CN220450287U - 热丝装置及hwcvd设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种热丝装置及HWCVD设备，热丝装置包括盖板和热丝馈入单元，盖板沿第一方向的相对端分别设置有第一安装孔和第二安装孔，热丝馈入单元包括连接组件、热丝组件和两个真空电极，连接组件连接在盖板下方，热丝组件连接在连接组件上，热丝组件包括相互串联的多个热丝，两个真空电极分别穿设于第一安装孔和第二安装孔，两个真空电极分别电性连接热丝组件的两端。HWCVD设备包括热丝装置和腔体，盖板盖于腔体上，盖板与腔体合围空间形成镀膜腔，连接组件、热丝组件位于镀膜腔内，真空电极的一端伸入镀膜腔内。本实用新型可以节省成本，可以减少热量传递到盖板，可以减少漏电风险，可以减少盖板变形风险。

Description

热丝装置及HWCVD设备

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，特别涉及一种热丝装置及HWCVD设备。

背景技术

卧式热丝化学气相沉积(HWCVD)设备是对加热热丝通入高电压，使得加热热丝产生高温，在较低的压力下，用热能激活工艺气体，使其发生热分解或化学反应，沉积在基板表面形成所需的薄膜。现有的卧式热丝化学气相沉积(HWCVD)设备，为了延长加热丝的寿命、防止热丝因加热而下垂变形，将热丝截断为长度较短形状，需要使用大量的短状加热热丝进行排布。因此，如要将外部高压电导入热丝，则必须要配备大量的真空绝缘电极。真空绝缘电极造价较高，配备大量的真空绝缘电极会使得设备的成本上升，大量的真空绝缘电极会将腔体的热量传递到安装盖板上，产生的大量热量会影响设备运行的稳定，因为使用高压直流电，大量密布的真空绝缘电极存在漏电等安全风险，腔体盖板上需要大量的真空绝缘电极安装孔，在抽真空、做工艺的过程中，工艺盖板会存在较大的变形风险。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种热丝装置及HWCVD设备，解决了现有技术中，配备大量的真空绝缘电极会使得设备的成本上升，大量的真空绝缘电极会将腔体的热量传递到安装盖板上，产生的大量热量会影响设备运行的稳定，大量密布的真空绝缘电极存在漏电等安全风险，腔体盖板上需要大量的真空绝缘电极安装孔，在抽真空、做工艺的过程中，工艺盖板会存在较大的变形风险的问题。

根据本实用新型实施例的热丝装置，包括：

盖板，所述盖板沿第一方向的相对端分别设置有第一安装孔和第二安装孔；

热丝馈入单元，包括连接组件、热丝组件和两个真空电极，所述连接组件连接在所述盖板下方，所述热丝组件连接在所述连接组件上，所述热丝组件包括相互串联的多个热丝，两个所述真空电极分别穿设于所述第一安装孔和第二安装孔，两个所述真空电极分别电性连接所述热丝组件的两端。

根据本实用新型实施例的热丝装置，至少具有如下有益效果：

热丝组件通过连接组件安装在盖板下方，可以减少热丝组件传递热量到盖板，多个热丝相互串联，再与真空电极串联，一组热丝馈入单元只需要设置两个真空电极，减少配备真空电极数量，可以节省成本，可以减少真空电极传递热量到盖板，避免影响设备运行稳定，可以减少漏电风险，盖板上可以减少安装孔的数量，盖板的强度增加，可以减少盖板变形风险。

根据本实用新型的一些实施例，所述连接组件包括连接条和多个连接块，所述热丝组件安装在所述连接条上，所述连接条通过多个所述连接块连接在所述盖板上，多个所述连接块间隔设置在所述连接条与所述盖板之间，所述第一方向为所述连接条的长度方向。

根据本实用新型的一些实施例，所述热丝组件包括多个导电组件，所述导电组件包括第一导电片和两个导电柱，两个所述导电柱安装在所述连接条上，所述第一导电片两端分别电性连接在两个所述导电柱的上端，两个所述导电柱沿所述第一方向间隔设置，多个所述导电组件沿所述第一方向间隔设置，相邻两个所述导电组件中相邻的两个所述导电柱下端分别电性连接所述热丝的两端，靠近所述真空电极的所述导电柱下端与对应所述真空电极的下端分别电性连接所述热丝的两端。

根据本实用新型的一些实施例，所述热丝组件还包括第一固定块和第二固定块，所述第一固定块用于将所述热丝一端连接在所述真空电极下端，所述第二固定块用于将所述热丝的一端连接在所述导电柱的下端。

根据本实用新型的一些实施例，所述连接组件还包括多个第一连接环，所述第一连接环套设在所述导电柱上，所述第一连接环位于所述第一导电片与所述连接条之间，所述导电柱、所述第一连接环与所述第一导电片均设于所述连接条远离所述盖板一侧。

根据本实用新型的一些实施例，所述连接条、所述连接块和所述第一连接环均为陶瓷材料。

根据本实用新型的一些实施例，所述连接条上沿所述第一方向间隔设置有多个连接孔，多个所述导电柱穿设于多个所述连接孔，所述第一导电片连接在所述导电柱靠近所述盖板一侧，所述连接组件还包括第二连接环，所述第二连接环套设在所述导电柱上，所述第二连接环位于所述连接条远离所述盖板一侧。

根据本实用新型的一些实施例，还包括多个第二导电片，所述第一安装孔和所述第二安装孔均设置有多个，多个所述第一安装孔沿第二方向间隔设置，多个所述第二安装孔沿第二方向间隔设置，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述热丝馈入单元设置有多个，多个所述热丝馈入单元通过多个所述第二导电片串联。

根据本实用新型的一些实施例，所述盖板上方间隔设置有多个加强筋，多个所述加强筋位于所述第一安装孔和所述第二安装孔之间。

本申请实施例还提供一种HWCVD设备，包括：

所述热丝装置；

腔体，所述盖板盖于所述腔体上，所述盖板与所述腔体合围空间形成镀膜腔，所述连接组件、所述热丝组件位于所述镀膜腔内，所述真空电极的一端伸入所述镀膜腔内。

根据本实用新型实施例的HWCVD设备，至少具有如下有益效果：

热丝组件通过连接组件安装在盖板下方，可以减少热丝组件传递热量到盖板，多个热丝相互串联，再与真空电极串联，一组热丝馈入单元只需要设置两个真空电极，减少配备真空电极数量，可以节省成本，可以减少真空电极传递热量到盖板，避免影响设备运行稳定，可以减少漏电风险，盖板上可以减少安装孔的数量，盖板的强度增加，可以减少盖板变形风险。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：

图1为本实用新型一种实施例的热丝装置的主视图；

图2为本实用新型一种实施例的热丝装置的剖视图；

图3为图2中A处的放大图；

图4为本实用新型一种实施例的热丝装置的结构示意图；

图5为本实用新型另一种实施例的热丝装置的主视图；

图6为本实用新型另一种实施例的热丝装置的剖视图；

图7为图6中B处的放大图。

附图标号：

100、盖板；110、第一安装孔；120、第二安装孔；130、加强筋；

200、连接组件；210、连接条；220、连接块；230、第一连接环；240、第二连接环；

300、热丝组件；310、热丝；320、导电组件；321、第一导电片；322、导电柱；330、第一固定块；340、第二固定块；

400、真空电极；410、馈入正极；420、馈入负极；430、第二导电片；

500、腔体；510、镀膜腔。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1、图2和图3，本实用新型实施例的热丝装置及HWCVD设备，包括盖板100和热丝310馈入单元，盖板100沿第一方向的相对端分别设置有第一安装孔110和第二安装孔120。热丝310馈入单元包括连接组件200、热丝组件300和两个真空电极400。连接组件200连接在盖板100下方，热丝组件300连接在连接组件200上，热丝组件300包括相互串联的多个热丝310，两个真空电极400分别穿设于第一安装孔110和第二安装孔120，两个真空电极400分别电性连接热丝组件300的两端。

热丝组件300通过连接组件200安装在盖板100下方，可以减少热丝组件300传递热量到盖板100。多个热丝310相互串联，再与真空电极400串联，一组热丝310馈入单元只需要设置两个真空电极400，减少配备真空电极400数量，可以节省成本，可以减少真空电极400传递热量到盖板100，避免影响设备运行稳定，可以减少漏电风险，盖板100上可以减少安装孔110的数量，盖板100的强度增加，可以减少盖板100变形风险。

相同的加热热丝310排布面积，真空绝缘电极(真空电极400)的数量减少85％，大大降低了设备的成本。使用热丝310内部串联的结构后，整机设备的漏电流低于20mA，腔体500与盖板100的温度更低，设备运行稳定性更高。

在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，连接组件200包括连接条210和多个连接块220，热丝组件300安装在连接条210上，连接条210通过多个连接块220连接在盖板100上。多个连接块220间隔设置在连接条210与盖板100之间，第一方向为连接条210的长度方向。热丝组件300安装在连接条210上，连接块220连接在连接条210与盖板100之间，使得连接条210与盖板100间隔设置，可以减少热丝组件300发出的热量传递到盖板100。

热丝组件300可以通过螺钉安装在连接条210上，连接条210可以通过螺钉连接在连接块220上，连接块220可以通过螺钉连接在盖板100上，螺钉连接，拆装方便。

在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，热丝组件300包括多个导电组件320，导电组件320包括第一导电片321和两个导电柱322。两个导电柱322安装在连接条210上，第一导电片321两端分别电性连接在两个导电柱322的上端，第一导电片321可以为铝排。两个导电柱322沿第一方向间隔设置，多个导电组件320沿第一方向间隔设置，保障热丝310串联井然有序。相邻两个导电组件320中相邻的两个导电柱322下端分别电性连接热丝310的两端，靠近真空电极400的导电柱322下端与对应真空电极400的下端分别电性连接热丝310的两端。导电组件320内第一导电片321实现两个导电柱322的串联，导电柱322方便稳固安装在连接条210上，通过设置导电柱322和第一导电片321，实现多个热丝310的串联。

在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，热丝组件300还包括第一固定块330和第二固定块340，第一固定块330用于将热丝310一端连接在真空电极400下端，第二固定块340用于将热丝310的一端连接在导电柱322的下端。设置第一固定块330保障热丝310与真空电极400连接紧密，设置第二固定块340保障热丝310与导电柱322连接紧密。

在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，连接组件200还包括多个第一连接环230，第一连接环230套设在导电柱322上，第一连接环230位于第一导电片321与连接条210之间。导电柱322、第一连接环230与第一导电片321均设于连接条210远离盖板100一侧。第一连接环230设置在第一导电片321与连接条210之间，使得连接条210与第一导电片321间隔设置，可以避免第一导电片321直接接触连接条210，连接条210、连接块220和第一连接环230组成三层绝缘，保证良好的绝缘性，减少热量传递到盖板100。

在一些实施例中，参阅图1、图2和图3，连接条210、连接块220和第一连接环230均为陶瓷材料。陶瓷材料的连接条210、连接块220和第一连接环230具有很好的绝缘隔热效果，连接条210、连接块220和第一连接环230组成三层绝缘，保证良好的绝缘性，减少热量传递到盖板100。

在一些实施例中，参阅图5、图6和图7，连接条210上沿第一方向间隔设置有多个连接孔，多个导电柱322穿设于多个连接孔，第一导电片321连接在导电柱322靠近盖板100一侧。连接组件200还包括第二连接环240，第二连接环240套设在导电柱322上，第二连接环240位于连接条210远离盖板100一侧。这种情况时，第一导电片321设置在连接条210与盖板100之间，也能保障多个热丝310的串联，连接条210和连接块220保障了绝缘隔热效果。第二连接环240使用紧定螺钉连接在导电柱322上，保障结构稳定。

在一些实施例中，参阅图1、图2、图3和图4，热丝装置还包括多个第二导电片430，第一安装孔110和第二安装孔120均设置有多个，多个第一安装孔110沿第二方向间隔设置，多个第二安装孔120沿第二方向间隔设置，第二方向与第一方向垂直。第二导电片430可以为连接铜排，热丝310馈入单元设置有多个，多个热丝310馈入单元通过多个第二导电片430串联，多个热丝310馈入单元的串联回路呈S形设置，多个热丝310馈入单元的串联回路的首尾两端分别形成馈入正极410和馈入负极420。

在一些实施例中，参阅图1、图2、图3和图4，盖板100上方间隔设置有多个加强筋130，多个加强筋130位于第一安装孔110和第二安装孔120之间。设置加强筋130，可以保障盖板100的强度，减小盖板100的变形风险。加强筋130的长度方向可以为第二方向，加强筋130可以为U型钢材，抗弯强度更大。

参阅图1、图2、图3和图4，本申请实施例还提供一种HWCVD设备，包括热丝装置和腔体500。盖板100盖于腔体500上，盖板100与腔体500合围空间形成镀膜腔510，连接组件200、热丝组件300位于镀膜腔510内，真空电极400的一端伸入镀膜腔510内。

热丝组件300通过连接组件200安装在盖板100下方，可以减少热丝组件300传递热量到盖板100。多个热丝310相互串联，再与真空电极400串联，一组热丝310馈入单元只需要设置两个真空电极400，减少配备真空电极400数量，可以节省成本，可以减少真空电极400传递热量到盖板100，避免影响设备运行稳定，可以减少漏电风险，盖板100上可以减少安装孔110的数量，盖板100的强度增加，可以减少盖板100变形风险。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种热丝装置，其特征在于，包括：

盖板，所述盖板沿第一方向的相对端分别设置有第一安装孔和第二安装孔；

热丝馈入单元，包括连接组件、热丝组件和两个真空电极，所述连接组件连接在所述盖板下方，所述热丝组件连接在所述连接组件上，所述热丝组件包括相互串联的多个热丝，两个所述真空电极分别穿设于所述第一安装孔和第二安装孔，两个所述真空电极分别电性连接所述热丝组件的两端。

2.根据权利要求1所述的热丝装置，其特征在于，所述连接组件包括连接条和多个连接块，所述热丝组件安装在所述连接条上，所述连接条通过多个所述连接块连接在所述盖板上，多个所述连接块间隔设置在所述连接条与所述盖板之间，所述第一方向为所述连接条的长度方向。

3.根据权利要求2所述的热丝装置，其特征在于，所述热丝组件包括多个导电组件，所述导电组件包括第一导电片和两个导电柱，两个所述导电柱安装在所述连接条上，所述第一导电片两端分别电性连接在两个所述导电柱的上端，两个所述导电柱沿所述第一方向间隔设置，多个所述导电组件沿所述第一方向间隔设置，相邻两个所述导电组件中相邻的两个所述导电柱下端分别电性连接所述热丝的两端，靠近所述真空电极的所述导电柱下端与对应所述真空电极的下端分别电性连接所述热丝的两端。

4.根据权利要求3所述的热丝装置，其特征在于，所述热丝组件还包括第一固定块和第二固定块，所述第一固定块用于将所述热丝一端连接在所述真空电极下端，所述第二固定块用于将所述热丝的一端连接在所述导电柱的下端。

5.根据权利要求3所述的热丝装置，其特征在于，所述连接组件还包括多个第一连接环，所述第一连接环套设在所述导电柱上，所述第一连接环位于所述第一导电片与所述连接条之间，所述导电柱、所述第一连接环与所述第一导电片均设于所述连接条远离所述盖板一侧。

6.根据权利要求5所述的热丝装置，其特征在于，所述连接条、所述连接块和所述第一连接环均为陶瓷材料。

7.根据权利要求3所述的热丝装置，其特征在于，所述连接条上沿所述第一方向间隔设置有多个连接孔，多个所述导电柱穿设于多个所述连接孔，所述第一导电片连接在所述导电柱靠近所述盖板一侧，所述连接组件还包括第二连接环，所述第二连接环套设在所述导电柱上，所述第二连接环位于所述连接条远离所述盖板一侧。

8.根据权利要求1所述的热丝装置，其特征在于，还包括多个第二导电片，所述第一安装孔和所述第二安装孔均设置有多个，多个所述第一安装孔沿第二方向间隔设置，多个所述第二安装孔沿第二方向间隔设置，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述热丝馈入单元设置有多个，多个所述热丝馈入单元通过多个所述第二导电片串联。

9.根据权利要求1所述的热丝装置，其特征在于，所述盖板上方间隔设置有多个加强筋，多个所述加强筋位于所述第一安装孔和所述第二安装孔之间。

10.一种HWCVD设备，其特征在于，包括：

如根据权利要求1-9任一项所述的热丝装置；

腔体，所述盖板盖于所述腔体上，所述盖板与所述腔体合围空间形成镀膜腔，所述连接组件、所述热丝组件位于所述镀膜腔内，所述真空电极的一端伸入所述镀膜腔内。