CN211374831U - 一种载物台及探针台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种载物台及探针台。所述载物台包括，竖直运动连接于第一连接部的放片部；第一连接部旋转连接于第二连接部；所述第一连接部相对于第二连接部旋转的旋转轴沿竖直方向；所述探针台包括所述载物台。使用所述载物台能够减小对放片部沿竖直方向运动控制的重量，提升对放片部沿竖直方向运动控制的精度，提升晶圆沿竖直方向运动的位置精度。

Description

一种载物台及探针台

技术领域

本实用新型涉及一种载物台及探针台。

背景技术

现有的用于放置待测试晶圆的载物台为提升旋转精度，使旋转部件连接于放片部；使对晶圆沿竖直方向的运动必须带动旋转部件，从而降低了对晶圆沿竖直方向运动控制的精度。

实用新型内容

为提升晶圆沿竖直方向运动的控制精度，本实用新型提出一种载物台及探针台。

本实用新型的技术方案为：一种载物台，包括，

竖直运动连接于第一连接部的放片部；

第一连接部旋转连接于第二连接部；

所述第一连接部相对于第二连接部旋转的旋转轴沿竖直方向。

进一步的，所述放片部通过沿竖直方向的滑轨连接于第一连接部；

所述放片部与第一连接部之间连接有丝杆螺母结构，所述丝杆螺母结构沿竖直方向延伸。

进一步的，丝杆螺母结构中的丝杆连接于放片部，丝杆螺母结构中的螺母连接有第一驱动部，所述第一驱动部带动螺母旋转从而使丝杆沿竖直方向的运动。

进一步的，所述第一驱动部安装于第一连接部。

进一步的，所述载物台包括第二驱动部，所述第二驱动部用于带动第一连接部相对于第二连接部旋转。

进一步的，所述第二驱动部安装于第二连接部，所述第二驱动部通过皮带轮带动第一连接部旋转。

进一步的，所述放片部水平设置。

一种探针台，所述探针台包括上述的载物台。

进一步的，所述载物台通过XY运动平台连接于基座。

进一步的，所述载物台的第二连接部通过XY运动平台连接于基座。

本实用新型的有益效果在于：减小对放片部沿竖直方向运动控制的重量，提升对放片部沿竖直方向运动控制的精度，提升晶圆沿竖直方向运动的位置精度。

附图说明

图1为本实用新型载物台示意图。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案，下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。

如图1所示，一种载物台100，用于放置待测试的晶圆，所述载物台100包括，

竖直运动连接于第一连接部20的放片部30，即所述放片部30能够相对于第一连接部20沿竖直方向运动；从而使放置于放片部30的晶圆能够沿竖直方向运动而满足测试的位置要求；

第一连接部20旋转连接于第二连接部40，即第一连接部20能够相对于第二连接部40旋转，从而使放置于放片部30的晶圆能够进行旋转而调节角度；

所述第一连接部20相对于第二连接部40旋转的旋转轴沿竖直方向；使放置于放片部30的晶圆能够进行水平旋转调整角度。

采用上述技术方案，使放置于放片部30的晶圆能够进行竖直升降及在水平面旋转，从而使晶圆的位置和角度满足测试要求；同时，所述载物台100对晶圆进行竖直方向的位置调节时，只需要带动放片部30沿竖直方向调节，而不需要带动第一连接部20沿竖直方向运动，减轻沿竖直方向运动调节的重量，提升对晶圆沿竖直方向运动位置的控制精度。

如图1所示，所述放片部30通过沿竖直方向的滑轨连接于第一连接部20，使放片部30能够相对于第一连接部20沿竖直方向运动；

所述放片部30与第一连接部20之间连接有丝杆螺母结构，所述丝杆螺母结构沿竖直方向延伸，通过所述丝杆螺母结构与滑轨共同控制放片部30相对于第一连接部20之间的竖直运动。

采用上述技术方案，通过滑轨限定运动方向，通过丝杆螺母结构产生放片部30与第一连接部20之间的相对运动。

如图1所示，丝杆螺母结构中的丝杆连接于放片部30，丝杆螺母结构中的螺母连接有第一驱动部31，所述第一驱动部31带动螺母旋转使丝杆沿竖直方向运动；丝杆因连接于放片部30而不能旋转，采用螺母旋转带动丝杆沿直线方向运动的方案不同于常规采用丝杆旋转带动螺母运动的方案；本实用新型采用螺母旋转施加对丝杆沿直线运动的力，而带动放片部30直线运动；减小丝杆扭转变形，提升丝杆螺母结构传动精度。

如图1所示，所述第一驱动部31安装于第一连接部20；由于放片部30与第一连接部20连接，将驱动丝杆螺母结构运动的第一驱动部31安装于第一连接部20，能够减小丝杆的长度，从而提升对放片部30沿竖直方向运动的控制精度。

如图1所示，所述载物台100包括第二驱动部41，所述第二驱动部41用于带动第一连接部20相对于第二连接部40旋转；实现对第一连接部20相对于第二连接部40旋转运动的控制。

如图1所示，所述第二驱动部41安装于第二连接部40，所述第二驱动部41通过皮带轮42带动第一连接部20旋转。

如图1所示，所述放片部30水平设置，保证放置于放片部30上的晶圆水平放置，从而便于对晶圆进行扎针测试。

一种探针台，所述探针台包括上述的载物台100（如图1）；

所述载物台100通过XY运动平台连接于基座，使所述载物台100满足沿X方向和Y方向的水平运动控制，从而实现对放置于放片部30上晶圆的水平位置控制。

所述载物台100的第二连接部40通过XY运动平台连接于基座。

以上是本实用新型的较佳实施例，不用于限定本实用新型的保护范围。应当认可，本领域技术人员在理解了本实用新型技术方案后所作的非创造性变形和改变，应当也属于本实用新型的保护和公开的范围。

Claims (10)

1.一种载物台，其特征在于：所述载物台（100）包括，

竖直运动连接于第一连接部（20）的放片部（30）；

第一连接部（20）旋转连接于第二连接部（40）；

所述第一连接部（20）相对于第二连接部（40）旋转的旋转轴沿竖直方向。

2.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：

所述放片部（30）通过沿竖直方向的滑轨连接于第一连接部（20）；

所述放片部（30）与第一连接部（20）之间连接有丝杆螺母结构，所述丝杆螺母结构沿竖直方向延伸。

3.根据权利要求2所述的载物台，其特征在于：

丝杆螺母结构中的丝杆连接于放片部（30），丝杆螺母结构中的螺母连接有第一驱动部（31），所述第一驱动部（31）带动螺母旋转从而使丝杆沿竖直方向的运动。

4.根据权利要求3所述的载物台，其特征在于：

所述第一驱动部（31）安装于第一连接部（20）。

5.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：

所述载物台（100）包括第二驱动部（41），所述第二驱动部（41）用于带动第一连接部（20）相对于第二连接部（40）旋转。

6.根据权利要求5所述的载物台，其特征在于：

所述第二驱动部（41）安装于第二连接部（40），所述第二驱动部（41）通过皮带轮（42）带动第一连接部（20）旋转。

7.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：

所述放片部（30）水平设置。

8.一种探针台，其特征在于：所述探针台包括权利要求1-7任意一项所述的载物台（100）。

9.根据权利要求8所述的探针台，其特征在于：所述载物台（100）通过XY运动平台连接于基座。

10.根据权利要求9所述的探针台，其特征在于：所述载物台（100）的第二连接部（40）通过XY运动平台连接于基座。

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