CN210287503U - 一种磁控溅射银镜 - Google Patents

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林孝山
张洁林
邓小清
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Abstract

本实用新型公开了一种磁控溅射银镜,包括玻璃基板,还包括依次叠加设置在所述玻璃基板一表面的附着力层、镜面颜色调试层、第一金属反射层、第二金属反射层、保护层、底漆层和面漆层。本实用新型和现有技术相比,除底漆层与面漆层外,其他所有镀层均采用磁控溅射镀膜,避免了硝酸银化学法制镜造成的重金属污染,而且工艺简单、稳定、膜层均匀性良好。使用化学活性低的金属铬替代部分金属银,既节约了成本,同时对银层有一定的保护作用。增加附着力层和保护层,使整个膜层更牢固。增加镜面颜色调试层,既可提升镜面反射又可做成色镜。本实用新型在保证银镜的反射率大于90%的前提下,银的使用量从65.3nm降低到了27nm;色镜用Ag量小于27nm,反射率均高于80%。

Description

一种磁控溅射银镜
技术领域
本实用新型涉及一种磁控溅射银镜。
背景技术
银镜反射率高、使用寿命长,因此在日常生活中被广泛应用。银镜主要的生产工艺一般为硝酸银化学还原法,采用的主要原料一般为硝酸银与铜,银与铜都是重金属元素,生产过程及报废时都对环境造成影响,而且生产过程中所产生的工业废水也是极难处理。
此外,银为贵重金属,现有技术中,银镜的厚度需要65nm厚,而每10nm厚的银层,每平方的成本约1元,而制镜生产线每小时一般能够生产300-1000平方米。因此,银的成本比较高。
实用新型内容
本实用新型提供了一种磁控溅射银镜,其克服了背景技术中银镜所存在的不足。
本实用新型解决其技术问题的所采用的技术方案是:
一种磁控溅射银镜,包括玻璃基板,所述的玻璃基板上依次设有附着力层、镜面颜色调试层、第一金属反射层、第二金属反射层、保护层、以及漆层:
所述的玻璃基板的厚度为3-12mm;
所述附着力层是选自Si3N4层、SiOx层、SiOxNx层、TiO2层、ZrO2层、ZnSnO3层中的一种,x的取值范围为0-2,厚度25~60nm;
所述镜面颜色调试层选自Si3N4层、SiOx层、SiOxNx层、TiO2层、ZrO2层、ZnSnO3层中的一种,x的取值范围为0-2,厚度为50~140nm;
所述第一金属反射层为Ag层,厚度为15~30nm;
所述第二金属反射层为Cr层,厚度为39nm~49nm;
所述保护层选自Si3N4层、SiOx层、SiOxNx层、TiO2层、ZrO2层、ZnSnO3层中的一种,,x的取值范围为0-2,厚度为10~20nm;
所述漆层的厚度为不小于50μm。优选地,可以为50-60μm。
优选地,所述漆层包括底漆层和面漆层,底漆层厚度27-30μm,面漆层厚度22-24μm,漆层总厚度50-54μm。
在本实用新型的一较佳实施例中,所述的一种磁控溅射银镜,包括玻璃基板,所述的玻璃基板上依次设有附着力层、镜面颜色调试层、第一金属反射层、第二金属反射层、保护层、以及漆层:
所述的玻璃基板的厚度为4mm;
所述附着力层是TiO2层,厚度53.9nm;
所述镜面颜色调试层为SiO2层,厚度为71.6nm;
所述第一金属反射层为Ag层,厚度为27nm;
所述第二金属反射层为Cr层,厚度为40.6nm;
所述保护层为Si3N4层,厚度为10nm;
所述漆层厚度为54μm。
在本实用新型的另一实施例中,一种磁控溅射银镜,包括玻璃基板,所述的玻璃基板上依次设有附着力层、镜面颜色调试层、第一金属反射层、第二金属反射层、保护层、以及漆层,其中:
所述的玻璃基板的厚度为4mm;
所述附着力层是TiO2层,厚度54.0nm;
所述镜面颜色调试层为SiO2层,厚度为130.2nm;
所述第一金属反射层为Ag层,厚度为25.4nm;
所述第二金属反射层为Cr层,厚度为42.1nm;
所述保护层为Si3N4层,厚度为10nm;
所述漆层厚度为52μm。
在本实用新型的再一实施例中,一种磁控溅射银镜,包括玻璃基板,所述的玻璃基板上依次设有附着力层、镜面颜色调试层、第一金属反射层、第二金属反射层、保护层、以及漆层,其中,
所述的玻璃基板的厚度为4mm;
所述附着力层是TiO2层,厚度28.9nm;
所述镜面颜色调试层为SiO2层,厚度为54.3nm;
所述第一金属反射层为Ag层,厚度为16.9nm;
所述第二金属反射层为Cr层,厚度为48.1nm;
所述保护层为Si3N4层,厚度为10nm;
所述漆层厚度为51μm。
本技术方案与背景技术相比,它具有如下优点:
本实用新型和现有技术相比,除底漆层与面漆层外,其他所有镀层均采用磁控溅射镀膜技术,避免了硝酸银化学法制镜造成的重金属污染,而且工艺简单、稳定、膜层均匀性良好。使用化学活性低的金属铬替代部分金属银,既节约了成本,同时对银层有一定的保护作用。增加附着力层和保护层,使整个膜层更牢固。增加镜面颜色调试层,既可提升镜面反射又可做成色镜。本实用新型在保证银镜的反射率大于90%的前提下,银的使用量从厚度65.3nm降低到了27nm以下,每平方可节省约4元,制镜线一个小时可节省约1200-4000元;色镜用Ag厚度小于等于27nm,反射率均高于80%。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
图1为本实用新型的磁控溅射银镜的结构示意图。
图中:
1-玻璃基板 2-附着力层 3-镜面颜色调试层 4-第一金属反射层 5-第二金属反射层 6-保护层 7-底漆层 8-面漆层
具体实施方式
请查阅图1,一种磁控溅射银镜,它包括一种磁控溅射银镜,包括玻璃基板1,所述的玻璃基板上依次设有附着力层2、镜面颜色调试层3、第一金属反射层4、第二金属反射层5、保护层6、以及漆层,所述的漆层包括底漆层7和面漆层8。
所述的玻璃基板的厚度为3-12mm。作为优选,所述玻璃基板为制镜级浮法玻璃。
所述附着力层2作用为增加膜层与玻璃附着力,选自Si3N4层、SiOx层、SiOxNx层、TiO2层、ZrO2层、ZnSnO3层中的一种,x的取值范围为0-2,厚度25~60nm,采用磁控溅射方式镀制而成;
所述镜面颜色调试层3作用为改变镜面颜色和反射,同时连接附着力层和第一反射层,增强膜层附着力,选自Si3N4层、SiOx层、SiOxNx层、TiO2层、ZrO2层、ZnSnO3层中的一种,x的取值范围为0-2,厚度为50~140nm;采用磁控溅射方式镀制而成;
所述第一金属反射层4作用为功能层,起反射光线的作用,为Ag层,厚度为15~30nm;,采用磁控溅射方式镀制而成;
所述第二金属反射层5作用为功能层,起反射光线的作用,为Cr层,厚度为39nm~49nm;,采用磁控溅射方式镀制而成;
所述保护层6作用为保护膜层,减少Ag层腐蚀,选自Si3N4层、SiOx层、SiOxNx层、TiO2层、ZrO2层、ZnSnO3层中的一种,x的取值范围为0-2,厚度为10~20nm;采用磁控溅射方式镀制而成
所述的底漆层作用为保护功能层Ag层防止氧化和腐蚀,厚度27-30μm;采用幕帘式淋漆设备淋漆而成;
所述面漆层作用为保护功能层Ag层防止氧化和腐蚀,厚度22-24μm;采用幕帘式淋漆设备淋漆而成。
漆层总厚度不小于50μm。
实施例1
在本实用新型的第一实施例中,如图1所示,磁控溅射银镜包括玻璃基板1(厚度为4mm的制镜级浮法原片),所述玻璃基板1的上表面由下而上依次设有附着力层(TiO2层)2、镜面颜色调试层(SiO2层)3、第一金属反射层(Ag层)4、第二金属反射层(Cr层)5、保护层(Si3N4层)6、底漆层7以及面漆层8。
磁控溅射银镜的制备方法包括如下步骤:
使用20%的氧化铈悬浊液,将玻璃基板通过洗片机,使用去离子水进行深度清洗,然后风干;
玻璃基板进入磁控溅射的镀膜区域,在玻璃基板上镀制镜面反射膜层:
磁控溅射TiO2层,用交流中频电源、氧气作反应气体溅射陶瓷氧化钛靶材,氩氧比为520sccm:25sccm,膜层厚度为53.9nm。
磁控溅射SiO2层,用交流中频电源、氧气作反应气体溅射硅铝靶材(质量比为92:8),氩氧比为520sccm:230sccm,膜层厚度为71.6nm。
磁控溅射Ag层,直流电源溅射,用氩气作工艺气体,气体流量为500sccm,膜层厚度为27nm。
磁控溅射Cr层,直流电源溅射,用氩气作工艺气体,气体流量为500sccm,膜层厚度为40.6nm。
磁控溅射Si3N4层,用交流中频电源、氮气作反应气体溅射硅铝靶材(质量比为92:8),氩氮比为420sccm):400sccm,膜层厚度为10nm。
保护层镀制完成后,玻璃离开磁控溅射区域,传输至淋漆段,淋漆段采用幕帘式淋漆设备;
玻璃镜面反射镀层上淋底漆层后烘干,烘干时间大于3分钟,烘干温度为95℃,底漆层厚度30um;
底漆烘干到一定硬度后,再在上面淋面漆层后烘干,烘干时间大于3分钟,烘干温度大于130℃,面漆层厚度为24um。
面漆烘干后稍冷却即可进入清洗机进行清洗和辅助冷却;
完成后进行测试:醋酸铜试验、三氯化铁试验、百格试验、盐水试验、磨边试验,各项测试合格;
采用本实施例制造的磁控溅射银镜,银层厚度从65.3nm减少至27nm,反射率与普通银镜相当,通过颜色测色仪对其LAB值测量:
镜面颜色:L=96.3,a=-2.9,b=2.2;对可见光反射率R=90.7%;
实施例2
本实施例同实施例1基本相同,所不同的是,各镀层厚度有所不同。
在本实施例中,玻璃基板1厚度为4mm;
有附着力层(TiO2层)2厚度为54.0nm;
镜面颜色调试层(SiO2层)3厚度为130.2nm;
第一金属反射层(Ag层)4厚度为25.4nm;
第二金属反射层(Cr层)5厚度为42.1nm;
保护层(Si3N4层)6厚度为10nm;
底漆层7厚度为30μm;
面漆层8厚度为22μm。
完成后进行测试:醋酸铜试验、三氯化铁试验、百格试验、盐水试验、磨边试验,各项测试合格;
采用本实施例制造的磁控溅射银镜为浅金色色镜,银层厚度从65.3nm减少至25.4nm,反射率远大于普通色镜,通过颜色测色仪对其LAB值测量:
镜面颜色:L=91.9,a=1.4,b=15.4;对可见光反射率R=80.2%;
实施例3
本实施例同实施例1基本相同,所不同的是,各镀层厚度有所不同。
在本实施例中,玻璃基板1厚度为4mm;
有附着力层(TiO2层)2厚度为28.9nm;
镜面颜色调试层(SiO2层)3厚度为54.3nm;
第一金属反射层(Ag层)4厚度为16.9nm;
第二金属反射层(Cr层)5厚度为48.1nm;
保护层(Si3N4层)6厚度为10nm;
底漆层7厚度为27μm;
面漆层8厚度为24μm。
完成后进行测试:醋酸铜试验、三氯化铁试验、百格试验、盐水试验、磨边试验,各项测试合格;
采用本实施方案制造的磁控溅射银镜为浅灰色色镜,银层厚度从65.3nm减少至16.9nm,反射率远大于普通色镜,通过颜色测色仪对其LAB值测量:
镜面颜色:L=91.8,a=-3.1,b=-3.3;对可见光反射率R=80.1%;
Figure BDA0002134944290000081
〔详细实验〕
1.抗中性盐雾性能:(JC/T 871-2000银镜国标)
按照GB/T 1771进行测定。将100mm×100mm样品三块置于盐雾试验箱中,与水平成65度~80度夹角,漆面朝上,每24h反转180度,连续测试240h,取出检验。
在抗中性盐雾试验后样品的反射层允许4个直径d≤0.3mm的变点和2个直径d≤2.5mm的保护涂层变点,边缘涂层损失最大向里延伸不大于3.5mm。
2.光学性能:(JC/T 871-2000银镜国标)
银镜的可见光反射率应不小于85%。
对于有色银镜其可见光反射率应不小于75%。
根据以上实施例,本实用新型具有如下优点
1.将原硝酸银化学法制作功能层改为磁控溅射银层,整个膜层结构全部采用磁控溅射,无污水排放和重金属污染,工艺简单、稳定、易控制;
2.在银层前增加附着力层,增加了膜层附着力,使膜层更牢固;增加镜面调试层,可以得到高反射的色镜,且所增加的附着力层和镜面调试层材料为非金属材料,不仅无吸收,而且还能增加反射,使银镜反射更高;
3.在保证镜面反射和镜面颜色的前提下,使用铬层替代部分银层,银层厚度由65.3nm降低为27nm甚至更低,成本得到极大控制,且银层后镀制的铬层为不活跃金属,可以保护银层降低腐蚀;
以上所述,仅为本实用新型较佳实施例而已,故不能依此限定本实用新型实施的范围,即依本实用新型专利范围及说明书内容所作的等效变化与修饰,皆应仍属本实用新型涵盖的范围内。

Claims (6)

1.一种磁控溅射银镜,包括玻璃基板,其特征在于:所述的玻璃基板上依次设有附着力层、镜面颜色调试层、第一金属反射层、第二金属反射层、保护层、以及漆层:
所述的玻璃基板的厚度为3-12mm;
所述附着力层是选自Si3N4层、SiOx层、SiOxNx层、TiO2层、ZrO2层、ZnSnO3层中的一种,x的取值范围为0-2,厚度25~60nm;
所述镜面颜色调试层选自Si3N4层、SiOx层、SiOxNx层、TiO2层、ZrO2层、ZnSnO3层中的一种,x的取值范围为0-2,厚度为50~140nm;
所述第一金属反射层为Ag层,厚度为15~30nm;
所述第二金属反射层为Cr层,厚度为39~49nm;
所述保护层选自Si3N4层、SiOx层、SiOxNx层、TiO2层、ZrO2层、ZnSnO3层中的一种,x的取值范围为0-2,厚度为10~20nm;
所述漆层的厚度为不小于50μm。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射银镜,其特征在于:所述漆层的厚度为50-60μm。
3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射银镜,其特征在于:所述漆层包括底漆层和面漆层,底漆层厚度27-30μm,面漆层厚度22-24μm,总厚度50-54μm。
4.一种磁控溅射银镜,其特征在于:包括玻璃基板,所述的玻璃基板上依次设有附着力层、镜面颜色调试层、第一金属反射层、第二金属反射层、保护层、以及漆层,其中:
所述的玻璃基板的厚度为4mm;
所述附着力层是TiO2层,厚度53.9nm;
所述镜面颜色调试层为SiO2层,厚度为71.6nm;
所述第一金属反射层为Ag层,厚度为27nm;
所述第二金属反射层为Cr层,厚度为40.6nm;
所述保护层为Si3N4层,厚度为10nm;
所述漆层厚度为54μm。
5.一种磁控溅射银镜,其特征在于:包括玻璃基板,其特征在于:所述的玻璃基板上依次设有附着力层、镜面颜色调试层、第一金属反射层、第二金属反射层、保护层、以及漆层,其中:
所述的玻璃基板的厚度为4mm;
所述附着力层是TiO2层,厚度54.0nm;
所述镜面颜色调试层为SiO2层,厚度为130.2nm;
所述第一金属反射层为Ag层,厚度为25.4nm;
所述第二金属反射层为Cr层,厚度为42.1nm;
所述保护层为Si3N4层,厚度为10nm;
所述漆层厚度为52μm。
6.一种磁控溅射银镜,其特征在于:包括玻璃基板,所述的玻璃基板的厚度为4mm,其特征在于:所述的玻璃基板上依次设有附着力层、镜面颜色调试层、第一金属反射层、第二金属反射层、保护层、以及漆层,其中:
所述的玻璃基板的厚度为4mm;
所述附着力层是TiO2层,厚度28.9nm;
所述镜面颜色调试层为SiO2层,厚度为54.3nm;
所述第一金属反射层为Ag层,厚度为16.9nm;
所述第二金属反射层为Cr层,厚度为48.1nm;
所述保护层为Si3N4层,厚度为10nm;
所述漆层厚度为51μm。
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