CN210361979U - 一种脆性材料打孔标准治具 - Google Patents

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罗刚
朱雪明
袁林锋
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Beijing Yisheng Precision Semiconductor Co ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种脆性材料打孔标准治具,包括工作台,工作台安装有托盘,托盘中部设有圆形通孔,通孔内设有水平环形台阶,环形台阶上放置待打孔的零件,环形台阶上设有数个板状压板,压板的一端设有第一螺纹孔及第二螺纹孔,第一螺纹孔内设有第一螺钉,第二螺纹孔内设有顶紧螺钉,压板的另一端压紧零件的边缘。本实用新型的打孔标准治具,其固定用的压板通过两根螺钉固定于环形台阶上,一根与环形台阶螺纹连接,可以用来调整压板距离环形台阶的高度,另一根为顶紧螺钉用于将压板压紧于环形台阶上,这种结构可以根据零件厚度调整压板高度,适用于各种厚度的零件固定,而且压板与零件面接触受力均匀。

Description

一种脆性材料打孔标准治具
技术领域
本实用新型属于半导体材料加工设备技术领域,具体涉及一种脆性材料打孔标准治具。
背景技术
半导体工业中对零件物理形状进行精密加工时,CNC数控设备的出现很好的解决了零件大小批量加工的效率问题。对于CNC数控设备来说,精度高,速度快,批量化是其最大优点,对于精雕打孔而言更是如此。在机器运转过程中,由于一些不可控因素的影响,加工出来的零件总是出现零件孔径超差,位置度出错等问题。
精雕打孔对于孔的位置度及孔径大小要求很高,特别是对于在晶元加工方面,气体通过零件小孔来与晶元反应从而制作集成电路,一旦零件出现磕碰、划痕、加工纹路不均、孔径及孔位置度出错则产品不合格,由此带来的损失极大。
精雕机在对脆性材料如半导体硅材料打孔时,是将零件装夹在常规机械夹具上,通过手动调整夹具对零件局部接触点的压力夹住零件,采用多点调整夹压零件的方式,调整同心位置,达到精确加工零件的效果。但是装夹零件的位置不固定,结构过于复杂,因为是机械装夹,人为挤压力量无法掌控,使用不锈钢装夹可能会破坏零件表面的完整度,且安装加工效率低。
针对上述问题,提出本实用新型。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种脆性材料打孔标准治具。
为实现上述实用新型目的,本实用新型的技术方案是:一种脆性材料打孔标准治具,包括工作台1,工作台1安装有托盘2,托盘2中部设有圆形通孔,通孔内设有水平环形台阶,环形台阶上放置待打孔的圆形或者圆环形零件6,环形台阶上沿圆周依次设有数个板状压板7,压板7的一端设有第一螺纹孔8及第二螺纹孔9,第一螺纹孔8内设有第一螺钉螺纹连接于环形台阶上,第二螺纹孔9内设有顶紧螺钉将压板7压紧于环形台阶上,压板7的另一端压紧零件6的边缘。
其中,工作台1通过支撑机构安装托盘2。
其中,支撑机构包括数个立柱3,数个立柱3下端均通过螺纹连接于工作台1上,数个立柱3上端通过连接件连接固定于托盘2下端,并沿托盘2呈圆周陈列排布。
其中,工作台1上设有数个倒T型槽4,倒T型槽4相互平行设置,每个倒T型槽的两端与工作台1相应的两个侧面相通,立柱下端通过第二螺钉10 螺纹连接工作台1,第二螺钉10为方头螺钉,方头螺钉顶端设有方头螺帽,方头螺帽与倒T型槽4槽体形状相应,方头顶帽设于倒T型槽4内。
其中,立柱3上端设有第一销孔,托盘上设有第二销孔5,立柱通过设于第一销孔及第二销孔5内的定位销从下端固定托盘。
其中,第一销孔内的定位销上套装有第一衬套11,第二销孔5内的定位销上套装有第二衬套13。
其中,立柱3为方柱。
其中,托盘及压板的材质均为铝合金。
本实用新型的有益效果是:
本实用新型的打孔标准治具,通过压板压紧零件边缘固定在环形台阶上,其固定用的压板通过两根螺钉固定于环形台阶上,一根与环形台阶螺纹连接,可以用来调整压板距离环形台阶的高度,另一根为顶紧螺钉用于将压板压紧于环形台阶上,这种结构可以根据零件厚度调整压板高度,适用于各种厚度的零件固定,而且压板保持水平状态与零件面接触,受力均匀。
附图说明
当结合附图考虑时,通过参照下面的详细描述,能够更完整更好地理解本实用新型以及容易得知其中许多伴随的优点,但此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,构成本实用新型的一部分,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定,其中:
图1是本实用新型的一种脆性材料打孔标准治具的结构爆炸图;
图2是本实用新型的一种脆性材料打孔标准治具的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
如图1-2所示,一种脆性材料打孔标准治具,包括工作台1,工作台1安装有托盘2,托盘2中部设有圆形通孔,通孔内设有水平环形台阶,环形台阶上放置待打孔的圆形或者圆环形零件6,环形台阶上沿圆周依次设有数个板状压板7,压板7的一端设有第一螺纹孔8及第二螺纹孔9,第一螺纹孔8内设有第一螺钉螺纹连接于环形台阶上,第二螺纹孔9内设有顶紧螺钉将压板7 压紧于环形台阶上,压板7的另一端压紧零件6的边缘。
工作原理:托盘2从边缘将零件6水平固定在工作台1上,托盘2中间的通孔留出打孔空间,零件6通过压板7压紧固定,压板7沿环形台阶圆周阵列排布,此技术方案中的压板通过第一螺钉和压紧螺钉连接到环形台阶上,第一螺钉螺纹连接,可以调整压板高度适用不同厚度的零件,顶紧螺钉用于压紧零件的边缘,该压板可以保证水平状态,使零件与压板保持面接触,受力均匀避免损伤零件。
更优的技术方案,工作台1通过支撑机构安装托盘2。支撑机构可以使托盘远离工作台,避免安装过程中零件与工作台发生碰撞。
更优的技术方案,支撑机构包括数个立柱3,数个立柱3下端均通过螺纹连接于工作台1上,数个立柱3上端通过连接件连接固定于托盘2下端,并沿托盘2呈圆周陈列排布。立柱式支撑机构结构简单,成本低。
更优的技术方案,工作台1上设有数个倒T型槽4,倒T型槽4相互平行设置,每个倒T型槽的两端与工作台1相应的两个侧面相通,立柱下端通过第二螺钉10螺纹连接工作台1,第二螺钉10为方头螺钉,方头螺钉顶端设有方头螺帽,方头螺帽与倒T型槽4槽体形状相应,方头顶帽设于倒T型槽4 内。方头螺钉在倒T型槽内滑动,且能滑进滑出,所以便于拆卸。
上述技术方案中,立柱3上端设有第一销孔,托盘上设有第二销孔5,立柱通过设于第一销孔及第二销孔5内的定位销从下端固定托盘。
其中,第一销孔内的定位销上套装有第一衬套11,第二销孔5内的定位销上套装有第二衬套13。第一衬套11与第二衬套13安装方便,保护销钉与销孔内壁不被磨损。
其中,立柱3为方柱,保证托盘水平支撑在方柱上。
其中,托盘及压板的材质均为铝合金。铝合金材料制成的治具防止产品在放置拿取过程中出现划痕磕碰。
综上所述,本实用新型的打孔标准治具,通过压板压紧零件边缘固定在环形台阶上,其固定用的压板通过两根螺钉固定于环形台阶上,一根与环形台阶螺纹连接,可以用来调整压板距离环形台阶的高度,另一根为顶紧螺钉用于将压板压紧于环形台阶上,这种结构可以根据零件厚度调整压板高度,适用于各种厚度的零件固定,而且压板保持水平状态与零件面接触,受力均匀。

Claims (8)

1.一种脆性材料打孔标准治具,其特征在于,包括工作台(1),所述工作台(1)安装有托盘(2),所述托盘(2)中部设有圆形通孔,所述通孔内设有水平环形台阶,所述环形台阶上放置待打孔的圆形或者圆环形零件(6),所述环形台阶上沿圆周依次设有数个板状压板(7),所述压板(7)的一端设有第一螺纹孔(8)及第二螺纹孔(9),所述第一螺纹孔(8)内设有第一螺钉螺纹连接于环形台阶上,所述第二螺纹孔(9)内设有顶紧螺钉将压板(7)压紧于环形台阶上,所述压板(7)的另一端压紧零件(6)的边缘。
2.根据权利要求1所述的一种脆性材料打孔标准治具,其特征在于,所述工作台(1)通过支撑机构安装托盘(2)。
3.根据权利要求2所述的一种脆性材料打孔标准治具,其特征在于,所述支撑机构包括数个立柱(3),数个所述立柱(3)下端均通过螺纹连接于工作台(1)上,数个所述立柱(3)上端通过连接件连接固定于托盘(2)下端,并沿托盘(2)呈圆周陈列排布。
4.根据权利要求3所述的一种脆性材料打孔标准治具,其特征在于,所述工作台(1)上设有数个倒T型槽(4),所述倒T型槽(4)相互平行设置,每个所述倒T型槽的两端与工作台(1)相应的两个侧面相通,所述立柱下端通过第二螺钉(10)螺纹连接工作台(1),所述第二螺钉(10)为方头螺钉,所述方头螺钉顶端设有方头螺帽,所述方头螺帽与倒T型槽(4)槽体形状相应,方头螺帽设于倒T型槽(4)内。
5.根据权利要求3所述的一种脆性材料打孔标准治具,其特征在于,所述立柱(3)上端设有第一销孔,所述托盘上设有第二销孔(5),所述立柱通过设于第一销孔及第二销孔(5)内的定位销从下端固定托盘。
6.根据权利要求5所述的一种脆性材料打孔标准治具,其特征在于,所述第一销孔内的定位销上套装有第一衬套(11),所述第二销孔(5)内的定位销上套装有第二衬套(13)。
7.根据权利要求3-6任一项所述的一种脆性材料打孔标准治具,其特征在于,所述立柱(3)为方柱。
8.根据权利要求1-6任一项所述的一种脆性材料打孔标准治具,其特征在于,所述托盘(2)及压板(7)的材质均为铝合金。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112497528A (zh) * 2020-11-27 2021-03-16 山东天智信息科技有限公司 一种用于道路铺装大理石板弧形切割机

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