CN210012598U - 节能型过氧化氢提纯装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型一种节能型过氧化氢提纯装置，一级冷凝器(2)内横向水平设置有多个冷却水箱(2.1)，且冷却水箱(2.1)的进水口和出水口分别穿过一级冷凝器(2)的侧壁后伸置于一级冷凝器(2)的外部，且冷却水箱(2.1)的出水口连通至蒸汽发生器(4)的进液口，该蒸汽发生器(4)的出气口连通至板式蒸发器(1)的介质流道二的进气口，上述板式蒸发器(1)的介质流道二的出水口经循环泵(101)连通至冷却水箱(2.1)的进水口；所述冷却水箱(2.1)上竖向穿接有多个锥形筒(2.2)。本实用新型一种节能型过氧化氢提纯装置，其能够有效的对冷凝液化过程中释放的热量进行余热回收。

Description

节能型过氧化氢提纯装置

技术领域

本实用新型涉及一种提纯装置，尤其是涉及一种用于对过氧化氢进行提纯的装置，其节能环保，具有极高的推广价值，属于化工设备技术领域。

背景技术

目前，高浓度高纯的过氧化氢水溶液是半导体电子行业的重要原料之一，是其微细加工制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一；其主要用作半导体晶体片的清洗剂、腐蚀剂和光刻胶的去除剂，用于半导体电子工业中制取高级绝缘层、去除电镀液中无机杂质，以及铜、铜合金和半导体材料镓、锗及显像管制造工序的处理等，它的纯度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。过氧化氢均采用蒸发冷凝的发生对其提纯，利用其与水液化温度的不同，使得过氧化氢优先液化收集，整个过程耗能较大、冷却水和蒸汽的消耗量也巨大，且常规的装置缺乏对余热的回收利用，不利于节能环保；为此，亟需一种能够克服上述问题的全新提纯装置。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种节能型过氧化氢提纯装置，其能够有效的对冷凝液化过程中释放的热量进行余热回收，从而极大的降低了能耗，同时，实现了冷却水和蒸汽的闭环使用，极大的降低了对水资源的消耗，节水效果明显，具有环保的积极效益。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种节能型过氧化氢提纯装置，所述装置包含有板式蒸发器，所述板式蒸发器的介质流道一的进口经泵与存储有过氧化氢溶液的原料池相连通，该板式蒸发器的介质流道一的出口连通至一级冷凝器的侧壁下方的进气口，所述一级冷凝器的底部为锥形结构，且锥形结构的底部为出液口，该出液口经软管与储液罐相连通，所述一级冷凝器的顶部出气口连通至二级冷凝器；所述一级冷凝器内横向水平设置有多个冷却水箱，且冷却水箱的进水口和出水口分别穿过一级冷凝器的侧壁后伸置于一级冷凝器的外部，且冷却水箱的出水口连通至蒸汽发生器的进液口，该蒸汽发生器的出气口连通至板式蒸发器的介质流道二的进气口，上述板式蒸发器的介质流道二的出水口经循环泵连通至冷却水箱的进水口；所述冷却水箱上竖向穿接有多个锥形筒，且锥形筒的小孔径开口端穿过冷却水箱的底板后朝下设置、大孔径开口端穿过冷却水箱的顶板后朝上设置。

本实用新型一种节能型过氧化氢提纯装置，所述二级冷凝器与真空维持机组相连通。

本实用新型一种节能型过氧化氢提纯装置，所述二级冷凝器的出液口与一蓄水箱相连通，该蓄水箱连通至冷却水箱的进水口。

本实用新型一种节能型过氧化氢提纯装置，所述冷却水箱的进水口集中汇总至一根进水管后与三通阀的出液口相连通，该三通阀的一个进液口与蓄水箱底部的出液口，该三通阀的另一个进液口经循环泵与板式蒸发器的介质流道二的出水口相连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型对一级冷凝器内的冷却水进行循环利用，从而降低了对水的消耗，而且冷却水再次循环加热的过程中余热得到了回收利用，降低了对能耗的消耗；同时，冷凝后的水也可回收再次利用，进一步提高了环保效用；另外，通过真空维持机组，可有效的提高冷凝的效率，提高提纯速度。

附图说明

图1为本实用新型一种节能型过氧化氢提纯装置的结构示意图。

图2为本实用新型一种节能型过氧化氢提纯装置的冷却水箱和锥形筒处的局部放大示意图。

其中：

板式蒸发器1、一级冷凝器2、二级冷凝器3、蒸汽发生器4、真空维持机组5；

冷却水箱2.1、锥形筒2.2；

循环泵101、蓄水箱102、三通阀103。

具体实施方式

参见图1和图2，本实用新型涉及的一种节能型过氧化氢提纯装置，所述装置包含有板式蒸发器1，所述板式蒸发器1的介质流道一的进口经泵与存储有过氧化氢溶液的原料池相连通，该板式蒸发器1的介质流道一的出口连通至一级冷凝器2的侧壁下方的进气口，所述一级冷凝器2的底部为锥形结构，且锥形结构的底部为出液口，该出液口经软管与储液罐相连通(用于收集冷凝液化后的高纯度高浓度过氧化氢)；所述一级冷凝器2内横向水平设置有多个冷却水箱2.1，且冷却水箱2.1的进水口和出水口分别穿过一级冷凝器2的侧壁后伸置于一级冷凝器2的外部，且冷却水箱2.1的出水口连通至蒸汽发生器4的进液口，该蒸汽发生器4的出气口连通至板式蒸发器1的介质流道二的进气口，上述板式蒸发器1的介质流道二的出水口经循环泵101连通至冷却水箱2.1的进水口；所述冷却水箱2.1上竖向穿接有多个锥形筒2.2，且锥形筒2.2的小孔径开口端穿过冷却水箱2.1的底板后朝下设置、大孔径开口端穿过冷却水箱2.1的顶板后朝上设置，从而便于冷凝形成的高纯度过氧化氢不断向下滴落；所述一级冷凝器2的顶部出气口连通至二级冷凝器3，用于对水蒸气进行冷凝；

进一步的，所述二级冷凝器3与真空维持机组5相连通，使得整个系统处于微负压状态，不但提高了作业效率，而且有效的降低了能耗；

进一步的，所述二级冷凝器3的出液口与一蓄水箱102相连通，该蓄水箱102连通至冷却水箱2.1的进水口；优选的，冷却水箱2.1的进水口集中汇总至一根进水管后与三通阀103的出液口相连通，该三通阀103的一个进液口与蓄水箱102底部的出液口，该三通阀103的另一个进液口经循环泵101与板式蒸发器1的介质流道二的出水口相连通，从而实现水资源的闭环利用，降低了水资源的消耗以及对环境的污染。

另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种节能型过氧化氢提纯装置，所述装置包含有板式蒸发器(1)，所述板式蒸发器(1)的介质流道一的进口经泵与存储有过氧化氢溶液的原料池相连通，该板式蒸发器(1)的介质流道一的出口连通至一级冷凝器(2)的侧壁下方的进气口，所述一级冷凝器(2)的底部为锥形结构，且锥形结构的底部为出液口，该出液口经软管与储液罐相连通，所述一级冷凝器(2)的顶部出气口连通至二级冷凝器(3)；其特征在于：

所述一级冷凝器(2)内横向水平设置有多个冷却水箱(2.1)，且冷却水箱(2.1)的进水口和出水口分别穿过一级冷凝器(2)的侧壁后伸置于一级冷凝器(2)的外部，且冷却水箱(2.1)的出水口连通至蒸汽发生器(4)的进液口，该蒸汽发生器(4)的出气口连通至板式蒸发器(1)的介质流道二的进气口，上述板式蒸发器(1)的介质流道二的出水口经循环泵(101)连通至冷却水箱(2.1)的进水口；所述冷却水箱(2.1)上竖向穿接有多个锥形筒(2.2)，且锥形筒(2.2)的小孔径开口端穿过冷却水箱(2.1)的底板后朝下设置、大孔径开口端穿过冷却水箱(2.1)的顶板后朝上设置。

2.如权利要求1所述一种节能型过氧化氢提纯装置，其特征在于：所述二级冷凝器(3)与真空维持机组(5)相连通。

3.如权利要求1所述一种节能型过氧化氢提纯装置，其特征在于：所述二级冷凝器(3)的出液口与一蓄水箱(102)相连通，该蓄水箱(102)连通至冷却水箱(2.1)的进水口。

4.如权利要求3所述一种节能型过氧化氢提纯装置，其特征在于：所述冷却水箱(2.1)的进水口集中汇总至一根进水管后与三通阀(103)的出液口相连通，该三通阀(103)的一个进液口与蓄水箱(102)底部的出液口，该三通阀(103)的另一个进液口经循环泵(101)与板式蒸发器(1)的介质流道二的出水口相连通。

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