CN211342652U - 光学部件增透镀膜设备腔体的门扇 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光学部件增透镀膜设备腔体的门扇，包括铰接在腔体侧板上的门扇板，门扇板上设置至少两个观察视窗，包括第一视窗、第二视窗，第一视窗包括固定设置在门扇板其靠近腔体内侧面上的玻璃片以及设置在门扇板内的镜筒，门扇板上设置圆台形的盲孔，盲孔的开口端为小尺寸端，盲孔的开口位于门扇板其远离腔体的外侧面上，盲孔的孔底壁与玻璃片相连，镜筒设置在盲孔内，盲孔的开口端设置关节轴承，关节轴承的外圈固定连接在盲孔其开口端内壁，关节轴承的内圈固定连接镜筒其设置目镜的一端，镜筒的另一端设置物镜，镜筒的长度小于盲孔的深度。本实用新型将门扇的两个视窗改成一个可以控制工件旋转，一个可以观察腔体不同部位的工件。

Description

光学部件增透镀膜设备腔体的门扇

技术领域

本实用新型涉及一种光学部件增透镀膜设备腔体的门扇。

背景技术

宽带减反射膜和滤光片都是可以增强象的平衡和品质，对整个光学系统的性能进行提升。增透膜从20世纪30年代出现至今，在光学薄膜领域的地位是其它薄膜不能替代的。其应用广泛，生产总量也是所有类型薄膜中最大的。滤光片也在巨大社会需求的驱动下，发展和应用广泛。为了提高生产实践中产品的性能，人们不断研究和完善滤光片和减反射膜制备和设计工艺。大约两百年前，Fraunhofer最初通过化学方法成功完成了减反射膜层的制备工作。然而,直到20世纪初,人们对抽真空系统的不断摸索,引入了扩散泵的使用,从此，光学薄膜的地位独立于光学系统，成为一类光学元件来使用。进入近现代，电子计算机得到快速的发展，光学薄膜领域也通过对其引入来加速和优化光学薄膜的设计与制备,很快光学薄膜的应用就得到质和量的提高,相关产品与技术都发展迅速。

增透膜和滤光片等光学薄膜工艺的研究还在不断开展，膜系的设计、膜料的选择、新型离子源的研发和膜料沉积方法的改进等，每一个环节的提升都能带来镀膜工艺的提升。人们已经可以设计出不同带宽，不同功能的膜系，用来滤光、反射和透射等对光谱进行调控。但是在实际镀制过程中并不一定能做出达到理想指标的膜层。这就需要对镀膜工艺进行改进和完善。

实际镀膜过程中，增透膜和滤光片存在的主要问题有宽带反射率过高、曲线变形、光洁度差和脱膜等现象。以电子束热蒸发真空镀膜机为例，其所镀膜层质量就受到抽真空系统、蒸发速率、温度、膜厚控制仪灵敏度、离子源以及前期的清洗等各方面的影响。从最初的膜系设计开始，不仅涉及光学的基本性质,有些特定薄膜还要考虑光同薄膜作用过程中的光伏效应、光声、光电、光热、和在强激光作用之下薄膜所具有的破坏效应,另外还有光学薄膜的非线性性质、力学和结构。因此增透膜和滤光片应用广泛，而且其产品多为批量生产，真空镀膜机一次镀膜可能会有几十甚至上百的产品，而影响薄膜最终性能的因素又非常多，一旦工艺控制不合理而致使不合格的镀膜产品流入市场，可能带来严重后果。以美容机滤光片为例，这类滤光片多为长波通，将短波部分截止掉，用来做嫩肤美容或脱毛等。如果光谱发生向短波偏移，就可能会因为短波高频光的作用造成毁容风险。所以合理的工艺设计成为提高产品薄膜性能的重要保证，也只有这样才能减少成本输出甚至事故风险，而高品质薄膜的镀制，能提高产品性能，提升人们生活品质。

随着人们对于镀膜设备的产能要求越来越高，将腔体做大并实现自动翻转基片成为很好的选择。但腔体做大时，如果不相应增加工件伞架上的镀膜治具单元的数量，从而减轻每个镀膜治具单元的重量，就会产生如下问题：因翻转板过大、过重，导致转动性能不稳定，且较大的体积，且伞罩与腔体顶部的空间有限，导致实际操作过程中靠近转轴部位的放置孔，很难被观察到并放置好镜片，放置速度较慢，十分影响加工效率。另外，现在一般采用驱动电机驱动工件伞架转动，这样虽然实现了自动转动使得蒸镀后的工件其膜层均匀，但在旋转过程中难免出现振动或磕碰到腔体顶板的情况，这样反而出现置放在工件伞架上的工件偏离正确镀膜位置或甚至出现工件从工件伞架上掉落的情况，而目前镀膜设备腔体上的门扇的视窗无法很好地观察到整个工件伞架的转动情况。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供一种光学部件增透镀膜设备腔体的门扇，增强视窗的观察范围，可以避免自动旋转偶有出现振动导致工件偏离甚至从旋转工件伞架上掉落的情况，能够及时止损。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案是设计一种光学部件增透镀膜设备腔体的门扇，包括铰接在腔体侧板上的门扇板，门扇板上设置至少两个观察视窗，包括第一视窗、第二视窗，第一视窗包括固定设置在门扇板其靠近腔体内侧面上的玻璃片以及设置在门扇板内的镜筒，门扇板上设置圆台形的盲孔，盲孔的开口端为小尺寸端，盲孔的开口位于门扇板其远离腔体的外侧面上，盲孔的孔底壁与玻璃片相连，镜筒设置在盲孔内，盲孔的开口端设置关节轴承，关节轴承的外圈固定连接在盲孔其开口端内壁，关节轴承的内圈固定连接镜筒其设置目镜的一端，镜筒的另一端设置物镜，镜筒的长度小于盲孔的深度。玻璃片与门扇板之间还设置密封圈以保证腔体的密封性。这样将第一视窗设置成望远镜形式，能够增强视窗的观察效果，并且由于关节轴承的设置，能够调整观察的部位，增加视窗观察的全面性。甚至可以采用可调长度的望远镜形式，进一步增强视窗的观察效果。

进一步的技术方案是，玻璃层为盘状且其直径与盲孔大尺寸端的直径相适配。玻璃柱与门扇板之间采用轴封或有机械密封或液封(如油封)皆可实现玻璃柱的转动且不会影响腔体的密封情况(类似蒸汽机或轮船螺旋桨的轴封情况，既能转动又不会影响内部的密封情况)。

进一步的技术方案是，第二视窗包括转动设置在门扇板上的玻璃柱，玻璃柱水平设置，门扇板竖直设置，玻璃柱上固定设置齿环，齿环的外侧面设置齿轮齿，与齿环啮合设置有齿条，与齿条啮合设置有从动齿轮，从动齿轮位于门扇板的上部，从动齿轮的齿轮轴穿过门扇板一直延伸至腔体中部位置，从动齿轮的齿轮轴其位于腔体中部的端部固定设置主动锥齿轮，主动锥齿轮与从动锥齿轮啮合配合，从动锥齿轮固定设置在转轴上，转轴转动设置在腔体顶板上；门扇板内设置用于齿条上下滑动的空腔以及用与从动齿轮转动的空腔。转轴的底端固定设置工件伞架以实现工件伞架的转动以保证伞架上工件在镀膜时蒸镀的均匀。这样设置后，改变原来自动旋转工件伞架的情况，人工通过第一视窗观察工件伞架的情况，并且通过第二视窗操作(转动玻璃柱)使得从动锥齿轮转动，以此驱动工件伞架转动，转动过程通过人工控制，配合望远镜形式的第一视窗，全程监控镀膜过程，保证了镀膜的安全性，也能够在出现工件偏离或掉落时及时止损。

本实用新型的优点和有益效果在于：将门扇的两个视窗改成一个可以控制工件旋转，一个可以观察腔体不同部位的工件，增强视窗的观察范围；可以避免自动旋转偶有出现振动导致工件偏离甚至从旋转工件伞架上掉落的情况，能够及时止损；将第一视窗设置成望远镜形式，能够增强视窗的观察效果，并且由于关节轴承的设置，能够调整观察的部位，增加视窗观察的全面性。将第一视窗设置成望远镜形式，能够增强视窗的观察效果，并且由于关节轴承的设置，能够调整观察的部位，增加视窗观察的全面性。甚至可以采用可调长度的望远镜形式，进一步增强视窗的观察效果。改变原来自动旋转工件伞架的情况，人工通过第一视窗观察工件伞架的情况，并且通过第二视窗操作(转动玻璃柱)使得从动锥齿轮转动，以此驱动工件伞架转动，转动过程通过人工控制，配合望远镜形式的第一视窗，全程监控镀膜过程，保证了镀膜的安全性，也能够在出现工件偏离或掉落时及时止损。

附图说明

图1是包含本实用新型一种光学部件增透镀膜设备腔体的门扇的光学部件增透镀膜设备腔体的示意图；

图2是图1中门扇板在第一视窗处的纵剖结构图；

图3是图1中门扇板在第二视窗处的纵剖结构图；

图4是图3中门扇板的左视图；

图5是图3中工件伞架的放大示意图。

图中：1、上顶板；2、下底板；3、侧板；4、门扇板；5、第一视窗；6、第二视窗；7、玻璃片；8、镜筒；9、盲孔；10、外圈；11、内圈；12、玻璃柱；13、齿环；14、齿条；15、从动齿轮；16、主动锥齿轮；17、从动锥齿轮；18、转轴；19、空腔；20、工件伞架。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

如图1至图5所示(为便于图示，图3中增加示出了腔体顶板部分)，本实用新型是一种光学部件增透镀膜设备腔体的门扇，(光学部件增透镀膜设备的腔体，如图1所示，包括上顶板1、下底板2及侧板3，上顶板1、下底板2通过侧板3固定连接)包括铰接在腔体侧板3上的门扇板4，门扇板4上设置至少两个观察视窗，包括第一视窗5、第二视窗6，第一视窗5包括固定设置在门扇板4其靠近腔体内侧面上的玻璃片7以及设置在门扇板4内的镜筒8，门扇板4上设置圆台形的盲孔9，盲孔9的开口端为小尺寸端，盲孔9的开口位于门扇板4其远离腔体的外侧面上，盲孔9的孔底壁与玻璃片7相连，镜筒8设置在盲孔9内，盲孔9的开口端设置关节轴承，关节轴承的外圈10固定连接在盲孔9其开口端内壁，关节轴承的内圈11固定连接镜筒8其设置目镜的一端，镜筒8的另一端设置物镜，镜筒8的长度小于盲孔9的深度。玻璃片7为盘状且其直径与盲孔9大尺寸端的直径相适配。第二视窗6包括转动设置在门扇板4上的玻璃柱12，玻璃柱12水平设置，门扇板4竖直设置，玻璃柱12上固定设置齿环13，齿环13的外侧面设置齿轮齿，与齿环13啮合设置有齿条14，与齿条14啮合设置有从动齿轮15，从动齿轮15位于门扇板4的上部，从动齿轮15的齿轮轴穿过门扇板4一直延伸至腔体中部位置，从动齿轮15的齿轮轴其位于腔体中部的端部固定设置主动锥齿轮16，主动锥齿轮16与从动锥齿轮17啮合配合，从动锥齿轮17固定设置在转轴18上，转轴18转动设置在腔体上顶板1上；门扇板4内设置用于齿条14上下滑动的空腔19以及用与从动齿轮15转动的空腔19。转轴18的底端固定设置工件伞架20。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (3)

1.光学部件增透镀膜设备腔体的门扇，其特征在于，包括铰接在腔体侧板上的门扇板，门扇板上设置至少两个观察视窗，包括第一视窗、第二视窗，第一视窗包括固定设置在门扇板其靠近腔体内侧面上的玻璃片以及设置在门扇板内的镜筒，门扇板上设置圆台形的盲孔，盲孔的开口端为小尺寸端，盲孔的开口位于门扇板其远离腔体的外侧面上，盲孔的孔底壁与玻璃片相连，镜筒设置在盲孔内，盲孔的开口端设置关节轴承，关节轴承的外圈固定连接在盲孔其开口端内壁，关节轴承的内圈固定连接镜筒其设置目镜的一端，镜筒的另一端设置物镜，镜筒的长度小于盲孔的深度。

2.根据权利要求1所述的光学部件增透镀膜设备腔体的门扇，其特征在于，所述玻璃片为盘状且其直径与盲孔大尺寸端的直径相适配。

3.根据权利要求2所述的光学部件增透镀膜设备腔体的门扇，其特征在于，所述第二视窗包括转动设置在门扇板上的玻璃柱，玻璃柱水平设置，门扇板竖直设置，玻璃柱上固定设置齿环，齿环的外侧面设置齿轮齿，与齿环啮合设置有齿条，与齿条啮合设置有从动齿轮，从动齿轮位于门扇板的上部，从动齿轮的齿轮轴穿过门扇板一直延伸至腔体中部位置，从动齿轮的齿轮轴其位于腔体中部的端部固定设置主动锥齿轮，主动锥齿轮与从动锥齿轮啮合配合，从动锥齿轮固定设置在转轴上，转轴转动设置在腔体顶板上；门扇板内设置用于齿条上下滑动的空腔以及用与从动齿轮转动的空腔。

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