CN210632573U - 一种载板清废装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种载板清废装置，该载板清废装置包括条形板和吸尘器，条形板的底部沿条形板长度方向设有吸槽，吸槽内设有连接孔，连接孔从吸槽内延伸至条形板外壁，吸尘器的吸尘管与连接孔连接，条形板可置于载板上，并在吸槽内形成负压。本实用新型的载板清废装置通过设置条形板，在条形板的底部沿条形板长度方向设置吸槽，在吸槽内设置连接孔，连接孔从吸槽内延伸至条形板外壁，将吸尘器的吸尘管与连接孔连接，只需将条形板置于载板上，吸尘器即可在吸槽内形成负压，对载板上的碎硅片进行清理。
Description
技术领域
本实用新型涉及载板清理技术领域，特别涉及一种载板清废装置。
背景技术
硅片在生产时，通常将其放置在载板上，再通过传输机构将载板传输至各个预定工位进行加工，在传输工程中，载板上会产生一些的碎硅片，需要及时对载板上的碎硅片进行清理，而如何高效地对碎硅片进行清理，同时避免对载板产生损坏，一直是业界一大难题。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型目的在于提供一种结构简单，效率高，避免破坏载板的载板清废装置。其采用如下技术方案：
一种载板清废装置，其包括条形板和吸尘器，所述条形板的底部沿条形板长度方向设有吸槽，所述吸槽内设有连接孔，所述连接孔从所述吸槽内延伸至所述条形板外壁，所述吸尘器的吸尘管与所述连接孔连接，所述条形板可置于载板上，并在所述吸槽内形成负压。
作为本实用新型的进一步改进，所述吸槽内设有若干气压补偿孔，所述气压补偿孔从所述吸槽内延伸至所述条形板外壁。
作为本实用新型的进一步改进，所述吸槽的长度与载板的宽度一致。
作为本实用新型的进一步改进，所述条形板上设有转接板，所述转接板用于固定所述条形板。
作为本实用新型的进一步改进，所述转接板上设有螺纹孔，所述转接板通过螺栓固定于机架上。
作为本实用新型的进一步改进，所述吸槽周围设有软接触层。
作为本实用新型的进一步改进，所述软接触层为特氟龙。
作为本实用新型的进一步改进，所述连接孔的数量为二，两连接孔沿所述条形板的中心点对称设置。
本实用新型的有益效果：
本实用新型的载板清废装置通过设置条形板，在条形板的底部沿条形板长度方向设置吸槽，在吸槽内设置连接孔，连接孔从吸槽内延伸至条形板外壁，将吸尘器的吸尘管与连接孔连接，只需将条形板置于载板上，吸尘器即可在吸槽内形成负压，对载板上的碎硅片进行清理。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
附图说明
图1是本实用新型实施例中载板清废装置的整体结构示意图；
图2是本实用新型实施例中条形板结构示意图一；
图3是本实用新型实施例中条形板结构示意图二。
标记说明：10、条形板；11、吸槽；12、连接孔；13、气压补偿孔；20、吸尘器；30、载板；40、转接板。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
如图1所示，为本实用新型的载板清废装置，该载板清废装置包括条形板 10和吸尘器20。
如图2-3所示，条形板10的底部沿条形板10长度方向设有吸槽11，吸槽 11内设有连接孔12，连接孔12从吸槽11内延伸至条形板10外壁，吸尘器20 的吸尘管与连接孔12连接，条形板10可置于载板30上，并在吸槽11内形成负压。
吸槽11内设有若干气压补偿孔13，气压补偿孔13从吸槽11内延伸至条形板10外壁。气压补偿孔13用于在吸尘器20工作时，为吸尘11内补偿气压，避免吸槽11与载板30之间间隙过小，空气无法及时进入吸槽11内，无法及时有效地将载板30上的碎硅片吸起。
在一实施例中，吸槽11的长度与载板30的宽度一致。条形板10上设有转接板40，转接板40用于固定条形板10。具体的，转接板40上设有螺纹孔，转接板40通过螺栓固定于机架上。
在一实施例中，吸槽11周围设有软接触层，优选的，软接触层为特氟龙。避免条形板10与载板30发生碰撞，对载板30产生损坏。
在本实施例中，连接孔12的数量为二，两连接孔12沿条形板10的中心点对称设置。在本实用新型的其他实施例中，连接孔12的数量可根据条形板10 的长度来设置。
工作时，通过转接板40将条形板10固定于机架上，载板30由传送带传送至吸槽11下方，吸尘器20打开，吸槽11与载板30之间形成负压，将载板30 上的碎硅片吸走，在清废时，传送带同时输送载板30向前，形成边走边吸，最终将载板30完全清理干净。
本实用新型的载板清废装置通过设置条形板，在条形板的底部沿条形板长度方向设置吸槽，在吸槽内设置连接孔，连接孔从吸槽内延伸至条形板外壁，将吸尘器的吸尘管与连接孔连接，只需将条形板置于载板上，吸尘器即可在吸槽内形成负压，对载板上的碎硅片进行清理。
以上实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。
Claims (8)
1.一种载板清废装置，其特征在于，包括条形板和吸尘器，所述条形板的底部沿条形板长度方向设有吸槽，所述吸槽内设有连接孔，所述连接孔从所述吸槽内延伸至所述条形板外壁，所述吸尘器的吸尘管与所述连接孔连接，所述条形板可置于载板上，并在所述吸槽内形成负压。
2.如权利要求1所述的载板清废装置，其特征在于，所述吸槽内设有若干气压补偿孔，所述气压补偿孔从所述吸槽内延伸至所述条形板外壁。
3.如权利要求1所述的载板清废装置，其特征在于，所述吸槽的长度与载板的宽度一致。
4.如权利要求1所述的载板清废装置，其特征在于，所述条形板上设有转接板，所述转接板用于固定所述条形板。
5.如权利要求4所述的载板清废装置，其特征在于，所述转接板上设有螺纹孔，所述转接板通过螺栓固定于机架上。
6.如权利要求1所述的载板清废装置，其特征在于，所述吸槽周围设有软接触层。
7.如权利要求6所述的载板清废装置，其特征在于，所述软接触层为特氟龙。
8.如权利要求1所述的载板清废装置，其特征在于，所述连接孔的数量为二，两连接孔沿所述条形板的中心点对称设置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201921162409.8U CN210632573U (zh) | 2019-07-23 | 2019-07-23 | 一种载板清废装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921162409.8U CN210632573U (zh) | 2019-07-23 | 2019-07-23 | 一种载板清废装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN210632573U true CN210632573U (zh) | 2020-05-29 |
Family
ID=70792695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921162409.8U Active CN210632573U (zh) | 2019-07-23 | 2019-07-23 | 一种载板清废装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN210632573U (zh) |
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2019
- 2019-07-23 CN CN201921162409.8U patent/CN210632573U/zh active Active
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