CN210884895U - 可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及pecvd设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备，具体包括安装板，多个间隔设置在安装板底部的吊爪，每个所述石墨舟上设有配合相邻两个吊爪进行固定的吊装位。本实用新型通过设置多个吊爪，实现了自动化单次对两个石墨舟或多石墨舟的同步吊装，成倍提高对石墨舟自动化吊装的效率，大大减小石墨舟在各工艺段吊装过程中时间，提高了太阳能电池片整体生产效率。

Description

可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备

技术领域

本实用新型涉及太阳能工艺设备领域，特别是涉及一种可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备。

背景技术

随着时间的推移，化石能源的稀缺性越来越明显。在化石能源供应日趋紧张的背景下，太阳能作为人类取之不尽用之不竭的可再生能源，其特有的充分清洁性，绝对安全性，相对的广泛性，在长期的能源战略中具有重要的影响地位。石墨舟作为太阳能电池片生产过程中的PECVD工艺前后存放的重要载体，其具有硅片存放容积大，减小人工与硅片的接触污染、大幅度增加取放片的稳定性等特点，被业界公认为光伏制造行业的重点设备。

太阳能电池片在生产过程不同工艺段设备的切换过程中，作为太阳能电池片载体的石墨舟，须对石墨舟进行自动化设备的工位（位置）吊装，传统石墨舟在自动化及工艺设备中对接存在石墨舟在传统自动化吊装方式上存在单一吊装（即一次吊装只能吊装一具石墨舟）。

实用新型内容

本实用新型为了解决上述现有技术中的石墨舟在传统自动化吊装方式上存在单一吊装的技术问题，提出一种可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备。

本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提出了一种石墨舟吊装结构，包括安装板，多个间隔设置在安装板底部的吊爪，每个所述石墨舟上设有配合相邻两个吊爪进行固定的吊装位。

优选地，所述吊装位为贯穿石墨舟两侧的凹槽，所述吊爪上的爪钩部可随安装板移动插入所述凹槽内。

优选地，所述吊爪包括气缸和通过电缸带动对应吊装位的顶紧件。

优选地，所述吊爪包括电缸和通过电缸带动对应吊装位的顶紧件。

优选地，所述吊爪包括通过电机带动丝杆和通过丝杆带动对应吊装位的顶紧件。

优选地，所述安装板的底部设有滑槽，所述吊爪可通过电机驱动沿滑槽移动。

本实用新型还提出一种可吊装多个石墨舟的PECVD设备，使用上述的石墨舟吊装结构。

与现有技术比较，本实用新型通过设置多个吊爪，实现了自动化单次对两个石墨舟或多石墨舟的同步吊装，成倍提高对石墨舟自动化吊装的效率，大大减小石墨舟在各工艺段吊装过程中时间，提高了太阳能电池片整体生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的一实施例的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图以及实施例对本实用新型的原理及结构进行详细说明。

本实用新型提出了一种可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构，包括：安装板2和多个吊爪1，安装板2可以通过电动装置驱动其移动进行吊装，吊爪1间隔设置在安装板2的底部，每个石墨舟3上都设有配合相邻两个吊爪1进行固定的吊装位，从而在安装板1移动到位后，每一对相邻的吊爪1可抓住一个石墨舟3，从而通过安装板2上的多对吊爪1可吊装多个石墨舟3，从而突破现有技术中只能装一个石墨舟的缺陷，成倍提高对石墨舟自动化吊装的效率，大大减小石墨舟在各工艺段吊装过程中时间，提高了太阳能电池片整体生产效率。

在一实施中，吊装位为贯穿石墨舟3两侧的凹槽，吊爪呈L字形其上的爪钩部可随安装板移动后插入凹槽31内，再通过电动装置驱动安装板2移动使石墨舟3被吊起。

在另一实施例中，吊爪1包括气缸和通过气缸带动的顶紧件，吊装位为石墨舟上设置的对应顶紧件的凹槽，待安装板移动到位后，气缸带动顶紧件顶在石墨舟的凹槽内。吊装位还可以是限位台阶等其他支撑形式，气缸可以替换为电缸，都在本实用新型的保护范围内。

在又一实施中，吊爪1包括通过电机带动其转动的丝杆和通过丝杆带动的顶紧件，同样通过顶紧件顶在石墨舟上的吊装位上形成支撑，为调动石墨舟做准备。

本实用新型中，还可以在安装板2的底部设置用于安装吊爪1的滑槽，吊爪1安装在滑槽内并可通过电机驱动其平移，从而调整相邻两个吊爪之间的间距，便于配套。

本实用新型还提出了一种PECVD设备，采用上述石墨舟吊装结构，如安装在用于吊装石墨舟的机械手上，可成倍提高对石墨舟自动化吊装的效率，大大减小石墨舟在各工艺段吊装过程中时间，提高了太阳能电池片整体生产效率。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种石墨舟吊装结构，其特征在于，包括安装板（2），多个间隔设置在安装板底部的吊爪（1），每个所述石墨舟（3）上设有配合相邻两个吊爪（1）进行固定的吊装位，所述吊装位为贯穿石墨舟两侧的凹槽（31），所述吊爪上的爪钩部（11）可随安装板移动插入所述凹槽内。

2.如权利要求1所述的石墨舟吊装结构，其特征在于，所述吊爪（1）包括气缸和通过电缸带动对应吊装位的顶紧件。

3.如权利要求1所述的石墨舟吊装结构，其特征在于，所述吊爪（1）包括电缸和通过电缸带动对应吊装位的顶紧件。

4.如权利要求1所述的石墨舟吊装结构，其特征在于，所述吊爪（1）包括通过电机带动丝杆和通过丝杆带动对应吊装位的顶紧件。

5.如权利要求1所述的石墨舟吊装结构，其特征在于，所述安装板（2）的底部设有滑槽，所述吊爪可通过电机驱动沿滑槽移动。

6.一种可吊装多个石墨舟的PECVD设备，其特征在于，使用权利要求1至5任一项所述的石墨舟吊装结构。

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