CN210588838U - 一种多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备,包括机体和敲击电机,所述机体外壁一侧设置有玻璃板,且玻璃板内壁设置有手套,所述机体内壁下端一侧设置有收纳盒子,且收纳盒子上端设置有砂砾过滤网,所述砂砾过滤网中部设置有旋转电机,且旋转电机上端设置有旋转平台,所述旋转平台一侧平行设置有传送带,且传送带中部上端垂直设置有遮挡带。该多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备设置有筛子可以防止砂砾容器内的砂砾大量进入到喷砂口导致喷砂口堵塞,通过筛子可以起到对砂砾的阻挡效果,同时敲击电机通过敲击受力板使得筛子产生晃动,使得砂砾稳定均匀下落。
Description
技术领域
本实用新型涉及多晶硅片喷砂装置技术领域,具体为一种多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备。
背景技术
喷砂设备喷砂的过程是利用高速砂流的冲击作用清理和粗化基体表面的过程。采用压缩空气为动力,以形成高速喷射束将喷料,高速喷射到需要处理的工件表面,使工件表面的外表面的外表或形状发生变化,同时传统喷砂设备收集重复收集较为困难,且对硅片的加工需要良好的密封性,保证其不会进入灰尘。
市场上的硅片喷砂设备没有良好的密封性,存在灰尘会进入装置内污染硅片,喷砂不够均匀容易导致喷口堵塞,同时喷砂不宜收集重复利用的问题,为此,我们提出一种多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备,以解决上述背景技术中提出的硅片喷砂设备没有良好的密封性,存在灰尘会进入装置内污染硅片,喷砂不够均匀容易导致喷口堵塞,同时喷砂不宜收集重复利用的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备,包括机体和敲击电机,所述机体外壁一侧设置有玻璃板,且玻璃板内壁设置有手套,所述机体内壁下端一侧设置有收纳盒子,且收纳盒子上端设置有砂砾过滤网,所述砂砾过滤网中部设置有旋转电机,且旋转电机上端设置有旋转平台,所述旋转平台一侧平行设置有传送带,且传送带中部上端垂直设置有遮挡带,所述机体内壁上端另一侧设置有砂砾容器,且砂砾容器的外壁下端设置有软皮圈,所述软皮圈内壁安装有筛子,且软皮圈的外壁一侧平行设置有敲击受力板,所述敲击受力板末端设置有敲击电机,所述软皮圈下端连接有喷砂口,且喷砂口外壁一侧设置有风机,所述风机外壁另一侧设置有防尘网。
优选的,所述玻璃板与机体之间为胶合连接,且手套沿玻璃板中心线对称分布。
优选的,所述收纳盒子外壁与机体内壁尺寸相互配合,且收纳盒子上端平行设置有砂砾过滤网。
优选的,所述传送带与旋转平台上端表面位于同一条直线上,且遮挡带与传送带之间相互垂直。
优选的,所述筛子、软皮圈和敲击受力板之间为胶合连接,且敲击电机与敲击受力板之间为垂直结构。
优选的,所述风机与防尘网之间为胶合连接,且风机外壁与机体之间为焊接一体化结构。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备设置有玻璃板可以方便使用者观察喷砂过程,也制造了一个相对封闭的环境,防止灰尘进入到装置内污染硅片,手套可以保证人不用直接用手去触摸硅片,当喷砂完成时直接通过手套用手将硅片表面的多余的砂砾抖落;
砂砾过滤网可以对喷砂过程中掉落的砂砾进行过滤收集,使得砂砾进入到下放的收纳盒子内,当装置完成喷砂后,可以直接将多余的砂砾进行回收,使得砂砾重复高效的利用,节省了加工成本;
筛子可以防止砂砾容器内的砂砾大量进入到喷砂口导致喷砂口堵塞,通过筛子可以起到对砂砾的阻挡效果,同时敲击电机通过敲击受力板使得筛子产生晃动,使得砂砾稳定均匀下落。
附图说明
图1为本实用新型主视内部结构示意图;
图2为本实用新型侧视内部结构示意图;
图3为本实用新型主视结构示意图;
图4为本实用新型图1中A处局部放大结构示意图。
图中:1、机体;2、玻璃板;3、手套;4、收纳盒子;5、砂砾过滤网;6、旋转电机;7、旋转平台;8、传送带;9、遮挡带;10、砂砾容器;11、软皮圈;12、筛子;13、敲击受力板;14、敲击电机;15、喷砂口;16、风机;17、防尘网。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:一种多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备,包括机体1、玻璃板2、手套3、收纳盒子4、砂砾过滤网5、旋转电机6、旋转平台7、传送带8、遮挡带9、砂砾容器10、软皮圈11、筛子12、敲击受力板13、敲击电机14、喷砂口15、风机16和防尘网17,机体1外壁一侧设置有玻璃板2,且玻璃板2内壁设置有手套3,玻璃板2与机体1之间为胶合连接,且手套3沿玻璃板2中心线对称分布,玻璃板2可以方便使用者观察喷砂过程,也制造了一个相对封闭的环境,防止灰尘进入到装置内污染硅片,手套3可以保证人不用直接用手去触摸硅片,当喷砂完成时直接通过手套3用手将硅片表面的多余的砂砾抖落;
机体1内壁下端一侧设置有收纳盒子4,且收纳盒子4上端设置有砂砾过滤网5,收纳盒子4外壁与机体1内壁尺寸相互配合,且收纳盒子4上端平行设置有砂砾过滤网5,砂砾过滤网5可以对喷砂过程中掉落的砂砾进行过滤收集,使得砂砾进入到下放的收纳盒子4内,当装置完成喷砂后,可以直接将多余的砂砾进行回收,使得砂砾重复高效的利用,节省了加工成本;
砂砾过滤网5中部设置有旋转电机6,且旋转电机6上端设置有旋转平台7,旋转平台7一侧平行设置有传送带8,且传送带8中部上端垂直设置有遮挡带9,传送带8与旋转平台7上端表面位于同一条直线上,且遮挡带9与传送带8之间相互垂直,传送带8可以起到运送硅片的作用,当使用者加工完成后,可直接将硅片放置到传送带8上,通过传送带8将加工好的硅片运离,遮挡带9可以防止砂砾在加工过程中蹦出到装置外,方便使用者对砂砾进行收集;
机体1内壁上端另一侧设置有砂砾容器10,且砂砾容器10的外壁下端设置有软皮圈11,软皮圈11内壁安装有筛子12,且软皮圈11的外壁一侧平行设置有敲击受力板13,敲击受力板13末端设置有敲击电机14,筛子12、软皮圈11和敲击受力板13之间为胶合连接,且敲击电机14与敲击受力板13之间为垂直结构,筛子12可以防止砂砾容器10内的砂砾大量进入到喷砂口15导致喷砂口15堵塞,通过筛子12可以起到对砂砾的阻挡效果,同时敲击电机14通过敲击受力板13使得筛子12产生晃动,使得砂砾稳定均匀下落;
软皮圈11下端连接有喷砂口15,且喷砂口15外壁一侧设置有风机16,风机16外壁另一侧设置有防尘网17,风机16与防尘网17之间为胶合连接,且风机16外壁与机体1之间为焊接一体化结构,风机16可以将掉落下来的砂砾吹到硅片上,同时防尘网17可以防止砂砾进入到风机16内,若风机16持续进入砂砾将会造成风机16内部损坏,不利于装置的长久运行。
工作原理:对于这类的多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备,首先使用者通过传送带8将硅片送入到装置内,使用者通过玻璃板2进行观察同时戴上手套3,将硅片摆好到准确位置,手套3可以保证人不用直接用手去触摸硅片,玻璃板2制造了一个相对封闭的环境,防止灰尘进入到装置内污染硅片,打开旋转电机6通过旋转平台7使得硅片进行旋转,旋转电机6的型号为TM600,开启敲击电机14和风机16,敲击电机14的型号为3028双引线,风机16的型号为PF200-5,筛子12可以防止砂砾容器10内的砂砾大量进入到喷砂口15导致喷砂口15堵塞,通过筛子12可以起到对砂砾的阻挡效果,同时敲击电机14通过敲击受力板13使得筛子12产生晃动,使得砂砾稳定均匀下落,风机16可以将掉落下来的砂砾吹到硅片上,同时防尘网17可以防止砂砾进入到风机16内,若风机16持续进入砂砾将会造成风机16内部损坏,不利于装置的长久运行,砂砾过滤网5可以对喷砂过程中掉落的砂砾进行过滤收集,使得砂砾进入到下放的收纳盒子4内,当装置完成喷砂后,可以直接将多余的砂砾进行回收,使得砂砾重复高效的利用,节省了加工成本,加工完成后使用者通过手套3将硅片表面的砂砾抖落,放置在传送带8送出装置以完成加工,就这样完成整个多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备的使用过程。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备,包括机体(1)和敲击电机(14),其特征在于:所述机体(1)外壁一侧设置有玻璃板(2),且玻璃板(2)内壁设置有手套(3),所述机体(1)内壁下端一侧设置有收纳盒子(4),且收纳盒子(4)上端设置有砂砾过滤网(5),所述砂砾过滤网(5)中部设置有旋转电机(6),且旋转电机(6)上端设置有旋转平台(7),所述旋转平台(7)一侧平行设置有传送带(8),且传送带(8)中部上端垂直设置有遮挡带(9),所述机体(1)内壁上端另一侧设置有砂砾容器(10),且砂砾容器(10)的外壁下端设置有软皮圈(11),所述软皮圈(11)内壁安装有筛子(12),且软皮圈(11)的外壁一侧平行设置有敲击受力板(13),所述敲击受力板(13)末端设置有敲击电机(14),所述软皮圈(11)下端连接有喷砂口(15),且喷砂口(15)外壁一侧设置有风机(16),所述风机(16)外壁另一侧设置有防尘网(17)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备,其特征在于:所述玻璃板(2)与机体(1)之间为胶合连接,且手套(3)沿玻璃板(2)中心线对称分布。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备,其特征在于:所述收纳盒子(4)外壁与机体(1)内壁尺寸相互配合,且收纳盒子(4)上端平行设置有砂砾过滤网(5)。
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备,其特征在于:所述传送带(8)与旋转平台(7)上端表面位于同一条直线上,且遮挡带(9)与传送带(8)之间相互垂直。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备,其特征在于:所述筛子(12)、软皮圈(11)和敲击受力板(13)之间为胶合连接,且敲击电机(14)与敲击受力板(13)之间为垂直结构。
6.根据权利要求1所述的一种多晶硅片生产用具有活动结构的喷砂设备,其特征在于:所述风机(16)与防尘网(17)之间为胶合连接,且风机(16)外壁与机体(1)之间为焊接一体化结构。
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CN113231168A (zh) * | 2021-05-12 | 2021-08-10 | 青海亚洲硅业半导体有限公司 | 硅棒表面处理与微硅粉生产装置和方法 |
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