CN210085255U - 石英立式舟槽棒加工系统 - Google Patents

Abstract

一种石英立式舟槽棒加工系统，该系统包括：工作平台，石墨靠山、石英支撑架和石英槽棒被放置在工作平台上；多个石英支撑架，被排列放置在工作平台上，用于支撑放置石英槽棒；石墨靠山，在石英槽棒被放置在石英支撑架上之后，石墨靠山用于顶靠石英槽棒的一端；机器人手臂，在机器人手臂的前端设有火焰枪卡爪，火焰枪卡爪用于卡住火焰枪的喷管。

Description

石英立式舟槽棒加工系统

技术领域

本实用新型属于半导体加工技术领域，特别涉及一种石英立式舟槽棒加工系统。

背景技术

随着集成电路制成要求的提高，对扩散工艺所使用的石英立式舟加工工艺要求也随之提高。在加工石英立式舟的槽齿时，需要进行火焰抛光处理。现有加工工艺是由人工用氢氧气火焰对立式舟槽棒，包括槽齿做火焰抛光处理，以达到表面光洁度的要求。这种工艺主要是人工调整火焰后对单独的石英槽棒槽齿内进行表面火焰抛光处理或槽棒整体组立后再对其槽齿内做火焰抛光处理。此工艺在不同人员操作下会存在火焰和操作手法上的差异，而导致直线度、型变量、热应力等技术参数的不稳定而最终影响产品质量。

实用新型内容

本实用新型提供一种石英立式舟槽棒加工系统，目的在于改善现有的石英立式舟槽棒抛光处理方法，提高加工质量。

本实用新型实施例之一，一种石英立式舟槽棒加工系统，该系统包括：

工作平台，石墨靠山、石英支撑架和石英槽棒被放置在工作平台上；

多个石英支撑架，被排列放置在工作平台上，用于支撑放置石英槽棒；

石墨靠山，在石英槽棒被放置在石英支撑架上之后，石墨靠山用于顶靠石英槽棒的一端，

机器人手臂，在机器人手臂的前端设有火焰枪卡爪，火焰枪卡爪用于卡住火焰枪的喷管。

本实用新型针对现有技术，在使用自动机械手臂的前提下，增加了工作转台、石墨靠山、石墨支撑架、氢氧气管道和火焰枪。在石英槽棒放置石墨支撑架上后并与石墨靠山靠紧，在自动机械手臂上的火焰枪点火后并在一定角度的控制范围内前提下，做预定动作，对石英槽棒槽齿内做火焰抛光处理。

附图说明

通过参考附图阅读下文的详细描述，本实用新型示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本实用新型的若干实施方式，其中：图1根据本实用新型实施例之一的石英立式舟槽棒加工系统示意图。

1——工作平台，2——石墨靠山，3——石英槽棒，4——石英支撑架，5——机器人手臂，6——火焰枪卡爪。

具体实施方式

根据一个或者多个实施例，如图1所示，一种石英立式舟槽棒加工系统，该系统包括：工作平台，石墨靠山、石英支撑架和石英槽棒被放置在工作平台上；多个石英支撑架，被排列放置在工作平台上，用于支撑放置石英槽棒；石墨靠山，在石英槽棒被放置在石英支撑架上之后，石墨靠山用于顶靠石英槽棒的一端；机器人手臂，在机器人手臂的前端设有火焰枪卡爪，火焰枪卡爪用于卡住火焰枪的喷管。

石英立式舟槽棒抛光加工方法包括：

选择合适的石英火焰枪，将石英火焰枪和氢氧气管道装在自动机械手臂的卡爪上并调整角度。将槽棒放置在石墨支撑架上，槽棒端面与石墨靠山基准面完全贴合。将石英火焰枪点火后，自动机械手臂在预定的程序下做纵向，横向运动对槽棒槽齿内做火焰抛光处理。

采用本实施例后，对比现有方法，槽棒的加工工艺参数为：

1、以前人工抛光的时间为5小时左右，现在机械手臂抛光时间为2小时左右，效率提高一陪。

2、火焰抛光前需用10％的硝酸浸泡1小时后用大于10兆欧的纯水冲洗干净后，再用5％的HF酸浸泡10min后再用大于10兆欧的纯水冲洗干净。

3、火焰枪直径选用2～3，调至合适后与槽棒形成110°～120°的夹角。

4、机械手臂的移动速度为20mm/s。

值得说明的是，虽然前述内容已经参考若干具体实施方式描述了本实用新型创造的精神和原理，但是应该理解，本实用新型并不限于所公开的具体实施方式，对各方面的划分也不意味着这些方面中的特征不能组合，这种划分仅是为了表述的方便。本实用新型旨在涵盖所附权利要求的精神和范围内所包括的各种修改和等同布置。

Claims (1)

1.一种石英立式舟槽棒加工系统，其特征在于，该系统包括：

工作平台，石墨靠山、石英支撑架和石英槽棒被放置在工作平台上；

多个石英支撑架，被排列放置在工作平台上，用于支撑放置石英槽棒；

石墨靠山，在石英槽棒被放置在石英支撑架上之后，石墨靠山用于顶靠石英槽棒的一端，

机器人手臂，在机器人手臂的前端设有火焰枪卡爪，火焰枪卡爪用于卡住火焰枪的喷管。

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