CN211453921U - 用于直线测量旋转靶场强的治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了用于直线测量旋转靶场强的治具，包括直线导轨(1)、导轨滑块(2)、及场强测量探头(3)，所述直线导轨(1)设置在旋转靶(7)径向外侧且沿旋转靶(7)轴向延伸，所述导轨滑块(2)与所述直线导轨(1)滑动配合，所述场强测量探头(3)设置在所述导轨滑块(2)上的。本实用新型提供的用于直线测量旋转靶场强的治具，可实现旋转靶场强的直线测量，提高测量精度和效率。

Description

用于直线测量旋转靶场强的治具

技术领域

本实用新型涉及旋转靶镀膜技术领域，特别涉及一种用于直线测量旋转靶场强的治具。

背景技术

在PVD镀膜行业中，用旋转靶镀膜的方式是最为常见的，在旋转靶内部装有磁铁固定座，并有磁铁排布。根据工艺的均匀性需求，磁铁场强越均匀，工艺就越稳定。当然，在正常消耗中，靶材因本身也会发热，如果发热量过大，很容易导致磁铁场强衰减。

现有技术中，一般手持高斯计探头进行测量，但是不能保证测量点位是否在一条直线上，对检测的结果也存在一定误差。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种用于直线测量旋转靶场强的治具，可保证旋转靶场强的测量点位在一条直线上，减少手动测量的误差。

基于上述问题，本实用新型提供的技术方案是：

用于直线测量旋转靶场强的治具，包括直线导轨、导轨滑块、及场强测量探头，所述直线导轨设置在旋转靶径向外侧且沿旋转靶轴向延伸，所述导轨滑块与所述直线导轨滑动配合，所述场强测量探头设置在所述导轨滑块上。

在其中的一个实施例中，所述直线导轨的两端分别经固定座固定在所述旋转靶上。

在其中的一个实施例中，所述固定座包括上固定座和下固定座，所述上固定座、下固定座经紧固件固定在所述旋转靶周向上，所述上固定座上设有导轨连接件，所述直线导轨固定在所述导轨连接件上。

在其中的一个实施例中，所述上固定座、下固定座分别设有与所述旋转靶匹配的弧状卡口。

在其中的一个实施例中，所述导轨连接件包括固定在所述上固定座上端面的第一连接部、及沿所述旋转靶轴向延伸的第二连接部，所述第二连接部与所述第一连接部连接呈T型。

在其中的一个实施例中，所述场强测量探头经探头固定件固定在所述导轨滑块上。

在其中的一个实施例中，所述探头固定件包括对称布置在所述导轨滑块移动方向两侧的两个固定块，所述场强测量探头固定在其中一个固定块上。

在其中的一个实施例中，所述固定块下部设有探头限位槽，所述场强测量探头经固定盖板被固定在所述探头限位槽内。

与现有技术相比，本实用新型的优点是：

采用本实用新型的技术方案，将场强测量探头设置在直线导轨上，可保证旋转靶场强检测时点位位于同一直线上，减少手动测量的误差，提高检测精度，无需用肉眼观察点位，提高测量效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型用于直线测量旋转靶场强的治具实施例的结构示意图；

图2为本实用新型实施例的安装结构示意图一；

图3为本实用新型实施例的安装结构示意图二

其中：

1、直线导轨；

2、导轨滑块；

3、场强测量探头；

4、固定座；4-1、上固定座；4-2、下固定座；4-3、支耳；

5、导轨连接件；5-1、第一连接部；5-2、第二连接部；

6、探头固定件；6-1、固定块；6-1a、探头限位槽；

7、旋转靶；

8、固定盖板。

具体实施方式

以下结合具体实施例对上述方案做进一步说明。应理解，这些实施例是用于说明本实用新型而不限于限制本实用新型的范围。实施例中采用的实施条件可以根据具体厂家的条件做进一步调整，未注明的实施条件通常为常规实验中的条件。

参见图1-3，为本实用新型实施例的结构示意图，提供一种用于直线测量旋转靶场强的治具，包括直线导轨1、导轨滑块2、及场强测量探头3，其中直线导轨1设置在旋转靶7径向外侧并沿旋转靶7轴向延伸，导轨滑块 2与直线导轨1滑动配合，场强测量探头3设置在导轨滑块2上。

本例中，直线导轨1的两端分别经固定座4固定在旋转靶7上，具体的，固定座4包括上固定座4-1和下固定座4-2，上固定座4-1和下固定座4-2 经紧固件固定在旋转靶7周向上，上固定座4-1上设有导轨连接件5，直线导轨1固定在导轨连接件5上。上固定座4-1和下固定座4-2上下对称设置，分别设有与旋转靶7匹配的弧状卡口，在上固定座4-1和下固定座4-2的两端分别设有支耳4-3，上固定座4-1和下固定座4-2上对应的支耳4-3经螺丝固定连接。上固定座4-1和下固定座4-2采用POM塑料件制成。

导轨连接件5包括固定在上固定座4-1上端面的第一连接部5-1、及沿旋转靶7轴向延伸的第二连接部5-2，第二连接部5-1与第一连接部5-2连接呈T型，以对直线导轨1进行固定和支撑。导轨连接件5采用POM塑料件制成。

本例中，场强测量探头3经探头固定件6固定在导轨滑块2上，探头固定件6包括对称布置在导轨滑块2移动方向两侧的两个固定块6-1，场强测量探头3固定在其中一个固定块6-1上。探头固定件6采用POM塑料件制成。

为了固定场强测量探头，固定块6-1下部设有探头限位槽6-1a，场强测量探头3经固定盖板8被固定在探头限位槽6-1a内，固定盖板8与固定块 6-1之间经螺丝固定连接。

上述实例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人是能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所做的等效变换或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.用于直线测量旋转靶场强的治具，其特征在于：包括直线导轨(1)、导轨滑块(2)、及场强测量探头(3)，所述直线导轨(1)设置在旋转靶(7)径向外侧且沿旋转靶(7)轴向延伸，所述导轨滑块(2)与所述直线导轨(1)滑动配合，所述场强测量探头(3)设置在所述导轨滑块(2)上。

2.根据权利要求1所述的用于直线测量旋转靶场强的治具，其特征在于：所述直线导轨(1)的两端分别经固定座(4)固定在所述旋转靶(7)上。

3.根据权利要求2所述的用于直线测量旋转靶场强的治具，其特征在于：所述固定座(4)包括上固定座(4-1)和下固定座(4-2)，所述上固定座(4-1)、下固定座(4-2)经紧固件固定在所述旋转靶(7)周向上，所述上固定座(4-1)上设有导轨连接件(5)，所述直线导轨(1)固定在所述导轨连接件(5)上。

4.根据权利要求3所述的用于直线测量旋转靶场强的治具，其特征在于：所述上固定座(4-1)、下固定座(4-2)分别设有与所述旋转靶(7)匹配的弧状卡口。

5.根据权利要求3所述的用于直线测量旋转靶场强的治具，其特征在于：所述导轨连接件(5)包括固定在所述上固定座(4-1)上端面的第一连接部(5-1)、及沿所述旋转靶(7)轴向延伸的第二连接部(5-2)，所述第二连接部(5-2)与所述第一连接部(5-1)连接呈T型。

6.根据权利要求1所述的用于直线测量旋转靶场强的治具，其特征在于：所述场强测量探头(3)经探头固定件(6)固定在所述导轨滑块(2)上。

7.根据权利要求6所述的用于直线测量旋转靶场强的治具，其特征在于：所述探头固定件(6)包括对称布置在所述导轨滑块(2)移动方向两侧的两个固定块(6-1)，所述场强测量探头(3)固定在其中一个固定块(6-1)上。

8.根据权利要求7所述的用于直线测量旋转靶场强的治具，其特征在于：所述固定块(6-1)下部设有探头限位槽(6-1a)，所述场强测量探头(3)经固定盖板(8)被固定在所述探头限位槽(6-1a)内。

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