CN210293124U - 一种高性能膜加工机的测厚装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高性能膜加工机的测厚装置，包括上激光位移传感器和下激光位移传感器，所述上激光位移传感器和下激光位移传感器分别设置在薄膜本体的上下两侧，所述上激光位移传感器固定在连杆的一端，所述连杆的另一端固定在移动板的一侧，所述移动板的另一侧滑动设置在导轨一上，且所述移动板与丝杆套固定连接，所述丝杆套套设在丝杆上，所述丝杆的一端与轴承座转动连接，所述丝杆的另一端通过联轴器与电机一的输出轴固定连接。本实用新型通过设置移动板、导轨一、丝杆套、丝杆、电动滑块、导轨二、可调支腿、显示屏和转盘，解决了现有的薄膜测厚装置可视化较差，且调节不方便的问题。

Description

一种高性能膜加工机的测厚装置

技术领域

本实用新型涉及薄膜生产设备技术领域，具体是一种高性能膜加工机的测厚装置。

背景技术

当今微电子薄膜、光学薄膜、抗氧化薄膜、巨磁电阻薄膜、高温超导薄膜等在工业生产和人类生活中的不断应用，在工业生产的薄膜，其厚度是一个非常重要的参数，直接关系到该薄膜材料能否正常工作，如大规模集成电路的生产工艺中的各种薄膜，由于电路集成程度的不断提高，薄膜厚度的任何微小变化，对集成电路的性能都会产生直接的影响，除此之外，薄膜材料的力学性能、透光性能、磁性能、热导率、表面结构等都与厚度有着密切的联系，随着科技的进步和精密仪器的应用，薄膜厚度的测量方法有很多，按照测量的方式分可以分为两类：直接测量和间接测，现有的薄膜测厚装置可视化较差，且调节不方便，故本实用新型设计一种高性能膜加工机的测厚装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高性能膜加工机的测厚装置，以解决了现有的薄膜测厚装置可视化较差，且调节不方便的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高性能膜加工机的测厚装置，包括上激光位移传感器和下激光位移传感器，所述上激光位移传感器和下激光位移传感器分别设置在薄膜本体的上下两侧，所述上激光位移传感器固定在连杆的一端，所述连杆的另一端固定在移动板的一侧，所述移动板的另一侧滑动设置在导轨一上，且所述移动板与丝杆套固定连接，所述丝杆套套设在丝杆上，所述丝杆的一端与轴承座转动连接，所述丝杆的另一端通过联轴器与电机一的输出轴固定连接，所述轴承座和电机一均固定在激光测厚仪本体的背面凹槽内，所述激光测厚仪本体固定在底座上，所述底座固定在电动滑块的顶部，所述电动滑块滑动设置在导轨二上，所述导轨二固定在台板的顶面上，所述台板的底部设置有可调支腿。

优选的，所述上激光位移传感器的后方设置有L型架体，所述L型架体的一端设置有标签，所述L型架体的另一端固定套设在电机二的输出轴上，所述电机二固定在机架上，所述L型架体的上方设置有标签卷膜，所述标签卷膜设置在放卷辊和收卷辊之间，所述标签卷膜的上方设置有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆通过支架固定在机架上。

优选的，所述下激光位移传感器固定在另一连杆的一端，另一所述连杆的另一端固定在另一移动板的一侧，另一所述移动板与另一丝杆套固定连接，所述丝杆设置为双向丝杆，两个所述丝杆套分别设置在丝杆的不同旋向上。

优选的，所述激光测厚仪本体的顶部固定有环形导轨，所述环形导轨上设置有转盘，所述转盘的顶部固定有显示屏。

优选的，所述可调支腿设置有四个，四个所述可调支腿呈矩形状均匀设置在台板的底部。

优选的，所述L型架体处的薄膜本体的下方设置有支撑辊。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）本实用新型通过设置导轨一、丝杆套、丝杆、轴承座和电机一，使得上激光位移传感器和下激光位移传感器之间的距离可自由调节，调节时，电机一带动丝杆旋转，丝杆带动两个丝杆套相向或相反运动，丝杆套进而带动移动板沿着导轨一移动，故上激光位移传感器和下激光位移传感器之间的距离可调。

（2）本实用新型通过设置底座、电动滑块、导轨二和可调支腿，使得上激光位移传感器和下激光位移传感器的位置可调，控制电动滑块在导轨二上移动，进而带动底座、激光测厚仪本体和连杆移动，从而使得上激光位移传感器和下激光位移传感器可水平移动，通过调节可调支腿，可手动调节上激光位移传感器和下激光位移传感器的整体高度。

（3）本实用新型通过设置显示屏、转盘和环形导轨，可通过显示屏实时监测厚度数据，可视性好，且显示屏可自由转动，观看更加方便。

附图说明

图1为本实用新型俯视图；

图2为本实用新型测厚结构剖视图；

图3为本实用新型激光测厚仪本体背面结构图；

图4为本实用新型贴标签结构剖视图。

图中附图标记为：1、上激光位移传感器；2、下激光位移传感器；3、连杆；4、移动板；5、导轨一；6、丝杆套；7、丝杆；8、轴承座；9、电机一；10、激光测厚仪本体；11、底座；12、电动滑块；13、导轨二；14、台板；15、可调支腿；16、显示屏；17、转盘；18、环形导轨；19、L型架体；20、标签；21、电机二；22、机架；23、标签卷膜；24、电动伸缩杆；25、支架；26、放卷辊；27、收卷辊；28、薄膜本体；29、支撑辊。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种高性能膜加工机的测厚装置，包括上激光位移传感器1和下激光位移传感器2，上激光位移传感器1和下激光位移传感器2分别设置在薄膜本体28的上下两侧，上激光位移传感器1固定在连杆3的一端，连杆3的另一端固定在移动板4的一侧，移动板4的另一侧滑动设置在导轨一5上，且移动板4与丝杆套6固定连接，丝杆套6套设在丝杆7上，下激光位移传感器2固定在另一连杆3的一端，另一连杆3的另一端固定在另一移动板4的一侧，另一移动板4与另一丝杆套6固定连接，丝杆7设置为双向丝杆，两个丝杆套6分别设置在丝杆7的不同旋向上，丝杆7的一端与轴承座8转动连接，丝杆7的另一端通过联轴器与电机一9的输出轴固定连接，轴承座8和电机一9均固定在激光测厚仪本体10的背面凹槽内，激光测厚仪本体10的型号设置为LPBH-10.1，激光测厚仪本体10的顶部固定有环形导轨18，环形导轨18上设置有转盘17，转盘17的顶部固定有显示屏16，通过设置显示屏16、转盘17和环形导轨18，可通过显示屏16实时监测厚度数据，可视性好，且显示屏16可自由转动，观看更加方便，激光测厚仪本体10固定在底座11上，底座11固定在电动滑块12的顶部，电动滑块12滑动设置在导轨二13上，导轨二13固定在台板14的顶面上，电动滑块12设置为得利亚HDH20CA滑块，台板14的底部设置有可调支腿15，可调支腿15设置有四个，四个可调支腿15呈矩形状均匀设置在台板14的底部，通过调节可调支腿15，可手动调节整个测厚装置的整体高度，上激光位移传感器1的后方设置有L型架体19，L型架体19的一端设置有标签20，L型架体19的另一端固定套设在电机二21的输出轴上，电机二21固定在机架22上，L型架体19的上方设置有标签卷膜23，标签卷膜23设置在放卷辊26和收卷辊27之间，标签卷膜23的上方设置有电动伸缩杆24，电动伸缩杆24通过支架25固定在机架22上，L型架体19处的薄膜本体28的下方设置有支撑辊29。

本实用新型的工作原理是：使用时，通过上激光位移传感器1、下激光位移传感器2和激光测厚仪本体10对薄膜本体28进行检测，来判断薄膜本体28是否有质量问题，若存在质量问题，则通过贴标结构贴上标签，贴标结构的工作过程为：通过电动伸缩杆24将标签卷膜23上的标签20压在L型架体19上，随后通过控制电机二21带动L型架体19旋转180度将标签20贴在薄膜上，通过设置导轨一5、丝杆套6、丝杆7、轴承座8和电机一9，使得上激光位移传感器1和下激光位移传感器2之间的距离可自由调节，调节时，电机一9带动丝杆7旋转，丝杆7带动两个丝杆套6相向或相反运动，丝杆套6进而带动移动板4沿着导轨一5移动，故上激光位移传感器1和下激光位移传感器2之间的距离可调，通过设置底座11、电动滑块12、导轨二13和可调支腿15，使得上激光位移传感器1和下激光位移传感器2的位置可调，控制电动滑块12在导轨二13上移动，进而带动底座11、激光测厚仪本体10和连杆3移动，从而使得上激光位移传感器1和下激光位移传感器2可水平移动，通过调节可调支腿15，可手动调节上激光位移传感器1和下激光位移传感器2的整体高度，通过设置显示屏16、转盘17和环形导轨18，可通过显示屏16实时监测厚度数据，可视性好，且显示屏16可自由转动，观看更加方便。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种高性能膜加工机的测厚装置，包括上激光位移传感器(1)和下激光位移传感器(2)，其特征在于：所述上激光位移传感器(1)和下激光位移传感器(2)分别设置在薄膜本体(28)的上下两侧，所述上激光位移传感器(1)固定在连杆(3)的一端，所述连杆(3)的另一端固定在移动板(4)的一侧，所述移动板(4)的另一侧滑动设置在导轨一(5)上，且所述移动板(4)与丝杆套(6)固定连接，所述丝杆套(6)套设在丝杆(7)上，所述丝杆(7)的一端与轴承座(8)转动连接，所述丝杆(7)的另一端通过联轴器与电机一(9)的输出轴固定连接，所述轴承座(8)和电机一(9)均固定在激光测厚仪本体(10)的背面凹槽内，所述激光测厚仪本体(10)固定在底座(11)上，所述底座(11)固定在电动滑块(12)的顶部，所述电动滑块(12)滑动设置在导轨二(13)上，所述导轨二(13)固定在台板(14)的顶面上，所述台板(14)的底部设置有可调支腿(15)。

2.根据权利要求1所述的一种高性能膜加工机的测厚装置，其特征在于，所述上激光位移传感器(1)的后方设置有L型架体(19)，所述L型架体(19)的一端设置有标签(20)，所述L型架体(19)的另一端固定套设在电机二(21)的输出轴上，所述电机二(21)固定在机架(22)上，所述L型架体(19)的上方设置有标签卷膜(23)，所述标签卷膜(23)设置在放卷辊(26)和收卷辊(27)之间，所述标签卷膜(23)的上方设置有电动伸缩杆(24)，所述电动伸缩杆(24)通过支架(25)固定在机架(22)上。

3.根据权利要求1所述的一种高性能膜加工机的测厚装置，其特征在于，所述下激光位移传感器(2)固定在另一连杆(3)的一端，另一所述连杆(3)的另一端固定在另一移动板(4)的一侧，另一所述移动板(4)与另一丝杆套(6)固定连接，所述丝杆(7)设置为双向丝杆，两个所述丝杆套(6) 分别设置在丝杆(7)的不同旋向上。

4.根据权利要求1所述的一种高性能膜加工机的测厚装置，其特征在于，所述激光测厚仪本体(10)的顶部固定有环形导轨(18)，所述环形导轨(18)上设置有转盘(17)，所述转盘(17)的顶部固定有显示屏(16)。

5.根据权利要求1所述的一种高性能膜加工机的测厚装置，其特征在于，所述可调支腿(15)设置有四个，四个所述可调支腿(15)呈矩形状均匀设置在台板(14)的底部。

6.根据权利要求2所述的一种高性能膜加工机的测厚装置，其特征在于，所述L型架体(19)处的薄膜本体(28)的下方设置有支撑辊(29)。

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