CN211376594U - 一种高精度摆条装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高精度摆条装置，包括底座、步进电机一和导向杆，所述底座上端焊接有支撑架，所述支撑架下方一侧设置有与所述底座通过螺栓连接的所述步进电机一。有益效果在于：本实用新型通过设置步进电机一、丝杆一、导向杆和升降台，可使蓝膜载料盘在装满芯片Bar条后能够快速移动至支撑架上，被推料设备进行自动更换，可大大减少人工，提高装置的工作效率，通过设置CCD器件一和CCD器件二，CCD器件一可视觉识别芯片Bar条在GELPAK盒上的位置，并使吸嘴进行搬运，CCD器件二可识别芯片Bar条的摆放位置，并使芯片Bar条能够精准摆放，使装置取放芯片Bar条十分精准，提高了装置的实用性。

Description

一种高精度摆条装置

技术领域

本实用新型涉及摆条装置技术领域，具体涉及一种高精度摆条装置。

背景技术

芯片(chip)在电子学中是一种把电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上，芯片在制造生产的过程中需要将其Bar条从GELPAK盒上移动至蓝膜载料盘上，以进行后续的加工。

现有的摆条装置在摆放完芯片Bar条后，蓝膜更换效率较低，影响装置整体工作效率，而且现有的摆条装置取放芯片Bar条的精准度较低，难以满足工作需求。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

为了克服现有技术不足，现提出一种高精度摆条装置，解决了现有的摆条装置在摆放完芯片Bar条后，蓝膜更换效率较低，影响装置整体工作效率的问题。

(二)技术方案

本实用新型通过如下技术方案实现：本实用新型提出了一种高精度摆条装置，包括底座、步进电机一和导向杆，所述底座上端焊接有支撑架，所述支撑架下方一侧设置有与所述底座通过螺栓连接的所述步进电机一，所述步进电机一的传动输出端通过键连接有丝杆一，所述丝杆一上通过螺纹连接有升降台，所述丝杆一一侧设置有与所述底座插接的所述导向杆。

进一步的，所述升降台上端设置有蓝膜载料盘，所述支撑架上端设置有支撑杆，所述支撑杆上端设置有工作台，所述工作台上端一侧设置有GELPAK盒,所述工作台上端另一侧设置有固定架，所述固定架下端一侧通过螺钉连接有CCD器件一,所述CCD器件一一侧设置有CCD器件二，所述固定架上端一侧设置有步进电机二，所述步进电机二的传动输出端设置有丝杆二，所述丝杆二上通过螺纹连接有滑移块，所述滑移块下端设置有电动推杆，所述电动推杆下端焊接有连接板，所述连接板下端设置有吸嘴，所述丝杆二一端通过轴承连接有固定板。

通过采用上述技术方案，所述步进电机一在工作时可带动所述丝杆一进行转动，这样所述升降杆在所述导向杆的辅助下可沿着所述丝杆一进行上下移动，从而使所述蓝膜载料盘可上下移动，当所述升降台移动至与所述支撑架齐平时，推料设备可将新的所述蓝膜载料盘推至所述升降台上，并将所述升降台上原来的所述蓝膜载料盘推移至其他设备。

进一步的，所述丝杆一与所述工作台通过轴承连接，所述升降台与所述导向杆滑动连接，所述蓝膜载料盘与所述升降台搭接，所述支撑杆与所述支撑架以及所述工作台均为焊接，所述GELPAK盒与所述工作台搭接。

通过采用上述技术方案，所述GELPAK盒用于承载芯片Bar条。

进一步的，所述固定架与所述工作台通过螺栓连接，所述CCD器件二与所述固定架通过螺钉连接，所述步进电机二与所述固定架通过螺栓连接。

进一步的，所述丝杆二与所述步进电机二的传动输出端通过键连接，所述电动推杆与所述滑移块通过螺栓连接。

通过采用上述技术方案，所述CCD器件一可对所述GELPAK盒上的芯片Bar条进行视觉识别，并确定其位置，然后将识别信息反馈至控制系统，控制系统会发出驱动指令使所述步进电机二工作带动所述丝杆转动，使所述滑移块、所述电动推杆和所述吸嘴移动至所述GELPAK盒上的芯片Bar条上方对应的位置，然后所述电动推杆工作带动所述吸嘴下移，使所述吸嘴与芯片Bar条接触，并对芯片Bar条进行吸附。

进一步的，所述吸嘴与所述连接板通过螺钉连接，所述滑移块与所述固定架滑动连接。

通过采用上述技术方案，所述吸嘴与真空吸附设备相连，且所述吸嘴在所述连接板下设置的数量可根据具体需要进行调节。

进一步的，所述固定板与所述固定架通过螺栓连接。

通过采用上述技术方案，所述CCD器件二可对所述蓝膜载料盘上放置芯片Bar条的位置进行识别，然后反馈至控制系统，控制系统会发出驱动指令，使所述步进电机二工作，通过所述丝杆二将所述滑移块移动至所述蓝膜载料盘上放置芯片Bar条的对应位置，然后将芯片Bar条放置于所述蓝膜载料盘上，当所述蓝膜载料盘摆满芯片Bar条后，所述步进电机一工作，通过所述丝杆一使所述升降台带动所述蓝膜载料盘下移至于所述支撑架平齐。

(三)有益效果

本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：

1、为解决现有的摆条装置在摆放完芯片Bar条后，蓝膜更换效率较低，影响装置整体工作效率的问题，本实用新型通过设置步进电机一、丝杆一、导向杆和升降台，可使蓝膜载料盘在装满芯片Bar条后能够快速移动至支撑架上，被推料设备进行自动更换，可大大减少人工，提高装置的工作效率；

2、为解决现有的摆条装置取放芯片Bar条的精准度较低，难以满足工作需求的问题，本实用新型通过设置CCD器件一和CCD器件二，CCD器件一可视觉识别芯片Bar条在GELPAK盒上的位置，并使吸嘴进行搬运，CCD器件二可识别芯片Bar条的摆放位置，并使芯片Bar条能够精准摆放，使装置取放芯片Bar条十分精准，提高了装置的实用性。

附图说明

图1是本实用新型所述一种高精度摆条装置的结构示意图；

图2是本实用新型所述一种高精度摆条装置中步进电机一、丝杆一、升降台和导向杆的连接关系示意图；

图3是本实用新型所述一种高精度摆条装置中蓝膜载料盘处于工作台上时升降台、蓝膜载料盘和工作台的位置关系示意图。

附图标记说明如下：

1、底座；2、支撑架；3、步进电机一；4、丝杆一；5、升降台；6、导向杆；7、蓝膜载料盘；8、支撑杆；9、工作台；10、GELPAK盒；11、固定架；12、CCD器件一；13、CCD器件二；14、步进电机二；15、丝杆二；16、滑移块；17、电动推杆；18、连接板；19、吸嘴；20、固定板。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1-图3所示，本实施例中的一种高精度摆条装置，包括底座1、步进电机一3和导向杆6，底座1上端焊接有支撑架2，支撑架2下方一侧设置有与底座1通过螺栓连接的步进电机一3，步进电机一3的传动输出端通过键连接有丝杆一4，丝杆一4上通过螺纹连接有升降台5，丝杆一4一侧设置有与底座1插接的导向杆6，升降台5上端设置有蓝膜载料盘7，支撑架2上端设置有支撑杆8，支撑杆8上端设置有工作台9，工作台9上端一侧设置有GELPAK盒10,工作台9上端另一侧设置有固定架11，固定架11下端一侧通过螺钉连接有CCD器件一12,CCD器件一12一侧设置有CCD器件二13，固定架11上端一侧设置有步进电机二14，步进电机二14的传动输出端设置有丝杆二15，丝杆二15上通过螺纹连接有滑移块16，滑移块16下端设置有电动推杆17，电动推杆17下端焊接有连接板18，连接板18下端设置有吸嘴19，丝杆二15一端通过轴承连接有固定板20，步进电机一3在工作时可带动丝杆一4进行转动，这样升降杆在导向杆6的辅助下可沿着丝杆一4进行上下移动，从而使蓝膜载料盘7可上下移动，当升降台5移动至与支撑架2齐平时，推料设备可将新的蓝膜载料盘7推至升降台5上，并将升降台5上原来的蓝膜载料盘7推移至其他设备，丝杆一4与工作台9通过轴承连接，升降台5与导向杆6滑动连接，蓝膜载料盘7与升降台5搭接，支撑杆8与支撑架2以及工作台9均为焊接，GELPAK盒10与工作台9搭接，GELPAK盒10用于承载芯片Bar条，固定架11与工作台9通过螺栓连接，CCD器件二13与固定架11通过螺钉连接，步进电机二14与固定架11通过螺栓连接，丝杆二15与步进电机二14的传动输出端通过键连接，电动推杆17与滑移块16通过螺栓连接，CCD器件一12可对GELPAK盒10上的芯片Bar条进行视觉识别，并确定其位置，然后将识别信息反馈至控制系统，控制系统会发出驱动指令使步进电机二14工作带动丝杆转动，使滑移块16、电动推杆17和吸嘴19移动至GELPAK盒10上的芯片Bar条上方对应的位置，然后电动推杆17工作带动吸嘴19下移，使吸嘴19与芯片Bar条接触，并对芯片Bar条进行吸附，吸嘴19与连接板18通过螺钉连接，滑移块16与固定架11滑动连接，吸嘴19与真空吸附设备相连，且吸嘴19在连接板18下设置的数量可根据具体需要进行调节，固定板20与固定架11通过螺栓连接，CCD器件二13可对蓝膜载料盘7上放置芯片Bar条的位置进行识别，然后反馈至控制系统，控制系统会发出驱动指令，使步进电机二14工作，通过丝杆二15将滑移块16移动至蓝膜载料盘7上放置芯片Bar条的对应位置，然后将芯片Bar条放置于蓝膜载料盘7上，当蓝膜载料盘7摆满芯片Bar条后，步进电机一3工作，通过丝杆一4使升降台5带动蓝膜载料盘7下移至于支撑架2平齐，CCD器件一12和CCD器件二13的视觉定位精度误差不超过0.003mm，定位精度不超过0.01mm，可使装置移动芯片Bar条十分精准。

如图1-图3所示，本实施例中，通过步进电机一3、丝杆一4、导向杆6和升降台5可使蓝膜载料盘7在装满芯片Bar条后能够快速移动至支撑架2上，被推料设备进行自动更换，可大大减少人工，提高装置的工作效率。

如图1-图3所示，本实施例中，CCD器件一12可视觉识别芯片Bar条在GELPAK盒10上的位置，并使吸嘴19进行搬运，CCD器件二13可识别芯片Bar条的摆放位置，并使芯片Bar条能够精准摆放，具有精度高，定位准确的特点。

本实施例的具体实施过程如下：装置使用外接电源，且被外部设备控制，装置在工作时，CCD器件一12可对GELPAK盒10上的芯片Bar条进行视觉识别，并确定其位置，然后将识别信息反馈至控制系统，控制系统会发出驱动指令使步进电机二14工作带动丝杆二15转动，使滑移块16、电动推杆17和吸嘴19移动至GELPAK盒10上的芯片Bar条上方对应的位置，然后电动推杆17工作带动吸嘴19下移，使吸嘴19与芯片Bar条接触，并对芯片Bar条进行吸附，CCD器件二13可对蓝膜载料盘7上放置芯片Bar条的位置进行识别，然后反馈至控制系统，控制系统会发出驱动指令，使步进电机二14工作，通过丝杆二15将滑移块16移动至蓝膜载料盘7上放置芯片Bar条的对应位置，然后将芯片Bar条放置于蓝膜载料盘7上，当蓝膜载料盘7摆满芯片Bar条后，步进电机一3工作，通过丝杆一4使升降台5带动蓝膜载料盘7下移至于支撑架2平齐，CCD器件一12和CCD器件二13的视觉定位精度误差不超过0.003mm，定位精度不超过0.01mm，可使装置移动芯片Bar条十分精准。

上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的构思和范围进行限定。在不脱离本实用新型设计构思的前提下，本领域普通人员对本实用新型的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本实用新型的保护范围，本实用新型请求保护的技术内容，已经全部记载在权利要求书中。

Claims (7)

1.一种高精度摆条装置，其特征在于：包括底座(1)、步进电机一(3)和导向杆(6)，所述底座(1)上端焊接有支撑架(2)，所述支撑架(2)下方一侧设置有与所述底座(1)通过螺栓连接的所述步进电机一(3)，所述步进电机一(3)的传动输出端通过键连接有丝杆一(4)，所述丝杆一(4)上通过螺纹连接有升降台(5)，所述丝杆一(4)一侧设置有与所述底座(1)插接的所述导向杆(6)。

2.根据权利要求1所述的一种高精度摆条装置，其特征在于：所述升降台(5)上端设置有蓝膜载料盘(7)，所述支撑架(2)上端设置有支撑杆(8)，所述支撑杆(8)上端设置有工作台(9)，所述工作台(9)上端一侧设置有GELPAK盒(10),所述工作台(9)上端另一侧设置有固定架(11)，所述固定架(11)下端一侧通过螺钉连接有CCD器件一(12),所述CCD器件一(12)一侧设置有CCD器件二(13)，所述固定架(11)上端一侧设置有步进电机二(14)，所述步进电机二(14)的传动输出端设置有丝杆二(15)，所述丝杆二(15)上通过螺纹连接有滑移块(16)，所述滑移块(16)下端设置有电动推杆(17)，所述电动推杆(17)下端焊接有连接板(18)，所述连接板(18)下端设置有吸嘴(19)，所述丝杆二(15)一端通过轴承连接有固定板(20)。

3.根据权利要求2所述的一种高精度摆条装置，其特征在于：所述丝杆一(4)与所述工作台(9)通过轴承连接，所述升降台(5)与所述导向杆(6)滑动连接，所述蓝膜载料盘(7)与所述升降台(5)搭接，所述支撑杆(8)与所述支撑架(2)以及所述工作台(9)均为焊接，所述GELPAK盒(10)与所述工作台(9)搭接。

4.根据权利要求3所述的一种高精度摆条装置，其特征在于：所述固定架(11)与所述工作台(9)通过螺栓连接，所述CCD器件二(13)与所述固定架(11)通过螺钉连接，所述步进电机二(14)与所述固定架(11)通过螺栓连接。

5.根据权利要求4所述的一种高精度摆条装置，其特征在于：所述丝杆二(15)与所述步进电机二(14)的传动输出端通过键连接，所述电动推杆(17)与所述滑移块(16)通过螺栓连接。

6.根据权利要求5所述的一种高精度摆条装置，其特征在于：所述吸嘴(19)与所述连接板(18)通过螺钉连接，所述滑移块(16)与所述固定架(11)滑动连接。

7.根据权利要求6所述的一种高精度摆条装置，其特征在于：所述固定板(20)与所述固定架(11)通过螺栓连接。

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