CN210677399U - 片状cof表层切割装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种片状COF表层切割装置，包括机架、安装于机架上的切割平台组件、激光切割组件、CCD组件以及抽风组件，切割平台组件包括切割平台，切割平台位于激光切割组件的一侧，且通过第一驱动装置安装于机架上，第一驱动装置可驱动切割平台沿X向、Y向、Z向移动以及以Z向为轴的转动，激光切割组件包括激光测厚装置，激光切割组件、CCD组件和抽风组件均邻近切割平台设置，抽风组件的抽风口正对切割平台，用于去除COF切割后产生的颗粒和废气。本实用新型的片状COF表层切割装置可以实现片状COF自动测厚、纠偏、切割、清洁及移动至下料位。采用本实用新型的片状COF表层切割装置对片状COF的表层进行切割，可以提高切割效率和片状COF的品质。

Description

片状COF表层切割装置

技术领域

本实用新型涉及COF表层切割技术领域，具体涉及一种片状COF表层切割装置。

背景技术

COF(Chip On Film，覆晶薄膜)，是指将驱动IC固定于柔性线路板的组成，主要应用于液晶模组显示行业。受于空间限制(例如手机)，COF与液晶模组组装时通常需要折弯。目前还没有出现对COF表层进行切割的装置及技术，COF表层切割之前直接卷绕COF时，COF弯折的位置会使COF的品质受到影响。

本实用新型针对片状COF的表层切割研究出一种片状COF切割装置，以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种片状COF表层切割装置，可以提高切割效率和片状COF 的品质。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

提供一种片状COF表层切割装置，包括机架、安装于所述机架上的切割平台组件、激光切割组件、CCD组件以及抽风组件，所述切割平台组件包括切割平台，所述切割平台位于所述激光切割组件的一侧，且通过第一驱动装置安装于所述机架上，所述第一驱动装置可驱动所述切割平台沿X向、Y向、Z向移动以及以Z向为轴的转动，所述激光切割组件包括激光测厚装置，所述激光切割组件、所述CCD组件和所述抽风组件均邻近所述切割平台设置，所述抽风组件的抽风口正对所述切割平台，用于去除COF切割后产生的颗粒和废气。

作为片状COF表层切割装置的一种优选方案，所述第一驱动装置包括第一X向驱动装置、第一Y向驱动装置、第一Z向驱动装置和Z轴转动装置；

所述第一X向驱动装置包括固定于所述机架上的第一X向固定板、间隔固定于所述第一 X向固定板上方的第一连接板、固定于所述第一X向固定板上方的第一X向直线电机定子以及通过滑动组件与所述第一X向固定板滑动连接的第一X向直线电机动子，所述第一X向直线电机动子位于所述第一X向固定板与所述第一连接板之间；

所述第一Y向驱动装置包括位于所述第一连接板的一侧并与所述第一X向直线电机动子固定连接的第一Y向固定板、间隔固定于所述第一Y向固定板上方的第二连接板、固定于所述第一Y向固定板上且位于所述第一Y向固定板与所述第二连接板之间的第一Y向直线电机定子以及通过滑动组件与所述第一Y向固定板滑动连接的第一Y向直线电机动子，所述第一Y向直线电机动子位于所述第一Y向固定板与所述第二连接板之间，第一Y向固定板与第一X向直线电机动子固定连接；

所述Z轴转动装置包括通过连接件与所述第一Y向直线电机动子固定连接的直驱马达以及与所述直驱马达的输出轴连接的转接板；

所述第一Z向驱动装置包括安装于所述转接板上方的第一Z向伺服电机，所述切割平台与所述第一Z向伺服电机连接。

作为片状COF表层切割装置的一种优选方案，所述激光切割组件还包括：

间隔安装于所述机架上的第一安装基座和第二安装基座，所述第二安装基座邻近所述切割平台组件设置且位于所述第一安装基座与所述切割平台组件之间；

激光发生器，安装于所述第一安装基座上，所述激光发生器的激光发射口朝向靠近所述第二安装基座的一侧；

扩束镜，与所述激光发生器的激光发射口连接；

若干反射镜，安装于所述机架上；

振镜装置，包括壳体和安装于所述壳体内的振镜，所述壳体通过第二驱动装置安装于所述第二安装基座上；

聚光镜，安装于所述壳体下方；

所述激光发生器发出的激光依次经所述扩束镜、若干所述反射镜、所述振镜和所述聚光镜发出，所述第二驱动装置可驱动所述振镜装置和所述聚光镜沿X向、Y向和Z向移动。

作为片状COF表层切割装置的一种优选方案，所述反射镜包括第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜和第四反射镜，所述第一反射镜和所述扩束镜沿Y向间隔设置，所述第一反射镜和所述第二反射镜沿X向间隔设置，且所述第二反射镜位于所述第一反射镜靠近所述切割平台组件的一侧，所述第二反射镜和所述第三反射镜沿Y向间隔设置，所述第三反射镜和所述第四反射镜沿Z向间隔设置，所述第四反射镜位于所述第三反射镜的下方。

作为片状COF表层切割装置的一种优选方案，所述第二驱动装置包括第二X向驱动装置、安装于所述第二X向驱动装置上的第二Y向驱动装置和与所述第二Y向驱动装置连接的Z向驱动装置，所述壳体与所述Z向驱动装置固定连接。

作为片状COF表层切割装置的一种优选方案，所述第二X向驱动装置包括固定于所述第二安装基座上的第二X向固定板、间隔固定于所述第二X向固定板上方的第三连接板、固定于所述第二X向固定板上方的第二X向直线电机定子以及通过滑动组件与所述第二X向固定板滑动连接的第二X向直线电机动子，所述第二X向直线电机动子位于所述第二X向固定板与所述第三连接板之间，所述第二X向直线电机动子与所述第二Y向驱动装置固定连接。

作为片状COF表层切割装置的一种优选方案，所述第二Y向驱动装置包括位于所述第三连接板的一侧并与所述第二X向直线电机动子固定连接的第二Y向固定板、间隔固定于所述第二Y向固定板靠近所述切割平台组件一侧的第四连接板、固定于所述第二Y向固定板上且位于所述第二Y向固定板与所述第四连接板之间的第二Y向直线电机定子以及通过滑动组件与所述第二Y向固定板滑动连接的第二Y向直线电机动子，所述第二Y向直线电机动子位于所述第二Y向固定板与所述第四连接板之间，所述第二Y向直线电机动子与所述Z向驱动装置连接。

作为片状COF表层切割装置的一种优选方案，所述Z向驱动装置包括通过连接件与所述第二Y向直线电机动子连接的第五连接板和安装于所述第五连接板上的第二Z向伺服电机，所述第五连接板靠近所述切割平台组件的一侧设有Z向导轨，所述振镜装置和所述聚光镜通过连接件与所述Z向导轨连接，所述第二Z向伺服电机与所述振镜装置连接。

作为片状COF表层切割装置的一种优选方案，所述激光测厚装置邻近所述第二安装基座安装于所述机架上，所述激光测厚装置包括固定于所述机架上的支撑架和安装于所述支撑架上端的激光测量传感器，所述激光测量传感器位于所述切割平台组件的上方。

作为片状COF表层切割装置的一种优选方案，所述抽风组件包括邻近所述切割平台安装于所述机架上的抽风罩和正对所述抽风罩的开口设置的吹风管，所述抽风罩与抽风机连接，所述吹风管与吹风机连接，所述吹风管的侧壁上且朝向所述切割平台间隔设置有若干吹风口。

本实用新型的有益效果：本实用新型的片状COF表层切割装置可以实现片状COF自动测厚、纠偏、切割、清洁及移动至下料位。采用本实用新型的片状COF表层切割装置对片状COF的表层进行切割，可以提高切割效率和片状COF的品质。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型一实施例所述的片状COF表层切割装置的结构示意图。

图2是本实用新型一实施例所述的片状COF表层切割装置除去外框后的结构示意图。

图3是本实用新型一实施例所述的切割平台组件的结构示意图。

图4是本实用新型一实施例所述的激光切割组件的结构示意图。

图5是本实用新型一实施例所述的抽风组件的结构示意图。

图中：

11、机架；12、外框；

2、切割平台组件；21、切割平台；22、第一驱动装置；221、第一X向固定板；222、第一连接板；223、第一Y向固定板；224、第一Y向直线电机定子；225、第二连接板；226、直驱马达；227、第一Z向伺服电机；

3、激光切割组件；31、第一安装基座；32、第二安装基座；33、激光发生器；34、扩束镜；351、第一反射镜；352、第二反射镜；353、第三反射镜；354、第四反射镜；36、振镜装置；37、第二驱动装置；371、第二X向固定板；372、第三连接板；373、第二X向直线电机定子；374、第二Y向固定板；375、第四连接板；376、第二Y向直线电机定子；377、第五连接板；378、第二Z向伺服电机；379、Z向导轨；38、聚光镜；39、激光测厚装置； 391、支撑架；392、激光测量传感器；

4、CCD组件；

5、抽风组件；51、抽风罩；52、吹风管。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本实用新型的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。

本实用新型实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本实用新型的描述中，需要理解的是，若出现术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“连接”等指示部件之间的连接关系，该术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个部件内部的连通或两个部件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1至4所示，本实用新型的实施例提供一种片状COF表层切割装置，包括机架11、安装于机架11上的切割平台组件2、激光切割组件3、CCD组件4以及抽风组件5，切割平台组件2包括切割平台21，切割平台21通过第一驱动装置22安装于机架11上，第一驱动装置22可驱动切割平台21沿X向、Y向、Z向移动以及以Z向为轴的转动，激光切割组件 3包括激光测厚装置39，激光切割组件3、CCD组件4和抽风组件5均邻近切割平台21设置，抽风组件5的抽风口正对切割平台21，用于去除COF切割后产生的颗粒和废气。

如图1所示，片状COF表层切割装置还包括安装于机架11外周的外框12。

本实施例中，人工将片状COF放置在切割平台21上，切割平台21移动至测厚位置，由激光测厚装置39进行测厚；PC控制器根据激光测厚装置39所测得的数据来调整切割平台21在Z轴位置，以调整片状COF的高度；切割平台21移动至拍照位，由CCD组件4拍照得出片状COF当前位置值，并通过第一驱动装置22对切割平台21在X轴、Y轴、Q轴执行位置纠正动作；激光切割组件3移动至切割位，开始激光对片状COF的切割，同时抽风组件5打开，将激光切割所产生的颗粒和废气吸走；激光切割完成后，切割平台21退出至下料位，人工将切割后的片状COF取走。本实施例的片状COF表层切割装置可以自动完成片状 COF的测厚、纠偏、表层切割及除尘操作。

如图2和图3所示，第一驱动装置22包括第一X向驱动装置、第一Y向驱动装置、第一Z向驱动装置和Z轴转动装置；

第一X向驱动装置包括固定于机架11上的第一X向固定板221、间隔固定于第一X向固定板221上方的第一连接板222、固定于第一X向固定板221上方的第一X向直线电机定子以及通过滑动组件与第一X向固定板221滑动连接的第一X向直线电机动子，第一X向直线电机动子位于第一X向固定板221与第一连接板222之间；

第一Y向驱动装置包括位于第一连接板222的一侧并与第一X向直线电机动子固定连接的第一Y向固定板223、间隔固定于第一Y向固定板223上方的第二连接板225、固定于第一Y向固定板223上且位于第一Y向固定板223与第二连接板225之间的第一Y向直线电机定子224以及通过滑动组件与第一Y向固定板223滑动连接的第一Y向直线电机动子，第一Y向直线电机动子位于第一Y向固定板223与第二连接板225之间，第一Y向固定板223 与第一X向直线电机动子固定连接；

Z轴转动装置包括通过连接件与第一Y向直线电机动子固定连接的直驱马达226以及与直驱马达226的输出轴连接的转接板；

第一Z向驱动装置包括安装于转接板上方的第一Z向伺服电机227，切割平台21与第一 Z向伺服电机227连接。

本实施例中，第一X向驱动装置和第一Y向驱动装置均为直线电机，通过第一X向驱动装置可带动第一Y向驱动装置、第一Z向驱动装置、Z轴转动装置以及切割平台21沿X 向移动，实现X向的纠偏；通过第一Y向驱动装置可带动第一Z向驱动装置、Z轴转动装置以及切割平台21沿Y向移动，实现Y向的纠偏；通过Z轴转动装置可带动第一Z向驱动装置以及切割平台21以Z向为轴进行转动；通过第一Z向伺服电机227可带动切割平台21沿 Z向移动。

进一步地，如图4所示，激光切割组件3还包括：

间隔安装于机架11上的第一安装基座31和第二安装基座32，第二安装基座32邻近切割平台组件2设置且位于第一安装基座31与切割平台组件2之间；

激光发生器33，安装于第一安装基座31上，激光发生器33的激光发射口朝向靠近第二安装基座32的一侧；

扩束镜34，与激光发生器33的激光发射口连接；

若干反射镜，安装于机架11上；

振镜装置36，包括壳体和安装于壳体内的振镜，壳体通过第二驱动装置37安装于第二安装基座32上；

聚光镜38，安装于壳体下方；

激光发生器33发出的激光依次经扩束镜34、若干反射镜、振镜和聚光镜38发出，第二驱动装置37可驱动振镜和聚光镜38沿X向、Y向和Z向移动。

本实施例中，激光切割组件3的结构布局合理，通过PC控制器控制振镜装置36和第二驱动装置37等对激光发射的位置和角度进行调整，以实现对片状COF的表层进行精确切割。

进一步地，反射镜包括第一反射镜351、第二反射镜352和第三反射镜353和第四反射镜354，第一反射镜351和扩束镜34沿Y向间隔设置，第一反射镜351和第二反射镜352沿X向间隔设置，且第二反射镜352位于第一反射镜351靠近切割平台组件2的一侧，第二反射镜352和第三反射镜353沿Y向间隔设置，第三反射镜353和第四反射镜354沿Z向间隔设置，第四反射镜354位于第三反射镜353的下方。

具体地，第二驱动装置37包括第二X向驱动装置、安装于第二X向驱动装置上的第二 Y向驱动装置和与第二Y向驱动装置连接的第二Z向驱动装置，壳体与第二Z向驱动装置固定连接。

第二X向驱动装置包括固定于第二安装基座32上的第二X向固定板371、间隔固定于第二X向固定板371上方的第三连接板372、固定于第二X向固定板371上方的第二X向直线电机定子373以及通过滑动组件与第二X向固定板371滑动连接的第二X向直线电机动子，第二X向直线电机动子位于第二X向固定板371与第三连接板372之间，第二X向直线电机动子与第二Y向驱动装置固定连接。

第二Y向驱动装置包括位于第三连接板372的一侧并与第二X向直线电机动子固定连接的第二Y向固定板374、间隔固定于第二Y向固定板374靠近切割平台组件2一侧的第四连接板375、固定于第二Y向固定板374上且位于第二Y向固定板374与第四连接板375之间的第二Y向直线电机定子376以及通过滑动组件与第二Y向固定板374滑动连接的第二Y 向直线电机动子，第二Y向直线电机动子位于第二Y向固定板374与第四连接板375之间，第二Y向直线电机动子与Z向驱动装置连接。

第二Z向驱动装置包括通过连接件与第二Y向直线电机动子连接的第五连接板377和安装于第五连接板377上的第二Z向伺服电机378，第五连接板377靠近切割平台组件2的一侧设有Z向导轨379，振镜装置36和聚光镜38通过连接件与Z向导轨379连接，第二Z向伺服电机378与振镜装置36连接。

进一步地，第一反射镜351固定于第一安装基座31上；第二反射镜352通过第一连接件与第四连接板375固定连接，由于第四连接板375与第二X向直线电机动子连接，因此，第二X向驱动装置可驱动第二反射镜352沿X向移动；第三反射镜353通过第二连接件与第二Y向直线电机动子连接，通过第二X向驱动装置和第二Y向驱动装置可驱动第三反射镜353沿X向、Y向移动；第四反射镜354固定于壳体远离第二Z向伺服电机378的一侧，通过第二X向驱动装置、第二Y向驱动装置和第二Z向驱动装置可驱动第四反射镜354沿X向、Y 向以及Z向移动。

其中，CCD组件4邻近聚光镜38安装于壳体的下方。本实施例中，CCD组件4主要由直线导轨、CCD、镜头、棱镜、光源、光源控制器、CCD视觉系统等组成，具体不再赘述。

激光测厚装置39邻近第二安装基座32安装于机架11上，激光测厚装置39包括固定于机架11上的支撑架391和安装于支撑架391上端的激光测量传感器392，激光测量传感器392 位于切割平台组件2的上方。通过激光测量传感器392测量片状COF的厚度，测量之后再对片状COF的表层进行激光切割。

进一步地，如图5所示，抽风组件5包括邻近切割平台21安装于机架11上的抽风罩51 和正对抽风罩51的开口设置的吹风管52，抽风罩51与抽风机连接，吹风管52与吹风机连接，吹风管52的侧壁上且朝向切割平台21间隔设置有若干吹风口，抽风的同时对片状COF的激光切割位置进行吹风，可以进一步增加片状COF的激光切割位置的清洁力度。

本实施例中，片状COF表层切割装置上的其他的感应器的数量及安装位置可以根据实际需求进行设计安装，具体不再赘述，PC控制器与所有的感应器和驱动装置连接，以实现片状 COF自动测厚、纠偏、切割、清洁及移动至下料位。采用本实施例的片状COF表层切割装置对片状COF的表层进行切割，可以提高切割效率和片状COF的品质。

需要声明的是，上述具体实施方式仅仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员应该明白，还可以对本实用新型做各种修改、等同替换、变化等等。但是，这些变换只要未背离本实用新型的精神，都应在本实用新型的保护范围之内。另外，本申请说明书和权利要求书所使用的一些术语并不是限制，仅仅是为了便于描述。

Claims (10)

1.一种片状COF表层切割装置，其特征在于，包括机架、安装于所述机架上的切割平台组件、激光切割组件、CCD组件以及抽风组件，所述切割平台组件包括切割平台，所述切割平台位于所述激光切割组件的一侧，且通过第一驱动装置安装于所述机架上，所述第一驱动装置可驱动所述切割平台沿X向、Y向、Z向移动以及以Z向为轴的转动，所述激光切割组件包括激光测厚装置，所述激光切割组件、所述CCD组件和所述抽风组件均邻近所述切割平台设置，所述抽风组件的抽风口正对所述切割平台，用于去除COF切割后产生的颗粒和废气。

2.根据权利要求1所述的片状COF表层切割装置，其特征在于，所述第一驱动装置包括第一X向驱动装置、第一Y向驱动装置、第一Z向驱动装置和Z轴转动装置；

所述第一X向驱动装置包括固定于所述机架上的第一X向固定板、间隔固定于所述第一X向固定板上方的第一连接板、固定于所述第一X向固定板上方的第一X向直线电机定子以及通过滑动组件与所述第一X向固定板滑动连接的第一X向直线电机动子，所述第一X向直线电机动子位于所述第一X向固定板与所述第一连接板之间；

所述第一Y向驱动装置包括位于所述第一连接板的一侧并与所述第一X向直线电机动子固定连接的第一Y向固定板、间隔固定于所述第一Y向固定板上方的第二连接板、固定于所述第一Y向固定板上且位于所述第一Y向固定板与所述第二连接板之间的第一Y向直线电机定子以及通过滑动组件与所述第一Y向固定板滑动连接的第一Y向直线电机动子，所述第一Y向直线电机动子位于所述第一Y向固定板与所述第二连接板之间，第一Y向固定板与第一X向直线电机动子固定连接；

所述Z轴转动装置包括通过连接件与所述第一Y向直线电机动子固定连接的直驱马达以及与所述直驱马达的输出轴连接的转接板；

所述第一Z向驱动装置包括安装于所述转接板上方的第一Z向伺服电机，所述切割平台与所述第一Z向伺服电机连接。

3.根据权利要求1所述的片状COF表层切割装置，其特征在于，所述激光切割组件还包括：

间隔安装于所述机架上的第一安装基座和第二安装基座，所述第二安装基座邻近所述切割平台组件设置且位于所述第一安装基座与所述切割平台组件之间；

激光发生器，安装于所述第一安装基座上，所述激光发生器的激光发射口朝向靠近所述第二安装基座的一侧；

扩束镜，与所述激光发生器的激光发射口连接；

若干反射镜，安装于所述机架上；

振镜装置，包括壳体和安装于所述壳体内的振镜，所述壳体通过第二驱动装置安装于所述第二安装基座上；

聚光镜，安装于所述壳体下方；

所述激光发生器发出的激光依次经所述扩束镜、若干所述反射镜、所述振镜和所述聚光镜发出，所述第二驱动装置可驱动所述振镜装置和所述聚光镜沿X向、Y向和Z向移动。

4.根据权利要求3所述的片状COF表层切割装置，其特征在于，所述反射镜包括第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜和第四反射镜，所述第一反射镜和所述扩束镜沿Y向间隔设置，所述第一反射镜和所述第二反射镜沿X向间隔设置，且所述第二反射镜位于所述第一反射镜靠近所述切割平台组件的一侧，所述第二反射镜和所述第三反射镜沿Y向间隔设置，所述第三反射镜和所述第四反射镜沿Z向间隔设置，所述第四反射镜位于所述第三反射镜的下方。

5.根据权利要求3所述的片状COF表层切割装置，其特征在于，所述第二驱动装置包括第二X向驱动装置、安装于所述第二X向驱动装置上的第二Y向驱动装置和与所述第二Y向驱动装置连接的Z向驱动装置，所述壳体与所述Z向驱动装置固定连接。

6.根据权利要求5所述的片状COF表层切割装置，其特征在于，所述第二X向驱动装置包括固定于所述第二安装基座上的第二X向固定板、间隔固定于所述第二X向固定板上方的第三连接板、固定于所述第二X向固定板上方的第二X向直线电机定子以及通过滑动组件与所述第二X向固定板滑动连接的第二X向直线电机动子，所述第二X向直线电机动子位于所述第二X向固定板与所述第三连接板之间，所述第二X向直线电机动子与所述第二Y向驱动装置固定连接。

7.根据权利要求6所述的片状COF表层切割装置，其特征在于，所述第二Y向驱动装置包括位于所述第三连接板的一侧并与所述第二X向直线电机动子固定连接的第二Y向固定板、间隔固定于所述第二Y向固定板靠近所述切割平台组件一侧的第四连接板、固定于所述第二Y向固定板上且位于所述第二Y向固定板与所述第四连接板之间的第二Y向直线电机定子以及通过滑动组件与所述第二Y向固定板滑动连接的第二Y向直线电机动子，所述第二Y向直线电机动子位于所述第二Y向固定板与所述第四连接板之间，所述第二Y向直线电机动子与所述Z向驱动装置连接。

8.根据权利要求5所述的片状COF表层切割装置，其特征在于，所述Z向驱动装置包括通过连接件与所述第二Y向直线电机动子连接的第五连接板和安装于所述第五连接板上的第二Z向伺服电机，所述第五连接板靠近所述切割平台组件的一侧设有Z向导轨，所述振镜装置和所述聚光镜通过连接件与所述Z向导轨连接，所述第二Z向伺服电机与所述振镜装置连接。

9.根据权利要求5所述的片状COF表层切割装置，其特征在于，所述激光测厚装置邻近所述第二安装基座安装于所述机架上，所述激光测厚装置包括固定于所述机架上的支撑架和安装于所述支撑架上端的激光测量传感器，所述激光测量传感器位于所述切割平台组件的上方。

10.根据权利要求1至9任一项所述的片状COF表层切割装置，其特征在于，所述抽风组件包括邻近所述切割平台安装于所述机架上的抽风罩和正对所述抽风罩的开口设置的吹风管，所述抽风罩与抽风机连接，所述吹风管与吹风机连接，所述吹风管的侧壁上且朝向所述切割平台间隔设置有若干吹风口。

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