CN210487570U - 一种平面靶材背面金属化检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种平面靶材背面金属化检测装置，包括机架，所述机架内部对称安装有两根输送轴，所述输送轴外侧包裹有输送带；所述机架上端安装有门型架，所述门型架上表面竖直贯穿安装有调高杆，所述调高杆的伸缩端安装有弹性伸缩杆，所述弹性伸缩杆的伸缩端安装有承载架，所述承载架内部转动安装有升降辊，所述承载架侧面安装有固定架，所述固定架内部倾斜安装有刮刀。有益效果在于：通过输送带对靶材进行输送，配合弹性伸缩杆将刮刀压紧在靶材表面，通过刮刀对靶材表面金属化铟层刮擦，检测金属化铟层与靶材的结合效果；能够适用于不同大小和厚度的靶材使用需求，适用范围广。

Description

一种平面靶材背面金属化检测装置

技术领域

本实用新型涉及平面靶材生产辅助装置技术领域，具体涉及一种平面靶材背面金属化检测装置。

背景技术

靶材是磁控溅射镀膜的原材料。靶材使用时一般是与背板(通常是铜板)焊接在一起的，这个过程在行业内叫做绑定。目前普遍使用的绑定材料是金属铟，为了让靶材能与金属背板牢固的焊接在一起，通常会在靶材的背面先镀上一层金属铟，这个过程在行业内叫靶材金属化。金属化效果不佳容易导致靶材在使用过程中脱落，造成严重的损失。为了保证靶材金属化的质量，金属化完成后需要对靶材金属化效果进行检测。但是，目前针对靶材金属化效果的检测并无有效且标准的方法。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种平面靶材背面金属化检测装置，以解决现有技术中目前的针对靶材金属化效果检测的不足。本实用新型提供的诸多技术方案中优选的技术方案通过输送带对靶材进行输送，配合弹性伸缩杆将刮刀压紧在靶材表面，通过刮刀对靶材表面金属层刮清，实现对靶材金属层结合强度的自动百分百全检，有助于提高检测效率；通过夹紧组件对靶材进行夹紧固定，能够满足不同大小的靶材的夹紧固定，通过调节调高杆的高度实现弹性伸缩杆的高度调节，能够满足不同厚度的靶材的使用需求，适用范围广等技术效果，详见下文阐述。

为实现上述目的，本实用新型提供了以下技术方案：

本实用新型提供的一种平面靶材背面金属化检测装置，包括机架，所述机架内部对称安装有两根输送轴，所述输送轴外侧包裹有输送带，所述机架外侧安装有输送电机，所述输送电机的输送端与任一根所述输送轴相连接；所述输送带表面均匀设置有放置板，所述放置板表面设置有夹紧组件，用于将靶材夹紧固定在所述放置板表面；

所述机架上端安装有门型架，所述门型架上表面竖直贯穿安装有调高杆，所述调高杆的伸缩端伸入所述门型架内部且安装有弹性伸缩杆，所述弹性伸缩杆的伸缩端竖直向下且安装有承载架，所述承载架呈“n”字型结构，且内部转动安装有升降辊，所述升降辊沿着所述输送带宽度方向延伸，所述承载架靠近所述输送带输送尾端的侧面安装有固定架，所述固定架内部倾斜安装有刮刀，所述刮刀的底部刀刃与所述升降辊底部外圆面平齐。

采用上述一种平面靶材背面金属化检测装置，进行靶材背面金属化检测时，将靶材放置在所述放置板表面，使金属层向上，通过所述夹紧组件将靶材夹紧固定在所述放置板表面，所述输送电机通过所述输送轴带动所述输送带实现对靶材的自动输送，当靶材与所述升降辊接触时，对所述升降辊施加向上的分力，克服所述弹性伸缩杆的弹性，使所述弹性伸缩杆收缩，所述升降辊底面与靶材表面接触，由于所述刮刀的底部刀刃与所述升降辊底部外圆面平齐，所述刮刀的刀刃与靶材背面的金属层接触，利用所述弹性伸缩杆的弹力将所述刮刀压紧固定在靶材背面的金属层表面，随着靶材的移动，通过所述刮刀对金属层进行刮清，当金属层脱落时，表面金属层强度不理想，防止表面金属层强度合格，装置能够对靶材背面的金属层进行自动检测，有助于提高检测效率；通过所述夹紧组件对靶材进行夹紧固定，能够满足不同大小的靶材的夹紧固定，通过调节所述调高杆的高度实现所述弹性伸缩杆的高度调节，能够满足不同厚度的靶材的使用需求，适用范围广。

作为优选，所述夹紧组件包括承载立板，所述承载立板共有两块，且以所述输送带宽度中线对称分布在所述放置板上表面，所述承载立板表面贯穿设置有滑动孔，所述滑动孔内部滑动安装有滑动柱，所述滑动柱外端安装有拉板，所述滑动柱内端伸入两块所述承载立板之间且安装有夹紧板，所述滑动柱外侧套装有夹紧弹簧，所述夹紧弹簧位于所述夹紧板和所述承载立板之间。

作为优选，所述滑动柱和所述滑动孔的截面均为方形，且所述滑动柱与所述滑动孔间隙配合。

作为优选，所述拉板外侧面设置有拉环。

作为优选，所述调高杆包括承载管，所述承载管竖直贯穿安装在所述门型架表面，所述承载管外壁贯穿设置有导向槽，所述导向槽沿着所述承载管轴向延伸，所述承载管内部通过轴承安装有承载套，所述承载套穿出所述承载管底端，所述承载套底端安装有调节螺母，所述调节螺母内部通过螺纹安装有升降丝杠，所述升降丝杠底端与所述弹性伸缩杆相连接，所述升降丝杠上端伸入所述承载管内部且设置有导向块，所述导向块与所述导向槽间隙配合。

作为优选，所述弹性伸缩杆包括固定管，所述固定管上端密闭且底端开口，所述固定管的密封端与所述升降丝杠底端相连接，所述固定管开口端安装有导向板，所述导向板表面贯穿设置有导向孔，所述导向孔内部滑动安装有升降柱，所述升降柱底端与所述承载架相连接，所述升降柱上端伸入所述固定管内部且安装有升降块，所述升降块上表面放置有砝码。

作为优选，所述升降柱和所述导向孔的截面均为方形，且所述升降柱与所述导向孔间隙配合。

作为优选，所述升降块上表面均匀设置有放置凹槽，用于放置所述砝码。

作为优选，所述固定管外壁贯穿设置有取放口。

有益效果在于：1、通过输送带对靶材进行输送，配合弹性伸缩杆将刮刀压紧在靶材表面，通过刮刀对靶材表面金属化铟层刮擦，检测金属化铟层与靶材的结合效果；

2、通过夹紧组件对靶材进行夹紧固定，能够满足不同大小的靶材的夹紧固定，通过调节调高杆的高度实现弹性伸缩杆的高度调节，能够满足不同厚度的靶材的使用需求，适用范围广。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的立体结构示意图；

图2是图1的A部分放大示意图；

图3是本实用新型的夹紧组件俯视结构放大示意图；

图4是本实用新型的调高杆结构放大示意图；

图5是本实用新型的弹性伸缩杆结构放大示意图；

图6是本实用新型的承载架主视剖视放大示意图。

附图标记说明如下：

1、机架；2、门型架；3、输送电机；4、输送带；5、输送轴；6、放置板；7、夹紧组件；701、拉环；702、拉板；703、承载立板；704、夹紧弹簧；705、夹紧板；706、滑动柱；707、滑动孔；8、调高杆；801、承载管；802、导向槽；803、导向块；804、承载套；805、调节螺母；806、升降丝杠；9、弹性伸缩杆；901、固定管；902、砝码；903、升降块；904、导向板；905、升降柱；906、导向孔；907、放置凹槽；908、取放口；10、承载架；11、升降辊；12、固定架；13、刮刀。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。

参见图1-图6所示，本实用新型提供了一种平面靶材背面金属化检测装置，包括机架1，机架1内部对称安装有两根输送轴5，输送轴5外侧包裹有输送带4，机架1外侧安装有输送电机3，输送电机3的输送端与任一根输送轴5相连接；输送带4表面均匀设置有放置板6，放置板6表面设置有夹紧组件7，用于将靶材夹紧固定在放置板6表面；

机架1上端安装有门型架2，门型架2上表面竖直贯穿安装有调高杆8，调高杆8的伸缩端伸入门型架2内部且安装有弹性伸缩杆9，弹性伸缩杆9的伸缩端竖直向下且安装有承载架10，承载架10呈“n”字型结构，且内部转动安装有升降辊11，升降辊11沿着输送带4宽度方向延伸，承载架10靠近输送带4输送尾端的侧面安装有固定架12，固定架12内部倾斜安装有刮刀13，刮刀13的底部刀刃与升降辊11底部外圆面平齐。

作为可选的实施方式，夹紧组件7包括承载立板703，承载立板703共有两块，且以输送带4宽度中线对称分布在放置板6上表面，承载立板703表面贯穿设置有滑动孔707，滑动孔707内部滑动安装有滑动柱706，滑动柱706外端安装有拉板702，滑动柱706内端伸入两块承载立板703之间且安装有夹紧板705，滑动柱706外侧套装有夹紧弹簧704，夹紧弹簧704位于夹紧板705和承载立板703之间，这样设置，克服夹紧弹簧704的弹力，通过拉板702拉动滑动柱706，使滑动柱706带动夹紧板705移动，使两块夹紧板705相互远离，将靶材放置在放置板6表面，利用夹紧弹簧704的弹力推动夹紧板705，使两块夹紧板705向靶材移动，从而通过两块夹紧板705将靶材夹紧固定在放置板6表面。

滑动柱706和滑动孔707的截面均为方形，且滑动柱706与滑动孔707间隙配合，这样设置能够防止滑动柱706在滑动孔707内部旋转，从而保证夹紧板705位置不变，确保夹紧板705对靶材的夹紧稳固性。

拉板702外侧面设置有拉环701，这样设置便于通过拉环701拉动拉板702。

调高杆8包括承载管801，承载管801竖直贯穿安装在门型架2表面，承载管801外壁贯穿设置有导向槽802，导向槽802沿着承载管801轴向延伸，承载管801内部通过轴承安装有承载套804，承载套804穿出承载管801底端，承载套804底端安装有调节螺母805，调节螺母805内部通过螺纹安装有升降丝杠806，升降丝杠806底端与弹性伸缩杆9相连接，升降丝杠806上端伸入承载管801内部且设置有导向块803，导向块803与导向槽802间隙配合，这样设置，需要调节调高杆8的整体长度时，旋拧调节螺母805，通过导向块803和导向槽802对升降丝杠806进行导向，利用螺纹传动使升降丝杠806在承载管801内部升降，从而实现调高杆8的整体长度调节。

弹性伸缩杆9包括固定管901，固定管901上端密闭且底端开口，固定管901的密封端与升降丝杠806底端相连接，固定管901开口端安装有导向板904，导向板904表面贯穿设置有导向孔906，导向孔906内部滑动安装有升降柱905，升降柱905底端与承载架10相连接，升降柱905上端伸入固定管901内部且安装有升降块903，升降块903上表面放置有砝码902，这样设置利用砝码902的重力，使升降块903带动升降柱905在固定管901下降，实现弹性伸缩杆9的弹性伸缩。

升降柱905和导向孔906的截面均为方形，且升降柱905与导向孔906间隙配合，这样设置能够防止升降柱905在导向孔906内部旋转，保证承载架10的位置不变，从而确保刮刀13对靶材表面金属层的刮清效果。

升降块903上表面均匀设置有放置凹槽907，用于放置砝码902，这样设置能够保证砝码902的稳固性。

固定管901外壁贯穿设置有取放口908，这样设置通过取放口908便于取放砝码902，实现砝码902的增减，实现刮刀13刮擦力的调节，从而满足不同的结合度检测需求，适用范围广。

采用上述结构，进行靶材背面金属化检测时，将靶材放置在放置板6表面，使金属层向上，通过夹紧组件7将靶材夹紧固定在放置板6表面，输送电机3通过输送轴5带动输送带4实现对靶材的自动输送，当靶材与升降辊11接触时，对升降辊11施加向上的分力，克服弹性伸缩杆9的弹性，使弹性伸缩杆9收缩，升降辊11底面与靶材表面接触，由于刮刀13的底部刀刃与升降辊11底部外圆面平齐，刮刀13的刀刃与靶材背面的金属层接触，利用弹性伸缩杆9的弹力将刮刀13压紧固定在靶材背面的金属层表面，随着靶材的移动，通过刮刀13对金属层进行刮清，当金属层脱落时，表面金属层强度不理想，防止表面金属层强度合格，装置能够对靶材背面的金属层进行自动检测，有助于提高检测效率；通过夹紧组件7对靶材进行夹紧固定，能够满足不同大小的靶材的夹紧固定，通过调节调高杆8的高度实现弹性伸缩杆9的高度调节，能够满足不同厚度的靶材的使用需求，适用范围广。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种平面靶材背面金属化检测装置，其特征在于：包括机架(1)，所述机架(1)内部对称安装有两根输送轴(5)，所述输送轴(5)外侧包裹有输送带(4)，所述机架(1)外侧安装有输送电机(3)，所述输送电机(3)的输送端与任一根所述输送轴(5)相连接；所述输送带(4)表面均匀设置有放置板(6)，所述放置板(6)表面设置有夹紧组件(7)，用于将靶材夹紧固定在所述放置板(6)表面；

所述机架(1)上端安装有门型架(2)，所述门型架(2)上表面竖直贯穿安装有调高杆(8)，所述调高杆(8)的伸缩端伸入所述门型架(2)内部且安装有弹性伸缩杆(9)，所述弹性伸缩杆(9)的伸缩端竖直向下且安装有承载架(10)，所述承载架(10)呈“n”字型结构，且内部转动安装有升降辊(11)，所述升降辊(11)沿着所述输送带(4)宽度方向延伸，所述承载架(10)靠近所述输送带(4)输送尾端的侧面安装有固定架(12)，所述固定架(12)内部倾斜安装有刮刀(13)，所述刮刀(13)的底部刀刃与所述升降辊(11)底部外圆面平齐。

2.根据权利要求1所述一种平面靶材背面金属化检测装置，其特征在于：所述夹紧组件(7)包括承载立板(703)，所述承载立板(703)共有两块，且以所述输送带(4)宽度中线对称分布在所述放置板(6)上表面，所述承载立板(703)表面贯穿设置有滑动孔(707)，所述滑动孔(707)内部滑动安装有滑动柱(706)，所述滑动柱(706)外端安装有拉板(702)，所述滑动柱(706)内端伸入两块所述承载立板(703)之间且安装有夹紧板(705)，所述滑动柱(706)外侧套装有夹紧弹簧(704)，所述夹紧弹簧(704)位于所述夹紧板(705)和所述承载立板(703)之间。

3.根据权利要求2所述一种平面靶材背面金属化检测装置，其特征在于：所述滑动柱(706)和所述滑动孔(707)的截面均为方形，且所述滑动柱(706)与所述滑动孔(707)间隙配合。

4.根据权利要求2所述一种平面靶材背面金属化检测装置，其特征在于：所述拉板(702)外侧面设置有拉环(701)。

5.根据权利要求1所述一种平面靶材背面金属化检测装置，其特征在于：所述调高杆(8)包括承载管(801)，所述承载管(801)竖直贯穿安装在所述门型架(2)表面，所述承载管(801)外壁贯穿设置有导向槽(802)，所述导向槽(802)沿着所述承载管(801)轴向延伸，所述承载管(801)内部通过轴承安装有承载套(804)，所述承载套(804)穿出所述承载管(801)底端，所述承载套(804)底端安装有调节螺母(805)，所述调节螺母(805)内部通过螺纹安装有升降丝杠(806)，所述升降丝杠(806)底端与所述弹性伸缩杆(9)相连接，所述升降丝杠(806)上端伸入所述承载管(801)内部且设置有导向块(803)，所述导向块(803)与所述导向槽(802)间隙配合。

6.根据权利要求5所述一种平面靶材背面金属化检测装置，其特征在于：所述弹性伸缩杆(9)包括固定管(901)，所述固定管(901)上端密闭且底端开口，所述固定管(901)的密封端与所述升降丝杠(806)底端相连接，所述固定管(901)开口端安装有导向板(904)，所述导向板(904)表面贯穿设置有导向孔(906)，所述导向孔(906)内部滑动安装有升降柱(905)，所述升降柱(905)底端与所述承载架(10)相连接，所述升降柱(905)上端伸入所述固定管(901)内部且安装有升降块(903)，所述升降块(903)上表面放置有砝码(902)。

7.根据权利要求6所述一种平面靶材背面金属化检测装置，其特征在于：所述升降柱(905)和所述导向孔(906)的截面均为方形，且所述升降柱(905)与所述导向孔(906)间隙配合。

8.根据权利要求6所述一种平面靶材背面金属化检测装置，其特征在于：所述升降块(903)上表面均匀设置有放置凹槽(907)，用于放置所述砝码(902)。

9.根据权利要求6所述一种平面靶材背面金属化检测装置，其特征在于：所述固定管(901)外壁贯穿设置有取放口(908)。

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