CN210650146U - 一种精密研磨抛光夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种精密研磨抛光夹具,包括相互垂直设置的夹具主体、数显千分表,夹具主体上设有第一通孔,数显千分表包括依次连接的表头、套筒、测量杆,数显千分表的套筒穿过第一通孔并固定安装在夹具主体上,夹具主体上靠近测量杆的一面安装有多个夹紧组件,多个夹紧组件相互配合,用于对工件进行夹紧;测量杆的端部设置有测试头,测试头上设置有凹槽,凹槽内嵌套设置滚珠。本实用新型通过在数显千分表设置公差进行判断,研磨过程中当判断结果超出公差时,数显千分表发出警报,通知员工该产品已达到预设研磨量。通过本实用新型的夹具,研磨出来的精度可达到0.01以下,满足更高的产品需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及机械加工领域,具体涉及一种精密研磨抛光夹具。
背景技术
在半导体、光通讯、机械加工等行业中,都离不开研磨抛光工序。最常用的研磨抛光方法是使用研磨机,将产品固定在夹具中,放在研磨盘上,加入适量的研磨液,利用研磨盘的旋转与产品产生摩擦,通过研磨时间的控制来达到减薄、磨平、倒角的目的。然后因为研磨盘磨损导致的磨削力下降,机器机械磨损导致精度下降等原因,相同时间内研磨出来的尺寸差异较大,且精度只能达到0.2mm左右。
实用新型内容
本实用新型针对现有技术中存在的技术问题,提供一种精密研磨抛光夹具,其可以实现精度更高的研磨抛光等操作。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:一种精密研磨抛光夹具,包括相互垂直设置的夹具主体、数显千分表,所述夹具主体上设有第一通孔,所述数显千分表包括依次连接的表头、套筒、测量杆,所述数显千分表的套筒穿过所述第一通孔并固定安装在所述夹具主体上,所述夹具主体上靠近所述测量杆的一面安装有多个夹紧组件,多个所述夹紧组件相互配合,用于对工件进行夹紧;所述测量杆的端部设置有测试头,所述测试头上设置有凹槽,所述凹槽内嵌套设置滚珠。
本实用新型的精密研磨抛光夹具,可以实现精度更高的研磨抛光等操作。提前为数显千分表设置好报警的公差值,当多个夹紧组件之间相互配合将工件固定夹紧在夹具上后,将夹具置于一平面上,此时将数显千分表设置零位,然后操作员控制将夹具置于研磨盘上,工件与测试头同步与研磨盘接触,随着工件被研磨而减小厚度,测试头上的滚珠推动测量杆压缩进千分表内,压缩的量即对应工件被研磨的厚度,数显千分表将测量杆的压缩量换算成尺寸并与预设的公差值进行比较,达到报警条件时即进行报警。本实用新型通过在数显千分表设置上、下公差进行GO/±NG判断,在研磨过程中当判断结果超出公差时,数显千分表发出警报,发出通知员工该产品已达到预设研磨量,需停止机器,取出产品检查。通过本实用新型的夹具,研磨出来的精度可达到0.01以下,满足更高的产品需求。
在上述技术方案的基础上,本实用新型还可以做如下改进。
优选地,所述测试头的一端与所述测量杆固定连接,所述测试头的另一端设置有凹槽,所述凹槽设置为球冠状,所述滚珠设置在所述凹槽内;所述凹槽外还设置有帽盖,所述帽盖与所述测试头固定连接,所述帽盖的顶部设置有开孔,所述开孔的孔径小于所述滚珠的直径,所述滚珠的表面与所述开孔配合。滚珠在球冠状的凹槽内,帽盖的设置可防止滚珠脱落,在研磨过程中,滚珠在凹槽内适应研磨盘以及夹具的运动而进行滚动,在为测量杆提供刚性支撑的同时,减小测试头与研磨盘的摩擦力,使测试更准确。
优选地,所述夹具主体上靠近所述测试头的一面设置有凸台,所述凸台的台阶面上设有定位柱,所述定位柱平行所述夹具主体设置,所述夹紧组件穿过所述定位柱、与所述凸台相配合。夹紧组件的夹紧方向沿定位柱的轴向,即夹紧组件的夹紧方向平行于夹具主体,利于更高效率地为工件定位、将工件进行夹紧。
优选地,所述凸台为正棱柱,所述凸台的侧面数量与所述夹紧组件的数量相一致。
优选地,所述夹紧组件与其最靠近的所述凸台的侧面平行设置。这样设置,利于各个方向定位柱的安装,同时因为夹紧组件与其最靠近的所述凸台的侧面平行。当夹紧组件位于最小的夹紧范围时,夹紧组件与凸台的侧面贴合,增大了夹紧的稳定性。
优选地,所述夹紧组件包括压紧条、定位块、顶丝,所述压紧条垂直所述夹具主体设置,所述压紧条的两端均设有第二通孔,所述定位柱贯穿所述第二通孔;所述定位块平行所述压紧条设置、且固定安装在所述夹具主体上,所述定位块上设有至少一个第三通孔,所述第三通孔内设有内螺纹,所述顶丝与所述第三通孔的内螺纹相配合,所述顶丝的端部与所述压紧条抵紧。
优选地,与同一所述压紧条相配合的所述定位柱相互平行设置,所述压紧条可沿所述定位柱的轴向滑动。随着压紧条沿着定位柱滑动,可灵活地调节夹具增大或减小其夹紧范围。
优选地,所述夹具主体上设有第四通孔,所述压紧条的一侧贯穿所述第四通孔,所述第四通孔的尺寸与所述压紧条的滑动范围相配合。第四通孔的长度与压紧条的长度相配合,第四通孔的宽度与压紧条的滑动范围相配合,可根据不同的产品类型需求来设置第四通孔的尺寸,第四通孔的设置可对夹具的夹紧范围进行限定。
优选地,所述滚珠为耐磨的刚性材料。在研磨过程中,滚珠适应研磨盘以及夹具的运动而进行滚动,滚珠为耐磨的刚性材料,在研磨过程中对测量杆进行支撑,同时难以被磨损,增加了测量杆测试的准确性。
优选地,所述数显千分表上设有指示灯,所述指示灯包括红色指示灯与绿色指示灯。当研磨时,数显千分表亮绿灯,当超出预设的公差时,绿灯转变为红灯,对操作员进行报警提示。数显千分表上还可以设置有蜂鸣器,当亮红灯报警时,蜂鸣器进行声音提醒,能达到更及时地提醒操作员进行下一步操作的效果。
本实用新型的有益效果是:本实用新型的精密研磨抛光夹具,可以实现精度更高的研磨抛光等操作;通过在数显千分表设置上、下公差进行GO/±NG判断,研磨过程中当判断结果超出公差时,数显千分表发出警报,发出通知员工该产品已达到预设研磨量,需停止机器,取出产品检查。通过本实用新型的夹具,研磨出来的精度可达到0.01以下,满足更高的产品需求。
附图说明
图1为本实用新型顶部视图;
图2为本实用新型底部视图;
图3为本实用新型测试头剖视图。
附图中,各标号所代表的部件列表如下:
1、夹具主体,101、凸台,102、定位柱,2、数显千分表,201、表头,202、套筒,203、测量杆,204、滚珠,205、测试头,206、帽盖,3、夹紧组件,301、压紧条,302、定位块,303、顶丝。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本实用新型,并非用于限定本实用新型的范围。
如图1~图3所示,一种精密研磨抛光夹具,包括相互垂直设置的夹具主体1、数显千分表2,所述夹具主体1为平板形状,所述夹具主体1上设有第一通孔,所述数显千分表2包括依次连接的表头201、套筒202、测量杆203,所述数显千分表2的套筒202穿过所述第一通孔并固定安装在所述夹具主体1上。所述数显千分表2的表头201上设有按键,用于设置参数;还设有显示屏,用于显示参数;还设有指示灯,用于显示正常状态或报警状态。所述夹具主体1上靠近所述测量杆203的一面安装有多个夹紧组件3,多个所述夹紧组件3相互配合,组成正多边形,用于对工件进行夹紧,本实施例中设置有三组夹紧组件3,三组夹紧组件3组成正三角形,将工件夹紧在正三角形中间;所述测量杆203的端部设置有测试头205,所述测试头205的端部上设置有凹槽,所述凹槽内嵌套设置滚珠204,滚珠204可在凹槽内灵活滚动。数显千分表2可优选使用MITUTOYO的ID-F543系列型号,此为计算型数显千分表2。传统的数显千分表2只显示心轴的位移,但是此计算型数显千分表2在心轴位移的基础上还显示内部计算的结果;并且其带有输出接口,可将测试数据以及计算结果输出,利于数据存储或者通过控制器根据计算结果输出控制指令以控制相关的设备运转。
本实用新型的精密研磨抛光夹具,可以实现精度更高的研磨抛光等操作。提前为数显千分表2设置好报警的公差值,当多个夹紧组件3之间相互配合将工件固定夹紧在夹具上后,将夹具置于一平面上,此时将数显千分表2设置零位,然后操作员控制将夹具置于研磨盘上,工件与测试头205同步与研磨盘接触,随着工件被研磨而减小厚度,测试头205上的滚珠204推动测量杆203压缩进千分表内,压缩的量即对应工件被研磨的厚度,数显千分表2将测量杆203的压缩量换算成尺寸并与预设的公差值进行比较,达到报警条件时即进行报警。本实用新型通过在数显千分表2设置上、下公差进行GO/±NG判断,在研磨过程中当判断结果超出公差时,数显千分表2发出警报,发出通知员工该产品已达到预设研磨量,需停止机器,取出产品检查。通过本实用新型的夹具,研磨出来的精度可达到0.01以下,满足更高的产品需求。
在上述技术方案的基础上,本实用新型还可以做如下改进。
如图3所示,所述测试头205的一端与所述测量杆203固定连接,所述测试头205的另一端设置有凹槽,所述凹槽设置为球冠状,所述滚珠204设置在所述凹槽内;所述凹槽外还设置有帽盖206,所述帽盖206与所述测试头205固定连接,所述帽盖206的顶部设置有开孔,所述开孔的孔径小于所述滚珠204的直径,所述滚珠204的表面与所述开孔配合。滚珠204在球冠状的凹槽内,帽盖206的设置可防止滚珠204脱落,在研磨过程中,滚珠204在凹槽内适应研磨盘以及夹具的运动而进行滚动,在为测量杆203提供刚性支撑的同时,减小测试头205与研磨盘的摩擦力,使测试更准确。
本实施例中,所述夹具主体1上靠近所述测试头205的一面设置有凸台101,所述凸台101的台阶面上设有定位柱102,所述定位柱102平行所述夹具主体1设置,所述夹紧组件3穿过所述定位柱102、与所述凸台101相配合。夹紧组件3的夹紧方向沿定位柱102的轴向,即夹紧组件3的夹紧方向平行于夹具主体1,利于更高效率地为工件定位、将工件进行夹紧。
本实施例中,所述凸台101为正棱柱,所述凸台101的侧面数量与所述夹紧组件3的数量相一致。
本实施例中,所述夹紧组件3与其最靠近的所述凸台101的侧面平行设置。这样设置,利于各个方向定位柱102的安装,同时因为夹紧组件3与其最靠近的所述凸台101的侧面平行。当夹紧组件3位于最小的夹紧范围时,夹紧组件3与凸台101的侧面贴合,增大了夹紧的稳定性。
本实施例中,所述夹紧组件3包括压紧条301、定位块302、顶丝303,所述压紧条301垂直所述夹具主体1设置,所述压紧条301的两端均设有第二通孔,所述定位柱102贯穿所述第二通孔;所述定位块302平行所述压紧条301设置、且固定安装在所述夹具主体1上,所述定位块302上设有至少一个第三通孔,所述第三通孔内设有内螺纹,所述顶丝303与所述第三通孔的内螺纹相配合,所述顶丝303的端部与所述压紧条301抵紧。
本实施例中,与同一所述压紧条301相配合的所述定位柱102相互平行设置,所述压紧条301可沿所述定位柱102的轴向滑动。随着压紧条301沿着定位柱102滑动,可灵活地调节夹具增大或减小其夹紧范围。
本实施例中,所述夹具主体1上设有第四通孔,所述压紧条301的一侧贯穿所述第四通孔,所述第四通孔的尺寸与所述压紧条301的滑动范围相配合。第四通孔的长度与压紧条301的长度相配合,第四通孔的宽度与压紧条301的滑动范围相配合,可根据不同的产品类型需求来设置第四通孔的尺寸,第四通孔的设置可对夹具的夹紧范围进行限定。
本实施例中,所述滚珠204为耐磨的刚性材料,例如镍、不锈钢。在研磨过程中,滚珠204适应研磨盘以及夹具的运动而进行滚动,滚珠204为耐磨的刚性材料,在研磨过程中对测量杆203进行支撑,同时难以被磨损,防止了因滚珠磨损导致测试值偏小的问题,增加了测量杆203测试的准确性。
本实施例中,所述数显千分表2上设有指示灯,所述指示灯包括红色指示灯与绿色指示灯。当研磨时,数显千分表2亮绿灯,当超出预设的公差时,绿灯转变为红灯,对操作员进行报警提示。数显千分表2上还可以设置有蜂鸣器,当亮红灯报警时,蜂鸣器进行声音提醒,能达到更及时地提醒操作员进行下一步操作的效果。
本实用新型的精密研磨抛光夹具,可以实现精度更高的研磨抛光等操作。提前为数显千分表2设置好报警的公差值,当多个夹紧组件3之间相互配合将工件固定夹紧在夹具上后,将夹具置于一平面上,此时将数显千分表2设置零位,然后操作员控制将夹具置于研磨盘上,工件与测试头205同步与研磨盘接触,随着工件被研磨而减小厚度,测试头205上的滚珠204推动测量杆203压缩进千分表内,压缩的量即对应工件被研磨的厚度,数显千分表2将测量杆203的压缩量换算成尺寸并与预设的公差值进行比较,达到报警条件时即进行报警。本实用新型通过在数显千分表2设置上、下公差进行GO/±NG判断,在研磨过程中当判断结果超出公差时,数显千分表2发出警报,发出通知员工该产品已达到预设研磨量,需停止机器,取出产品检查。通过本实用新型的夹具,研磨出来的精度可达到0.01以下,满足更高的产品需求。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种精密研磨抛光夹具,其特征在于,包括相互垂直设置的夹具主体(1)、数显千分表(2),所述夹具主体(1)上设有第一通孔,所述数显千分表(2)包括依次连接的表头(201)、套筒(202)、测量杆(203),所述数显千分表(2)的套筒(202)穿过所述第一通孔并固定安装在所述夹具主体(1)上,所述夹具主体(1)上靠近所述测量杆(203)的一面安装有多个夹紧组件(3),多个所述夹紧组件(3)相互配合,用于对工件进行夹紧;所述测量杆(203)的端部设置有测试头(205),所述测试头(205)上设置有凹槽,所述凹槽内嵌套设置滚珠(204)。
2.根据权利要求1所述一种精密研磨抛光夹具,其特征在于,所述测试头(205)的一端与所述测量杆(203)固定连接,所述测试头(205)的另一端设置有凹槽,所述凹槽设置为球冠状,所述滚珠(204)设置在所述凹槽内;所述凹槽外还设置有帽盖(206),所述帽盖(206)与所述测试头(205)固定连接,所述帽盖(206)的顶部设置有开孔,所述开孔的孔径小于所述滚珠(204)的直径,所述滚珠(204)的表面与所述开孔配合。
3.根据权利要求1所述一种精密研磨抛光夹具,其特征在于,所述夹具主体(1)上靠近所述测试头(205)的一面设置有凸台(101),所述凸台(101)的台阶面上设有定位柱(102),所述定位柱(102)平行所述夹具主体(1)设置,所述夹紧组件(3)穿过所述定位柱(102)、与所述凸台(101)相配合。
4.根据权利要求3所述一种精密研磨抛光夹具,其特征在于,所述凸台(101)为正棱柱,所述凸台(101)的侧面数量与所述夹紧组件(3)的数量相一致。
5.根据权利要求3所述一种精密研磨抛光夹具,其特征在于,所述夹紧组件(3)与其最靠近的所述凸台(101)的侧面平行设置。
6.根据权利要求3或4所述一种精密研磨抛光夹具,其特征在于,所述夹紧组件(3)包括压紧条(301)、定位块(302)、顶丝(303),所述压紧条(301)垂直所述夹具主体(1)设置,所述压紧条(301)的两端均设有第二通孔,所述定位柱(102)贯穿所述第二通孔;所述定位块(302)平行所述压紧条(301)设置、且固定安装在所述夹具主体(1)上,所述定位块(302)上设有至少一个第三通孔,所述第三通孔内设有内螺纹,所述顶丝(303)与所述第三通孔的内螺纹相配合,所述顶丝(303)的端部与所述压紧条(301)抵紧。
7.根据权利要求6所述一种精密研磨抛光夹具,其特征在于,与同一所述压紧条(301)相配合的所述定位柱(102)相互平行设置,所述压紧条(301)可沿所述定位柱(102)的轴向滑动。
8.根据权利要求7所述一种精密研磨抛光夹具,其特征在于,所述夹具主体(1)上设有第四通孔,所述压紧条(301)的一侧贯穿所述第四通孔,所述第四通孔的尺寸与所述压紧条(301)的滑动范围相配合。
9.根据权利要求1所述一种精密研磨抛光夹具,其特征在于,所述滚珠(204)为耐磨的刚性材料。
10.根据权利要求1所述一种精密研磨抛光夹具,其特征在于,所述数显千分表(2)上设有指示灯,所述指示灯包括红色指示灯与绿色指示灯。
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CN110465886A (zh) * | 2019-09-16 | 2019-11-19 | 武汉驿路通科技股份有限公司 | 一种精密研磨抛光夹具 |
CN113953970A (zh) * | 2021-10-09 | 2022-01-21 | 苏州铼铂机电科技有限公司 | 用于半导体芯片端面研磨抛光用固定夹具及研磨抛光方法 |
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