CN210348194U - 微图文转印用真空层压装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及微图文转印用真空层压装置，其特征在于，包括装置主体和压盖，装置主体包括工作台面、若干组支撑脚、定位部件和压板，压盖包括压盖主体、硅胶垫，在压盖主体的下沿边缘设有若干第一限位块和若干安装座内嵌槽，第一限位块设有插销孔；工作台面包括长方形滑槽、纵向滚珠丝杠滑道、横向滚珠丝杠安装孔、若干压盖安装座、抽真空孔；定位部件包括滑轨、横向滚珠丝杠、第二限位块、纵向滚珠丝杠滑槽、纵向滚珠丝杠、第一定位组件和第二定位组件；压板设有若干吸附孔。本实用新型的微图文转印用真空层压装置，解决了光掩模版和薄膜基板快速精准对位，以及压合过程中由于受力过大而导致光掩模版受损的问题。

Description

微图文转印用真空层压装置

技术领域

本实用新型涉及微图文转印设备技术领域，尤其涉及微图文转印用真空层压装置。

背景技术

随着科技的飞速发展，微图文转印技术被广泛用于电子元器件、高密度磁盘介质、防伪薄膜等领域，常用的微图转印文技术主要分为接触式光刻和非接触式光刻两种，其中，接触式光刻要求在曝光时将掩膜版压在衬底基片的光刻胶上，因此，需要用层压机进行对压。然而，现有的层压机进行对压操作时，常常难以将掩膜版和衬底基片进行精准对位，而且层压过程中容易因为受力过大或不均而对掩膜版和衬底基片造成损伤。

中国公开号为CN 208240707 U公开的层压装置，包括基板和顶板，所述基板的上端面设有第一层压凹槽，所述基板与所述顶板之间设有位于所述第一层压凹槽的外周的内密封垫和位于所述内密封垫外的外密封垫，所述基板、所述顶板、所述内密封垫与所述外密封垫构成密封腔，所述基板下端面设有与所述第一层压凹槽连通的第一抽真空孔以及与所述密封腔连通的第二抽真空孔；通过控制抽真空度来实现层压力度，保证层压效果，但是，此种层压装置没有定位部件，因此，对片材的对位比较困难，且容易在对压过程中产生移位现象，从而影响转印的效果。

因此，有必要对现有的层压装置进行改进，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供微图文转印用真空层压装置，以实现光掩模版和薄膜基板快速精准地对位，以及解决压合过程中由于受力过大而导致光掩模版受损的问题。

为达到上述实用新型的目的，本实用新型提供的技术方案为：微图文转印用真空层压装置，包括装置主体和压盖，所述装置主体包括工作台面、设置于工作台面底部两侧的若干组支撑脚、定位部件和压板；所述压盖包括压盖主体及其设置于压盖主体内表面的硅胶垫，所述硅胶垫的厚度为1-2cm；所述压盖可相对装置主体翻转270°，且压盖可停留在0°或270°位置；

在所述压盖主体的下沿边缘设有若干第一限位块和若干安装座内嵌槽，所述第一限位块与安装座内嵌槽交替设置，且所述第一限位块设有插销孔；

所述工作台面为上方敞口的长方体设计，包括设置于工作台面左、右两侧面内壁的长方形滑槽，内置于工作台面前侧面并与水平面相平行的纵向滚珠丝杠滑道，内置于工作台面右侧面的横向滚珠丝杠安装孔，设置在工作台面后侧面顶部的若干压盖安装座，以及内置于工作台面两侧面并贯通至长方形滑槽的抽真空孔；

所述定位部件，水平设置在工作台面的内部，呈“H”型设计，包括滑轨、平行于滑轨设置的横向滚珠丝杠、套接在横向滚珠丝杠两端的第二限位块、架设在滑轨和横向滚珠丝杠上方的纵向滚珠丝杠滑槽、设置在纵向滚珠丝杠滑槽内部的纵向滚珠丝杠、固定设置在滑轨左端上表面的第一定位组件和套接在纵向滚珠丝杠上的第二定位组件；

所述压板为长方形设计，且所述压板的长度和宽度均与工作台面的内长和内宽相一致，所述压板设置在所述长方形滑槽的上端，压板位于长方形滑槽所在的区域设有若干吸附孔。

进一步地，所述长方形滑槽呈水平设置，且长方形滑槽的一端与工作台面的前侧面内壁固定在一起，另一端与工作台面的后侧面的内壁固定在一起，且所述长方形滑槽的顶端距工作台面顶端0.5-1cm。

进一步地，所述压板为钢化玻璃材质；所述压板设有加热元件和温度传感器，所述温度传感器由外部PLC控制系统控制。

进一步地，所述抽真空孔与所述吸附孔呈相通设置，且所述抽真空孔与外部抽真空机相连。

进一步地，所述滑轨沿所述工作台面前侧面的内壁水平设置，且所述滑轨靠近纵向滚珠丝杠滑道的下边缘处，所述滑轨的一端延伸至工作台面左侧的长方形槽的侧壁并与其固定在一起，滑轨的另一端延伸至工作台面右侧的长方形槽的侧壁并与其固定在一起，在所述滑轨的两侧设有侧槽，在滑轨的左端设有若干第一定位销孔；

所述第二限位块，紧靠长方形槽的侧壁以及工作台面后侧面的内壁设置并与其固定在一起，所述第二限位块设有第一通孔，所述第一通孔的孔径与横向滚珠丝杠的外直径相一致。

进一步地，所述横向滚珠丝杠的一端设有横向滚珠丝杠手轮，所述横向滚珠丝杠的另一端穿过横向滚珠丝杠安装孔和第二限位块的第一通孔，从而使得横向滚珠丝杠架设在第二限位块和工作台面上，且所述横向滚珠丝杠可相对第二限位块和工作台面自由转动；

所述纵向滚珠丝杠滑槽包括纵向滚珠丝杠滑槽主体，设置在纵向滚珠丝杠滑槽主体一端下表面的第一滑块，以及设置在纵向滚珠丝杠滑槽主体另一端的第二滑块；所述第一滑块门框状设计，所述第一滑块的内宽与所述滑轨的宽度相一致，在第一滑块的两端设有向内的第三限位块，所述第三限位块的宽度与所述侧槽的深度相一致，所述第一滑块套接在滑轨上，并可沿滑轨左右移动；所述第二滑块设有第二通孔，所述第二通孔的孔径与横向滚珠丝杠的外直径相一致，所述第二通孔套接在横向滚珠丝杠上，位于第二限位块的中间；

所述纵向滚珠丝杠的一端设有纵向滚珠丝杠手轮，另一端穿过长方形滑槽，并使纵向滚珠丝杠嵌入所述纵向滚珠丝杠滑槽内，所述纵向滚珠丝杠可相对纵向滚珠丝杠滑槽自由转动。

进一步地，所述第一定位组件，整体呈“L”型设计，包括第一磁力片、第一磁力座和第一定位底座；在所述第一定位底座上设有若干第二定位销孔，所述第二定位销孔与所述第一定位销孔相对应，所述第一定位底座通过固定销与所述第一定位销孔、第二固定销孔固定在所述滑轨上；所述第一磁力座包括第一磁力基座，在所述第一磁力基座上，间隔相同距离设有若干第一强磁铁，且相邻第一强磁铁的磁极交替设置；所述第一磁力片，与所述第一磁力座为相对应设计，所述第一磁力片设置在所述第一磁力座的正上方，包括第一磁力片基座，在所述第一磁力片基座上，与所述第一磁力座的第一强磁铁相对应的位置，设有若干第一强磁铁片，所述第一强磁铁片的磁极和与之相对应的第一强磁铁的磁极相一致，所述第一强磁铁片的厚度为2-5mm。

所述第二定位组件，整体呈“7”型设计，包括第二磁力片、第二磁力座和第二定位底座；在所述第二定位底座上设有第三通孔，所述第三通孔的孔径与所述纵向滚珠丝杠的外直径相一致；所述第二磁力座包括第二磁力基座，在所述第二磁力基座上，间隔相同距离设有若干第二强磁铁，且相邻第二强磁铁的磁极交替设置；所述第二磁力片，与所述第二磁力座为相对应设计，所述第二磁力片设置在所述第二磁力座的正上方，包括第二磁力片基座，在所述第二磁力片基座上，与所述第二磁力座的第二强磁铁相对应的位置，设有若干第二强磁铁片，所述第二强磁铁片的磁极和与之相对应的第二强磁铁的磁极相一致，所述第二强磁铁片的厚度与所述第一强磁铁片的厚度相同。

进一步地，所述第一强磁铁、第一强磁铁片、第二强磁铁、第二强磁铁片均为汝铁硼材质，且所述第一强磁铁与所述第二强磁铁的厚度相同，均为1-3cm。

进一步地，在所述第一磁力片基座和第二磁力片基座的里侧，沿其边缘分别设有第一斜面和第二斜面，所述第一斜面和第二斜面的边缘厚度为0.5mm；

在所述第一斜面和第二斜面的拐角处分别设有第一预留角和第二预留角，所述第一预留角和第二预留角均为半圆角。

与现有技术相比，本实用新型的优势在于：

(1)本实用新型的微图文转印用真空层压装置，其第一定位组件和第二定位组件中的磁极设置，使得薄膜基板和光掩模版可以准确、快速地对准放置，且其第一预留角和第二预留角的设置方便了对薄膜基板和光掩模版的进一步观测和调整，以确保光掩模版与薄膜基板完全对准；

(2)本实用新型的微图文转印用真空层压装置，其第一磁力座和第二磁力座的强磁性设置，起到了牢牢固定住薄膜基板和光掩模版的作用，有效地防止了对压过程中薄膜基板和光掩模版的移位；

(3)本实用新型的微图文转印用真空层压装置，其第一定位组件和第二定位组件的第一斜面及第二斜面的设计，使得压盖压至第一磁力片基座和第二磁力片基座所在平面时，压盖和光掩模版之间留有一段距离，减缓了压盖下压的速度，防止了光掩模版突然受力而破损；

(4)本实用新型的微图文转印用真空层压装置，其压盖下表面硅胶垫的设计，使得下压时，硅胶垫与光掩模版的上表面可以完全贴合，从而提高了光掩模版和薄膜基板的压合效果；

(5)本实用新型的微图文转印用真空层压装置，结构简单，拆装方便，对位精准快速，对压效果好，可广泛推广应用。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型装置主体的结构示意图；

图3为本实用新型装置主体的爆炸图；

图4为本实用新型工作台面的结构示意图；

图5为本实用新型定位部件的结构示意图；

图6为本实用新型第一定位组件的结构示意图；

图7为本实用新型第二定位组件的结构示意图；

附图标记：工作台面1、支撑脚2、定位部件3、压板4、硅胶垫5、长方形滑槽11、纵向滚珠丝杠滑道12、横向滚珠丝杠安装孔13、压盖安装座14、抽真空孔15、滑轨31、横向滚珠丝杠32、第二限位块33、纵向滚珠丝杠滑槽34、纵向滚珠丝杠35、第一定位组件36、第二定位组件37、吸附孔41、横向滚珠丝杠手轮321、纵向滚珠丝杠手轮351、第一磁力片 361、第一磁力座362、第一定位底座363、第二磁力片371、第二磁力座372、第二定位底座 373、第一磁力片基座3611、第一强磁铁片3612、第一斜面3613、第一预留角3614、第一强磁铁3621、第二磁力片基座3711、第二强磁铁片3712、第二斜面3713、第二预留角3714、第二强磁铁3721。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例，对本实用新型做进一步说明。

如图1-7所示，为本实用新型的微图文转印用真空层压装置，包括装置主体和压盖，所述装置主体包括工作台面1、设置于工作台面1底部两侧的若干组支撑脚2、定位部件3和压板4；所述压盖包括压盖主体及其设置于压盖主体内表面的硅胶垫5，所述硅胶垫5的厚度为 1-2cm；在所述压盖主体的下沿边缘设有若干第一限位块和若干安装座内嵌槽，所述第一限位块与安装座内嵌槽交替设置，且所述第一限位块设有插销孔。

所述工作台面1为上方敞口的长方体设计，包括设置于工作台面1左、右两侧面内壁的长方形滑槽11，内置于工作台面1前侧面并与水平面相平行的纵向滚珠丝杠滑道12，内置于工作台面1右侧面的横向滚珠丝杠安装孔13，设置在工作台面1后侧面顶部的若干压盖安装座14，以及内置于工作台面1两侧面并贯通至长方形滑槽11的抽真空孔15。

进一步地，所述长方形滑槽11呈水平设置，且长方形滑槽11的一端与工作台面1的前侧面内壁固定在一起，另一端与工作台面1的后侧面的内壁固定在一起，且所述长方形滑槽 11的顶端距工作台面1顶端0.5-1cm。

进一步地，所述压板4为长方形设计，且所述压板4的长度和宽度均与工作台面1的内长和内宽相一致，所述压板4设置在所述长方形滑槽11的上端，压板4位于长方形滑槽11所在的区域设有若干吸附孔41。

更进一步地，所述压板4为钢化玻璃材质。

更进一步地，所述压板4设有加热元件和温度传感器，所述温度传感器由外部PLC控制系统控制。

进一步地，所述抽真空孔15与所述吸附孔41呈相通设置，且所述抽真空孔15与外部抽真空机(抽真空机为常规设备，未在图中表示出来)相连。

进一步地，所述压盖安装座14，与所述安装座内嵌槽相匹配，固定设置在工作台面1的后侧面上端，所述压盖安装座14还设有压盖安装孔，所述压盖安装孔与插销孔相对应。

所述装置主体与压盖安装时，将压盖安装座14一一嵌入安装座内嵌槽内，并用长销逐一穿过插销孔和压盖安装孔以便固定，安装好后，所述压盖可相对装置主体翻转270°，且压盖可停留在0°或270°位置。

所述定位部件3，水平设置在工作台面1的内部，呈“H”型设计，包括滑轨31、平行于滑轨31设置的横向滚珠丝杠32、套接在横向滚珠丝杠32两端的第二限位块33、架设在滑轨31和横向滚珠丝杠32上方的纵向滚珠丝杠滑槽34、设置在纵向滚珠丝杠滑槽34内部的纵向滚珠丝杠35、固定设置在滑轨31左端上表面的第一定位组件36和套接在纵向滚珠丝杠 35上的第二定位组件37。

所述滑轨31沿所述工作台面1前侧面的内壁水平设置，且所述滑轨31靠近纵向滚珠丝杠滑道12的下边缘处，所述滑轨31的一端延伸至工作台面1左侧的长方形槽11的侧壁并与其固定在一起，滑轨31的另一端延伸至工作台面1右侧的长方形槽11的侧壁并与其固定在一起，在所述滑轨31的两侧设有侧槽，在滑轨31的左端设有若干第一定位销孔。

所述第二限位块33，紧靠长方形槽11的侧壁以及工作台面1后侧面的内壁设置并与其固定在一起，所述第二限位块33设有第一通孔，所述第一通孔的孔径与横向滚珠丝杠32的外直径相一致。

所述横向滚珠丝杠32的一端设有横向滚珠丝杠手轮321，所述横向滚珠丝杠32的另一端穿过横向滚珠丝杠安装孔13和第二限位块33的第一通孔，从而使得横向滚珠丝杠32架设在第二限位块33和工作台面1上，且所述横向滚珠丝杠32可相对第二限位块33和工作台面 1自由转动。

所述纵向滚珠丝杠滑槽34包括纵向滚珠丝杠滑槽主体，设置在纵向滚珠丝杠滑槽主体一端下表面的第一滑块，以及设置在纵向滚珠丝杠滑槽主体另一端的第二滑块；所述第一滑块门框状设计，所述第一滑块的内宽与所述滑轨31的宽度相一致，所述第一滑块套接在滑轨3 1上，并可沿滑轨31左右移动；所述第二滑块设有第二通孔，所述第二通孔的孔径与横向滚珠丝杠32的外直径相一致，所述第二通孔套接在横向滚珠丝杠32上，位于第二限位块33的中间。

进一步地，为了保证第一滑块与第二滑块在横向滚珠丝杠32的转动下同步滑动，在第一滑块的两端均设有向内的第三限位块，所述第三限位块的宽度与所述侧槽的深度相一致。

所述纵向滚珠丝杠35的一端设有纵向滚珠丝杠手轮351，另一端穿过长方形滑槽11，并使纵向滚珠丝杠35嵌入所述纵向滚珠丝杠滑槽34内，所述纵向滚珠丝杠35可相对纵向滚珠丝杠滑槽34自由转动。

所述第一定位组件36，整体呈“L”型设计，包括第一磁力片361、第一磁力座362和第一定位底座363；在所述第一定位底座363上设有若干第二定位销孔，所述第二定位销孔与所述第一定位销孔相对应，所述第一定位底座363通过固定销与所述第一定位销孔、第二固定销孔固定在所述滑轨31上；所述第一磁力座362包括第一磁力基座，在所述第一磁力基座上，间隔相同距离设有若干第一强磁铁3621，以便对光掩模版和薄膜基板进行定位，且相邻第一强磁铁3621的磁极交替设置，以防装置被同向磁极磁化；所述第一磁力片361，与所述第一磁力座362为相对应设计，所述第一磁力片361设置在所述第一磁力座362的正上方，包括第一磁力片基座3611，在所述第一磁力片基座3611上，与所述第一磁力座362的第一强磁铁3621相对应的位置，设有若干第一强磁铁片3612，所述第一强磁铁片3612的磁极和与之相对应的第一强磁铁3621的磁极相一致，所述第一强磁铁片3612的厚度为2-5mm。

所述第二定位组件37，整体呈“7”型设计，包括第二磁力片371、第二磁力座372和第二定位底座373；在所述第二定位底座373上设有第三通孔，所述第三通孔的孔径与所述纵向滚珠丝杠35的外直径相一致；

所述第二磁力座372包括第二磁力基座，在所述第二磁力基座上，间隔相同距离设有若干第二强磁铁3721，且相邻第二强磁铁3721的磁极交替设置；所述第二磁力片371，与所述第二磁力座372为相对应设计，所述第二磁力片371设置在所述第二磁力座372的正上方，包括第二磁力片基座3711，在所述第二磁力片基座3711上，与所述第二磁力座372的第二强磁铁3721相对应的位置，设有若干第二强磁铁片3712，所述第二强磁铁片3712的磁极和与之相对应的第二强磁铁3721的磁极相一致，所述第二强磁铁片3712的厚度与所述第一强磁铁片3612的厚度相同。

进一步地，为了增强磁性，防止光掩模版进行转印时出现移动，所述第一强磁铁3621、第一强磁铁片3612、第二强磁铁3721、第二强磁铁片3712均为汝铁硼材质，且所述第一强磁铁3621与所述第二强磁铁3721的厚度相同，均为1-3cm。

进一步地，在所述第一磁力片基座3611和第二磁力片基座3711的里侧，沿其边缘分别设有第一斜面3613和第二斜面3713，所述第一斜面3613和第二斜面3713的边缘厚度为0.5 mm。这样的设计，使得压盖压至第一磁力片基座3611和第二磁力片基座3711所在平面时，压盖和光掩模版之间留有一段距离，然后再慢慢下压至光掩模版的上表面，减缓了压盖下压的速度，防止了光掩模版突然受力而破损。

更进一步地，在所述第一斜面3613和第二斜面3713的拐角处分别设有第一预留角3614 和第二预留角3714，所述有第一预留角3614和第二预留角3714均为半圆角，以便进一步观测和调整光掩模版的位置，以保证光掩模版和薄膜基板呈对准状态。

本实用新型的工作原理为：在使用本实用新型的真空层压装置对压光掩模版和薄膜基板时，先将光掩模版放置在压板4上，并将光掩模版带有图文的一面向上放置，在其上表面涂覆一层紫外固化胶水，放上薄膜基板并与光掩模版进行对准，具体地，将光掩模版的左下角对准第一定位组件36放置，根据光掩模版所对应的第一强磁铁3621的位置来放置薄膜基板，将薄膜基板的左下角放置好后，将第一磁力片361对准第一磁力座362放置在薄膜基板上，并通过第一预留角3614进一步观测和调整，以确保光掩模版与薄膜基板完全对准，由于第一磁力片361对准第一磁力座362的磁极设置，使得第一磁力片361很方便就对准位置，其第一磁力座362的强磁性设置，也更好地固定住薄膜基板和光掩模版；然后，通过转动横向滚珠丝杠32和纵向滚珠丝杠35调整第二磁力座372的位置，使其对准薄膜基板的右上角，再将第二磁力片371对准第二磁力座372放置，同样，由于第二磁力片371和第二磁力座372 的磁极设置，使得第二磁力片371很方便就对准位置，而其第二磁力座372的强磁性设置，也更好地固定住薄膜基板和光掩模版；固定完毕后将压盖与工作台面1合起来，并打开抽真空机进行抽真空，由于第一定位组件36和第二定位组件37的第一斜面3613及第二斜面3713 的设计，使得压盖压至第一磁力片基座3611和第二磁力片基座3711所在平面时，由于压盖和薄膜基板之间留有一段距离，减缓了压盖下压的速度，防止了薄膜基板突然受力而破损；而且，由于压盖下表面硅胶垫5的质地较为柔软，下压时，硅胶垫5与薄膜基板的上表面可以完全贴合，从而提高了光掩模版和薄膜基板的压合效果；如若压合过程中需要加热，则可以通过PLC控制系统设置所需温度以使压板加热，然后再进行对压处理。

以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型创造并不仅限于所述的的实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型创造精神的前提下还可以作出种种的等同的变型或替换，这些等同变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (10)

1.微图文转印用真空层压装置，其特征在于，包括装置主体和压盖，所述装置主体包括工作台面、设置于工作台面底部两侧的若干组支撑脚、定位部件和压板；所述压盖包括压盖主体及其设置于压盖主体内表面的硅胶垫，所述硅胶垫的厚度为1-2cm；所述压盖可相对装置主体翻转270°，且压盖可停留在0°或270°位置；

在所述压盖主体的下沿边缘设有若干第一限位块和若干安装座内嵌槽，所述第一限位块与安装座内嵌槽交替设置，且所述第一限位块设有插销孔；

所述工作台面为上方敞口的长方体设计，包括设置于工作台面左、右两侧面内壁的长方形滑槽，内置于工作台面前侧面并与水平面相平行的纵向滚珠丝杠滑道，内置于工作台面右侧面的横向滚珠丝杠安装孔，设置在工作台面后侧面顶部的若干压盖安装座，以及内置于工作台面两侧面并贯通至长方形滑槽的抽真空孔；

所述定位部件，水平设置在工作台面的内部，呈“H”型设计，包括滑轨、平行于滑轨设置的横向滚珠丝杠、套接在横向滚珠丝杠两端的第二限位块、架设在滑轨和横向滚珠丝杠上方的纵向滚珠丝杠滑槽、设置在纵向滚珠丝杠滑槽内部的纵向滚珠丝杠、固定设置在滑轨左端上表面的第一定位组件和套接在纵向滚珠丝杠上的第二定位组件；

所述压板为长方形设计，且所述压板的长度和宽度均与工作台面的内长和内宽相一致，所述压板设置在所述长方形滑槽的上端，压板位于长方形滑槽所在的区域设有若干吸附孔。

2.据权利要求1所述的微图文转印用真空层压装置，其特征在于，所述长方形滑槽呈水平设置，且长方形滑槽的一端与工作台面的前侧面内壁固定在一起，另一端与工作台面的后侧面的内壁固定在一起，且所述长方形滑槽的顶端距工作台面顶端0.5-1cm。

3.据权利要求1所述的微图文转印用真空层压装置，其特征在于，所述压板为钢化玻璃材质；所述压板设有加热元件和温度传感器，所述温度传感器由外部PLC控制系统控制。

4.据权利要求1所述的微图文转印用真空层压装置，其特征在于，所述抽真空孔与所述吸附孔呈相通设置，且所述抽真空孔与外部抽真空机相连。

5.据权利要求1所述的微图文转印用真空层压装置，其特征在于，所述滑轨沿所述工作台面前侧面的内壁水平设置，且所述滑轨靠近纵向滚珠丝杠滑道的下边缘处，所述滑轨的一端延伸至工作台面左侧的长方形槽的侧壁并与其固定在一起，滑轨的另一端延伸至工作台面右侧的长方形槽的侧壁并与其固定在一起，在所述滑轨的两侧设有侧槽，在滑轨的左端设有若干第一定位销孔；

所述第二限位块，紧靠长方形槽的侧壁以及工作台面后侧面的内壁设置并与其固定在一起，所述第二限位块设有第一通孔，所述第一通孔的孔径与横向滚珠丝杠的外直径相一致。

6.据权利要求1所述的微图文转印用真空层压装置，其特征在于，所述横向滚珠丝杠的一端设有横向滚珠丝杠手轮，所述横向滚珠丝杠的另一端穿过横向滚珠丝杠安装孔和第二限位块的第一通孔，从而使得横向滚珠丝杠架设在第二限位块和工作台面上，且所述横向滚珠丝杠可相对第二限位块和工作台面自由转动。

7.据权利要求5所述的微图文转印用真空层压装置，其特征在于，所述纵向滚珠丝杠滑槽包括纵向滚珠丝杠滑槽主体，设置在纵向滚珠丝杠滑槽主体一端下表面的第一滑块，以及设置在纵向滚珠丝杠滑槽主体另一端的第二滑块；所述第一滑块门框状设计，所述第一滑块的内宽与所述滑轨的宽度相一致，在第一滑块的两端设有向内的第三限位块，所述第三限位块的宽度与所述侧槽的深度相一致，所述第一滑块套接在滑轨上，并可沿滑轨左右移动；所述第二滑块设有第二通孔，所述第二通孔的孔径与横向滚珠丝杠的外直径相一致，所述第二通孔套接在横向滚珠丝杠上，位于第二限位块的中间；

所述纵向滚珠丝杠的一端设有纵向滚珠丝杠手轮，另一端穿过长方形滑槽，并使纵向滚珠丝杠嵌入所述纵向滚珠丝杠滑槽内，所述纵向滚珠丝杠可相对纵向滚珠丝杠滑槽自由转动。

8.据权利要求5所述的微图文转印用真空层压装置，其特征在于，所述第一定位组件，整体呈“L”型设计，包括第一磁力片、第一磁力座和第一定位底座；在所述第一定位底座上设有若干第二定位销孔，所述第二定位销孔与所述第一定位销孔相对应，所述第一定位底座通过固定销与所述第一定位销孔、第二固定销孔固定在所述滑轨上；所述第一磁力座包括第一磁力基座，在所述第一磁力基座上，间隔相同距离设有若干第一强磁铁，且相邻第一强磁铁的磁极交替设置；所述第一磁力片，与所述第一磁力座为相对应设计，所述第一磁力片设置在所述第一磁力座的正上方，包括第一磁力片基座，在所述第一磁力片基座上，与所述第一磁力座的第一强磁铁相对应的位置，设有若干第一强磁铁片，所述第一强磁铁片的磁极和与之相对应的第一强磁铁的磁极相一致，所述第一强磁铁片的厚度为2-5mm；

所述第二定位组件，整体呈“7”型设计，包括第二磁力片、第二磁力座和第二定位底座；在所述第二定位底座上设有第三通孔，所述第三通孔的孔径与所述纵向滚珠丝杠的外直径相一致；所述第二磁力座包括第二磁力基座，在所述第二磁力基座上，间隔相同距离设有若干第二强磁铁，且相邻第二强磁铁的磁极交替设置；所述第二磁力片，与所述第二磁力座为相对应设计，所述第二磁力片设置在所述第二磁力座的正上方，包括第二磁力片基座，在所述第二磁力片基座上，与所述第二磁力座的第二强磁铁相对应的位置，设有若干第二强磁铁片，所述第二强磁铁片的磁极和与之相对应的第二强磁铁的磁极相一致，所述第二强磁铁片的厚度与所述第一强磁铁片的厚度相同。

9.据权利要求8所述的微图文转印用真空层压装置，其特征在于，所述第一强磁铁、第一强磁铁片、第二强磁铁、第二强磁铁片均为汝铁硼材质，且所述第一强磁铁与所述第二强磁铁的厚度相同，均为1-3cm。

10.据权利要求8所述的微图文转印用真空层压装置，其特征在于，在所述第一磁力片基座和第二磁力片基座的里侧，沿其边缘分别设有第一斜面和第二斜面，所述第一斜面和第二斜面的边缘厚度为0.5mm；

在所述第一斜面和第二斜面的拐角处分别设有第一预留角和第二预留角，所述第一预留角和第二预留角均为半圆角。

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