CN210607300U - 硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备，传送装置包括：双排链条，包括外链板、销轴、中链板和内链板，两外链板通过销轴连接形成外链节，中链板安装在两外链板之间的销轴上，中链板与外链板之间设置有内链节，其中，内链节包括内链板；载具，用于承载硅片，并与中链板相连接。本实用新型提供的传送装置，载具连接在中链板上，从而随链条移动，实现对硅片的传动。采用双排链条传动，可以提高传动的稳定性和准确性。

Description

硅片炉体设备的硅片传送装置及炉体设备

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池硅片生产技术领域，更具体而言，涉及一种硅片炉体设备的硅片传送装置和包括该硅片炉体设备的硅片传送装置的炉体设备。

背景技术

HIT(Heterojunction with intrinsic Thinlayer)太阳能光伏电池制备时，硅片表面印刷完导电浆后需要进行烘干固化。传统的传送装置采用单排链条传动，传动不稳。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的一个方面的目的在于提供一种硅片炉体设备的硅片传送装置。

本实用新型的另一个方面的目的在于提供一种包括上述硅片炉体设备的硅片传送装置的炉体设备。

为实现上述目的，本实用新型的一个方面的技术方案提供了一种硅片炉体设备的硅片传送装置，包括：双排链条，包括外链板、销轴、中链板和内链板，两所述外链板通过所述销轴连接形成外链节，所述中链板安装在两所述外链板之间的所述销轴上，所述中链板与所述外链板之间设置有内链节，其中，所述内链节包括所述内链板；载具，用于承载所述硅片，并与所述中链板相连接。

本实用新型上述技术方案提供的硅片炉体设备的硅片传送装置，载具连接在中链板上，从而随链条移动，实现对硅片的传动。采用双排链条传动，可以提高传动的稳定性和准确性。

另外，本实用新型上述技术方案提供的硅片炉体设备的硅片传送装置还具有如下附加技术特征：

上述技术方案中，所述中链板包括连接板和安装台，所述连接板设置在所述销轴与所述安装台之间，所述安装台与所述载具相抵接。

安装台用于与载具相抵接，设置安装台可以增大中链板与载具之间的接触面积，从而实现中链板与载具之间的连接可靠性，使载具与双排链条成为一个整体，在传送硅片(电池片)时不会因为有间隙而晃动。

进一步地，安装台设置在载具的中部，以进一步增强对载具支撑的平稳性。

在上述任一技术方案中，所述连接板的端部沿所述载具的长度方向延伸形成所述安装台。

连接板的端部沿在载具的长度方向延伸形成安装台，或者，连接板的端部沿载具的长度方向弯折形成安装台，以增大安装台沿载具长度方向上的尺寸，进而增大安装台与载具的贴合长度和贴合面积，增强安装台对载具支撑的平稳性。

上述任一技术方案中，所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面与所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面的形状相适配；所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面呈平面状，所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面呈平面状；或者，所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面呈曲面状，所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面呈相适配的曲面状。

安装台上用于与载具相抵接的表面为安装台上朝向载具的表面，载具上用于与安装台相抵接的表面为载具上朝向安装台的表面。

安装台上用于与载具相抵接的表面与载具上用于与安装台相抵接的表面的形状相适配，从而进一步增大安装台与载具之间的贴合面积，增强安装台对载具支撑的平稳性，提高双排链条对硅片传送的平稳性。

安装台上用于与载具相抵接的表面和载具上用于与安装台相抵接的表面均呈平面状，使得两表面形状相适配，使得两表面可以完全贴合。

或者，安装台上用于与载具相抵接的表面和载具上用于与安装台相抵接的表面也可以均呈曲面状，例如其中一个呈凸面，另一个呈凹面，凹面包裹凸面，使得两表面的形状相适配。

上述任一技术方案中，所述中链板包括相对设置的第一中链板和第二中链板，所述销轴穿过所述第一中链板和所述第二中链板，所述连接板包括所述第一中链板上设置的第一连接板和所述第二中链板上设置的第二连接板，所述安装台包括所述第一中链板上设置的第一安装台和所述第二中链板上设置的第二安装台，所述第一安装台和所述第二安装台相背设置。

中链板包括相对设置的第一中链板和第二中链板，第一中链板上的第一安装台和第二中链板上的第二安装台相背设置，使得第一安装台与载具之间具有较大的贴合面积，第二安装台与载具之间具有较大的贴合面积，进一步增强安装台对载具的支撑强度和支撑平稳性。

上述任一技术方案中，所述载具上设有多个连接部，所述安装台上设有多个连接配合部，多个所述连接部与多个所述连接配合部一一对应并相连接，其中，多个所述连接部中至少两个所述连接部沿所述载具的长度方向依次设置。

载具包括支撑板，连接部设置在支撑板上，多个连接部分别用于与安装台上的多个连接配合部一一对应并连接，增加了支撑板与安装台之间的连接点和受力点，解决了传统单个小方槽固定容易晃动的弊端，实现了对硅片的稳定承载，避免硅片相对于载具晃动，从而避免硅片因晃动出现的划伤、红外EL黑点、隐裂等质量隐患。

上述任一技术方案中，所述连接部包括所述载具上设置的安装孔，所述连接配合部包括所述安装台上设置的连接孔，紧固件穿过所述安装孔和所述连接孔，以连接所述载具和所述安装台。

紧固件(例如螺钉)穿过安装孔和连接孔，实现支撑板与硅片传送装置之间的连接。通过紧固件连接的方式结构简单、成本低。

多个安装孔中至少两个沿支撑板的长度方向依次设置，从而增强了支撑板与硅片传送装置之间在支撑板长度方向上的连接可靠性。

上述任一技术方案中，所述中链板与所述销轴过盈配合。

中链板与销轴过盈配合，增强中链板的稳定性，防止在链条运动过程中中链板沿销轴的长度方向晃动，从而能够防止载具倾斜程度过大，进而能够提高链条运动过程中载具的稳定性。

上述任一技术方案中，传送装置包括：双排链轮，分别与所述双排链条相啮合；和传动轴，穿过所述双排链轮，并用于带动所述双排链轮转动；其中，所述传动轴和所述双排链轮的数量均为多个，其中多个所述传动轴中至少一个为主动轴，以形成传动循环，且每一所述传动轴上依次设有多个所述双排链轮，所述双排链条的数量与一所述传动轴上设置的所述双排链轮的数量相等并一一对应。

双排链轮包括相对设置的两个链轮，进一步地，该两个链轮对称设置。双排链轮中的一个链轮与双排链条中的一个链条相啮合，双排链轮中的另一个链轮与双排链条中的另一个链条相啮合，以带动双排链条平稳运动。

多个传动轴中的至少一个为主动轴，其余为从动轴。主动轴为与其相连的双排链轮(主动链轮)提供转动动力，主动链轮与链条相啮合，以带动链条转动，连接在从动轴上的双排链轮(从动链轮)在主动轴的带动下自由转动不干涉，形成一个循环传动圈。

每一传动轴上依次设有多个双排链轮，该传动轴上的双排链轮上分别啮合有链条，从而增加单位时间内传送载具的数量，提高对硅片的传送效率。

上述任一技术方案中，所述双排链条包括：套筒，套设在所述销轴的外侧；滚柱，套设在所述销轴的外侧，并位于所述内链节的两所述内链板之间；滚轮，所述销轴向外穿出所述外链板，所述滚轮套设在所述销轴位于所述外链板外的部分上。

本实用新型第二个方面的技术方案提供一种炉体设备，包括：加热装置，限定出工艺腔；和如第一个方面的技术方案中任一项所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，所述硅片传送装置至少部分设置在所述工艺腔中。

本实用新型第二个方面的技术方案所述的炉体设备，因包括第一个方面的技术方案中任一项所述的硅片传送装置，因而具有第一个方面的技术方案中任一项所述的硅片传送装置的全部有益效果，在此不再赘述。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本实用新型的一个实施例所述的传送装置第一个视角的结构示意图；

图2是本实用新型的一个实施例所述的传送装置第二个视角的结构示意图；

图3是本实用新型的一个实施例所述的传送装置与载具的装配结构示意图；

图4是本实用新型的一个实施例所述的传送装置的结构示意图。

其中，图1至图4中附图标记与部件名称之间的对应关系为：

1双排链条，11外链板，13中链板，131第一中链板，132第二中链板，133连接板，1331第一连接板，1332第二连接板，134安装台，1341第一安装台，1342第二安装台，1343连接孔，14内链板，15套筒，16销轴，17滚柱，18滚轮，2双排链轮，3传动轴，31主动轴，32从动轴，4载具，41支撑板，5硅片。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照附图图1至图4描述根据本实用新型一些实施例的硅片炉体设备的硅片传送装置和炉体设备。炉体设备可以为但不限于烘干炉、固化炉或烘干固化炉。

如图1至图3所示，根据本实用新型一些实施例提供的一种硅片炉体设备的硅片传送装置，包括双排链条1和载具4。

其中，双排链条1包括外链板11、销轴16、中链板13和内链板14，两外链板11通过销轴16连接形成外链节，中链板13安装在两外链板11之间的销轴16上，中链板13与外链板11之间设置有内链节，内链节包括内链板14。

载具4用于承载硅片5，并与中链板13相连接。

进一步地，如图4所示，双排链条1包括套筒15、滚柱17和滚轮18。

套筒15套设在销轴16的外侧。

滚柱17套设在销轴16的外侧，并位于内链节的两内链板14之间。

销轴16向外穿出外链板11，滚轮18套设在销轴16位于外链板11外的部分上。

本实用新型上述实施例提供的传送装置，载具4连接在中链板13上，从而随链条移动，实现对硅片5的传动。采用双排链条1传动，可以提高传动的稳定性和准确性。

进一步地，如图3和图4所示，中链板13包括连接板133和安装台134，连接板133设置在销轴16与安装台134之间，安装台134与载具4相抵接。

安装台134用于与载具4相抵接，设置安装台134可以增大中链板13与载具4之间的接触面积，从而实现中链板13与载具4之间的连接可靠性，使载具4与双排链条1成为一个整体，在传送硅片5(电池片)时不会因为有间隙而晃动。

进一步地，安装台134设置在载具4的中部，以进一步增强对载具4支撑的平稳性，如图3中载具包括支撑板41，安装台134连接在支撑板41的中部。

进一步地，连接板133的端部沿载具4的长度方向延伸形成安装台134，或者，连接板133的端部沿载具4的长度方向弯折形成安装台134，以增大安装台134沿载具4长度方向上的尺寸，进而增大安装台134与载具4的贴合长度和贴合面积，增强安装台134对载具4支撑的平稳性。

进一步地，安装台134上用于与载具4相抵接的表面与载具4上用于与安装台134相抵接的表面的形状相适配。

安装台134上用于与载具4相抵接的表面为安装台134上朝向载具4的表面，如图3中安装台134的下表面。载具4上用于与安装台134相抵接的表面为载具4上朝向安装台134的表面，如图3中载具4上表面。

安装台134上用于与载具4相抵接的表面与载具4上用于与安装台134相抵接的表面的形状相适配，从而进一步增大安装台134与载具4之间的贴合面积，增强安装台134对载具4支撑的平稳性，提高双排链条1对硅片5传送的平稳性。

进一步地，安装台134上用于与载具4相抵接的表面呈平面状，载具4上用于与安装台134相抵接的表面呈平面状。

安装台134上用于与载具4相抵接的表面和载具4上用于与安装台134相抵接的表面均呈平面状，使得两表面形状相适配，使得两表面可以完全贴合。

可以理解，安装台134上用于与载具4相抵接的表面和载具4上用于与安装台134相抵接的表面也可以均呈曲面状，例如其中一个呈凸面，另一个呈凹面，凹面包裹凸面，使得两表面的形状相适配。

进一步地，如图4所示，中链板13包括相对设置在的第一中链板131和第二中链板132，销轴16穿过第一中链板131和第二中链板132，连接板133包括第一中链板131上设置的第一连接板1331和第二中链板132上设置的第二连接板1332，安装台134包括第一中链板131上设置的第一安装台1341和第二中链板132上设置的第二安装台1342，第一安装台1341和第二安装台1342相背设置。

中链板13包括相对设置的第一中链板131和第二中链板132，第一中链板131上的第一安装台1341和第二中链板132上的第二安装台1342相背设置，使得第一安装台1341与载具4之间具有较大的贴合面积，第二安装台1342与载具4之间具有较大的贴合面积，进一步增强安装台134对载具4的支撑强度和支撑平稳性。

进一步地，载具4上设有多个连接部，安装台134上设有多个连接配合部，多个连接部与多个连接配合部一一对应并相连接，其中，多个连接部中至少两个连接部沿载具4的长度方向依次设置。

载具4包括支撑板41，连接部设置在支撑板41上，多个连接部分别用于与安装台134上的多个连接配合部一一对应并连接，增加了支撑板41与安装台134之间的连接点和受力点，解决了传统单个小方槽固定容易晃动的弊端，实现了对硅片5的稳定承载，避免硅片5相对于载具4晃动，从而避免硅片5因晃动出现的划伤、红外EL黑点、隐裂等质量隐患。

进一步地，连接部包括载具4上设置的安装孔，连接配合部包括安装台134上设置的连接孔1343，紧固件穿过安装孔和连接孔1343，以连接载具4和安装台134。

紧固件(例如螺钉)穿过安装孔和连接孔1343，实现支撑板41与硅片传送装置之间的连接。通过紧固件连接的方式结构简单、成本低。

多个安装孔中至少两个沿支撑板41的长度方向依次设置，从而增强了支撑板41与硅片传送装置之间在支撑板41长度方向上的连接可靠性。

进一步地，第一安装台上设有至少一个连接孔，第二安装台上设有至少一个连接孔。

进一步地，中链板13与销轴16过盈配合。

中链板13与销轴16过盈配合，增强中链板13的稳定性，防止在链条运动过程中中链板13沿销轴的长度方向晃动，从而能够防止载具4倾斜程度过大，进而能够提高链条运动过程中载具4的稳定性，实现硅片5在载具4中的侧立置放。

进一步地，传送装置包括双排链轮2和传动轴3。

双排链轮2分别与双排链条1相啮合。

传动轴3穿过双排链轮2，并用于带动双排链轮2转动。

双排链轮2包括相对设置的两个链轮，进一步地，该两个链轮对称设置。双排链轮2中的一个链轮与双排链条1中的一个链条相啮合，双排链轮2中的另一个链轮与双排链条1中的另一个链条相啮合，以带动双排链条1平稳运动。

进一步地，传动轴3的数量为多个，其中至少一个传动轴3为主动轴31，以形成传动循环，且每一传动轴3上依次设有多个双排链轮2，双排链条1的数量与一传动轴3上设置的双排链轮的数量相等并一一对应。

多个传动轴3中的至少一个为主动轴31，其余为从动轴32。主动轴31为与其相连的双排链轮2(主动链轮)提供转动动力，主动链轮与链条相啮合，以带动链条转动，连接在从动轴32上的双排链轮2(从动链轮)在主动轴31的带动下自由转动不干涉，形成一个循环传动圈。

每一传动轴3上依次设有多个双排链轮2，该传动轴3上的双排链轮2上分别啮合有链条，从而增加单位时间内传送载具4的数量，提高对硅片5的传送效率。

本实用新型第二个方面的实施例提供一种炉体设备，包括：加热装置，限定出工艺腔；和如第一个方面的实施例中任一项的硅片炉体设备的硅片传送装置，硅片传送装置至少部分设置在工艺腔中。

本实用新型第二个方面的实施例的炉体设备，因包括第一个方面的实施例中任一项的硅片5传送装置，因而具有第一个方面的实施例中任一项的硅片5传送装置的全部有益效果，在此不再赘述。

在传送装置的作用下，载具经过工艺腔，工艺腔中的热空气对硅片进行加热固化。

如图1至图4所示，硅片传送装置包括双排链轮2、双排链条1和载具4。每条双排链条1首尾相连，每条双排链条1与四个双排链轮2啮合，形成一个循环传动圈；四个双排链轮2有一个主动链轮和三个从动链轮组成，主动链轮由主动轴31提供转动动力，从动链轮自由转动互不干涉；每个载具4安装在链条的中链板13上，每个载具4独立载料。每个传动轴3上并列安装有四列双排链轮2；双排链轮2通过销轴16安装链板(包括外链板11和内链板14)，以固定双排的滚柱17，同时通过滚轮18连接下一个链板(包括外链板11和内链板14)；在双排滚柱17之间设有中链板13，中链板13适于安装载具4。

综上所述，本实用新型实施例提供的硅片传送装置，采用双排链条1传动，使传动更加稳定、准确。双排链条1与载具4连接的中链板13使用过盈配合，中链板13固定载具4采用大接触面加两点(两个连接部、两个连接配合部)固定，使载具4与链条成为一个整体，在传送电池片(硅片5)时不会因为有间隙而晃动，实现硅片侧立置放传送，满足HIT太阳能光伏电池硅片生产，提升烘干、固化效果及成品率。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“多个”是指两个或两个以上；除非另有规定或说明，术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本说明书的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本实用新型的限制。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，包括：

双排链条，包括外链板、销轴、中链板和内链板，两所述外链板通过所述销轴连接形成外链节，所述中链板安装在两所述外链板之间的所述销轴上，所述中链板与所述外链板之间设置有内链节，其中，所述内链节包括所述内链板；

载具，用于承载所述硅片，并与所述中链板相连接。

2.根据权利要求1所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，

所述中链板包括连接板和安装台，所述连接板设置在所述销轴与所述安装台之间，所述安装台与所述载具相抵接。

3.根据权利要求2所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，

所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面与所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面的形状相适配；

所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面呈平面状，所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面呈平面状；或者，所述安装台上用于与所述载具相抵接的表面呈曲面状，所述载具上用于与所述安装台相抵接的表面呈相适配的曲面状。

4.根据权利要求2所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，

所述中链板包括相对设置的第一中链板和第二中链板，所述销轴穿过所述第一中链板和所述第二中链板，所述连接板包括所述第一中链板上设置的第一连接板和所述第二中链板上设置的第二连接板，所述安装台包括所述第一中链板上设置的第一安装台和所述第二中链板上设置的第二安装台，所述第一安装台和所述第二安装台相背设置。

5.根据权利要求2所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，

所述载具上设有多个连接部，所述安装台上设有多个连接配合部，多个所述连接部与多个所述连接配合部一一对应并相连接，其中，多个所述连接部中至少两个所述连接部沿所述载具的长度方向依次设置。

6.根据权利要求5所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，

所述连接部包括所述载具上设置的安装孔，所述连接配合部包括所述安装台上设置的连接孔，紧固件穿过所述安装孔和所述连接孔，以连接所述载具和所述安装台。

7.根据权利要求1所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，

所述中链板与所述销轴过盈配合。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，包括：

双排链轮，分别与所述双排链条相啮合；和

传动轴，穿过所述双排链轮，并用于带动所述双排链轮转动；

其中，所述传动轴和所述双排链轮的数量均为多个，多个所述传动轴中至少一个为主动轴，以形成传动循环，且每一所述传动轴上依次设有多个所述双排链轮，所述双排链条的数量与一所述传动轴上设置的所述双排链轮的数量相等并一一对应。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，其特征在于，所述双排链条包括：

套筒，套设在所述销轴的外侧；

滚柱，套设在所述销轴的外侧，并位于所述内链节的两所述内链板之间；

滚轮，所述销轴向外穿出所述外链板，所述滚轮套设在所述销轴位于所述外链板外的部分上。

10.一种炉体设备，其特征在于，包括：

加热装置，限定出工艺腔；和

如权利要求1至9中任一项所述的硅片炉体设备的硅片传送装置，所述硅片传送装置至少部分设置在所述工艺腔中。

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