CN210860227U - 一种冷却水连接件 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种冷却水连接件，用于对设置于腔室室壁内的水冷管进行供水，所述冷却水连接件包括：主体连接件和辅助接头，所述主体连接件包括：法兰座、压紧组件、锁紧组件，所述锁紧组件套设于压紧组件的第一开口端，用于推动所述锁紧组件促使压紧组件向靠近法兰座的方向压紧，且用于对水冷管的外壁面进行密封，所述辅助接头的一端与压紧组件活动连接，且所述辅助接头的另一端与外接的水源接头相连接；本实用新型通过主体连接件与辅助接头相配合，从而在水源接头与水冷管不相互接触的情况下实现供水，避免划伤水冷管的外管壁，同时通过主体连接件对水冷管外壁面实现密封。

Description

一种冷却水连接件

技术领域

本实用新型涉及光伏组件加工的技术领域，具体涉及一种冷却水连接件。

背景技术

目前，真空设备(例如PECVD设备和PVD设备等)的腔室内部通过设置冷却结构，并通过连接件将冷却水引入冷却结构内，实现对腔室进行冷却；

现有技术中，通常采用将冷却水的水源接头直接套设在水冷管上，从而实现供水，但目前发现：该连接方式中水源接头会划伤水冷管的外管壁，时间长可能会出现漏水等情况。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种冷却水连接件，从而缓解现有的冷却水连接件中水源接头会划伤水冷管的外管壁所带来的技术问题。

(一)技术方案

本实用新型提供了一种冷却水连接件，用于对设置于腔室室壁内的水冷管进行供水，所述冷却水连接件包括：主体连接件和辅助接头，所述主体连接件包括：法兰座、压紧组件、锁紧组件，所述法兰座固定连接于腔室室壁上，所述水冷管穿过所述腔室室壁，并插设于所述法兰座内，所述压紧组件套设于水冷管与法兰座之间，所述锁紧组件套设于压紧组件的第一开口端，用于推动所述锁紧组件促使压紧组件向靠近法兰座的方向压紧，且用于对水冷管的外壁面进行密封，所述辅助接头的一端与压紧组件活动连接，且所述辅助接头的另一端与外接的水源接头相连接。

可选的，所述辅助接头包括：第一连接部和第二连接部，所述第一连接部和第二连接部为垂直设置，并相互连通，所述第一连接部与外接的水源接头相连接，所述压紧组件套设在第二连接部上。

可选的，所述法兰座沿轴心位置开设有通孔，所述通孔的一端与辅助接头相连接，所述通孔的另一端与腔室室壁内的水冷管相连接，用于为腔室室壁内的水冷管供水。

可选的，所述通孔包括相互连通的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔设置在法兰座的连接段内，所述第二通孔设置在法兰座的法兰段内，所述第一通孔的直径大于第二通孔的直径，两者之间通过台阶形过渡段过渡。

可选的，所述压紧组件安装在第一通孔内，所述压紧组件的第二开口端压紧于所述台阶形过渡段上，且所述压紧组件的第一开口端凸设于法兰座，并在所述压紧组件的第一开口端外壁侧面上开设有卡合台阶。

可选的，所述压紧组件的第二开口端与台阶形过渡段相对的壁面上，靠近所述水冷管的一端均设有斜面，两个所述斜面的倾斜角度为相反设置，且两个所述斜面之间设有第一密封圈，用于对所述水冷管的外壁面进行密封。

可选的，所述锁紧组件包括：固定部和夹持部，所述固定部与夹持部为垂直设置，所述固定部卡合在所述卡合台阶内，推动所述固定部促使压紧组件向靠近法兰座的方向将第一密封圈压紧，所述夹持部套设在法兰座上，用于夹紧法兰座的外壁面。

可选的，所述夹持部上靠近法兰座的内壁面设有锁紧部，两个所述锁紧部之间的距离小于或等于法兰座连接段的外径。

可选的，所述法兰座的连接段包括依次连接的第一段和第二段，所述第一段设置在两个夹持部之间，所述第二段设置在靠近法兰段的一端，所述第一段外壁面的厚度大于第二段外壁面的厚度。

可选的，所述法兰座与所述腔室室壁之间设有第二密封圈。

(三)有益效果：

本实用新型与现有技术相比，具有以下有益效果：

本实用新型提供了一种冷却水连接件，用于对设置于腔室室壁内的水冷管进行供水，所述冷却水连接件包括：主体连接件和辅助接头，所述主体连接件包括：法兰座、压紧组件、锁紧组件，所述法兰座固定连接于腔室室壁上，所述水冷管穿过所述腔室室壁，并插设于所述法兰座内，所述压紧组件套设于水冷管与法兰座之间，所述锁紧组件套设于压紧组件的第一开口端，用于推动所述锁紧组件促使压紧组件向靠近法兰座的方向压紧，且用于对水冷管的外壁面进行密封，所述辅助接头的一端与压紧组件活动连接，且所述辅助接头的另一端与外接的水源接头相连接；本实用新型通过主体连接件与辅助接头相配合，从而在水源接头与水冷管不相互接触的情况下实现供水，避免划伤水冷管的外管壁，同时通过主体连接件对水冷管外壁面实现密封。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是为图1中A位置的局部放大图；

图3是本实用新型辅助接头的结构示意图；

图4是本实用新型法兰座的结构示意图；

图5是本实用新型压紧组件的结构示意图；

图6是本实用新型锁紧组件的结构示意图；

图7是本实用新型的使用状态图。

图中：1、腔室室壁；2、水冷管；3、主体连接件；4、辅助接头；5、法兰座；6、压紧组件；7、锁紧组件；8、第一开口端；9、第二开口端；10、第一连接部；11、第二连接部；12、通孔；13、第一通孔；14、第二通孔；15、台阶形过渡段；16、卡合台阶；17、斜面；18、第一密封圈；19、固定部；20、夹持部；21、锁紧部；22、第一段；23、第二段；24、第二密封圈；25、法兰段；26、连接段；27、水冷板。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明：

如图1和图7所示，本申请公开了一种冷却水连接件，用于对设置于腔室室壁1内的水冷管2进行供水，冷却水连接件包括：主体连接件3和辅助接头4，主体连接件3包括：法兰座5、压紧组件6、锁紧组件7，真空腔室的外侧壁上开设有连接通孔12，法兰座5与连接通孔12边缘固定连接，水冷管2通过连接通孔12从腔室室壁1的一侧穿入另一侧，并插设于法兰座5内，压紧组件6套设于水冷管2与法兰座5之间，优选的，压紧组件6设置为压套，锁紧组件7套设于压紧组件6的第一开口端8，用于推动锁紧组件7促使压紧组件6向靠近法兰座5的方向压紧，且用于对水冷管2的外壁面进行密封，优选的，锁紧组件7设置为螺母，通过螺母将压紧组件6的第一开口端8压紧，即：促使其向靠近法兰座5的方向压紧，辅助接头4的一端与压紧组件6活动连接，且辅助接头4的另一端与外接的水源接头相连接，优选的，辅助接头4设置为旋转接头，具体的，辅助接头4中设有用于冷水流通的贯穿通孔，辅助接头4的贯穿通孔的一端与压紧组件6的第一开口端8螺纹连接，另一端与外接的水源接头相连接，压紧组件6的第二开口端9与水冷管2相连通，使用时，冷水从外接的水源接头流出，从辅助接头4的一端流向另一端，并且从另一端进入压紧组件6的第一开口端8内，最后经由压紧组件6的第二开口端9进入水冷管2；本实用新型通过主体连接件3与辅助接头4相配合，从而在水源接头与水冷管2不相互接触的情况下实现供水，避免划伤水冷管2的外管壁，同时通过主体连接件3对水冷管2外壁面实现密封。

可选的，水冷管2的一端插设于法兰座5内，且水冷管2的另一端与腔室内的水冷板27相连接，可以通过内六角螺钉进行连接，或通过焊接进行连接，具体的，水冷板27内开设有水道，水冷管2与水冷板27内的水道连通，或者水冷管2设置在水冷板27的水道内，用于将外部的冷水经过水冷管2输送给腔室内的水冷板27，实现对腔室内进行冷却。

根据本实用新型的一个实施例，如图3所示，辅助接头4包括：第一连接部10和第二连接部11，第一连接部10和第二连接部11为垂直设置，并相互连通，第一连接部10与外接的水源接头相连接，压紧组件6套设在第二连接部11上，并且压紧组件6与第二连接部11为螺纹连接，其中，压紧组件6内设有与第二连接部11连通的贯穿通孔；冷水通过辅助接头4流入主体连接件3内的水冷管2，最后经由水冷管2流入腔室内的水冷板27内，实现冷却，并且通过螺纹连接，可以实现辅助接头4与主体连接件3的可拆卸连接，便于后期维修与更换，降低生产成本。

根据本实用新型的另一个实施例，辅助接头4的第一连接部10和第二连接部11还可以为水平设置，并相互连通。

根据本实用新型的一个实施例，如图4所示，法兰座5沿轴心位置开设有通孔12，通孔12的一端与辅助接头4相连接，通孔12的另一端与腔室室壁1内的水冷管2相连接，用于为腔室室壁1内的水冷管2供水。

根据本实用新型的一个实施例，如图4所示，通孔12包括相互连通的第一通孔13和第二通孔14，第一通孔13设置在法兰座5的连接段26内，第二通孔14设置在法兰座5的法兰段25内，第一通孔13的直径大于第二通孔14的直径，两者之间通过台阶形过渡段15过渡。

根据本实用新型的一个实施例，如图1和图5所示，压紧组件6安装在第一通孔13内，压紧组件6的第二开口端9压紧于台阶形过渡段15上，其中，该台阶形过渡起到限位的作用，对压紧组件6进行限位，同时二者通过与密封件配合，从而实现对水冷管2外壁面进行密封，且压紧组件6的第一开口端8凸设于法兰座5，并在压紧组件6的第一开口端8外壁侧面上开设有卡合台阶16，该设计保证锁紧组件7可以稳定卡合在压紧组件6上，以免发生滑落，且便于锁紧组件7定位安装。

根据本实用新型的一个实施例，如图2所示，压紧组件6的第二开口端9与台阶形过渡段15相对的壁面上，靠近水冷管2的一端均设有斜面17，两个斜面17的倾斜角度为相反设置，且两个斜面17之间设有第一密封圈18，用于对水冷管2的外壁面进行密封，现有技术中，由于密封圈具有一定弹性，并且设置在密封圈两端的端面为垂直的，故在密封时，设置在密封圈两端的端面在相互挤压时，密封圈发生形变的同时会产生相互作用力，推动两个组件向远离密封圈的方向运动，故为了避免该情况，端面设置成斜面17，两个斜面17之间形成密封腔，该密封腔保证第一密封圈18保证密封性能的同时，第一密封圈18不易发生形变，不易发生相互作用力，同时斜面17的角度可以根据生产需要进行调整，在本申请中该角度不作限定，并且斜面17的形状亦不作限定，可以是波浪状等，或者在斜面17上可以增设凸点，增强斜面17与第一密封圈18之间的摩擦力，使用时，推动锁紧组件7将压紧组件6向靠近法兰座5的方向运动，促使设置在锁紧组件7第二开口端9的斜面17将第一密封圈18压入台阶形过渡段15的斜面17上，从而完成对水冷管2外壁面水和真空的密封。

可选的，水冷管2的外壁面一般为硬质材料，故会存在划伤密封圈的可能性，故在水冷管2的外壁面增设密封面，优选的，密封面可以采用软质材料制成，可以将水冷管2与密封圈隔离，从而不会划伤密封圈，保证密封性能，防止漏水。

根据本实用新型的一个实施例，如图1和图6所示，锁紧组件7包括：固定部19和夹持部20，固定部19与夹持部20为垂直设置，其中，锁紧组件7内设有贯穿通孔，锁紧组件7通过贯穿通孔套设在压紧组件6上，并且固定部19卡合在卡合台阶16内，推动固定部19促使压紧组件6向靠近法兰座5的方向将第一密封圈18压紧，夹持部20套设在法兰座上，用于夹紧法兰座5的外壁面，使用时，当对水冷管2外壁面完成密封时，固定部19起到阻挡压紧组件6运动的作用，而夹紧部将锁紧组件7固定在法兰座5上，其中，夹持部20靠近法兰座5的内壁面可以设置有内螺纹，而法兰座5的第一段22外壁面相对应的位置设置有外螺纹，通过螺纹连接可以促使夹持组件稳定固定在法兰座5的外壁面上，而不易发生相对滑动。

根据本实用新型的一个实施例，如图1和图6所示，夹持部20上靠近法兰座5的内壁面设有锁紧部21，两个锁紧部21之间的距离小于或等于法兰座5连接段26的外径，该设计保证夹持部20稳定固定在法兰座5上。

根据本实用新型的一个实施例，如图1和图4所示，法兰座5的连接段26包括依次连接的第一段22和第二段23，第一段22设置在两个夹持部20之间，第二段23设置在靠近法兰段25的一端，第一段22外壁面的厚度大于第二段23外壁面的厚度，第一段22与锁紧部21相配合，可以增强夹持部20与法兰座5之间的夹持稳定性。

根据本实用新型的一个实施例，如图1所示，法兰座5与腔室室壁1之间设有第二密封圈24，从而增强法兰座5与腔室室壁1之间的密封性能。

下面对本实用新型的装配过程进行说明：

装配时，首先将法兰座5套设在水冷管2上，然后通过螺栓将法兰座5的法兰段25固定在腔室室壁1上，并通过第二密封圈24进行密封，然后将压紧组件6套设在法兰座5的连接段26与水冷管2之间，之后将锁紧组件7套设在压紧组件6的第一开口端8上，推动锁紧组件7将压紧组件6向靠近法兰座5的方向运动，促使设置在锁紧组件7第二开口端9的斜面17将第一密封圈18压入台阶形过渡段15的斜面17上，从而完成对水冷管2外壁面水和真空的密封，最后将外接的水源接头连接在辅助接头4的一端，之后将辅助接头4的另一端螺纹安装于压紧组件6的第一开口端8上，从而完成装配。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定组件几何方向。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连通”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连通，也可以通过中间媒介间接连通，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

以上仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种冷却水连接件，其特征在于，用于对设置于腔室室壁(1)内的水冷管(2)进行供水，所述冷却水连接件包括：主体连接件(3)和辅助接头(4)，所述主体连接件(3)包括：法兰座(5)、压紧组件(6)、锁紧组件(7)，所述法兰座(5)固定连接于腔室室壁(1)上，所述水冷管(2)穿过所述腔室室壁(1)，并插设于所述法兰座(5)内，所述压紧组件(6)套设于水冷管(2)与法兰座(5)之间，所述锁紧组件(7)套设于压紧组件(6)的第一开口端(8)，用于推动所述锁紧组件(7)促使压紧组件(6)向靠近法兰座(5)的方向压紧，且用于对水冷管(2)的外壁面进行密封，所述辅助接头(4)的一端与压紧组件(6)活动连接，且所述辅助接头(4)的另一端与外接的水源接头相连接。

2.根据权利要求1所述的一种冷却水连接件，其特征在于，所述辅助接头(4)包括：第一连接部(10)和第二连接部(11)，所述第一连接部(10)和第二连接部(11)为垂直设置，并相互连通，所述第一连接部(10)与外接的水源接头相连接，所述压紧组件(6)套设在第二连接部(11)上。

3.根据权利要求2所述的一种冷却水连接件，其特征在于，所述法兰座(5)沿轴心位置开设有通孔(12)，所述通孔(12)的一端与辅助接头(4)相连接，所述通孔(12)的另一端与腔室室壁(1)内的水冷管(2)相连接，用于为腔室室壁(1)内的水冷管(2)供水。

4.根据权利要求3所述的一种冷却水连接件，其特征在于，所述通孔(12)包括相互连通的第一通孔(13)和第二通孔(14)，所述第一通孔(13)设置在法兰座(5)的连接段(26)内，所述第二通孔(14)设置在法兰座(5)的法兰段(25)内，所述第一通孔(13)的直径大于第二通孔(14)的直径，两者之间通过台阶形过渡段(15)过渡。

5.根据权利要求4所述的一种冷却水连接件，其特征在于，所述压紧组件(6)安装在第一通孔(13)内，所述压紧组件(6)的第二开口端(9)压紧于所述台阶形过渡段(15)上，且所述压紧组件(6)的第一开口端(8)凸设于法兰座(5)，并在所述压紧组件(6)的第一开口端(8)外壁侧面上开设有卡合台阶(16)。

6.根据权利要求5所述的一种冷却水连接件，其特征在于，所述压紧组件(6)的第二开口端(9)与台阶形过渡段(15)相对的壁面上，靠近所述水冷管(2)的一端均设有斜面(17)，两个所述斜面(17)的倾斜角度为相反设置，且两个所述斜面(17)之间设有第一密封圈(18)，用于对所述水冷管(2)的外壁面进行密封。

7.根据权利要求5所述的一种冷却水连接件，其特征在于，所述锁紧组件(7)包括：固定部(19)和夹持部(20)，所述固定部(19)与夹持部(20)为垂直设置，所述固定部(19)卡合在所述卡合台阶(16)内，推动所述固定部(19)促使压紧组件(6)向靠近法兰座(5)的方向将第一密封圈(18)压紧，所述夹持部(20)套设在法兰座(5)上，用于夹紧法兰座(5)的外壁面。

8.根据权利要求7所述的一种冷却水连接件，其特征在于，所述夹持部(20)上靠近法兰座(5)的内壁面设有锁紧部(21)，两个所述锁紧部(21)之间的距离小于或等于法兰座(5)连接段(26)的外径。

9.根据权利要求7所述的一种冷却水连接件，其特征在于，所述法兰座(5)的连接段(26)包括依次连接的第一段(22)和第二段(23)，所述第一段(22)设置在两个夹持部(20)之间，所述第二段(23)设置在靠近法兰段(25)的一端，所述第一段(22)外壁面的厚度大于第二段(23)外壁面的厚度。

10.根据权利要求1所述的一种冷却水连接件，其特征在于，所述法兰座(5)与所述腔室室壁(1)之间设有第二密封圈(24)。

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