CN211465027U - 金属靶材用锯床上的柔性夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种金属靶材用锯床上的柔性夹具，包括壳体、若干夹具装置、齿轮盘和齿轮孔，齿轮盘位于壳体内，齿轮盘的中心轴位置设有齿轮轴，夹具装置嵌合于壳体端面呈圆周均匀分布，夹具装置包括位于壳体外端面的柔性部件和位于壳体内端面的固定装置，固定装置的上顶面设有若干凸起，凸起与齿轮盘啮合，固定装置的下底面设有凹槽，固定装置的左侧面和右侧面均设有滑道，柔性部件靠近壳体的侧面设有突起部位，突起部位和凹槽对应，柔性部件朝向齿轮盘的一端设有弧形端口。本实用新型的金属靶材用锯床上的柔性夹具，可以解决硬度低的靶材在加工过程容易出现刮痕破损的问题，提高产品生产合格率。

Description

金属靶材用锯床上的柔性夹具

技术领域

本实用新型涉及一种金属靶材夹具，具体为金属靶材用锯床上的具柔性的夹具。

背景技术

溅射靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，有金属类、合金类、氧化物类等等，其中金属溅射靶材在现代化加工产业中应用广泛，因此其加工生产也变得尤为重要。金属靶材加工工艺中，一般加工方式为将原金属颗粒加热融化成一定体积材料，然后经加压等步骤形成高密度高硬度的材质，最后需经磨具打磨，而在磨具打磨过程中需要借助锯床，将待加工金属靶材放于锯床夹具上进行电动打磨。

但在现有技术中，由于打磨机上的夹具和磨刀材质均为钢材料制成或其他强度更大的金属材料制成，因此在打磨过程中，如果针对密度和硬度较低的金属材料，如铅靶材或铅合金靶材时，会出现夹具与靶材接触的位置出现划痕或磕损，而但凡出现破损的金属靶材则无法投入使用，需重新作为原材料进行加工使用，降低了生产效率。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供一种金属靶材用锯床上的柔性夹具，可以解决硬度低的靶材在加工过程容易出现刮痕破损的问题，提高产品生产合格率。

为实现上述目的，本实用新型的金属靶材用锯床上的柔性夹具，包括壳体、若干夹具装置、齿轮盘和齿轮孔，齿轮盘位于壳体内，齿轮盘的中心轴位置设有齿轮轴，夹具装置嵌合于壳体侧面呈圆周均匀分布，夹具装置包括位于壳体外端面的柔性部件和位于壳体内端面的固定装置，固定装置的上顶面设有若干凸起，凸起与齿轮盘啮合，固定装置的下底面设有凹槽，固定装置的左侧面和右侧面均设有滑道，柔性部件靠近壳体的侧面设有突起部位，突起部位和凹槽对应，柔性部件朝向齿轮轴的一端设有弧形端口。

进一步的，柔性部件与固定装置卡合或两者粘连。

进一步的，齿轮孔位于壳体外侧，齿轮孔借助转向齿轮与齿轮盘连接。

进一步的，夹具装置的数量为3个。

进一步的，柔性部件上突起部位与远离壳体的外侧面之间穿设有螺栓孔，固定装置的上顶面和下顶面之间设有螺纹孔。

进一步的，螺栓孔和螺纹孔的数量相同，均为2-4个。

进一步的，弧形端口内壁上涂有耐磨防滑层。

进一步的，柔性部件为具回弹性的橡胶材料。

通过上述技术方案，本实用新型的有益效果为：本实用新型的壳体上设有夹具装置，夹具装置上安装的柔性部件用于夹持待加工金属靶材，与现有技术中金属夹具直接夹持相比，本申请的柔性部件不会出现损坏金属靶材的情况，且柔性部件在长期加工过程中如果出现磨损可直接取下更换，但现有技术中金属夹具出现损坏则可能需拆除锯床某一部分才可继续正常使用，对生产进度造成不便，且维修成本较高。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的柔性夹具的整体结构示意图。

图2是本实用新型的柔性夹具的另一角度整体结构示意图。

图3是本实用新型的柔性部件的结构示意图。

图4是本实用新型的固定装置的结构示意图。

图5是本实用新型的固定装置和柔性部件结合使用的示意图。

附图标记说明

1 壳体；

2 夹具装置；

3 齿轮盘；

4 齿轮孔；

5 柔性部件；

51 突起部位；

52 弧形端口；

53 螺栓孔；

54 耐磨防滑层；

6 固定装置；

61 凸起；

62 凹槽；

63滑道；

64 螺纹孔。

具体实施方式

下面结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

如图1所示，为本实用新型的金属靶材用锯床上的柔性夹具的整体结构示意图，本实施例中柔性夹具设有壳体1、若干夹具装置2、齿轮盘3和齿轮孔4，齿轮盘3位于壳体1内，齿轮盘3的中心轴位置设有齿轮轴，夹具装置2嵌合于壳体1侧面呈圆周均匀分布，较佳实施方式中夹具装置2为3个，齿轮孔4位于壳体1外侧，齿轮孔4借助转向齿轮（图中未标出）与齿轮盘3的齿轮轴连接，借助摇杆等工具可放于齿轮孔4中，转动齿轮孔4带动转向齿轮转动，进而启动齿轮盘3转动，夹具装置2上设有若干凸起61，凸起61与齿轮盘3啮合，则夹具装置2在齿轮盘3的转动下开启，实现夹持金属靶材的功能。

请参阅图2所示，为另一角度的结构示意图，夹具装置2设有位于壳体1外端面的柔性部件5和位于壳体1内端面的固定装置6，柔性部件5与固定装置6卡合或两者粘连，同时请参阅图3所示，在柔性部件5靠近壳体1的侧面上设有突起部位51，请同时参阅图4所示，固定装置6的下底面设有凹槽62，突起部位51和凹槽62相对应，其可在突起部位51和凹槽62接触面上涂设粘性胶体进行粘连，也可将突起部位51镶嵌于凹槽62内（如图5所示），接触面上增大粗糙度防止打滑。另外，固定装置6的左侧面和右侧面均设有滑道63，滑道63镶嵌于壳体1内。请继续参阅图2和图3所示，柔性部件5朝向齿轮轴的一端设有弧形端口52，弧形端口52内壁上涂有耐磨防滑层54，在打磨金属靶材时，可防止夹持过程中出现滑落。

请再参阅图2、图3和图4所示，另一实施方式中，柔性部件5上突起部位51与远离壳体1的外侧面之间穿设有螺栓孔53，固定装置6的上侧面和下侧面之间还设有螺纹孔64，螺栓孔53和螺纹孔64的数量相同，均为2-4个，较佳均设有2个，将柔性部件5上突起部位51放置于固定装置6的凹槽62内，将螺栓穿过螺栓孔53最后螺旋安装于螺纹孔64内，进而将柔性部件5安装于固定装置6上，本实施例中柔性部件5和固定装置6为活动安装，当柔性部件5在打磨靶材过程中出现较大的形变或损坏时，可取下螺栓将柔性部件5更换，方便操作，提高了生产效率，降低了维修成本。

综上，通过上述技术方案，在壳体1上设有夹具装置2，夹具装置2上安装的柔性部件5用于夹持待加工金属靶材，与现有技术中金属夹具直接夹持相比，本实用新型的柔性部件5不会出现损坏金属靶材的情况，且柔性部件5在长期加工过程中如果出现磨损可直接取下更换，但现有技术中金属夹具出现损坏则可能需拆除锯床某一部分才可继续正常使用，对生产进度造成不便，且维修成本较高。

显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

Claims (8)

1.一种金属靶材用锯床上的柔性夹具，其特征在于，包括壳体（1）、若干夹具装置（2）、齿轮盘（3）和齿轮孔（4），所述齿轮盘（3）位于壳体（1）内，所述齿轮盘（3）中心轴位置设有齿轮轴，所述夹具装置（2）嵌合于所述壳体（1）的端面呈圆周均匀分布，所述夹具装置（2）包括位于所述壳体（1）外端面的柔性部件（5）和位于所述壳体（1）内端面的固定装置（6），所述固定装置（6）的上顶面设有若干凸起（61），所述凸起（61）与所述齿轮盘（3）啮合，所述固定装置（6）的下底面设有凹槽（62），所述固定装置（6）的左侧面和右侧面均设有滑道（63），所述柔性部件（5）靠近所述壳体（1）的内侧面设有突起部位（51），所述突起部位（51）和所述凹槽（62）对应，所述柔性部件（5）朝向所述齿轮轴的一端设有弧形端口（52）。

2.根据权利要求1所述的金属靶材用锯床上的柔性夹具，其特征在于，所述柔性部件（5）与所述固定装置（6）卡合或粘连。

3.根据权利要求1所述的金属靶材用锯床上的柔性夹具，其特征在于，所述齿轮孔（4）位于所述壳体（1）外侧，所述齿轮孔（4）借助转向齿轮与所述齿轮盘（3）连接。

4.根据权利要求1所述的金属靶材用锯床上的柔性夹具，其特征在于，所述夹具装置（2）的数量为3个。

5.根据权利要求1所述的金属靶材用锯床上的柔性夹具，其特征在于，所述柔性部件（5）上突起部位（51）与远离所述壳体（1）的外侧面之间穿设有螺栓孔（53），所述固定装置（6）的上顶面和下顶面之间设有螺纹孔（64）。

6.根据权利要求5所述的金属靶材用锯床上的柔性夹具，其特征在于，所述螺栓孔（53）和所述螺纹孔（64）的数量相同，均为2-4个。

7.根据权利要求1所述的金属靶材用锯床上的柔性夹具，其特征在于，所述弧形端口（52）内壁上涂有耐磨防滑层（54）。

8.根据权利要求1所述的金属靶材用锯床上的柔性夹具，其特征在于，所述柔性部件（5）为具回弹性的橡胶材料。

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