CN210403676U - 一种多轴转台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种多轴转台，包括转台，所述转台呈U型结构，所述转台的一端部设置有X向主动转动装置，所述转台的另一端部设置有X向从动转动装置，所述X向主动转动装置和所述X向从动转动装置之间转动连接有工作台，所述工作台沿轴向处转动设有Z向转轴；所述转台的下端设置有Y向转动装置。本实用新型能够在Y方向转动时将线缆从其内部引入到X向，将所有的线缆都经过内部穿设，外部没有线缆，保证旋转时线缆不会缠绕，提高工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及转台，具体是一种多轴转台。
背景技术
在半导体行业中，需要用到转台来对半导体进行加工，而转台在转动时需要利用驱动电机来驱动，在转动时就会出现线缆缠绕、堆积的现象，从而导致转动停止、加工中断。
实用新型内容
为解决上述现有技术的缺陷，本实用新型提供一种多轴转台，本实用新型能够在Y方向转动时将线缆从其内部引入到X向，将所有的线缆都经过内部穿设，外部没有线缆，保证旋转时线缆不会缠绕，提高工作效率。
为实现上述技术目的，本实用新型采用如下技术方案：一种多轴转台，包括转台，所述转台呈U型结构，所述转台的一端部设置有X向主动转动装置，所述转台的另一端部设置有X向从动转动装置，所述X向主动转动装置和所述X向从动转动装置之间转动连接有工作台，所述工作台沿轴向处转动设有Z向转轴；所述转台的下端设置有Y向转动装置；
所述Y向转动装置包括外壳，所述外壳内安装有Y向电机，所述Y向电机的输出端驱动连接有Y向转轴，所述Y向转轴通过上轴承、下轴承与所述外壳转动连接；所述Y向转轴内部设有Y向滑环，所述Y向滑环的下端安装有Y向气动接头，所述Y向气动接头所述Y向滑环固定连接；所述外壳的下端设有下盖，所述下盖开有气动和线缆入口；所述Y向滑环上端连接有上盖，所述上盖呈倒置的中空凸字形，所述上盖的下端与所述Y向滑环通过转动端转动连接，所述转动端上开有气动和线缆出口，所述气动和线缆出口与所述上盖内部连通；所述上盖设于所述Y向转轴上端内部，所述上盖上平面低于所述Y向转轴上平面设置；所述外壳上端设有盖体，所述盖体位于所述Y向转轴上端的外侧，所述盖体上平面低于所述Y向转轴上平面设置；
所述X向主动转动装置包括壳体，所述壳体的下侧面开有贯穿的通孔，所述壳体内部安装有X向电机、X向转轴，所述X向转轴通过X向轴承与所述壳体转动连接；所述X向转轴内安装有X向滑环；所述X向转轴的端部固定连接工作台；
所述X向从动转动装置包括套壳，所述套壳内安装有从动转轴，所述从动转轴通过从动轴承与所述工作台转动连接；
所述转台内部开设有通道，所述通道的一端连通所述通孔，另一端连通所述上盖内部。
进一步地，所述转台的底部与所述Y向转轴固定连接。
进一步地，所述上盖与所述Y向转轴固定连接。
综上所述，本实用新型取得了以下技术效果：
1、本实用新型在Y向设置了Y向转动装置，利用转轴与滑环实现线缆的内部传输，使得设备外部没有线缆，避免Y向转动时线缆的缠绕；
2、本实用新型在X向设置主动转动装置和从动转动装置，主动转动装置内开设通孔能够将线缆引入到主动转动装置内部，并且，转台内部开设通道，利于将Y向的线缆引入到X向主动转动装置的通孔内，将所有的线缆都设置在设备的内部，避免X向转动时线缆缠绕。
附图说明
图1是本实用新型总体结构示意图；
图2是图1的侧视图；
图3是图2中AA方向剖视图；
图4是Y向转动装置结构示意图；
图中，1、转台，2、X向主动转动装置，201、壳体，202、通孔，203、X向电机，204、X向轴承，205、X向转轴，3、Y向转动装置，301、盖体，302、外壳，303、上轴承，304、下轴承，305、Y向电机，306、Y向转轴，307、Y向滑环，308、Y向气动接头，309、转动端，310、上盖，311、气动和线缆出口，312、下盖，4、工作台，401、Z向转轴，5、X向从动转动装置，501、套壳，502、从动转轴，503、从动轴承。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。
实施例：
如图1-图3所示，一种多轴转台，包括转台1，转台1呈U型结构，其下侧面为平面，转台1的一端部设置有X向主动转动装置2，转台1的另一端部设置有X向从动转动装置5，X向主动转动装置2和X向从动转动装置5之间转动连接有工作台4，工作台4沿轴向处转动设有Z向转轴401；转台1的下端设置有Y向转动装置3。
如图4所示，Y向转动装置3包括外壳302，外壳302内安装有Y向电机305，Y向电机305的输出端驱动连接有Y向转轴306，Y向转轴306通过上轴承303、下轴承304与外壳302转动连接；Y向转轴306内部设有Y向滑环307，Y向滑环307的下端安装有Y向气动接头308，Y向气动接头308与Y向滑环307固定连接，外壳302的下端设有下盖312，下盖312开有气动和线缆入口；固定端309沿轴向开有气动和线缆入口，用于接入线缆；Y向滑环307上端连接有上盖310，上盖310呈倒置的中空凸字形，上盖310的下端与Y向滑环307通过转动端309转动连接，使得上盖310与Y向滑环307之间实现转动，转动端309上沿轴线开有气动和线缆出口311，气动和线缆出口311与上盖310内部连通，用于线缆的输出；上盖310设于Y向转轴306上端内部，上盖310与Y向转轴306固定连接，上盖310上平面低于Y向转轴306上平面设置；外壳302上端设有盖体301，盖体301位于Y向转轴306上端的外侧，盖体301上平面低于Y向转轴306上平面设置，便于转轴306与转台1的连接。
当Y向电机305驱动Y向转轴306旋转时，Y向转轴306带动上盖310转动，其线缆从入口、Y向气动接头308、Y向滑环307、气动和线缆出口311、上盖310穿设，不会引起线缆的缠绕。
如图3所示，X向主动转动装置2包括壳体201，壳体201的下侧面开有贯穿的通孔202，壳体201内部安装有X向电机203、X向转轴205，X向转轴205通过X向轴承204与壳体201转动连接；X向转轴205内安装有X向滑环206；X向转轴205的端部固定连接工作台4，驱动工作台4旋转。
X向从动转动装置5包括套壳501，套壳501内安装有从动转轴502，从动转轴502通过从动轴承503与工作台4转动连接。
转台1内部开设有通道(未图示)，通道的一端连通通孔202，另一端连通上盖310内部，使得线缆从入口接入，经过Y向转动装置3、转台1连接至X向主动转动装置2上，使得线缆在Y向旋转时不会缠绕，并且在Y向旋转的同时能够驱动X向的旋转，无需X向另外接入线缆，避免线缆的缠绕。
转台1的底部与Y向转轴306固定连接，使得Y向旋转时带动转台1旋转。
本实用新型在Y向设置了Y向转动装置，利用转轴与滑环实现线缆的内部传输，使得设备外部没有线缆，避免Y向转动时线缆的缠绕；本实用新型在X向设置主动转动装置和从动转动装置，主动转动装置内开设通孔能够将线缆引入到主动转动装置内部，并且，转台内部开设通道，利于将Y向的线缆引入到X向主动转动装置的通孔内，将所有的线缆都设置在设备的内部，避免X向转动时线缆缠绕。
本实用新型在X、Y方向转动时都不会发生线缆缠绕的情况，不会导致转动的中断，提高半导体加工的效率。
以上所述仅是对本实用新型的较佳实施方式而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。
Claims (3)
1.一种多轴转台，其特征在于：包括转台(1)，所述转台(1)呈U型结构，所述转台(1)的一端部设置有X向主动转动装置(2)，所述转台(1)的另一端部设置有X向从动转动装置(5)，所述X向主动转动装置(2)和所述X向从动转动装置(5)之间转动连接有工作台(4)，所述工作台(4)沿轴向处转动设有Z向转轴(401)；所述转台(1)的下端设置有Y向转动装置(3)；
所述Y向转动装置(3)包括外壳(302)，所述外壳(302)内安装有Y向电机(305)，所述Y向电机(305)的输出端驱动连接有Y向转轴(306)，所述Y向转轴(306)通过上轴承(303)、下轴承(304)与所述外壳(302)转动连接；所述Y向转轴(306)内部设有Y向滑环(307)，所述Y向滑环(307)的下端安装有Y向气动接头(308)，所述Y向气动接头(308)所述Y向滑环(307)固定连接；所述外壳(302)的下端设有下盖(312)，所述下盖(312)开有气动和线缆入口；所述Y向滑环(307)上端连接有上盖(310)，所述上盖(310)呈倒置的中空凸字形，所述上盖(310)的下端与所述Y向滑环(307)通过转动端(309)转动连接，所述转动端(309)上开有气动和线缆出口(311)，所述气动和线缆出口(311)与所述上盖(310)内部连通；所述上盖(310)设于所述Y向转轴(306)上端内部，所述上盖(310)上平面低于所述Y向转轴(306)上平面设置；所述外壳(302)上端设有盖体(301)，所述盖体(301)位于所述Y向转轴(306)上端的外侧，所述盖体(301)上平面低于所述Y向转轴(306)上平面设置；
所述X向主动转动装置(2)包括壳体(201)，所述壳体(201)的下侧面开有贯穿的通孔(202)，所述壳体(201)内部安装有X向电机(203)、X向转轴(205)，所述X向转轴(205)通过X向轴承(204)与所述壳体(201)转动连接；所述X向转轴(205)内安装有X向滑环(206)；所述X向转轴(205)的端部固定连接工作台(4)；
所述X向从动转动装置(5)包括套壳(501)，所述套壳(501)内安装有从动转轴(502)，所述从动转轴(502)通过从动轴承(503)与所述工作台(4)转动连接；
所述转台(1)内部开设有通道，所述通道的一端连通所述通孔(202)，另一端连通所述上盖(310)内部。
2.根据权利要求1所述的一种多轴转台，其特征在于：所述转台(1)的底部与所述Y向转轴(306)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种多轴转台，其特征在于：所述上盖(310)与所述Y向转轴(306)固定连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921993099.4U CN210403676U (zh) | 2019-11-18 | 2019-11-18 | 一种多轴转台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921993099.4U CN210403676U (zh) | 2019-11-18 | 2019-11-18 | 一种多轴转台 |
Publications (1)
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| CN210403676U true CN210403676U (zh) | 2020-04-24 |
Family
ID=70343741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201921993099.4U Active CN210403676U (zh) | 2019-11-18 | 2019-11-18 | 一种多轴转台 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN210403676U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114838625A (zh) * | 2022-05-26 | 2022-08-02 | 西安航天动力研究所 | 一种中空走线式旋转机构及立跪卧一体化轻武器靶机 |
-
2019
- 2019-11-18 CN CN201921993099.4U patent/CN210403676U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114838625A (zh) * | 2022-05-26 | 2022-08-02 | 西安航天动力研究所 | 一种中空走线式旋转机构及立跪卧一体化轻武器靶机 |
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