CN211311568U - 镀膜机用材料挡板装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了镀膜机用材料挡板装置,包括支杆,支杆通过旋转驱动装置安装于溅镀室底板,并在旋转驱动装置作用下自转。支杆上端固结有固定挡板组件,固定挡板组件包括固定连接的固定部和第一挡板,固定部与支杆焊接固定。固定挡板组件下方设置有与支杆可拆卸连接的活动挡板组件,活动挡板组件包括固定连接的连接部和第二挡板,连接部套装在支杆上,可沿支杆上下滑动,连接部上设置有与支杆匹配的套孔,连接部和支杆通过销钉固定,连接部和支杆上分别设置有与销钉过盈配合的第一固定孔和第二固定孔。销钉一侧设置有用于顶出销钉的顶出装置。材料挡板装置避免了挡板膜层脱落污染蒸发源,保证了镀膜层的纯度和质量,且结构简单,减少成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及光学镜片加工领域,特别涉及一种镀膜机用材料挡板装置。
背景技术
随着我国现代制造业的崛起,光学产品被广泛的应用到人们的实际生产和生活当中去,光学产品在使用时根据不同的使用需求需要在光学产品的表面进行镀膜。镀膜是指以物理或化学方法在光学元件表面镀上单层或多层薄膜,利用入射、反射及透射光线在薄膜界面产生的干涉作用实现聚焦、准直、滤光、反射及折射等效果。目前多使用镀膜机对光学器件进行镀膜,首先,将光学元件安装于镀膜治具上,镀膜治具设置于一容器中;其次,密闭容器,对容器抽真空;然后,以蒸镀或溅镀等方法在光学元件需要镀膜的部位进行镀膜;最后,将经过镀膜的光学元件从镀膜治具上拆卸下来。在蒸发源刚开始融化镀膜材料的时候,蒸发速率不稳定,需要用挡板装置挡住蒸发点,待蒸发速率稳定后再把遮挡装置打开。并且在镀膜时通过控制挡板的开关状态,可精确的选择所需膜料的成分。
现有的挡板装置通过旋转驱动装置来控制挡板的打开和关闭,但目前挡板装置为一体式结构,一个旋转驱动装置控制一个挡板的开关。若所镀膜层数比较多或者镀膜时间比较长,膜料会不断蒸发到挡板上,当膜层积累到一定厚度的时候,会逐渐开裂并落在蒸发源的蒸发点上,落下来的膜层不是一次积累的,其中可能含有杂质,从而导致蒸发出去的镀膜材料也含有杂质,最终影响所镀膜层质量。
实用新型内容
为克服上述缺点,本实用新型的目的在于提供一种镀膜机用材料挡板装置。
为了达到以上目的,本实用新型采用的技术方案是:镀膜机用材料挡板装置,包括支杆,所述支杆通过旋转驱动装置安装于溅镀室底板,并在所述旋转驱动装置作用下自转,其特征在于:所述支杆上端固结有固定挡板组件,所述固定挡板组件包括固定连接的固定部和第一挡板,所述固定部与支杆焊接固定;所述固定挡板组件下方设置有与支杆可拆卸连接的活动挡板组件,所述活动挡板组件包括固定连接的连接部和第二挡板,所述连接部套装在支杆上,可沿所述支杆上下滑动,所述连接部上设置有与支杆匹配的套孔,所述连接部和支杆通过销钉固定,所述连接部和支杆上分别设置有与销钉过盈配合的第一固定孔和第二固定孔;所述销钉一侧设置有用于顶出销钉的顶出装置。
本实用新型的有益效果是,旋转驱动装置驱动支杆转动,一个支杆上固定有固定挡板组件、可拆卸连接有活动挡板组件,固定挡板组件和活动挡板组件在同一个旋转驱动装置转动,当镀膜层数比较多或者镀膜时间比较长时,活动挡板积累一段时间后,转动支杆,通过顶出装置卸下活动挡板组件,活动组件沿支杆下滑,固定挡板组件继续单独使用。实现第一挡板、第二挡板的在线更换,避免了挡板上发生膜层过度累积,从而避免了挡板膜层脱落污染蒸发源,保证了镀膜层的纯度和质量。且体积比较小,便于安装,不需要占据额外的安装空间和装置,减少成本。
优选地,所述销钉包括销钉本体以及销钉端头,所述销钉端头对应设置于销钉本体的一端并为一体式结构,所述销钉端头的直径大小大于所述销钉本体的直径大小,所述顶出装置设置在销钉本体远离销钉端头一侧。销钉实现可拆卸连接,顶出装置从销钉本体一侧方便顶出。
优选地,所述顶出装置包括固定在溅镀室侧板上的固定座,所述固定座内设置有靠近/远离销钉的顶杆,所述顶杆顶端设置有用于顶出销钉的顶针,通过顶杆移动带动顶针靠近销钉,顶出销钉。
优选地,所述顶杆为螺纹杆,所述固定座上设置有与顶杆配合的螺纹孔,所述顶杆一端穿出溅镀室固结有驱动顶杆旋转的驱动装置。
优选地,所述驱动装置为旋转手柄或旋转电机,手动和电动两种驱动方式的任意一种均可实现。
优选地,为优化蒸发材料的吸收,所述第一挡板和第二挡板结构相同,均具有以惰性材料制成的表面。
附图说明
图1为本实施例结构示意图;
图2为本实施例活动挡板组件工作时的立体图;
图3为本实施例固定挡板组件工作时的立体图;
图4为本实施例拆除活动挡板状态结构示意图;
图5为本实施例中活动挡板组件结构示意图。
图中:
1-支杆,1a-第二固定孔,2-旋转驱动装置,3-溅镀室,31-底板,32-侧板, 33-顶板,4-固定挡板组件,41-固定部,42-第一挡板,5-活动挡板组件,51- 连接部,51a-套孔,51b-第一固定孔,52-第二挡板,6-销钉,61-销钉本体, 62-销钉端头,7-顶出装置,71-固定座,72-顶杆,73-顶针,74-驱动装置,8- 蒸发源。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述,以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
参见附图1-2所示,溅镀室3由底板31、顶板33和连接底板31和顶板的侧板 32围成,形成一个中空的密封结构,溅镀室3腔体内设置有蒸发源8,待镀膜产品位于蒸发源8上方。
本实施例中的镀膜机用材料挡板装置设置在蒸发源8和待镀膜产品之间,对提供真空镀膜的溅镀室3腔体内的蒸发源8和待镀膜产品进行遮挡。包括支杆1,支杆1下端穿过底板31固结有旋转驱动装置2,旋转驱动装置2固结在底板31外侧,支杆1在旋转驱动装置2作用下自转。旋转驱动装置2为挡板装置中的现有装置,在专利CN205275688U、CN201605316U已公开,此处不再赘述。
具体实施例一
参见附图1-5所示,支杆1上端固结有固定挡板组件4,固定挡板组件4包括固定部41和第一挡板42,固定部41和第一挡板42固定连接,固定部41与支杆1焊接固定。固定挡板组件4下方设置有与支杆1可拆卸连接的活动挡板组件5,活动挡板组件5包括固定连接的连接部51和第二挡板52,连接部51套装在支杆1上,可沿支杆1上下滑动,连接部51上设置有与支杆1匹配的套孔51a,套孔51a的直径大支杆1的直径5cm以内,使活动挡板组件5在不使用销钉6固定时,可沿支杆1 下滑,并且不与支杆1同步转动。为优化蒸发材料的吸收,第一挡板42和第二挡板52结构相同,均具有以惰性材料制成的表面。连接部51和支杆1通过销钉6固定,销钉6包括销钉本体61以及销钉端头62,销钉端头62对应设置于销钉本体61 的一端并为一体式结构,销钉端头62的直径大小大于销钉本体61的直径大小。连接部51和支杆1上分别设置有的第一固定孔51b和第二固定孔1a,第一固定孔 51b和第二固定孔1a与销钉本体61直径相同,第一固定孔51b、第二固定孔1a与销钉过盈配合。
销钉本体61远离销钉端头62的一侧设置有用于顶出销钉6的顶出装置7。顶出装置7包括固定在溅镀室3侧板32上的固定座71,固定座71内设置有可靠近/远离销钉的顶杆72,顶杆72顶端设置有用于顶出销钉的顶针73,通过顶杆移动带动顶针73靠近销钉6,顶出销钉6。为实现顶针73插入第一固定孔51b和第二固定孔1a以顶出销钉6,顶针73的直径小于销钉本体61的直径。顶杆72为螺纹杆,固定座71上设置有与顶杆72配合的螺纹孔,顶杆72一端穿出溅镀室3固结有驱动顶杆72旋转的驱动装置74。溅镀室3的侧板32与顶杆72连接处设置有密封薄膜。驱动装置74为旋转手柄。
旋转驱动装置2驱动支杆1转动,此时活动挡板组件5通过销钉6固定在支杆1 上,支杆1带动固定挡板组件4和活动挡板组件5共同旋转至蒸发源8和待镀膜产品之间,此时活动挡板组件5的第二挡板52起到遮挡作用。在达到一定的镀膜层数后,旋转驱动装置2驱动支杆1转动,带动固定挡板组件4和活动挡板组件5共同旋转至打开状态,通过顶出装置7顶出销钉6,活动挡板组件5沿支杆1滑落在底板31。旋转驱动装置2再次驱动支杆1转动,支杆1仅带动固定挡板组件4转动,此时第一挡板42单独继续使用。实现第一挡板42、第二挡板52的在线更换,避免了挡板上发生膜层过度累积,从而避免了挡板膜层脱落污染蒸发源8,保证了镀膜层的纯度和质量。且体积比较小,便于安装,不需要占据额外的安装空间和装置,减少成本。
具体实施例2
顶出装置7的驱动装置74为旋转电机,实现销钉6的自动化顶出,效率高。
以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施,并不能以此限制本实用新型的保护范围,凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (6)
1.镀膜机用材料挡板装置,包括支杆(1),所述支杆(1)通过旋转驱动装置(2)安装于溅镀室(3)的底板(31),并在所述旋转驱动装置(2)作用下自转,其特征在于:所述支杆(1)上端固结有固定挡板组件(4),所述固定挡板组件(4)包括固定连接的固定部(41)和第一挡板(42),所述固定部(41)与支杆(1)焊接固定;所述固定挡板组件(4)下方设置有与支杆(1)可拆卸连接的活动挡板组件(5),所述活动挡板组件(5)包括固定连接的连接部(51)和第二挡板(52),所述连接部(51)套装在支杆(1)上,可沿所述支杆(1)上下滑动,所述连接部(51)上设置有与支杆(1)匹配的套孔(51a),所述连接部(51)和支杆(1)通过销钉(6)固定,所述连接部(51)和支杆(1)上分别设置有与销钉(6)过盈配合的第一固定孔(51b)和第二固定孔(1a);所述销钉(6)一侧设置有用于顶出销钉(6)的顶出装置(7)。
2.根据权利要求1所述的镀膜机用材料挡板装置,其特征在于:所述销钉(6)包括销钉本体(61)以及销钉端头(62),所述销钉端头(62)对应设置于销钉本体(61)的一端并为一体式结构,所述销钉端头(62)的直径大小大于所述销钉本体(61)的直径大小,所述顶出装置(7)设置在销钉本体(61)远离销钉端头(62)一侧。
3.根据权利要求1所述的镀膜机用材料挡板装置,其特征在于:所述顶出装置(7)包括固定在溅镀室(3)的侧板(32)上的固定座(71),所述固定座(71)内设置有靠近/远离销钉(6)的顶杆(72),所述顶杆(72)顶端设置有用于顶出销钉(6)的顶针(73)。
4.根据权利要求3所述的镀膜机用材料挡板装置,其特征在于:所述顶杆(72)为螺纹杆,所述固定座(71)上设置有与顶杆(72)配合的螺纹孔,所述顶杆(72)一端穿出溅镀室(3)固结有驱动顶杆(72)旋转的驱动装置(74)。
5.根据权利要求4所述的镀膜机用材料挡板装置,其特征在于:所述驱动装置(74)为旋转手柄或旋转电机。
6.根据权利要求1所述的镀膜机用材料挡板装置,其特征在于:所述第一挡板(42)和第二挡板(52)结构相同,均具有以惰性材料制成的表面。
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CN113463189A (zh) * | 2021-06-21 | 2021-10-01 | 湖南烁科晶磊半导体科技有限公司 | 一种双快门分子束外延源炉系统及分子束外延设备 |
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