，静电吸盘在使用的时候都需要使用到固定夹具进行固定，现有氦漏固定夹具密封性较差，并且一种固定一种固定规格静电吸盘，无法适配多个规格的静电吸盘，导致实用性能降低。

因此，发明静电吸盘氦漏固定夹具来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供静电吸盘氦漏固定夹具，以解决上述背景技术中提出的氦漏固定夹具密封性较差，并且一种固定一种固定规格静电吸盘，无法适配多个规格的静电吸盘，导致实用性能降低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：静电吸盘氦漏固定夹具，包括固定圆柱盘，所述固定圆柱盘的上表面开设有固定圆槽，所述固定圆槽的一侧内壁固定连接有第一密封垫，所述第一密封垫的表面固定连接有密封圈，所述固定圆槽的内壁下表面固定连接有第二密封垫，所述固定圆槽内壁的两侧和前面表面均螺纹连接有螺纹杆，多个所述螺纹杆的一端均固定连接有弧形固定板，所述固定圆柱盘的内壁中心处开设有进气孔，所述进气孔的内壁下表面设置有进气连接器。

优选的，所述固定圆柱盘内壁的前后两侧均开设有线圈孔，两个所述线圈孔的内壁均固定连接有绝缘套。

优选的，多个所述螺纹杆的另一端均固定连接有旋转帽，多个所述旋转帽的表面均开设有防滑纹路。

优选的，所述进气连接器包括进气连接头，所述进气连接头的上表面与进气孔的内壁下表面固定连接。

优选的，所述固定圆柱盘的下表面四侧均固定连接有支撑件，多个所述支撑件的下表面均固定连接有支撑脚垫。

优选的，多个所述弧形固定板的一侧表面均固定连接有保护垫，多个所述保护垫均为海绵材料所制。

本实用新型的技术效果和优点：

1、通过设置固定圆柱盘、固定圆槽、第一密封垫、密封圈、第二密封垫、螺纹杆、弧形固定板、进气孔，从而能够便于装置对不同规格大小的静电吸盘进行夹紧固定使用，还能便于氦检设备进行真空处理，提高了装置实用性能，并且本装置具有适配机型广泛，安装过程简单等优点。

2、通过设置线圈孔和绝缘套，便于装置连接检测装置，通过装置能够快速的检测出氦气漏率，并且对检测装置的线路进行隔绝，防止出现短路的情况。

3、通过设置旋转帽，从而能够便于带动螺纹杆进行转动和移动，通过设置进气连接头，从而能够便于装置快速的连接氦检设备进行真空处理，通过设置支撑件、支撑脚垫，从而能够对装置进行支撑和固定。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图。

图2为本实用新型的正面剖面结构示意图。

图3为本实用新型的俯视结构示意图。

图中：1、固定圆柱盘；2、固定圆槽；3、第一密封垫；4、密封圈；5、第二密封垫；6、螺纹杆；7、弧形固定板；8、进气孔；9、线圈孔；10、旋转帽；11、进气连接头；12、支撑件；13、支撑脚垫；14、保护垫。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-3所示的静电吸盘氦漏固定夹具，包括固定圆柱盘1，固定圆柱盘1的上表面开设有固定圆槽2，固定圆槽2的一侧内壁固定连接有第一密封垫3，第一密封垫3的表面固定连接有密封圈4，固定圆槽2的内壁下表面固定连接有第二密封垫5，固定圆槽2内壁的两侧和前面表面均螺纹连接有螺纹杆6，多个螺纹杆6的一端均固定连接有弧形固定板7，固定圆柱盘1的内壁中心处开设有进气孔8，进气孔8的内壁下表面设置有进气连接器，能够便于装置对不同规格大小的静电吸盘进行夹紧固定使用，还能便于氦检设备进行真空处理，提高了装置实用性能，并且本装置具有适配机型广泛，安装过程简单等优点。

如图1所示，固定圆柱盘1内壁的前后两侧均开设有线圈孔9，两个线圈孔9的内壁均固定连接有绝缘套，便于装置连接检测装置，多个螺纹杆6的另一端均固定连接有旋转帽10，多个旋转帽10的表面均开设有防滑纹路，能够便于带动螺纹杆6进行转动和移动。

如图2所示，进气连接器包括进气连接头11，进气连接头11的上表面与进气孔8的内壁下表面固定连接，能够便于装置快速的连接氦检设备进行真空处理，固定圆柱盘1的下表面四侧均固定连接有支撑件12，多个支撑件12的下表面均固定连接有支撑脚垫13，能够对装置进行支撑和固定，多个弧形固定板7的一侧表面均固定连接有保护垫14，多个保护垫14均为海绵材料所制，能够在固定静电吸盘的时候对其表面进行保护。

本实用新型工作原理：首先将静电吸盘放置到固定圆柱盘1上表面开设的固定圆槽2内部，然后静电吸盘有突出的部分插入到固定圆槽2内壁的底部，然后第一密封垫3和密封圈4对静电吸盘的一侧进行密封，第二密封垫5对静电吸盘的下表面进行密封，再通过多个旋转帽10带动多个螺纹杆6进行转动，多个螺纹杆6带动相应的多个弧形固定板7进行移动，多个弧形固定板7带动保护垫14对静电吸盘的四侧进行固定；

然后将氦气漏率设备的通过线圈孔9安装导入静电吸盘，再将氦检设备的真空吸入管端与进气连接头11进行连接，进气连接头11再配合进气孔8对装置进行真空抽取。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.静电吸盘氦漏固定夹具，其特征在于：包括固定圆柱盘(1)，所述固定圆柱盘(1)的上表面开设有固定圆槽(2)，所述固定圆槽(2)的一侧内壁固定连接有第一密封垫(3)，所述第一密封垫(3)的表面固定连接有密封圈(4)，所述固定圆槽(2)的内壁下表面固定连接有第二密封垫(5)，所述固定圆槽(2)内壁的两侧和前面表面均螺纹连接有螺纹杆(6)，多个所述螺纹杆(6)的一端均固定连接有弧形固定板(7)，所述固定圆柱盘(1)的内壁中心处开设有进气孔(8)，所述进气孔(8)的内壁下表面设置有进气连接器。

2.根据权利要求1所述的静电吸盘氦漏固定夹具，其特征在于：所述固定圆柱盘(1)内壁的前后两侧均开设有线圈孔(9)，两个所述线圈孔(9)的内壁均固定连接有绝缘套。

3.根据权利要求1所述的静电吸盘氦漏固定夹具，其特征在于：多个所述螺纹杆(6)的另一端均固定连接有旋转帽(10)，多个所述旋转帽(10)的表面均开设有防滑纹路。

4.根据权利要求1所述的静电吸盘氦漏固定夹具，其特征在于：所述进气连接器包括进气连接头(11)，所述进气连接头(11)的上表面与进气孔(8)的内壁下表面固定连接。

5.根据权利要求1所述的静电吸盘氦漏固定夹具，其特征在于：所述固定圆柱盘(1)的下表面四侧均固定连接有支撑件(12)，多个所述支撑件(12)的下表面均固定连接有支撑脚垫(13)。

6.根据权利要求1所述的静电吸盘氦漏固定夹具，其特征在于：多个所述弧形固定板(7)的一侧表面均固定连接有保护垫(14)，多个所述保护垫(14)均为海绵材料所制。

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