CN210272301U - 一种降低硅片碎片的上料吸片装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及上料吸片装置技术领域,且公开了一种降低硅片碎片的上料吸片装置,包括支架,所述支架的底部固定安装有底板,所述底板上固定安装有托盘,所述托盘的一侧固定安装有边框,所述边框固定安装在两个传送装置的中部,所述传送装置上活动放置有硅片,所述支架的顶部固定安装有顶板,所述顶板的底部固定安装有机械臂。本实用新型通过将以往的四点吸盘改为整体吸盘,加大吸附力度,改进了以往吸盘的吸力不均衡,避免吸盘因吸附力不均衡造成碎片现象,且对风口进行改进,将以往技术方案中的一孔式吹口改为风刀结构,能够将层叠的硅片吹动时,每片硅片分开,使吸盘只吸到一块硅片,操作效果大大提高。
Description
技术领域
本实用新型涉及上料吸片装置技术领域,具体为一种降低硅片碎片的上料吸片装置。
背景技术
硅片进行线切割,需要通过托盘和上下料装置进行上下料,通常一次性将多片硅片叠放在托盘中,并用在移动支架上设置吸盘和风口进行上下料。
但现有的移动支架上设置的是四个吸口点,吸力不均衡,由于硅片很薄,硅片之间很容易吸附,上料吸盘手从托盘中吸附硅片时很容易一次吸附多片硅片,不仅造成硅片破碎,将硅片吹起的风口结构为一孔式吹口,吹起不均匀,在吸盘吸硅片时,容易吸附到几块,下端硅片在传送过程中掉下,容易造成碎片现象,这种结构的风刀其出风集中吹向硅片的某一部位,在风量较大时,由于风力集中于硅片的某一部位,该部位受力较大,容易破碎,另外,风刀一般位于装有硅片的托盘的角落里,风沿着托盘的对角线吹,使得硅片的受力更加不均衡。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种降低硅片碎片的上料吸片装置,具备吸盘一次只吸到一块硅片,吸盘吸附力大,降低硅片碎片的优点,解决了上述背景技术中提到的问题。
本实用新型提供如下技术方案:一种降低硅片碎片的上料吸片装置,包括支架,所述支架的底部固定安装有底板,所述底板上固定安装有托盘,所述托盘的一侧固定安装有边框,所述边框固定安装在两个传送装置的中部,所述传送装置上活动放置有硅片,所述支架的顶部固定安装有顶板,所述顶板的底部固定安装有机械臂,所述机械臂的底部固定安装有连接杆,所述连接杆的底端固定安装在上支撑板上,所述上支撑板与下支撑板由固定杆固定连接,所述下支撑板和固定杆的中部固定安装有吸盘,所述吸盘的顶部固定安装有抽气口,所述抽气口的一端固定安装有抽气管,所述下支撑板的两侧固定安装有固定螺丝,所述固定螺丝的一端固定安装在连接板上,所述连接板的两端固定安装有吹片头,所述吹片头的一端固定安装有旋紧螺丝,所述旋紧螺丝固定安装有进风口,所述进风口的顶部固定安装有进风管,所述吹片头的另一端设有风口,所述风口的内部固定安装有扇片,所述吹片头的一侧固定安装有旋钮。
精选的,所述吸盘为整体吸盘。
精选的,所述扇片的倾斜角度可调,所述扇片固定安装在风口的内部,所述风口为风刀结构。
精选的,所述下支撑板的数量为三个,且每两个下支撑板间的距离值与两个托盘间的距离值一致。
精选的,所述连接板的数量为两个,所述连接板对称安装在下支撑板的两端中部,所述连接板上均固定安装有两个吹片头,两个所述吹片头对称的安装在连接板的两端。
与现有技术对比,本实用新型具备以下有益效果:
1、本实用新型通过将以往的四点吸盘改为整体吸盘,加大吸附力度,改进了以往吸盘的吸力不均衡,避免吸盘因吸附力不均衡造成碎片现象,且对风口进行改进,将以往技术方案中的一孔式吹口改为风刀结构,能够将层叠的硅片吹动时,每片硅片分开,使吸盘只吸到一块硅片,操作效果大大提高。
2、本实用新型通过在风口的内部增加可调节的扇片,并由旋钮进行外部调控,便于在不同使用情况时对风口的出风角度进行调节,使装置具有更好的适应性。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型吸盘示意图;
图3为本实用新型吹片头示意图。
图中:1、支架;2、底板;3、顶板;4、机械臂;5、连接杆;6、托盘; 7、传送装置;8、边框;9、硅片;10、上支撑板;11、下支撑板;12、固定杆;13、吸盘;14、抽气口;15、抽气管;16、连接板;17、吹片头;18、进风管;19、固定螺丝;20、进风口;21、旋紧螺丝;22、风口;23、扇片;24、旋钮。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3,一种降低硅片碎片的上料吸片装置,包括支架1,支架1 的底部固定安装有底板2,底板2上固定安装有托盘6,托盘6的一侧固定安装有边框8,边框8固定安装在两个传送装置7的中部,传送装置7上活动放置有硅片9,支架1的顶部固定安装有顶板3,顶板3的底部固定安装有机械臂4,机械臂4的底部固定安装有连接杆5,连接杆5的底端固定安装在上支撑板10上,上支撑板10与下支撑板11由固定杆12固定连接,下支撑板11 的数量为三个,且每两个下支撑板11间的距离值与两个托盘6间的距离值一致,将托盘6与下支撑板11的位置对应,便于吸盘13准确的对托盘6内部放置的硅片进行吸附,便于硅片9的上料工序的进行,下支撑板11和固定杆 12的中部固定安装有吸盘13,吸盘13为整体吸盘,整体吸盘,加大吸附力度,改进了9以往吸盘13的吸力不均衡,避免吸盘13因吸附力不均衡造成碎片现象,吸盘13的顶部固定安装有抽气口14,抽气口14的一端固定安装有抽气管15,下支撑板11的两侧固定安装有固定螺丝19,固定螺丝19的一端固定安装在连接板16上,连接板16的数量为两个,连接板16对称安装在下支撑板11的两端中部,连接板16上均固定安装有两个吹片头17,两个吹片头17对称的安装在连接板16的两端,每侧均有两个吹片头17,便于对硅片9进行均匀出风,便于硅片9被均匀分开,便于硅片9转移,连接板16的两端固定安装有吹片头17,吹片头17的一端固定安装有旋紧螺丝21,旋紧螺丝21固定安装有进风口20,进风口20的顶部固定安装有进风管18,吹片头17的另一端设有风口22,风口22的内部固定安装有扇片23,扇片23的倾斜角度可调,扇片23固定安装在风口22的内部,风口22为风刀结构,吹片头17吹口改为风刀结构,能够将层叠的硅片9吹动时,每片硅片9分开,使吸盘13只吸到一块硅片9,操作效果大大提高,17的一侧固定安装有旋钮 24,便于对风口22内部的扇片23进行调节。
工作原理:使用时,将机器启动,机械臂4带动连接杆5在托盘6和传送装置7之间运动,同时,当下支撑板11靠近硅片9位置时,吸盘13进行抽气增压,将硅片9吸起,同时进风管18向吹片头17内部送风,风由风口 22吹出,风口22的风刀结构,能够将层叠的硅片9吹动时,使每片硅片9分开,使吸盘13只吸到一块,随后吸盘13在机械臂4的运动下将硅片9运送到传送装置7上,即可。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。同时在本实用新型的附图中,填充图案只是为了区别图层,不做其他任何限定。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种降低硅片碎片的上料吸片装置,包括支架(1),其特征在于:所述支架(1)的底部固定安装有底板(2),所述底板(2)上固定安装有托盘(6),所述托盘(6)的一侧固定安装有边框(8),所述边框(8)固定安装在两个传送装置(7)的中部,所述传送装置(7)上活动放置有硅片(9),所述支架(1)的顶部固定安装有顶板(3),所述顶板(3)的底部固定安装有机械臂(4),所述机械臂(4)的底部固定安装有连接杆(5),所述连接杆(5)的底端固定安装在上支撑板(10)上,所述上支撑板(10)与下支撑板(11)由固定杆(12)固定连接,所述下支撑板(11)和固定杆(12)的中部固定安装有吸盘(13),所述吸盘(13)的顶部固定安装有抽气口(14),所述抽气口(14)的一端固定安装有抽气管(15),所述下支撑板(11)的两侧固定安装有固定螺丝(19),所述固定螺丝(19)的一端固定安装在连接板(16)上,所述连接板(16)的两端固定安装有吹片头(17),所述吹片头(17)的一端固定安装有旋紧螺丝(21),所述旋紧螺丝(21)固定安装有进风口(20),所述进风口(20)的顶部固定安装有进风管(18),所述吹片头(17)的另一端设有风口(22),所述风口(22)的内部固定安装有扇片(23),所述吹片头(17)的一侧固定安装有旋钮(24)。
2.根据权利要求1所述的一种降低硅片碎片的上料吸片装置,其特征在于:所述吸盘(13)为整体吸盘。
3.根据权利要求1所述的一种降低硅片碎片的上料吸片装置,其特征在于:所述扇片(23)的倾斜角度可调,所述扇片(23)固定安装在风口(22)的内部,所述风口(22)为风刀结构。
4.根据权利要求1所述的一种降低硅片碎片的上料吸片装置,其特征在于:所述下支撑板(11)的数量为三个,且每两个下支撑板(11)间的距离值与两个托盘(6)间的距离值一致。
5.根据权利要求1所述的一种降低硅片碎片的上料吸片装置,其特征在于:所述连接板(16)的数量为两个,所述连接板(16)对称安装在下支撑板(11)的两端中部,所述连接板(16)上均固定安装有两个吹片头(17),两个所述吹片头(17)对称的安装在连接板(16)的两端。
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