CN211297108U - 一种新型的真空等离子处理箱体电极连接装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型的真空等离子处理箱体电极连接装置，外部电极馈入采用4点馈入方式，可以达到更好的电量传输效果，减少传输中的电量损耗，提高了处理效果。内部电极连接处采用上下双铍铜弹片和锥形插片结构，可以达到最佳的电极链接的接触面积，减少了电量传输中的损耗，使得每片电极板的电量更均匀，从而使得每层处理区的等离子含量更均匀，达到更好的处理效果和更加的处理均匀性，电极板采用不锈钢滚轮结构设计，在箱体两侧留有滚轮固定位及固定槽，极板上的不锈钢固定件与滚轮，更好的解决了因摩擦产生的粉尘，提高了产品的处理良率，节省了生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及等离子处理技术领域，特别涉及一种新型的真空等离子处理箱体电极连接装置。
背景技术
普通真空等离子箱体都是单点或者两点馈入方式，内部连接电极板接触面积小，导致箱体内部电量分布不均匀，处理效果较差。同时内部极板结构单一，无法满足不同产品高度的处理要求，取放物料时还会产生很多粉尘，从而导致污染被处理产品，增加了生产成本及效率。
发明内容
为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种新型的真空等离子处理箱体电极连接装置，能够克服和改善以上问题。
本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种新型的真空等离子处理箱体电极连接装置，包括箱体，所述箱体内安装有电极板，所述电极板的后端连接内部连接铜条，所述内部连接铜条的上下两端均设有电极馈入点，电极馈入点通过铜电极与外部连接铜条连接，所述外部连接铜条上设有射频电源连接点，设有两条外部连接铜条，每条外部连接铜条上设有上下各两个电极馈入点，两条外部连接铜条之间通过一横向连接铜条连接，所述电极板的尾端设有锥形插片，对应内部连接铜条上设有供锥形插片插入的上下双铍铜弹片结构，所述电极板通过锥形插片插入上下双铍铜弹片结构之间与内部连接铜条电连接。
作为本实用新型的进一步改进，所述内部连接铜条从上至下依次均匀间隔设置多个供锥形插片插入的上下双铍铜弹片结构。
作为本实用新型的进一步改进，所述连接内部连接铜条和外部连接铜条的铜电极外部包覆有电极馈入绝缘件。
作为本实用新型的进一步改进，所述电极板的两侧设有不锈钢滚轮，在箱体两侧留有滚轮固定位及固定槽。
作为本实用新型的进一步改进，所述电极板的两侧设有不锈钢固定件，电极板与不锈钢固定件之间通过陶瓷绝缘件连接固定，且极板上留有扣手取放位。
本实用新型的有益效果是：本实用新型具有以下优点：
1、外部电极馈入采用4点馈入方式，可以达到更好的电量传输效果，减少传输中的电量损耗，提高了处理效果。同时外部连接铜条采用表面镀镍工艺，有效的解决了铜件的氧化问题，提高了整体机器及配件的使用寿命。
2、内部电极连接处采用上下双铍铜弹片和锥形插片结构，可以达到最佳的电极链接的接触面积，减少了电量传输中的损耗，使得每片电极板的电量更均匀，从而使得每层处理区的等离子含量更均匀，达到更好的处理效果和更加的处理均匀性。铍铜弹片及插片等箱体内部铜件全部采用镀镍处理，有效的解决了箱体内部铜件的氧化问题。
3、 4排电极连接铜条采用多孔结构，正负电极板可以任意组合摆放，以达到不同高度产品的处理要求。
4、电极板采用不锈钢滚轮结构设计，在箱体两侧留有滚轮固定位及固定槽，极板上的不锈钢固定件与滚轮，更好的解决了因摩擦产生的粉尘，提高了产品的处理良率，节省了生产成本。
5、电极板与不锈钢连接件之间采用陶瓷绝缘，同时极板上留有扣手取放位置，可以更简捷方便的取放电极板上的处理产品，并提高了设备稳定性。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图之一；
图2为本实用新型结构示意图之二；
图3为本实用新型箱体及内部连接铜条结构示意图；
图4为本实用新型电极板结构示意图；
图中标示：1-箱体；2-电极板；3-内部连接铜条；4-电极馈入点；5-铜电极；6-外部连接铜条；7-射频电源连接点；8-横向连接铜条；9-锥形插片；10-上下双铍铜弹片结构；11-电极馈入绝缘件；12-不锈钢滚轮；13-不锈钢固定件；14-陶瓷绝缘件；15-扣手取放位。
具体实施方式
为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
图1-2出示了本实用新型一种新型的真空等离子处理箱体电极连接装置的一种实施方式，包括箱体1，所述箱体1内安装有电极板2，所述电极板2的后端连接内部连接铜条3，所述内部连接铜条3的上下两端均设有电极馈入点4，电极馈入点4通过铜电极5与外部连接铜条6连接，所述外部连接铜条6上设有射频电源连接点7，设有两条外部连接铜条6，每条外部连接铜条6上设有上下各两个电极馈入点4，两条外部连接铜条6之间通过一横向连接铜条8连接，所述电极板的尾端设有锥形插片9，对应内部连接铜条3上设有供锥形插片9插入的上下双铍铜弹片结构10，所述电极板2通过锥形插片9插入上下双铍铜弹片结构10之间与内部连接铜条3电连接。
如图3所示，所述内部连接铜条3从上至下依次均匀间隔设置多个供锥形插片9插入的上下双铍铜弹片结构10。
所述连接内部连接铜条3和外部连接铜条6的铜电极5外部包覆有电极馈入绝缘件11。
如图4所示，所述电极板2的两侧设有不锈钢滚轮12，在箱体1两侧留有滚轮固定位及固定槽。所述电极板2的两侧设有不锈钢固定件13，电极板2与不锈钢固定件13之间通过陶瓷绝缘件14连接固定，且电极板2上留有扣手取放位15。
Claims (5)
1.一种新型的真空等离子处理箱体电极连接装置，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)内安装有电极板(2)，所述电极板(2)的后端连接内部连接铜条(3)，所述内部连接铜条(3)的上下两端均设有电极馈入点(4)，电极馈入点(4)通过铜电极(5)与外部连接铜条(6)连接，所述外部连接铜条(6)上设有射频电源连接点(7)，设有两条外部连接铜条(6)，每条外部连接铜条(6)上设有上下各两个电极馈入点(4)，两条外部连接铜条(6)之间通过一横向连接铜条(8)连接，所述电极板的尾端设有锥形插片(9)，对应内部连接铜条(3)上设有供锥形插片(9)插入的上下双铍铜弹片结构(10)，所述电极板(2)通过锥形插片(9)插入上下双铍铜弹片结构(10)之间与内部连接铜条(3)电连接。
2.根据权利要求1所述的一种新型的真空等离子处理箱体电极连接装置，其特征在于：所述内部连接铜条(3)从上至下依次均匀间隔设置多个供锥形插片(9)插入的上下双铍铜弹片结构(10)。
3.根据权利要求1所述的一种新型的真空等离子处理箱体电极连接装置，其特征在于：所述连接内部连接铜条(3)和外部连接铜条(6)的铜电极(5)外部包覆有电极馈入绝缘件(11)。
4.根据权利要求1所述的一种新型的真空等离子处理箱体电极连接装置，其特征在于：所述电极板(2)的两侧设有不锈钢滚轮(12)，在箱体(1)两侧留有滚轮固定位及固定槽。
5.根据权利要求1所述的一种新型的真空等离子处理箱体电极连接装置，其特征在于：所述电极板(2)的两侧设有不锈钢固定件(13)，电极板(2)与不锈钢固定件(13)之间通过陶瓷绝缘件(14)连接固定，且电极板(2)上留有扣手取放位(15)。
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2019
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