CN211350582U - 面板自动处理装置 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种面板自动处理装置，该装置包括：释放工作站，能够容纳附接到第一载板的塑封面板组成的中间面板组件，其中，所述第一载板处于所述中间面板组件的顶侧，所述释放工作站包括：释放单元，包括可移动的以纳入所述第一载板的载板纳入装置，所述载板纳入装置包括加热子装置以与所述第一载板热接触，所述载板纳入装置还包括将所述第一载板附接至所述载板纳入装置的附接子装置，其中，所述载板纳入装置被配置为可将所述中间面板组件加热至热分离粘合剂的分离温度，并使所述第一载板与所述塑封面板分离。

Description

面板自动处理装置

技术领域

本申请涉及一种面板自动处理装置(也可称为生产线或自动化线或自动化生产线)，用于释放经由热分离粘合剂附接到第一载板上的塑封面板，并且在一些情况下，还将该释放后的塑封面板转移到第二载板上。特别的，涉及一种装置，该装置用于在面板级半导体封装过程中释放经由热分离粘合剂附接到第一载板上的塑封面板，并且在一些情况下，还将该释放后的塑封面板转移到第二载板上。

背景技术

在面板级封装过程中，将待封装元件例如裸片，晶圆，被动件和/或金属件等电子元件置于载板上，例如为将元件的活性面朝向载板的方式放置，在载板上形成包覆元件的塑封层，即形成塑封面板，然后将包覆元件的塑封面板从载板上分离，以暴露元件的活性面，以便在接下来的流程中将电路镀覆在元件的活性面上。

常规地，在将塑封面板从载板上释放的过程中，塑封面板通常借助于加热或紫外线(UV)光照射的方式被释放，这是释放塑封面板的两种主要方法。

为了利用紫外光方法来释放塑封面板，必须使用玻璃载板。在玻璃载板上施加一层紫外分离胶粘剂层。然后，将封装所涉及的元件例如裸片和/或硅片和/或被动件和/ 或金属件通过紫外分离胶粘剂层排布在玻璃载板上，之后进行塑封工艺在玻璃载板上形成塑封层以包覆玻璃载板上的封装所涉及的元件，从而形成塑封面板。为了释放塑封面板，使玻璃载板的背面照射紫外线，从而将粘贴在玻璃载板上的塑封面板从玻璃载板上分离。但是，紫外线释放方法不是理想的方法，因为玻璃价格昂贵，易碎。此外，玻璃载板的使用将限制载板的尺寸，因为由于其易碎的性质通常不能使用大型玻璃载体。此外，由于玻璃的易碎性质，在释放和转移过程中使用玻璃载体还需要进行一些手动的精细处理。例如，在手动剥离并去除紫外分离胶粘剂层的过程中，可能易于产生静电放电，这将导致面板级封装过程中的重大产品质量问题。

为了利用加热方法来释放塑封面板，通常将玻璃载板上层压热分离胶粘剂层。然后，将封装所涉及的元件通过热分离胶粘剂层排布在玻璃载板上，之后进行塑封工艺，在玻璃载板上形成塑封层以包覆玻璃载板上的封装所涉及的元件，从而形成塑封面板。为了释放塑封面板，将热量施加到玻璃载板上，以将塑封面板与玻璃载板分离。但是，直接将热量施加到玻璃载板上可能会损坏玻璃载板。并且，加热还可能导致塑封面板不受控制的翘曲。此外，类似于紫外分离方法，玻璃载板的使用将限制载板的尺寸，此外，由于玻璃的易碎性质，在释放和转移过程中使用玻璃载体还需要进行一些手动的精细处理。例如，在手动剥离并去除紫外分离胶粘剂层的过程中，可能易于产生静电放电，这将导致面板级封装过程中的重大产品质量问题。

因此，需要一种面板的释放和转移的更有效的装置，系统和方法，以解决上述问题。

实用新型内容

根据各种实施例，提供一种面板自动处理装置，包括：释放工作站，能够容纳附接到第一载板的塑封面板组成的中间面板组件，其中，所述第一载板处于所述中间面板组件的顶侧，所述释放工作站包括：释放单元，包括可移动的以纳入所述第一载板的载板纳入装置，所述载板纳入装置包括加热子装置以与所述第一载板热接触，所述载板纳入装置还包括将所述第一载板附接至所述载板纳入装置的附接子装置，其中，所述载板纳入装置被配置为可将所述中间面板组件加热至热分离粘合剂的分离温度，并使所述第一载板与所述塑封面板分离。

附图说明

在附图中，相同的附图标记通常指代相同的部分。附图不一定按比例绘制，而是通常将重点放在说明本公开的原理上。参考以下附图描述各种实施例：

图1示出了根据各种实施例用于处理塑封面板的装置；

图2A至图2F示出了根据各种实施例基于图1的装置自动处理塑封面板的方法的示意图；

图3A示出了根据各种实施例用于处理塑封面板的装置；

图3B示出了根据各种实施例，参照图3A的装置，示出的附加细节的示意图；

图4A至图4D示出了根据各种实施例使用图3A的装置的粘合剂去除工具从塑封面板去除热分离粘合片的方法的示意图；

图5示出了根据各种实施例用于处理塑封面板的装置；

图6示出了根据各种实施例用于处理塑封面板的装置；

图7示出了根据各种实施例用于处理塑封面板的装置；

图8示出了根据各种实施例用于处理塑封面板的装置；

图9A至图9D示出了根据各种实施例，基于图8中的装置，参照图2A至图2F中自动处理塑封面板的方法，示出的附加步骤示意图；

图10示出了根据各种实施例用于处理塑封面板的设备；

图11示出了根据各种实施例的设备的示意性透视图。

具体实施方式

在以下的实施例中，对设备的描述对于相应的方法类似有效，反之亦然。此外，将理解的是，以下描述的实施例可以被组合，例如，一个实施例的一部分可以与另一实施例的一部分组合。

应该理解，术语“在...上”，“在...上方”，“顶部”，“底部”，“向下”，“向上”，“侧”，“旁”，“左”，“右”，“前”，“后”，“上”，“下”等在以下描述中使用时，是为了方便描述并帮助理解相对位置或方向，而不是要限制任何设备的方向或者结构，或任何设备或结构的任何部分。另外，除非上下文另外明确指出，否则单数术语“一个”，“一种”和“该”包括复数形式。类似地，除非上下文另外明确指出，否则单词“或”旨在包括“和”。

本申请涉及一种面板自动处理装置，特别是用于释放经由热分离粘合剂附接到第一载板上的塑封面板的装置，并且在一些情况下，还将该释放后的塑封面板转移到第二载板上。特别的，涉及一种装置，该装置用于在面板级半导体封装过程中释放经由热分离粘合剂附接到第一载板上的塑封面板，并且在一些情况下，还将该释放后的塑封面板转移到第二载板上。根据各种实施例，装置可以包括自动化加工线或自动化组装线或自动化过程线或自动化机器，所述自动化机器通过运输或输送系统衔接以在加工、生产、制造或装配或封装过程中执行预定工序的步骤。根据各种实施例，装置可以被配置为用于基于面板级半导体封装工艺的预定顺序的步骤中。面板级封装工艺是封装集成电路的技术，其中将封装所涉及的元件例如裸片和/或硅片和/或被动件和/或金属件，通常为多个元件，排布在载板上，然后将多个元件同时封装为塑封面板，而不是传统的单元件封装技术。因此，需要在第一载板上将多个元件塑封成面板形式。为了便于随后进行的在元件，例如裸片，的活性面上形成功能层，在形成塑封面板之前，将多个裸片平放在第一载板上。随后，为了在裸片的活性面上形成功能层，塑封面板必须首先从第一载板上脱离，从而暴露出裸片的活性面，接下来，为了利于后续封装工艺的进行，在一些情况下，还需要将塑封面板以裸片活性面暴露出的方式转移到第二载板上。塑封面板从第一载板的释放以及塑封面板向第二载板的转移也被称为“释放和转移”过程。根据各种实施例，提供了一种从载板上释放塑封面板并将其转移到另一个载板，同时将半导体裸片的活性面暴露出的系统或者生产线或者方法。根据各种实施例，第一载板和第二载板可以为任何材质，根据优选实施例第一载板和第二载板可以由钢或钢合金材料制成。根据各种实施例，第一载板和第二载板的形状可以为任意形状。根据优选实施例，第一载板和第二载板的形状可以为四边形。

各种实施例提供一种装置或系统或方法，该装置或系统或方法被开发为使用低成本材料，例如低成本钢合金材料，该装置或系统或方法与热分离膜配合使用，具有坚固耐用并且可广泛适用于各种工艺条件，从而为半导体大型面板封装工艺提供最经济，最有效的解决方案。各种实施例中，将面板组件逐渐加热到分离温度。各种实施例中，以精确和受控的运动来处理塑封面板，以使得塑封面板可以从载板轻轻地释放。各种实施例中，力求最小化或确保在去除热分离膜期间没有静电放电。各种实施例中，将释放的塑封面板转移到另一载板并暴露裸片的活性面，而无需物理翻转塑封面板。各种实施例中，在转移过程中最小化或确保免于对裸片的活性面的损坏。各种实施例中，通过逐步加热和冷却面板组件来确保塑封面板不受到应力或使应力最小化。

根据一些实施例，图1示出了处理塑封面板202的装置(参见图2A)。根据各种实施例，处理塑封面板202可以包括释放塑封面板202，该塑封面板202通过热分离胶层粘附到第一载板204(参见图2A)，并且将塑封面板202转移至第二载板206(参见图2E)。塑封面板202中塑封有多个裸片，裸片的活性面平坦地抵靠第一载板204。根据一些实施例，当塑封面板202仍然粘附到第一载板204时，塑封面板202和第一载板204可以形成中间面板组件203。根据一些实施例，装置 100可以包括释放工作站110和转移工作站130。根据各个实施例，释放工作站 110可以被配置为处理中间面板组件203，例如使塑封面板202可以与第一载板 204分离，以便使塑封面板202从第一载板204释放。在塑封面板202被释放后，塑封面板202可以被移动到转移工作站130。根据各种实施例，转移工作站130可以被配置为将塑封面板202放置到第二载板206上，放置的方式为：塑封面板202中塑封的多个裸片的活性面朝上并背离第二载板206，或者为使塑封面板202中的裸片的活性面暴露出来。

根据一些实施例，释放工作站110可以接收中间面板组件203，所述中间面板组件203为第一载板204粘附到塑封面板202形成的组件，其中，中间面板组件203的被接收时的方向为第一载板204在顶侧。因此，中间面板组件203可以被递送或传输到释放工作站110中，其中第一载板204位于塑封面板202之上。根据各种实施例，释放工作站110可以衔接到前端的工作站，该前端的工作站可以经由传输或传送系统将中间面板组件203递送或传输到释放工作站110(参见例如图8)根据各种实施例，释放工作站110也可以是独立的装置的第一个工作站。由此，中间面板组件203可以经由输入系统或经由手动给进被进给到释放工作站110中。因此，释放工作站110可以被配置为基于整体设置以及装置100如何装配到整个生产或制造或组装或封装过程中来接收中间面板组件203。

根据各种实施例，装置100中的释放工作站110包括释放单元112。根据各种实施例，释放单元112包括可移动的以纳入中间面板组件203中的第一载板204的载板纳入装置114。因此，当中间面板组件203被递送或运输到释放工作站110的释放单元 112时，载板纳入装置114可操作为朝着中间面板组件203移动并纳入中间面板组件 203的第一载板204。根据各种实施例，释放单元112可以以类似于压机单元的方式操作，并且载板纳入装置114可以在上下方向(或竖直方向)上移动，以便纳入中间面板组件203。中间面板组件203被放置在载板纳入装置114的下方，载板纳入装置114 向下移动以纳入中间面板组件。

根据各种实施例，载板纳入装置114可以包括加热子装置116，以热接触的方式接触到中间面板组件203的第一载板204表面。根据各种实施例，加热子装置116包括加热板。相应的，加热子装置116构成载板纳入装置114的底表面，以此，加热子装置116能够移动到与中间面板组件203的第一载板204相接触。因此，加热子装置116 可以将热量传导到中间面板组件203的第一载板204。根据各种实施例，载板纳入装置 114包括致动器(未示出)以控制和移动载板纳入装置114，使得加热子装置116可以移动到与中间面板组件203的第一载板204接触。

根据各种实施例，载板纳入装置114包括附接子装置118，以将中间面板组件 203的第一载板204附接到载板纳入装置114。由此，当中间面板组件203的第一载板204通过附接子装置118附接到载板纳入装置114，中间面板组件203的第一载板204可以由载板纳入装置114持有或保持在载板纳入装置114中。根据各种实施例，载板纳入装置114的附接子装置118包括真空抽吸机构，例如真空孔或真空杯，或夹持机构，例如夹持器或夹具，或诸如电磁体之类的磁性机构。根据各种实施例，载板纳入装置114的附接子装置118可以被配置为将第一载板204 持有或保持至载板纳入装置114。根据各种实施例，载板纳入装置114的附接子装置118可以仅与中间面板组件203的第一载板204直接附接。因此，当第一载板 204和塑封面板202彼此粘合以形成中间面板组件203时，载板纳入装置114的附接子装置118可将整个中间面板组件203持有或保持在载板纳入装置114。然而，当第一载板204和塑封面板202之间的粘合剂的粘结强度降低或减弱时，直接附接第一载板204的载板纳入装置114的附接子装置118可仅是在载板纳入装置114 中持有或保持第一载板204。因此，当载板纳入装置114沿远离塑封面板202的方向移动时，载板纳入装置114可以使第一载板204移动以将第一载板204与塑封面板202分离。

根据各种实施例，载板纳入装置114可用于将中间面板组件203加热到预定温度，从而在第一载板204和塑封面板202之间的热分离粘合剂的粘合强度减少。因此，预定温度可以是热分离粘合剂的分离温度。随后，载板纳入装置114可用于将第一载板204与塑封面板202分开。由此，载板纳入装置114可以移动以纳入中间面板组件203的第一载板204，使得加热子装置116可以与中间面板组件 203的第一载板204热接触。附接子装置118可以将中间面板组件203的第一载板204附接到载板纳入装置114。加热子装置116可以将中间面板组件203加热到预定温度，从而使热分离粘合剂的粘合强度减少或降低。此时，第一载板204仍然保持在载板纳入装置114中，随着载板纳入装置114向远离塑封面板202的方向移动，由此将第一载板204与塑封面板202分离，从而实现塑封面板202的释放。

根据各种实施例，转移工作站130能够从释放工作站110接收分离后的塑封面板202。因此，可以将分离后的塑封面板202递送或运输到转移工作站130中。根据各种实施例，转移工作站130衔接到前端的释放工作站110，该前端的释放工作站110可以经由输送装置150将分离后的塑封面板202递送或运输到转移工作站130。根据各种实施例，输送装置150可以包括至少一个输送元件152，所述输送元件152为可移动的，以将分离后的塑封面板202从释放工作站110输送到转移工作站130。因此，所述至少一个输送元件152可以在释放工作站110和转移工作站130之间被致动和移动。根据各种实施例，输送装置150的至少一个输送元件152包括移动台或输送系统。根据各种实施例，输送装置150的至少一个输送元件152包括移动式加热台154，该移动式加热台154可在释放工作站110和转移工作站130之间平移。根据各种实施例，作为至少一个输送元件152的移动式加热台154包括能够承载中间面板组件的加热台面156。由此，中间面板组件203可以放置在移动式加热台154的加热台面156上。根据各种实施例，当中间面板组件203被夹在移动式加热台154的加热台面156和释放单元112中的载板纳入装置114的加热子装置116之间时，加热台面156可以与载板纳入装置114的加热子装置116一起协同地加热中间面板组件203。在各种实施例中，移动式加热台154可以被致动以在释放工作站110和转移工作站130之间移动。

根据各种实施例，输送装置150的至少一个输送元件152中的移动式加热台154 包括附接子装置158，以将中间面板组件203的塑封面板202附接到至少一个输送元件 152的移动式加热台154。因此，当中间面板组件203的塑封面板202通过附接子装置 158附接到所述至少一个输送元件152的移动式加热台154时，中间面板组件203的塑封面板202可被持有或保持在该至少一个输送元件152的移动式加热台154上。根据各种实施例，至少一个输送元件152的移动式加热台154的附接子装置158包括真空抽吸机构，例如真空孔或真空杯，或夹持机构，例如夹持器或夹具。根据各种实施例，至少一个输送元件152的移动式加热台154的附接子装置158被配置为将塑封面板202 持有或保持到至少一个输送元件152，载板纳入装置114中持有或保持第一载板204，当第一载板204与塑封面板202之间的热分离粘合剂的粘合强度减弱或降低时，载板纳入装置114向远离至少一个输送元件152的移动式加热台154的方向移动，使第一载板204同步移动，第一载板204与塑封面板202分离。

根据各种实施例，装置100的转移工作站130包括转移单元132。根据各种实施例，转移单元132包括塑封面板纳入装置134，转移单元132可移动以纳入分离后的塑封面板202。因此，当分离后的塑封面板202被递送或运输到转移工作站130的转移单元 132中时，塑封面板纳入装置134可被操作以朝向分离后的塑封面板202移动并纳入分离后的塑封面板。根据各种实施例，转移单元132可以以类似于压机单元的方式操作，并且塑封面板纳入装置134可以在上下方向(或竖直方向)上移动，以便纳入分离后的塑封面板。当塑封面板纳入装置134向下移动时，塑封面板202被放置在载板纳入装置114下方。

根据各个实施例，塑封面板纳入装置134包括分步降温子装置136，以与分离的塑封面板202热接触。根据各个实施例，分步降温子装置136包括加热板。由此，分步降温子装置136形成塑封面板纳入装置134的底表面，能够移动并与分离后的塑封面板202接触。由此，当分步降温子装置136与分离后的塑封面板202 接触时，在分步降温子装置136和分离后的塑封面板202之间存在热传递。根据各种实施例，塑封面板纳入装置134包括致动器(未示出)，以控制和移动塑封面板纳入装置134，使得分步降温子装置136可以移动成与分离后的塑封面板202 接触。

根据各种实施例，塑封面板纳入装置134包括附接子装置138，以将分离的塑封面板202附接到塑封面板纳入装置134。因此，当分离后的塑封面板202通过附接子装置138附接到塑封面板纳入装置134，分离的塑封面板202可以由塑封面板纳入装置134持有或保持在塑封面板纳入装置134上。根据各种实施例，塑封面板纳入装置134的附接子装置138包括真空抽吸机构，例如真空孔或真空杯，或夹持机构，例如夹持器或夹具。根据各种实施例，塑封面板纳入装置134的附接子装置138被配置成以使得分离后的塑封面板202与分步降温子装置136以热接触的方式被持有或保持到塑封面板纳入装置134。

根据各个实施例，转移工作站130的转移单元132的塑封面板纳入装置134 包括集成真空加热板，该集成真空加热板具有内置的加热元件，以用作分步降温子装置136，以及具有多个真空孔用作附接子装置138。根据各种实施例，内置加热元件可以加热整个集成真空加热板。根据各种实施例，多个真空孔可以经由抽真空系统将塑封面板202附接到集成的真空加热板。

根据各种实施例，在分离后的塑封面板202附接到塑封面板纳入装置134上时，塑封面板纳入装置134可以向上和向下运动，由此可以提升和降低分离后的塑封面板202。由此，塑封面板纳入装置134可移动分离后的塑封面板202，以提升分离后的塑封面板202以将第二载板206放置在分离后的塑封面板202的下方，随后，塑封面板纳入装置134可移动分离后的塑封面板202，以降低分离后的塑封面板202，将其放置在第二载板206上。

根据各种实施例，塑封面板纳入装置134可操作为将分步降温子装置136的温度调节在环境温度和释放单元112中用于加热中间面板组件203的预定温度之间。当分离后的塑封面板202被递送或运输到转移单元132中时，分离后的塑封面板202的温度等于或接近释放单元112中设置的预定温度。然而，塑封面板纳入装置134的分步降温子装置136的温度被控制或调节为高于环境温度但仍低于分离后的塑封面板202 的温度。由此，当分步降温子装置136与分离后的塑封面板202热接触时，由于分离后的塑封面板202的温度高于分步降温子装置136的温度，所以塑封面板202可将热量传递到分步降温子装置136，从而塑封面板开始冷却。由于分步降温子装置136与分离后的塑封面板202之间的温度差小于环境温度与分离后的塑封面板202之间的温度差，因此，分离后的塑封面板202和分步降温子装置136在热接触时的冷却速度较慢。缓和的降温速率，使分离后的塑封面板202的翘曲可以被最小化或消除。

根据各种实施例，装置100中的转移工作站130包括运输单元140。运输单元140 中包括可以在转移工作站130的转移单元132中移入和移出的运输托盘142。在各种实施例中，运输单元140可以移动以将第二载板206携带和定位在由塑封面板纳入装置 134持有或保持的分离后的塑封面板202的下方，从而将分离后的塑封面板202放置在第二载板206上。在各种实施例中，运输单元140中的运输托盘142可水平地移入和移出转移单元132。根据各种实施例，运输托盘142可以被致动并且移动到转移单元 132外部的位置，以便将第二载板206接收到运输托盘142上。运输托盘142可以进一步被致动并且移动到转移单元132内，并且在塑封面板纳入装置134下方，使得可以将分离的塑封面板202放置在第二载板206上。根据各种实施例，在将塑封面板202 放置在第二载板206上之后，运输托盘142被致动并移动到转移单元132的外部，以将塑封面板202和第二载板206的组件从转移单元132中送出。

图2A至图2F为根据一些实施例，基于图1中所示的装置100，自动处理塑封面板202的方法示意图。在一些实施例中，自动处理塑封面板202的方法可以包括将利用热分离粘合剂附着到第一载板204上的塑封面板202从第一载板204上自动释放，并将自动释放后的塑封面板202自动转移到第二载板206上。

参照图2A，根据各种实施例，该方法包括：在装置100的释放工作站110的释放单元112中，将由第一载板204和塑封面板202结合形成的中间面板组件203加热到预定温度，以使塑封面板202和第一载板204之间的热分离粘合剂的粘合强度减小或降低。中间面板组件203在释放单元112中的放置方式为第一载板204朝上，塑封面板202朝下。根据各种实施例，在加热期间，释放单元112载板纳入装置114的加热子装置116可以与中间面板组件203的第一载板204热接触以加热第一载板 204。根据各种实施例，在加热期间，中间面板组件203可以被支撑在移动式加热台154的加热台面156上并与之热接触，并且加热台面156可以与载板纳入装置 114的加热子装置116一起协作地加热中间面板组件203。

如图2B所示，根据各种实施例，该方法包括通过经由载板纳入装置114的附接子装置118将第一载板204附接到载板纳入装置114上，并使载板纳入装置114 相对于塑封面板202远离移动，从而将第一载板204与塑封面板202分离。根据本实用新型的多个实施例，热分离粘合剂可以被配置为在预定温度下，仅通过载板纳入装置114对第一载板204的提升就可以将第一载板204与塑封面板202分开。根据各种实施例，移动式加热台154的附接子装置158可将塑封面板202附接到移动式加热台154。因此，通过将第一载板204附接到载板纳入装置114并将塑封面板202附接至移动式加热台154，当热分离粘合剂的粘合强度降低或减小时，使载板纳入装置114相对于移动式加热台154移开，从而以可控制和可靠的方式将第一载板204与塑封面板202分开。

如图2C所示，根据各种实施例，该方法包括将分离后的塑封面板202经由输送装置150的至少一个输送元件152从释放工作站110移动到转移工作站130。根据各种实施例，至少一个输送元件152是移动式加热台154。根据各种实施例，在移动式加热台154的移动期间，分离后的塑封面板202可以通过移动加热台的附接子装置158持续的附接到移动式加热台154。根据各种实施例，在移动式加热台154的移动期间，分离后的塑封面板202保持与移动式加热台154的加热台面 156的热接触，使得加热台面156可以继续加热或保持分离后的塑封面板202的温度接近或处于预定温度。

如图2D所示，根据各种实施例，该方法包括通过经由附接子装置138将分离后的塑封面板202附接到塑封面板纳入装置134，使传输工作站130的传输单元 132中的塑封面板202可以被提升，从而使塑封面板纳入装置134从输送装置150 的至少一个输送元件152移开。该塑封面板纳入装置134的分步降温子装置136 的温度被调节在环境温度与预定温度之间。相应的，附接子装置138可以持有或保持分离后的塑封面板202，从而使塑封面板纳入装置134移动时可以带动分离后的塑封面板202一起移动，并且使分步降温子装置136可以提供分步降温的环境以缓和的冷却速率冷却分离后的塑封面板202。

如图2E所示，根据各种实施例，该方法包括经由转移工作站130的运输单元140 的运输托盘142移动第二载板206，以将第二载板206定位在由塑封面板纳入装置134 持有或保持的分离后的塑封面板202的下方。根据各种实施例，第二载板206可以被放置在运输托盘142上。如图2D所示，运输托盘142可以将第二载板206移动到用于放置分离后的塑封面板202的位置。如图2E所示，根据各种实施例，该方法包括通过将塑封面板纳入装置134移向运输托盘142而将分离后的塑封面板202放置在第二载板206上。根据各种实施例，塑封面板纳入装置134和运输托盘142的运动可以依次或者同时进行。

如图2F所示，根据各种实施例，该方法包括将第二载板206和之上的塑封面板 202形成的组件经由运输托盘142移出转移单元132。

图3A示出了根据各种实施例，用于处理塑封面板202的装置300，根据各种实施例，处理塑封面板202包括释放通过热分离粘合剂附接到第一载板204(参见图2A) 上的塑封面板202(参见图2A)，并将释放后的塑封面板202转移至第二载板206 (参见图2E)。根据各种实施例，图3A示出的装置300与图1示出的装置100不同，图3A示出的装置300进一步包括以下内容。

根据各种实施例，图3A所示的装置300的释放工作站110进一步包括粘合剂去除单元360。粘合剂去除单元360中包括粘合剂去除工具362，以接合并从塑封面板202 上去除热分离粘合剂。根据各种实施例，粘合剂去除工具362可从塑封面板202的第一边缘部移动到塑封面板202的与第一边缘部相对的第二边缘部，从而去除跨越了塑封面板202的第一边缘部到第二边缘部的热分离粘合剂。

如图所示，根据各种实施例，塑封面板202和第一载板204之间的热分离粘合剂包括热分离粘合片305。根据各种实施例，粘合剂去除工具362包括夹持机构364和/ 或真空机构，夹持机构364可握持热分离粘合片305的边缘分。根据各种实施例，热分离粘合片305包括但不限于热分离粘合膜和热分离粘合带。根据各种实施例，致动或移动粘合剂去除工具362以便从塑封面板202上完全去除热分离粘合片305。例如，粘合剂去除工具362可以被配置为从塑封面板202的第一边缘部移动至塑封面板202 的第二边缘部。根据各种实施例，粘合剂去除工具362可配置为沿任何预定方向和/或顺序移动以完全去除塑封面板202上的热分离粘合片305。根据各种实施例，夹持机构364包括夹持构件364a和364b，夹持构件364a和364b包括但不限于钳子、夹具、夹子或咬合器。根据各种实施例，夹持机构364可被致动以夹取或抓取热分离粘合片305的边缘部分。根据各种实施例，真空机构可被配置为以吸住热分离粘合片305的边缘部分。

根据各种实施例，粘合剂去除单元360包括粘合剂检测器366，以感测保持在粘合剂去除工具362内的热分离粘合片305的边缘部分的存在。根据各种实施例，粘合剂检测器366可以包括传感器，该传感器被配置为感测夹在粘合剂去除工具 362的夹持机构364中的热分离粘合片305的存在。根据各种实施例，传感器可以包括任何合适类型的传感器，例如接触传感器、接近传感器、触觉传感器、光线传感器。根据各种实施例，当粘合剂检测器366感测到在剥离过程中热分离粘合片305的边缘部分不再保持在粘合剂去除工具362内时，粘合剂检测器366可以被配置成触发警报以警示操作员。

图3中示出的装置300的释放工作站110还包括静电中和器368。根据各种实施例，静电中和器368可与粘合剂去除工具362联合工作，当粘合剂去除工具362 在塑封面板202上移动以剥离热分离粘合片305时，静电中和器368在塑封面板 202和热分离粘合片305的界面307处释放离子。根据各种实施例，静电中和器 368为空气电离器，静电中和器368与粘合剂去除工具362协同设置，由此，当粘合剂去除工具362从塑封面板202上剥离热分离粘合片305时，静电中和器368 可以直接向塑封面板202和热分离粘合片305之间的界面307排出电离的空气流。

图4A至图4D示出了根据各种实施例，使用粘合剂去除工具362从塑封面板 202上去除热分离粘合片305的方法的示意图。如图4A所示，根据各种实施例，该方法包括将热分离粘合片305的边缘部分推入到夹持机构364的夹持构件364a， 364b之间。根据各种实施例，粘合剂去除单元360包括机械推力部件363，将热分离粘合片305的边缘部分推入夹持构件364a，364b之间的空间。机械推力部件 363包括但不限于柱塞、推杆或推板。

如图4B所示，根据各种实施例，该方法包括利用夹持机构364的夹持构件 364a，364b夹持热分离粘合片305的边缘部分。根据各个实施例，在粘合剂检测仪366检测到热分离粘合片305的边缘部分被推入夹持机构364中，夹持机构364 的夹持构件364a，364b可彼此相向移动以将热分离粘合片305的边缘部分持握在其间，从而夹持并保持热分离粘合片305边缘部分。

如图4C所示，根据各种实施例，该方法包括粘合剂去除工具362横向的跨越整个塑封面板202以剥离和去除热分离粘合片305。根据各种实施例，激活状态的静电中和器368随着粘合剂去除工具362的移动而保持同步的移动，以中和从塑封面板202上剥离热分离粘合片305期间所积累的静电。

如图4D所示，根据各种实施例，该方法包括粘合剂去除工具362夹持着被剥离后的热分离粘合片305一起移动到处理区域，打开夹持机构364的夹持构件364a，364b，使被剥离的热分离粘合片305落入处理区域中。

图3B示出了相比于图3A中的装置300具有更多细节的示意图。如图3B所示，根据各种实施例，装置300的释放工作站110进一步包括粘合剂处理单元370。粘合剂处理单元370被配置为用于丢弃剥离后的热分离粘合片305。粘合剂处理单元370包括固定收集盘372，该固定收集盘372位于粘合剂去除工具362可移动到的范围内，使得粘合剂去除工具362可将剥离后的热分离粘合片305移动到粘合剂处理单元370，并将剥离后的热分离粘合片305丢弃到固定收集托盘372上。

如图3B所示，根据各种实施例，装置300的释放工作站110进一步包括载板去除单元374。载板去除单元374被配置为去除从释放工作站110的释放单元112分离出的第一载板204。根据各种实施例，载板去除单元374包括可移动的载板接收盘376，可移动的载板接收盘376可移进和移出释放工作站110的释放单元112。载板接收盘376 可被致动和移动到被释放单元112的载板纳入装置114保持和持有的第一载板204的下方。然后，载板纳入装置114释放第一载板204并将其放置在载板接收盘376上。随后，将携带第一载板204的载板接收盘376从释放单元112中致动和移出。根据各种实施例，将第一载板204从载板接收盘376中取出以进行存储或再利用。根据各种实施例，未在附图中示出，载板去除单元374的载板接收盘376可以沿着平行(处于不同垂直高度)于在释放工作站110之间平移的输送装置150的移动式加热台154的移动平面移动。根据各个实施例，未在附图中示出，载板去除单元374的载板接收盘 376的运动方向可以垂直于输送装置150的移动式加热台154平移运动方向。

根据各种实施例，可以将静电中和器368(用作静电释放单元)安装到载板去除单元374的载板接收盘376。根据各种实施例，可以将静电中和器368安装在载板接收盘 376的边缘。根据各种实施例，当粘合剂去除工具362移动以剥离并去除热分离粘合片 305时，载板接收盘376随着粘合剂去除工具362的移动沿相同方向(或沿相同移动轴) 协同移动，以使得安装在载板接收盘376的边缘的静电中和器368将电离效应集中在热分离粘合片305和塑封面板202剥离的分离界面上。根据各种实施例，随着载板接收盘376与粘合剂去除工具362同步地运动，当粘合剂去除工具将热分离粘合片305从塑封面板202上完全剥离时，载板接收盘376从而位于由释放单元112 的载板纳入装置114保持的第一载板204的下方。因此，当通过粘合剂去除工具 362完成剥离过程时，载板接收盘376可以处于第一载板204下方的预定位置，从而可以操作载板纳入装置114以释放第一载板204并将其放置在载板接收盘376 上。载板接收盘376可被致动携带第一载板204移出释放单元112。

根据各种实施例的，图5示出了用于处理塑封面板202的装置500，根据各种实施例，装置500用于释放通过热分离粘合剂附接到第一载板204上的塑封面板 202，并且将该塑封面板202转移到第二载板206上。根据各种实施例，图5的装置500不同于图1的装置100，不同之处在于：图5的装置500进一步包括以下内容。

根据各种实施例，图5中示出了装置500中的转移工作站130还包括保护膜分配单元580。保护膜分配单元580包括位于转移单元132中的塑封面板纳入装置 134的第一侧的保护膜供应卷轴582和位于转移单元132中的塑封面板纳入装置 134的第二侧的保护膜收集卷轴584。保护膜供应卷轴582和保护膜收集卷轴584 分别位于转移单元132上的塑封面板纳入装置134的相对的两侧。根据各种实施例，保护膜586悬挂在保护膜供应卷轴582和保护膜收集卷轴584之间且覆盖在转移单元132中的塑封面板纳入装置134的分步降温子装置136的热接触表面137。根据各种实施例，可以致动保护膜收集卷轴584，将保护膜586用过的部分收集到保护膜收集卷轴584上，并且可以展开保护膜供应卷轴582新提供的保护膜586。根据各种实施例，保护膜586可为塑封面板202上的元件，例如裸片的活性面提供保护。根据各种实施例，转移单元132中的塑封面板纳入装置134的附接子装置138被配置成施加真空以通过抽吸的方式将保护膜586附着到塑封面板纳入装置134的分步降温子装置136的热接触表面137上。根据各种实施例，保护膜586 可以包括多个孔。根据各种实施例，保护膜586上具有的多个孔，所述多个孔可以与转移单元132中的塑封面板纳入装置134的附接子装置138上的一些真空孔或真空杯相对准，使得这些真空孔或真空杯可用于将塑封面板202附接到转移单元132的塑封面板纳入装置134的分步降温子装置136。

根据各种实施例，输送装置150的移动式加热台154进一步包括保护膜刺穿装置588。保护膜刺穿装置588可以配置为在保护膜586上形成多个孔。在各个实施例中，保护膜刺穿装置588设置于输送装置150的移动式加热台154的加热台面156的一侧。根据各种实施例，保护膜刺穿装置588包括多个刺针589。移动式加热台154可被致动并相对于转移单元132的塑封面板纳入装置134横向移动到预定位置。此外，塑封面板纳入装置134可被致动并朝向转移单元132中的移动式加热台154移动。由此，移动式加热台154一侧的刺针589可以刺向覆盖在塑封面板纳入装置134上的保护膜586，以便刺穿并在保护膜586上形成多个孔。

根据各种实施例，图6示出了处理塑封面板202的装置600，根据各种实施例，装置600用于释放通过热分离粘合剂粘接到第一载板204的塑封面板202，并且将该塑封面板202转移到第二载板206。根据各种实施例，图6中示出的装置600和图1中示出的装置100不同。不同之处在于，图6中示出的装置600进一步包括以下内容。

根据各种实施例，图6中示出的装置600中的转移工作站130还包括对准导向装置644，以引导转移单元132的塑封面板纳入装置134与用以运送第二载板206的运输单元140的运输托盘142之间的相对运动，从而使在将分离后的塑封面板202放置在第二载板206上的过程中将塑封面板202和第二载板206相互对准。对准导向装置644 可以测量和确定分离后的塑封面板202和第二载板206之间的相对位置偏移，根据测量结果，致动并移动转移单元132中的塑封面板纳入装置134和运输单元140的运输托盘142从而将分离后的塑封面板202和第二载板206对齐以进行放置。根据各种实施例，对准导向装置644包括具有图像捕获装置646的视觉对准导向装置。根据各种实施例，图像捕获装置646设置在运输托盘142以提供分离后的塑封面板202和第二载板206之间的位置的相对偏移信息的视觉反馈，从而控制运输托盘142和塑封面板纳入装置134的相对运动，以使分离后的塑封面板202和第二载板206对准。

根据各种实施例，图7示出了用于处理塑封面板202的装置700，在一些实施例中，装置700用于释放通过热分离粘合剂粘接到第一载板204的塑封面板202，并且将该塑封面板202转移到第二载板206。根据各种实施例，图7中示出的装置700和图1中示出的装置100不同。不同之处在于，图7中示出的装置700进一步包括以下内容。

根据各种实施例，当转移单元132中的塑封面板纳入装置134下降并且与运输单元140中的运输托盘142接触时，塑封面板纳入装置134和运输托盘142协作地形成密合空间，该密合空间中能够形成真空环境以用于将分离后的塑封面板202无空隙地放置到第二载板206上。在一些实施例中，在真空环境下将塑封面板202放置在第二载板206上，可以确保塑封面板202平坦的抵靠放置在第二载板206，塑封面板202和第二载板206之间没有任何空气间隙。

根据各种实施例，运输托盘142包括围绕运输托盘142的外围部分的密封件 743。根据各种实施例，密封件743是围绕运输托盘142的外围部分的橡胶密封件或垫圈。由此，密封件743可以形成连续的环形圈以环绕运输托盘142的外围部分。根据各种实施例，运输托盘142包括抽真空机构，以在由塑封面板纳入装置 134和运输托盘142形成的密合空间中形成真空。

根据各种实施例，图8示出了处理塑封面板202的装置800，在一些实施例中，装置800用于释放通过热分离粘合剂粘接到第一载板204的塑封面板202，并且将该塑封面板202转移到第二载板206。根据各种实施例，图8中示出的装置800 和图1中示出的装置100不同。不同之处在于，图8中示出的装置800进一步包括以下内容。

根据各种实施例，图8的装置800还包括预热工作站890，该预热工作站890 能够以第一载板204朝上侧，塑封面板202朝下侧的方式来接收中间面板组件203。根据各种实施例，预热工作站890可以被配置为将容纳在预热工作站890中的中间面板组件203预热到某低于释放工作站110中的预定温度的中间温度。中间面板组件203可以以第一载板204处于在塑封面板202顶部的方式被递送或运输到预热工作站890中。根据各种实施例，预热工作站890可以衔接到前端的工作站，该前端的工作站可以通过传输或运送系统将中间面板组件203传输或运送到预热工作站890。根据各种实施例，预热工作站890还可以是独立的装置的第一工作站。因此，中间面板组件203可以经由输入系统(例如，参见图10)或经由手动给进被进给到预热工作站890中。因此，预热工作站890可以被配置为基于整体设置以及装置800如何装配到整个生产或制造或组装或封装过程中来接收中间面板组件203。

根据各个实施例，装置800的预热工作站890包括预热单元892。根据各个实施例，预热单元892包括可移动的面板组件纳入装置890可纳入中间面板组件203。因此，当中间面板组件203被递送或运输到预热工作站890的预热单元892中时，面板组件纳入装置894可操作为朝着中间面板组件203移动并纳入中间面板组件 203。根据各个实施例，预热单元892的操作方式类似于压机单元，面板组件纳入装置894可以在上下方向(或竖直方向)上移动，以便纳入中间面板组件203。中间面板组件203被放置在面板组件纳入装置894的下方，载板纳入装置114向下移动以纳入中间面板组件。

根据各种实施例，面板组件纳入装置894包括预热子装置896，以热接触的方式接触到中间面板组件203。根据各种实施例，预热子装置896包括加热板。因此，预热子装置896构成面板组件接合装置894的底表面，以此，预热子装置896能够移动到与中间板组件203的第一载板204相接触。因此，预热子装置896可以将热量传导到中间面板组件203的第一载板204。根据各种实施例，面板组件纳入装置包括致动器(未示出)，以控制和移动面板组件纳入装置894，使得预热子装置896可以移动到与中间面板组件203相接触。

根据各个实施例，面板组件纳入装置894包括附接子装置898，以将中间面板组件203附接到面板组件纳入装置894。由此，当中间面板组件203通过附接子装置898附接到面板组件纳入装置894，中间面板组件203可以由面板组件纳入装置894持有或保持在面板组件纳入装置894上。因此，致动和移动面板组件纳入装置894可移动附接到其上的中间面板组件203。根据各种实施例，面板组件纳入装置894的附接子装置 898包括真空抽吸机构，例如真空孔或真空杯，或夹持机构，例如夹持器或夹具，或诸如电磁体之类的磁性机构。根据各种实施例，面板组件纳入装置894的附接子装置898 可以被配置为将中间面板组件203持有或保持至面板组件纳入装置894。根据各种实施例，面板组件纳入装置894的附接子装置898可以仅与中间面板组件203的第一载板 204直接附接。

根据各种实施例，面板组件纳入装置894可用于将中间面板组件203预热至低于预定温度的中间温度。根据各种实施例，面板组件纳入装置894的预热子装置896可以被配置成将中间面板组件203逐渐加热到中间温度。因此，预热子装置896可使中间面板组件203的温度在预定时间段内逐渐升高。

根据各种实施例，输送装置150被配置成当中间面板组件203被加热到中间温度后将中间面板组件203从预热工作站890移动到释放工作站110。根据各种实施例，输送装置150包括可在预热工作站890和释放工作站110之间横向平移的移动式预热台 853。根据各种实施例，移动式预热台853包括预热台面855，预热台面855能够容纳中间面板组件203。因此，中间面板组件203可以放置在移动式预热台853的预热台面 855上。根据各种实施例，当中间面板组件203被夹在移动式预热台853的预热台面855和预热单元892中的面板组件纳入装置894的预热子装置896之间时，预热台面855可以与面板组件纳入装置894的预热子装置896一起协同地加热中间面板组件203。在各种实施例中，移动式预热台853可以被致动以在预热工作站890和释放工作站110之间移动。

根据各种实施例，输送装置150的移动式预热台853包括附接子装置857，以将中间面板组件203附接到移动式预热台853。中间面板组件203通过附接子装置 858附接到移动式预热台853从而被持有或保持在移动式预热台853上。移动式预热台853的附接子装置857包括真空抽吸机构，例如真空孔或真空杯，或夹持机构，例如夹持器或夹具。根据各种实施例，移动式预热台853的附接子装置857 被配置为以使得中间面板组件203被持有或保持在移动式预热台853上被从预热工作站890移动到释放工作站110时，中间面板组件203不会从移动式预热台853 上掉落。

图9A至图9D示出了基于图8中的装置800，参照图2A至图2F中自动释放和转移塑封面板202的方法，示出的附加步骤示意图。

如图9A所示，根据各种实施例，该方法进一步包括将中间面板组件203预热到中间温度的步骤，所述中间温度为低于使塑封面板202和第一载板204之间的热分离粘合剂的粘合强度减弱或降低的预定温度。根据各种实施例，将中间面板组件203以第一载板20朝向顶侧的取向方式放置在装置800中的预热工作站890 的预热单元892中，从而将中间面板组件203预热到低于预定温度的中间温度。根据各种实施例，在预加热期间，预热单元892中的面板组件纳入装置894的预热子装置896可以与中间面板组件203热接触以进行预加热。根据各种实施例，在预加热期间，中间面板组件203可以被支撑在移动式预热台853的预热台面855 上并与之热接触，并且预热台面855可以与面板组件纳入装置894的预热子装置 896一起协同加热中间面板组件203。

如图9B所示，根据各种实施例，该方法还包括：经由移动式预热台853将中间面板组件203从预热工作站890移动到释放工作站110。根据各种实施例，在移动式预热台853的移动期间，中间面板组件203通过预热台面855的附接子装置 857被持有和保持在移动式预热台853。根据各种实施例，在移动式预热台853的移动期间，中间面板组件203也可以保持与移动式预热台853的预热台面855的热接触，从而使预热台面855可以继续对中间面板组件203进行加热或保温，使其接近或处于中间温度。

如图9C所示，根据各种实施例，该方法还包括在释放工作站110中的释放单元 112中，通过将中间面板组件203经由载板纳入装置114的附接子装置118附接到载板纳入装置114中，将中间面板组件203提升，使中间面板组件203从移动式预热台853 移开。附接子装置118可以保持或持有中间面板组件203，使得载板纳入装置114移动时可以将中间面板组件203提升。根据各种实施例，移动式预热台853可以移回到预热工作站890，移动式加热台154可以移动到释放工作站110。

如图9D所示，根据各种实施例，该方法还包括将持有或保持中间面板组件203的载板纳入装置114降低到移动式加热台154上，使得中间面板组件203被置于载板纳入装置114和移动式加热台154之间。因此，在这种设置中，该方法可以继续进行如图2A至图2E示出的步骤。

图10示出了根据各种实施例，用于处理塑封面板202的装置1000，根据各种实施例，处理塑封面板202可以包括释放通过热分离粘合剂附接到第一载板204上的塑封面板202，并将释放后的塑封面板202转移至第二载板206。根据各种实施例，图10 示出的装置1000与图8示出的装置800不同，图10示出的装置1000进一步包括以下内容。

根据各种实施例，图10中示出的装置1000还包括能够将中间面板组件203传送到预热工作站890中的面板组件进给器单元1024。根据各种实施例，面板组件进给器单元1024可以被配置为传送或运输中间面板组件203。根据各种实施例，面板组件进给器单元1024包括可移动进出预热工作站890中的预热单元892的面板组件进给盘 1026。在各种实施例中，面板组件进给盘1026可以横向移动以便移入和移出预热单元 892。根据各种实施例，中间面板组件203可以被放置在面板组件进给盘1026上，随后，面板组件进给盘1026被致动和移动到预热单元892中。在预热单元892中，面板组件纳入装置894可被致动并移动以拾取中间面板组件203并将中间面板组件203放置在移动式预热台853上。根据各种实施例，未在附图中示出，面板组件进给器单元 1024的面板组件进给盘1026可以沿着平行(处于不同垂直高度)于在预热工作站890 和释放工作站110之间移动的输送装置150的移动式预热台853移动平面移动。根据各种实施例，未在附图中示出，面板组件进给器单元1024的面板组件进给盘1026的进给运动方向可以垂直于输送装置150的移动式预热台853的平移运动方向。

根据各种实施例，图11示出了装置1100的示意性透视图。根据各种实施例，提供了一种用于释放和转移的装置1100(或自动化机器或机器)。装置1100包括预热工作站1190(或预热站)，该预热工作站1190包括预热单元(例如，参见图 8中的892)，该预热单元类似于压机单元，顶部具有热板(或预热子装置，例如参见图8中的896)，用于预热由第一载板204和塑封面板202组成的中间面板组件203(或工件)；还包括真空或夹具单元(或附接子装置，例如参见图8中的 898)，用于固定和持有中间面板组件203；以及包括面板组件进给器单元1124 (或面板组件输入单元)。装置1100进一步包括释放工作站1110(或释放站)，该释放工作站1110包括释放单元(例如参见图1中的112)，该释放单元类似于压机单元，顶部具有热板(或加热子装置，例如参见图1中的116)，用于将中间面板组件203加热至塑封面板202和第一载板204之间的热分离膜(或热分离粘合片)的分离温度；还包括真空或夹具单元(或附接子装置，例如参见图1中的 118)，用于固定和持有中间面板组件203；以及还包括剥离单元1160(或粘合剂去除单元，例如参见图3A中的360)，用于将加热分离后的热分离膜剥离；还包括静电去除单元(或静电中和器，例如参见图3A中的368)以消除在剥离过程中积累的静电荷；还包括热分离膜处理单元(或粘合剂处理单元，例如参见图3B中的370)；还包括面板送出单元1174(或载板移除单元)。装置1100还包括转移工作站1130(或转移站)，该转移工作站1130包括转移单元(例如，见图1中的 132)，该转移单元类似于压机单元，顶部具有包括真空抽吸机构的热板(或分步降温子装置，例如，参见图1中的136)，所述热板具有低于分离温度的温度，以分部缓慢降低分离出的塑封面板202的温度；还包括位于单元顶部的真空或夹具单元(或附接子装置，例如参见图1中的138)；还包括卷轴装置1180(或保护膜分配单元)，用于在塑封面板202的暴露出的表面施加保护膜，以保护塑封面板上裸片的活性面；根据各种实施例，转移过程在高真空环境中进行以确保无空隙的转移。根据各种实施例，装置1100可进一步包括卸载工作站1148(或卸载站)，该卸载工作站1148包括运输单元1140(例如参见图1中的140)，用于将第二载板206运输到装置1100中，使得塑封面板202可以粘附在其上，然后，卸载工作站1148可以将第二载板206和塑封面板202的组件从装置1100中移出。根据各种实施例，装置1100可进一步包括三个可移动的底部热板(或输送装置，例如参见图1和图8中的150)，所述三个底部热板具有真空装置，以在上述四个工作站之间运送或转移组件或面板。

根据各种实施例，将载有塑封面板202的第一载板204运送到装置1100中，第一载板204上具有第一条形码1108(或第一机器可读代码)，所述第一条形码在服务器上存储有第一载板204上所载有的塑封面板202的信息。也就是，塑封面板202的信息被预编码到第一条形码1108中，因此第一条形码1108包含塑封面板202的信息。因此，由塑封面板202和第一载板204组成的中间面板组件203被载入到预热工作站 1190中，第一条形码1108可以被扫描并且塑封面板202的信息可以从服务器中检索。根据各种实施例，第二载板206(或转移载体)可以具有第二条形码1109(或第二机器可读代码)。当第二载板206被装载到卸载工作站1148中时，可以扫描第二条形码 1109，并且塑封面板202的信息可以与第二条形码1109相关联。换句话说，塑封面板 202的信息被编码到第二条形码1109中，从而将塑封面板202的信息存储到第二条形码1109中。根据各种实施例，预热工作站1190可以包括第一条形码读取器1197(或第一机器可读代码扫描仪)和卸载工作站1148可以包括第二条形码读取器1199(或第二机器可读代码扫描仪)。

根据各个实施例，提供了一种利用装置1100执行释放和转移的方法。根据各个实施例，该方法可以包括预加热步骤。

在预加热步骤中，中间面板组件203(或工件)通过面板组件进给器单元1124输入到预热工作站1190中。根据各种实施例，中间面板组件203包括包含裸片的塑封面板202和第一载板204，其中，裸片的活性面朝向载板装贴在热分离膜(或热分离粘合片)上，所述第一载板204可以由钢或钢合金材料制成。此外，在预热步骤期间，预热工作站1190的预热压机(或面板组件纳入装置，例如参见图8的894)通过机械装置接收中间面板组件203。之后，面板组件进给器单元1124撤离。随后，中间面板组件203降低到底部预热台(或移动式预热台，例如参见图8的853)上。然后将中间面板组件203根据预定时间被保持在两个热板之间，即预热压机和底部预热台之间。根据各种实施例，该过程是在经受释放过程所需的高温之前预热中间面板组件203。根据各种实施例，该步骤使塑封面板202所受到的热冲击的影响最小化。根据各种实施例，一旦达到预定时间，预热压机便缩回，从而将中间面板组件203留在底部的预热台上。中间面板组件203的塑封面板侧可以通过真空保持到底部预热台。随后，底部预热台移动到释放工作站1110中，并在释放工作站1110的释放压机(或载板纳入装置，例如参见图1的114)下定位。

根据各种实施例，该方法可以进一步包括释放步骤。当中间面板组件203被底部预热台运送到释放工作站1110的释放单元中时，释放步骤开始。在释放步骤中，释放压机通过机械方式接收中间面板组件203。之后，底部预热台撤回，并且底部释放台(或移动式加热台，例如参见图1的154)移入，然后将中间面板组件 203放到底部释放台上。之后将中间面板组件203按照预定时间保持在两个热板之间，即释放压机和底部释放台之间。在这段时间中，两个热板均被加热到释放热分离膜所需的分离温度。根据各种实施例，该过程是加热中间面板组件203以将塑封面板202从第一载板204释放。根据各个实施例，一旦达到预定时间，则释放压机与第一载板204一起缩回。将塑封面板202与热分离膜一起留在底部释放台上。可以通过真空将塑封面板202保持到底部释放台。在这种状态下，热分离膜可以准备剥离。

根据各种实施例，该方法可以进一步包括剥离步骤。当具有热分离膜的塑封面板202保持在底部释放台上时，剥离步骤开始。在剥离步骤中，剥离夹具(或粘合剂去除工具，例如参见图3A的362)移动到塑封面板202的边缘，夹具通过机械方式(例如，通过推板将膜的边缘推入夹具，或利用真空抽吸，或其它)捕获热分离膜。随后，夹具以预定的速度和高度缩回以剥离热分离膜从而暴露塑封面板202上的裸片的活性面，确保在此移动过程中塑封面板202上没有裂纹或移位。静电中和器(例如，参见图3A的368)与抓取器的移动方向为同步的移动，以确保电离效应集中在和/或定向在热分离膜和塑封面板202的界面上。剥离完成后，夹具继续移动到处理位置，在处理位置收集剥离后的废弃热分离膜。底部释放台上保持有塑封面板202，塑封面板上的裸片的活性面暴露出来，底部释放台将塑封面板202移动到转移压机下。另外，将释放压机上的第一载板204放置在另一个去除单元(或载板去除单元，例如参见图3B的374)上，以将第一载板204 从释放工作站1110中移出并随后卸载。根据各种实施例，第一载板可以被回收或再利用。

根据各种实施例，该方法进一步包括转移步骤。但是，在执行转移步骤之前，该方法包括转移压机准备步骤。在转移工作站1130中的转移压机(或塑封面板纳入装置134)中进行转移步骤期间，为了保护塑封面板中暴露出的裸片活性面，转移工作站配备有保护膜单元(或保护膜分配单元，例如参见图5的580)，其周期性地提供新鲜的保护膜。保护膜上具有一定的孔隙，以使转移压机可以通过保护膜借由真空抽吸保持或持有塑封面板202。根据各种实施例，转移工作站1130可以根据以下的转移压机准备步骤来使用标准的低成本保护膜。首先旋转保护膜分配器提供出新鲜的保护膜，然后打开真空，保护膜被吸入真空槽，从而真空槽的轮廓出现在保护膜的另一侧。随后，将保护膜的特定位置处打孔，特定的位置为连接到另一个真空源的位置。根据各种实施例，转移压机包括真空机构(或附接子装置，例如参见图1的138)，真空机构包括多排真空孔。例如，两行或三行或四行或更多行真空孔。多个真空孔排布成一排线条的形状，用于吸引塑封面板202以及保护膜。真空孔可以布置在转移压机的上部的转移热板上(或分步降温子装置，例如参见图1的136)。在具有三排真空孔的实施例中，最左边的一排真空孔和最右边的一排真空孔可被配置成抽吸塑封面板202 以提供更大的抽吸力。中间一排真空孔可以被构造成抽吸保护膜。为了使最左边的一排和最右边的一排的真空孔能够抽吸塑封面板202，在与真空孔相对应的位置处的保护膜被刺穿装置(例如刺针，参见图5的589)刺破。根据各种实施例，刺穿装置可以布置在底部释放台的一侧。因此，在转移压机的准备步骤中，保护膜供应卷轴转动向转移热板表面上提供新的保护膜段之后，底部释放热板将刺穿装置移至最左边的一排或最右边的一排真空孔的下方。然后用刺穿装置的刺针刺穿保护膜。接下来，底部释放热板将刺穿装置移至另一排真空孔的下方，并再次刺穿保护膜。根据各种实施例，刺穿装置可包括多个刺穿单元。每个刺穿单元可以对应于最左行或最右行的一个真空孔。在转移压机准备步骤结束后，继续进行转移步骤。

在转移步骤中，转移压机下降并与塑封面板202接触，并通过真空接收塑封面板202。之后，底部释放台撤回。转移压机具有较低的温度，以降低塑封面板202的温度并开始冷却过程。同时，层压有粘合剂层的第二载板206通过进给单元和/或夹持装置被传送到底部转移台(或运输托盘，例如参见图1的142)中。底部转移台移动到转移压机的下方。视觉系统(或对准导向装置，例如图6的644)测定第二载板206和塑封面板202之间的相对位置偏移，并根据测定的结构对相对位置进行校正。然后将塑封面板202降低到底部转移台上并和底部转移台四周的橡胶密封件相接触(或密封件，例如参见图7的743)。根据各种实施例，转移压机悬挂在或停留在橡胶密封件的位置。当打开真空时，转移压机向下移动并使橡胶密封件压缩，塑封面板202与第二载板206 精确接触。然后，在真空条件下，将塑封面板202在转移压机和底部转移台的两个板之间保持预定的时间，以确保塑封面板202和第二载板之间没有空隙。达到预定时间，转移压机缩回，将塑封面板202转移到底部转移台上的第二载板206上。然后，底部转移台将转移后的面板组件从装置1100运出。

以下示例涉及各种实施例。

在一些实施例中，示出了一种面板自动处理装置，该装置包括：释放工作站，能够容纳附接到第一载板的塑封面板组成的中间面板组件，其中，所述第一载板处于所述中间面板组件的顶侧，所述释放工作站包括：释放单元，包括可移动的以纳入所述第一载板的载板纳入装置，所述载板纳入装置包括加热子装置以与所述第一载板热接触，所述载板纳入装置还包括将所述第一载板附接至所述载板纳入装置的附接子装置，其中，所述载板纳入装置被配置为可将所述中间面板组件加热至热分离粘合剂的分离温度，并使所述第一载板与所述塑封面板分离。

在另一些实施例中，面板自动处理装置可选地还包括：转移工作站，能够从所述释放工作站接收分离后的所述塑封面板，所述转移工作站包括：转移单元，包括可移动的以纳入分离后的所述塑封面板的塑封面板纳入装置，所述塑封面板纳入装置包括分步降温子装置以与分离后的所述塑封面板热接触，还包括附接子装置用于将分离后的所述塑封面板附接到所述塑封面板纳入装置，其中，所述分步降温子装置可被调节为温度在环境温度和所述分离温度之间；运输单元，包括运输托盘，所述运输托盘可移动地移入和移出所述转移单元，以将第二载板运送到由所述塑封面板纳入装置保持和持有的分离后的所述塑封面板的下方，以将分离后的所述塑封面板放置在第二载板上；和输送装置，包括至少一个输送元件，所述输送元件可移动以将分离后的所述塑封面板从所述释放工作站运送到所述转移工作站。

在另一些实施例中，可选地还包括：释放工作站可以进一步包括粘合剂去除单元，该粘合剂去除单元包括粘合剂去除工具，以接合并从塑封面板上去除热分离粘合剂，并且其中，粘合剂去除工具可从塑封面板的第一边缘部分移动到塑封面板的相对的第二边缘部分，以从塑封面板的第一边缘部分到第二边缘部分去除热分离粘合剂。

在另一些实施例中，可选地还包括：粘合剂去除工具可以包括夹持机构，以夹持热分离粘合剂的热分离粘合剂片的边缘部分。

在另一些实施例中，可选地还包括：粘合剂去除工具可以包括粘合剂检测器，以检测保持在粘合剂去除工具的夹持机构内的热分离粘合剂片的边缘部分的存在。

在另一些实施例中，可选地还包括：粘合剂去除单元可以进一步包括与粘合剂去除工具相关联的静电中和器，以当粘合剂去除工具在塑封面板上移动以剥离热分离粘合剂片时，在塑封面板和热分离粘合剂片的界面处释放离子。

在另一些实施例中，可选地还包括：载板纳入装置和/或塑封面板纳入装置中的附接子装置可以包括真空抽吸机构。

在另一些实施例中，可选地还包括：载板纳入装置的加热子装置和/或塑封面板纳入装置的分步降温子装置中可包括加热板。

在另一些实施例中，可选地还包括：塑封面板纳入装置可以包括集成的真空加热板，其中，内置的加热部件用作分步降温子装置，多个真空孔用作附接子装置。

在另一些实施例中，可选地还包括：转移工作站可以包括保护膜分配单元，保护膜分配单元包括位于转移单元中的塑封面板纳入装置的第一侧的保护膜供应卷轴和位于转移单元中的塑封面板纳入装置的第二侧的保护膜收集卷轴，保护膜悬挂在保护膜供应卷轴和保护膜收集卷轴之间且覆盖在塑封面板纳入装置的分步降温子装置的热接触表面。

在另一些实施例中，可选地还包括：保护膜可以包括多个孔。

在另一些实施例中，可选地还包括：输送装置的输送元件可以包括可在释放工作站和转移工作站之间平移的移动式加热台，该移动式加热台可以包括加热台面，其能够承载中间面板组件并且和释放单元的载板纳入装置的加热子装置协同加热中间面板组件，其中，移动式加热台还包括保护膜刺穿装置，保护膜刺穿装置设置于加热台面的一侧，具有多个刺针。

在另一些实施例中，可选地还包括：输送装置的输送元件可以包括可在释放工作站和转移工作站之间平移的移动式加热台，该移动式加热台可以包括加热台面，其能够承载中间面板组件并且和释放单元的载板纳入装置的加热子装置协同加热中间面板组件。

在另一些实施例中，可选地还包括：转移工作站还包括对准导向装置，以引导转移单元的塑封面板纳入装置与用以运送第二载板的运输单元的运输托盘之间的相对运动，从而使在将分离后的塑封面板放置在第二载板上的过程中将塑封面板和第二载板相互对准。

在另一些实施例中，可选地还包括：对准导向装置包括具有图像捕获装置的视觉对准导向装置，图像捕获装置设置在运输托盘以提供分离后的塑封面板和第二载板之间的位置的相对偏移信息的视觉反馈，从而控制运输托盘和塑封面板纳入装置的相对运动，以使分离后的塑封面板和第二载板对准。

在另一些实施例中，可选地还包括：当塑封面板纳入装置下降并且与运输托盘接触时，塑封面板纳入装置和运输托盘协作地形成密合空间，该密合空间中能够形成真空环境以用于将分离后的塑封面板无空隙地放置到第二载板上。

在另一些实施例中，可选地还包括：运输托盘包括围绕运输托盘的外围部分的密封件。

在另一些实施例中，可选地还包括：预热工作站，该预热工作站能够以第一载板朝上侧的方式来接收中间面板组件。预热工作站包含：

预热单元，预热单元包括可移动的面板组件纳入装置可纳入中间面板组件，面板组件纳入装置包括预热子装置，以热接触的方式接触到中间面板组件，其中所述预热子装置配置为将中间面板组件预热到低于分离温度的中间温度，

其中，所述输送装置配置为将所述中间面板组件从所述预热工作站移动到所述释放工作站。

在另一些实施例中，可选地还包括：输送装置包括可在预热工作站和释放工作站之间横向平移的移动式预热台，移动式预热台包括预热台面，预热台面能够容纳中间面板组件。

在另一些实施例中，可选地还包括：能够将中间面板组件传送到预热工作站中的面板组件进给器单元。

在另一些实施例中，可选地还包括：面板组件纳入装置可以包括用于保持或持有中间面板组件的附接子装置，其中，面板组件进给器单元可以包括可移动的面板组件进给盘，移入和移出预热工作站以输送中间面板组件，预热单元配置为使用面板组件纳入装置提升面板组件进给盘上的中间面板组件并将中间面板组件放置在移动式预热台上，移动式预热台和面板组件纳入装置协同配合对中间面板组件进行预热。

在一些实施例中，示出了一种面板自动处理方法，包括：在释放工作站的释放单元中，以第一载板朝顶侧的方式加热由附接到所述第一载板的塑封面板构成的中间面板组件至热分离粘合剂的分离温度，其中，所述释放单元中的载板纳入装置的加热子装置与所述中间面板组件的所述第一载板热接触以加热所述第一载板；通过所述经由载板纳入装置的附接子装置将所述第一载板附接到所述载板纳入装置并且使所述载板纳入装置远离所述塑封面板移动而将所述第一载板与所述塑封面板分离。

在另一些实施例中，可选地还包括：经由输送装置的至少一个输送元件将分离后的所述塑封面板从所述释放工作站传送到所述转移工作站；经由所述塑封面板纳入装置的所述附接子装置将分离后的所述塑封面板附接到所述塑封面板纳入装置，并且使所述塑封面板纳入装置远离所述输送装置的至少一个输送元件移动，从而将转移工作站的转移单元中的分离后的所述塑封面板提升；所述转移工作站的运输单元的运输托盘将第二载板运送到由所述塑封面板纳入装置保持的分离后的所述塑封面板的下方；通过将所述塑封面板纳入装置移向所述运输托盘，将分离后的所述塑封面板放置在所述第二载板上。

在另一些实施例中，可选地还包括：释放工作站中的粘合剂去除单元的粘合剂去除工具与热分离粘合剂相接合并从塑封面板的第一边缘部横跨塑封面板移动到塑封面板的第二边缘部，从而从塑封面板上去除热分离粘合剂。

在另一些实施例中，可选地还包括：去除热分离粘合剂的步骤可以包括：粘合剂去除工具的夹持机构夹持热分离粘合剂的热分离粘合片的边缘部分，并且粘合剂去除工具横跨塑封面板移动剥离热释放粘合片。

在另一些实施例中，可选地还包括：去除热分离粘合剂可以进一步包括：当粘合剂去除工具移动以剥离热分离粘合片时，静电中和器在塑封面板和热分离粘合片的界面处释放离子。

在另一些实施例中，可选地还包括：在设置于转移单元中的塑封面板纳入装置的第一侧的保护膜供应卷轴和设置于转移单元的塑封面板纳入装置的相对的第二侧的保护膜收集卷轴之间分配和悬挂保护膜，以使保护膜悬挂覆盖于转移单元中的塑封面板纳入装置的分步降温子装置的热接触表面。

在另一些实施例中，可选地还包括：移动转移单元中的塑封面板纳入装置以与具有多个刺针的保护膜刺穿装置接触，以在保护膜上刺出多个孔。

在另一些实施例中，可选地还包括：将分离后的塑封面板放置在第二载板上可以包括：用转移工作站中的对准导向装置使分离后的塑封面板和第二载板对准。

在另一些实施例中，可选地还包括：将分离后的塑封面板放置在第二载板上可以包括：形成真空环境，以将分离后的塑封面板无空隙地放置到第二载板上，其中，塑封面板纳入装置在降低时与运输托盘接触并共同形成用于形成真空环境的密封外壳。

在另一些实施例中，可选地还包括：在预热工作站的预热单元中将第一载板位于顶侧的状态下，将中间面板组件预加热至低于分离温度的中间温度，其中预热单元中的面板组件纳入装置的预热子装置与中间面板组件热接触；和将预热后的中间面板组件从预热工作站移动到释放工作站。

在另一些实施例中，可选地还包括：经由面板组件进给器单元将中间面板组件输送到预热工作站中。

在另一些实施例中，可选地还包括：扫描标记在第一载板上的第一机器可读代码，以获取塑封面板上的信息；以及扫描标记在第二载板上的第二机器可读代码，将塑封面板上的信息存储在第二机器可读代码。

另一些实施例是形成包括多个裸片的塑封面板并暴露该多个裸片的活性面以用于面板级封装工艺中的后续处理的方法，该方法包括：

提供第一钢合金载板；

在第一钢合金载板上设置热分离粘合剂层；

将多个裸片放置在热分离粘合剂层上的预定位置上，并使多个裸片的活性面平放在热分离粘合剂层上；

用塑封材料在第一钢合金载板上塑封多个裸片，以在第一钢合金载体上形成塑封面板；

将所述塑封面板和所述第一钢合金载板加热至所述热分离胶粘层的分离温度；

将塑封面板从第一钢合金载板释放；

将塑封面板转移到第二钢合金载板上，并使塑封面板定向成使得多个裸片的活性面背向第二钢合金载体。

各个实施例提供了一种装置，系统和方法，用于将大型塑封面板从载板上释放以暴露出裸片的活性面，然后将塑封面板转移到另一个载板而无需翻转塑封面板并且仍然保持裸片的活性面暴露以用于电路制造过程。各种实施例涉及预热由第一载板和其上的塑封面板组成的中间面板组件(或工件)，并将中间面板组件加热至分离温度，使用真空和扁平卡盘并精确地控制运动将塑封面板与第一载板分离，在防止静电累积的条件下，将塑封面板上的热分离膜剥离，在高真空条件下将塑封面板转移至第二载板(或另一个载体)，同时降低塑封面板的温度。各种实施例提供了剥离热分离膜而不使塑封面板移位或损坏，并同时进行电离过程以防止静电累积，各种实施例使用保护膜对塑封面板的活性面进行保护并使用独特的真空持有和保持塑封面板。各种实施例已经提供了在塑封面板转移到第二载板上时，通过相机引导对准以实现精确的位置控制，各种实施例提供了在高真空下转移以消除接触表面之间的空气滞留，各种实施例已经提供了分步缓和的温度降低以最小化塑封面板的应力和翘曲，各种实施例已经通过在预热，释放和转移步骤中控制温度来减小翘曲。

各个实施例提供了一种多级加热系统和冷却系统，以逐渐加热和冷却面板。因此，实现最小或无热冲击，最小或无累积的内部应力以及最小或无翘曲。在各种实施例中，在释放和转移过程中不需要翻转面板。因此，没有复杂的机械结构，并且对脆弱面板的损害很小或没有损害。各种实施例提供了一种精确的真空系统，该系统与受控的运动相结合，使得塑封面板从钢载板上缓缓释放。各种实施例已经在转移站中提供了对准视觉系统，在对准的条件下将面板转移到转移载体中。因此，视觉系统检查第二钢载板和塑封面板之间的位置的相对偏移，并且该系统对相对位置进行校正。各种实施方式提供了一种膜剥离单元，该膜剥离单元通过应用静电中和单元来确保在膜剥离过程中的静电释放最小或没有静电释放，该静电中和单元优选地安装在与剥离夹持机构同步移动的进料器上，以确保静电中和单元的电离效应集中在膜和塑封面板的界面处。各种实施例提供了由保护膜分配器提供的保护膜，以保护裸片的活性面免受损害。各种实施例提供了一种传感器，该传感器设置在夹持件中，并且该传感器构造成用于检查热分离膜是否被保持在夹持件中。各种实施例在载板上提供了条形码以用于存储信息。

虽然已经参考特定实施例具体示出并描述了本实用新型，但是本领域技术人员应当理解，在不脱离本实用新型范围的情况下，可以在其中进行形式和细节上的各种改变，修改，变化。如所附权利要求书所定义的本实用新型。因此，本实用新型的范围由所附权利要求书指示，并且因此意图包括落入权利要求书的等同含义和范围内的所有改变。

Claims (10)

1.一种面板自动处理装置，其特征在于，所述装置包括：

释放工作站，能够容纳附接到第一载板的塑封面板组成的中间面板组件，其中，所述第一载板处于所述中间面板组件的顶侧，所述释放工作站包括：释放单元，包括可移动的以纳入所述第一载板的载板纳入装置，所述载板纳入装置包括加热子装置以与所述第一载板热接触，所述载板纳入装置还包括将所述第一载板附接至所述载板纳入装置的附接子装置，其中，所述载板纳入装置被配置为可将所述中间面板组件加热至热分离粘合剂的分离温度，并使所述第一载板与所述塑封面板分离。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述装置还包括：

转移工作站，能够从所述释放工作站接收分离后的所述塑封面板，所述转移工作站包括：转移单元，包括可移动的以纳入分离后的所述塑封面板的塑封面板纳入装置，所述塑封面板纳入装置包括分步降温子装置以与分离后的所述塑封面板热接触，还包括附接子装置用于将分离后的所述塑封面板附接到所述塑封面板纳入装置，其中，所述分步降温子装置可被调节为温度在环境温度和所述分离温度之间；运输单元，包括运输托盘，所述运输托盘可移动地移入和移出所述转移单元，以将第二载板运送到由所述塑封面板纳入装置保持和持有的分离后的所述塑封面板的下方，以将分离后的所述塑封面板放置在第二载板上；和

输送装置，包括至少一个输送元件，所述输送元件可移动以将分离后的所述塑封面板从所述释放工作站运送到所述转移工作站。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其中，所述释放工作站进一步包括粘合剂去除单元，所述粘合剂去除单元包括粘合剂去除工具，以接合并从所述塑封面板上去除所述热分离粘合剂，所述粘合剂去除工具被配置为可从所述塑封面板的第一边缘部分移动到与所述第一边缘部分相对的所述塑封面板的第二边缘部分，以从所述第一边缘部分到所述第二边缘部分去除所述热分离粘合剂。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，所述粘合剂去除工具包括附接机构，以附接热分离粘合剂的边缘部分，所述附接机构包括夹持机构或真空机构。

5.根据权利要求4所述的装置，其中，所述粘合剂去除工具还包括粘合剂检测器，以检测保持在所述粘合剂去除工具的所述附接机构的所述热分离粘合剂的边缘部分的存在。

6.根据权利要求5所述的装置，其中，所述粘合剂去除单元进一步包括与所述粘合剂去除工具协同设置的静电中和器，以当所述粘合剂去除工具剥离所述热分离粘合剂时，在所述塑封面板和所述热分离粘合剂的界面处释放离子。

7.根据权利要求2所述的装置，其中，所述转移工作站还包括保护膜分配单元，所述保护膜分配单元包括位于所述塑封面板纳入装置的第一侧的保护膜供应卷轴和位于所述塑封面板纳入装置的第二侧的保护膜收集卷轴，保护膜悬挂在所述保护膜供应卷轴和所述保护膜收集卷轴之间且覆盖在所述塑封面板纳入装置的所述分步降温子装置的热接触表面。

8.根据权利要求2所述的装置，其中，所述转移工作站还包括对准导向装置，以引导所述转移单元的所述塑封面板纳入装置与用以运送所述第二载板的所述运输单元的所述运输托盘之间的相对运动，从而使分离后的所述塑封面板放置在所述第二载板时，将所述塑封面板和所述第二载板相对准。

9.根据权利要求1或2所述的装置，其中，所述装置还包括：

预热工作站，所述预热工作站能够以所述第一载板朝顶侧的方式来接收所述中间面板组件，所述预热工作站包括：预热单元，所述预热单元包括可移动的面板组件纳入装置以纳入所述中间面板组件，所述面板组件纳入装置包括预热子装置，能够以热接触的方式接触到所述中间面板组件，其中所述预热子装置被配置为将所述中间面板组件预热到低于分离温度的中间温度；

输送装置，被配置为可将所述中间面板组件从所述预热工作站移动到所述释放工作站。

10.根据权利要求9所述的装置，其中，所述输送装置还包括可在所述预热工作站和所述释放工作站之间平移的移动式预热台，所述移动式预热台包括预热台面，所述预热台面能够承载所述中间面板组件。

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