CN210281897U - 一种大尺寸单晶倒角装夹机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种大尺寸单晶倒角装夹机构，包括基座、第一装夹机构、第二装夹机构和第三装夹机构，基座包括一体成型的底块、楔形装夹块和安装墙，楔形装夹块和安装墙间隔设置于底块的表面，底块的表面的楔形装夹块和安装墙之间设有一坡面，楔形装夹块的斜面设有矩形沟槽，该矩形沟槽从斜面的顶部延伸到斜面的底部，使得矩形沟槽具有底壁和两个相对的第一侧壁和第二侧壁，其中底壁与坡面垂直相接，使得底壁成为第一装夹面，第一装夹面和第二装夹机构设有的第二装夹面均与水平方向成45度角设置。本实用新型的大尺寸单晶倒角装夹机构，通过将第一装夹面和第二装夹面设置为大面积挡板，减少在加工过程中的崩边现象，大大提高零件的加工效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体晶体加工切削工艺设备领域，特别涉及一种大尺寸单晶倒角装夹机构。
背景技术
随着技术的发展锗的发展应用于多个技术领域，大尺寸的锗单晶在光学、航空、半导体等多个领域应用。随着应用领域的不断发展，大尺寸锗透镜窗口片被广泛应用于多个领域。但在实际加工中窗口片外形需要进行特别地加工处理，其硬脆性特点以及透镜产品对其表面质量提出了更高的要求。其中存在一定加工难度的是对外形棱边进行45度斜角加工处理，需要一定的装夹方式对其进行处理。
锗材料属于典型硬脆型材料，在加工中需要格外注意其产生的崩边断裂现象。目前锗窗口片对外形要求较高，尤其是在单边进行45度角度斜边磨削的加工要求。对光学及半导体材料依据其硬脆性，极容易产生崩边现象，导致材料不能继续加工，无法稳定保证加工零件的质量，目前设备的加工方式比较单一，一般使用线切割加人工控制磨削或加工中心较为复杂的装夹方式加工出带特殊角度要求的产品，加工生产过程较为繁琐，故需要一种工装方式能够使用磨削机、加工中心等设备进行加工处理并保证零件的表面质量和精度。
实用新型内容
本实用新型的目的是为解决以上问题，本实用新型提供一种大尺寸单晶倒角装夹机构。
一种大尺寸单晶倒角装夹机构，包括基座、第一装夹机构、第二装夹机构和第三装夹机构；基座包括一体成型的底块、楔形装夹块和安装墙，安装墙垂直设置于底块的一侧，楔形装夹块位于底块的另一侧且斜面与安装墙间隔设置；斜面设有矩形沟槽，矩形沟槽从斜面的顶部延伸到斜面的底部，使得矩形沟槽具有底壁和相对的第一侧壁和第二侧壁，底块的位于安装墙和楔形装夹块之间的部分具有一坡面，坡面与底壁相互垂直相接，形成单晶的容纳位的一个容纳角，底壁成为对单晶的第一装夹面。
第一装夹机构设有第二装夹面，第一装夹机构通过第一限位装置与安装墙连接，第二装夹面与第一装夹面对单晶对向夹持，且两者均与水平方向成45度夹角。
第二装夹机构包括第二装夹挡板和第二限位装置，第二装夹挡板通过第二限位装置安装于第一侧壁，第三装夹机构包括第三装夹挡板和第三限位装置，第三装夹挡板通过第三限位装置安装于第二侧壁。
其中，第一限位装置包括连接板、调节螺栓和两根光杆，两根光杆均贯穿安装墙，且一端与连接板固定连接，另一端与第一装夹机构连接，调节螺栓的一端贯穿连接板的两根光杆的中点位置，另一端贯穿安装墙，并搭配配合螺母对连接板和安装墙的相对距离进行调节。
其中，第一装夹机构设有两个安装孔，两根光杆一一对应伸入两个安装孔中，每个安装孔均配有固定螺栓，固定螺栓的末端伸入安装孔内对光杆进行限位固定。
其中，第一装夹机构为楔形块，楔形块的斜面为第二装夹面。
其中，第二限位装置和第三限位装置均包括安装板和间隔设置于安装板上的三根光杆以及分别位于每相邻两根光杆之间两根调节螺杆，三根光杆的末端均穿过侧壁与对应的装夹挡板可拆卸连接，两根调节螺杆均贯穿侧壁和安装板，并通过与螺母配合对侧壁和安装板之间的相对距离进行调节。
其中，底块的每个侧面均设有与加工中心匹配的装夹槽。
本实用新型具备以下有益效果：
1.本实用新型的装夹机构满足了在切割低位错单晶偏45度的技术要求，提高以往通过多次不准确调整的精度以及工人的操作强度。
2.通过将第一装夹面和第二装夹面设置为大面积挡板，减少在加工过程中的崩边现象，大大提高零件的加工效率。
3.本设计各活动结构较为直观，便于上手实际应用，并且不会因为锗泥的粘连等特性，对结构精度造成影响。
4.实际加工难度较低，加工成本较低，能够较为便捷的应用于实际的加工生产中。
附图说明
通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本实用新型的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：
图1示出了根据本实用新型一种实施方式的一种大尺寸单晶倒角装夹机构的示意图；
图2示出了根据本实用新型一种实施方式的一种大尺寸单晶倒角装夹机构的侧视图。
具体实施方式
下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。
如图1和图2所示，一种大尺寸单晶倒角装夹机构，包括基座1、第一装夹机构2、第二装夹机构3和第三装夹机构4；基座1包括一体成型的底块110、楔形装夹块120和安装墙130(图中虚线仅为结构区分所用，并无实际意义)，安装墙130垂直设置于底块110的一侧，楔形装夹块120位于底块110的另一侧且斜面与安装墙130间隔设置；斜面设有矩形沟槽，矩形沟槽从斜面的顶部延伸到斜面的底部，使得矩形沟槽具有底壁1103和相对的第一侧壁和第二侧壁，底块110的位于安装墙130和楔形装夹块120之间的部分具有一坡面1104，坡面1104与底壁1103相互垂直相接，形成单晶的容纳空间的一个容纳角，底壁1103形成对单晶的第一装夹面。
第一装夹机构2设有第二装夹面，第一装夹机构2通过第一限位装置与安装墙130连接，第二装夹面与所述第一装夹面对单晶对向夹持，且均与水平方向成45度夹角设置；第二装夹机构3包括第二装夹挡板和第二限位装置，第二装夹挡板通过第二限位装置安装于第一侧壁，第三装夹机构4包括第三装夹挡板和第三限位装置，第三装夹挡板通过第三限位装置安装于第二侧壁，第二装夹挡板和第三装夹挡板对单晶从两个方向形成夹持。将第一装夹面和第二装夹面均与水平成45度设置，且坡面1104与第一装夹面垂直设置，使得坡面1104成为放置的单晶的底托，可以将单晶片呈45度的稳定放置，进而保证单晶的上部磨削部分呈45度，较好地满足加工工艺要求。
其中，第一限位装置包括连接板6、调节螺栓7和两根光杆，两根光杆均贯穿安装墙130，且一端与连接板6固定连接，另一端与第一装夹机构2连接，调节螺栓7的一端贯穿连接板6的两根光杆的中点位置，另一端贯穿安装墙130，并搭配配合螺母对连接板6和安装墙130的相对距离进行调节。
第一装夹机构2设有两个安装孔，两根光杆一一对应伸入两个安装孔中，每个安装孔均配有固定螺栓，固定螺栓的末端伸入安装孔内对光杆进行限位固定。在两根光杆施力不均的情况下，通过固定螺栓能够调节连接板6的方向，进而调节两根光杆的方向，使两根光杆的施力均匀。在一个具体的实施例中，第一装夹机构2为楔形块，楔形块的斜面为第二装夹面。
第二限位装置和第三限位装置均包括安装板和间隔设置于安装板上的三根光杆以及分别位于每相邻两根光杆之间两根调节螺杆，三根光杆的末端均穿过侧壁与对应的装夹挡板可拆卸连接，两根调节螺杆均贯穿侧壁和安装板，并通过与螺母配合对侧壁和安装板之间的相对距离进行调节。第二限位装置和第三限位装置的设置可以针对不同尺寸的大尺寸锗窗口片的固定的装夹设计。
底块110的每个侧面均设有与加工中心匹配的装夹槽1110。装夹槽1110可以使装夹机构匹配到加工中心，通过多面开槽、夹紧固定的方式完成加工中心与大尺寸光学、半导体单晶材料的装夹。装夹机构可以使用钢铁材料，其底座尺寸大，能够保证大尺寸窗口零件摆放的稳定性。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (6)
1.一种大尺寸单晶倒角装夹机构，其特征在于，包括基座(1)、第一装夹机构(2)、第二装夹机构(3)和第三装夹机构(4)；
所述基座(1)包括一体成型的底块(110)、楔形装夹块(120)和安装墙(130)，所述安装墙(130)垂直设置于底块(110)的一侧，所述楔形装夹块(120)位于所述底块(110)的另一侧且斜面与所述安装墙(130)间隔设置；所述斜面设有矩形沟槽，所述矩形沟槽从所述斜面的顶部延伸到所述斜面的底部，使得所述矩形沟槽具有底壁(1103)和相对的第一侧壁和第二侧壁，所述底块(110)的位于所述安装墙(130)和所述楔形装夹块(120)之间的部分具有一坡面(1104)，所述坡面(1104)与所述底壁(1103)相互垂直相接，形成单晶的容纳位的一个容纳角，所述底壁(1103)成为对单晶的第一装夹面；
所述第一装夹机构(2)设有第二装夹面，所述第一装夹机构(2)通过第一限位装置与所述安装墙(130)连接，所述第二装夹面与所述第一装夹面对单晶对向夹持，且两者均与水平方向成45度夹角；
所述第二装夹机构(3)包括第二装夹挡板和第二限位装置，所述第二装夹挡板通过所述第二限位装置安装于所述第一侧壁，第三装夹机构(4)包括第三装夹挡板和第三限位装置，第三装夹挡板通过第三限位装置安装于所述第二侧壁。
2.如权利要求1所述的大尺寸单晶倒角装夹机构，其特征在于，
所述第一限位装置包括连接板(6)、调节螺栓(7)和两根光杆，所述两根光杆均贯穿所述安装墙(130)，且一端与所述连接板(6)固定连接，另一端与第一装夹机构(2)连接，所述调节螺栓(7)的一端贯穿所述连接板(6)的所述两根光杆的中点位置，另一端贯穿所述安装墙(130)，并搭配配合螺母对所述连接板(6)和所述安装墙(130)的相对距离进行调节。
3.如权利要求2所述的大尺寸单晶倒角装夹机构，其特征在于，
所述第一装夹机构(2)设有两个安装孔，所述两根光杆一一对应伸入所述两个安装孔中，每个安装孔均配有固定螺栓，所述固定螺栓的末端伸入安装孔内对所述光杆进行限位固定。
4.如权利要求1所述的大尺寸单晶倒角装夹机构，其特征在于，
所述第一装夹机构(2)为楔形块，所述楔形块的斜面为所述第二装夹面。
5.如权利要求1所述的大尺寸单晶倒角装夹机构，其特征在于，
所述第二限位装置和所述第三限位装置均包括安装板和间隔设置于所述安装板上的三根光杆以及分别位于每相邻两根光杆之间两根调节螺杆，所述三根光杆的末端均穿过侧壁与对应的装夹挡板可拆卸连接，所述两根调节螺杆均贯穿侧壁和所述安装板，并通过与螺母配合对所述侧壁和所述安装板之间的相对距离进行调节。
6.如权利要求1所述的大尺寸单晶倒角装夹机构，其特征在于，
所述底块(110)的每个侧面均设有与加工中心匹配的装夹槽(1110)。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201920744001.5U CN210281897U (zh) | 2019-05-22 | 2019-05-22 | 一种大尺寸单晶倒角装夹机构 |
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| CN201920744001.5U Active CN210281897U (zh) | 2019-05-22 | 2019-05-22 | 一种大尺寸单晶倒角装夹机构 |
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| CN (1) | CN210281897U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114346903A (zh) * | 2022-01-19 | 2022-04-15 | 无锡微研股份有限公司 | 一种内翅切断上刀加工治具 |
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2019
- 2019-05-22 CN CN201920744001.5U patent/CN210281897U/zh active Active
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