CN209974868U - 一种低温真空镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种低温真空镀膜装置，其技术方案要点是：包括镀膜室，所述镀膜室的外部固定有真空泵，所述镀膜室的内部固定有环板，所述环板的下方连接有冷却箱，所述镀膜室的外部固定有第一水泵和第二水泵，所述第一水泵的入水端连接有第一管道，所述第一水泵的出水端连接有第二管道，所述第二管道与所述冷却箱连通，所述第二水泵的入水端连接有第三管道，所述第三管道与所述冷却箱连通，所述第二水泵的出水端连通有第四管道，所述冷却箱的底部均布有若干个第一散热片，所述冷却箱的内环壁上均布有若干个第二散热片，低温真空镀膜装置可以制造低温环境，能够避免真空镀膜过程中镀膜室温度上升过快影响塑料制品的镀膜生产。

Description

一种低温真空镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，特别涉及一种低温真空镀膜装置。

背景技术

真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空沉积腔室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物(称靶材)进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基材)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

常见的真空镀膜的被镀产品一般都是金属制品，而在真空镀膜的过程中镀膜室内的温度都比较高，部分塑料制品等不能耐受高温，容易在高温度的情况下出现变形的情况，不便于实际使用，因此需要对其进行改进。

实用新型内容

针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种低温真空镀膜装置，以解决背景技术中提到的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种低温真空镀膜装置，包括镀膜室，所述镀膜室的外部固定有真空泵，所述镀膜室的内部固定有截面为L形的环板，所述环板的下方通过若干个第一锁紧螺栓连接有冷却箱，所述镀膜室的外部固定有第一水泵和第二水泵，所述第一水泵的高度高于所述第二水泵的高度，所述第一水泵的入水端连接有第一管道，所述第一水泵的出水端连接有第二管道，所述第二管道穿过所述镀膜室与所述冷却箱连通，所述第二水泵的入水端连接有第三管道，所述第三管道与所述冷却箱连通，所述第二水泵的出水端连通有第四管道，所述冷却箱的底部均布有若干个第一散热片，所述冷却箱的内环壁上均布有若干个第二散热片。

通过采用上述技术方案，低温真空镀膜装置可以制造低温环境，能够避免真空镀膜过程中镀膜室温度上升过快影响塑料制品的镀膜生产；当使用装置时，冷却箱可以方便安装固定到镀膜室内部，启动第一水泵时，第一水泵可以将外界的凉水经过第一管道和第二管道进入到冷却箱内，冷却箱上的第一散热片和第二散热片增大了散热面积，能够增大冷却箱对镀膜室内部的散热程度，启动第二水泵，第二水泵通过第三管道和第四管道将携带热量的水流抽出，利用水流的冷却作用能够较好的降低镀膜室内的温度。

较佳的，所述冷却箱上具有与所述冷却箱一体成型的第一支管，所述第一支管与所述冷却箱内部相互连通，所述第二管道端部固定有第一法兰盘，所述第一支管端部固定有第二法兰盘，所述第一法兰盘和所述第二法兰盘之间通过若干个第二锁紧螺栓连接。

通过采用上述技术方案，冷却箱上第一支管的存在，使得冷却箱能够方便与第二管道连接，当需要将第二管道与冷却箱连通时，操作者可以将第一法兰盘和第二法兰盘对接，之后拧紧第二锁紧螺栓即可。

较佳的，所述冷却箱上具有与所述冷却箱一体成型的第二支管，所述第二支管与所述冷却箱内部相互连通，所述第二支管的端部具有凸出的第一轴肩，所述第三管道端部具有与所述第三管道一体成型的第二轴肩，所述第一轴肩和所述第二轴肩的外部共同螺纹连接有螺纹环套。

通过采用上述技术方案，冷却箱上第二支管的存在，使得冷却箱能够方便与第三管道连接，当需要将第三管道与冷却箱连通时，操作者可以将第一轴肩和第二轴肩对接，之后拧紧螺纹环套即可。

较佳的，所述第一法兰盘和所述第二法兰盘在相互靠近的一面共同开设有第一放置槽，所述第一放置槽内设置有密封圈。

通过采用上述技术方案，第一放置槽内的密封圈能够使得第二管道和第一支管的连接起到良好的密封效果。

较佳的，所述第一轴肩和所述第二轴肩在相互靠近的一面共同开设有第二放置槽，所述第二放置槽内设置有O形圈。

通过采用上述技术方案，第二放置槽内的O形圈能够使得第三管道和第二支管的连接起到良好的密封效果。

较佳的，所述镀膜室的内部通过第一弹簧连接有两个抵触板，所述第一弹簧的一端固定在所述镀膜室内部，所述第一弹簧的另一端固定在所述抵触板上。

通过采用上述技术方案，在第一弹簧的弹力作用下，抵触板将会牢靠的将冷却箱的箱壁上，能够将冷却箱牢靠的固定。

较佳的，所述第一锁紧螺栓的端部固定有两片旋转耳。

通过采用上述技术方案，第一锁紧螺栓端部的旋转耳能够方便操作者拧动第一锁紧螺栓。

较佳的，所述环板内开设有滑槽，所述滑槽内沿水平方向滑移连接有弹性插柱，所述弹性插柱与所述滑槽槽底之间连接有第二弹簧，所述冷却箱上开设有供所述弹性插柱插入的插槽。

通过采用上述技术方案，在滑槽中的第二弹簧的弹力作用下，将会使得弹性插柱稳定的插入的插槽中。

综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：

低温真空镀膜装置可以制造低温环境，能够避免真空镀膜过程中镀膜室温度上升过快影响塑料制品的镀膜生产；当使用装置时，冷却箱可以方便安装固定到镀膜室内部，启动第一水泵时，第一水泵可以将外界的凉水经过第一管道和第二管道进入到冷却箱内，冷却箱上的第一散热片和第二散热片增大了散热面积，能够增大冷却箱对镀膜室内部的散热程度，启动第二水泵，第二水泵通过第三管道和第四管道将携带热量的水流抽出，利用水流的冷却作用能够较好的降低镀膜室内的温度。

附图说明

图1是低温真空镀膜装置的结构示意图；

图2是低温真空镀膜装置用于展示冷却箱的结构示意图；

图3是低温真空镀膜装置用于展示冷却箱的结构剖视图；

图4是图3中的A处放大图；

图5是图3中的B处放大图。

附图标记：1、镀膜室；2、真空泵；3、环板；4、第一锁紧螺栓；6、冷却箱；7、第一水泵；8、第二水泵；9、第一管道；10、第二管道；11、第三管道；12、第四管道；13、第一散热片；14、第二散热片；15、第一支管；16、第一法兰盘；17、第二法兰盘；18、第二锁紧螺栓；19、第二支管；20、第一轴肩；21、第二轴肩；22、螺纹环套；23、第一放置槽；24、密封圈；25、第二放置槽；26、O形圈；27、第一弹簧；28、抵触板；29、旋转耳；30、滑槽；31、弹性插柱；32、第二弹簧；33、插槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参考图1、图2和图3，一种低温真空镀膜装置，包括镀膜室1，其中在镀膜室1的外部固定有真空泵2，真空泵2用于营造镀膜室1内的真空环境；为了使得装置具有冷却真空镀膜室1内部温度的能力，在镀膜室1的内部固定有截面为L形的环板3，在环板3的下方通过四个第一锁紧螺栓4连接有冷却箱6，在镀膜室1的外部固定有第一水泵7和第二水泵8，其中第一水泵7的高度高于第二水泵8的高度，在第一水泵7的入水端连接有第一管道9，在第一水泵7的出水端连接有第二管道10，其中第二管道10穿过镀膜室1与冷却箱6连通，在第二水泵8的入水端连接有第三管道11，将第三管道11与冷却箱6连通，在第二水泵8的出水端连通有第四管道12，同时在冷却箱6的底部均布有十六个第一散热片13，在冷却箱6的内环壁上均布有十六个第二散热片14，其中第一散热片13和第二散热片14的厚度为3mm；低温真空镀膜装置可以制造低温环境，能够避免真空镀膜过程中镀膜室1温度上升过快影响塑料制品的镀膜生产；当使用装置时，冷却箱6可以方便安装固定到镀膜室1内部，启动第一水泵7时，第一水泵7可以将外界的凉水经过第一管道9和第二管道10进入到冷却箱6内，冷却箱6上的第一散热片13和第二散热片14增大了散热面积，能够增大冷却箱6对镀膜室1内部的散热程度，启动第二水泵8，第二水泵8通过第三管道11和第四管道12将携带热量的水流抽出，利用水流的冷却作用能够较好的降低镀膜室1内的温度。

参考图3和图4，为了方便第二管道10与冷却箱6的连接，在冷却箱6上具有与冷却箱6一体成型的第一支管15，其中第一支管15与冷却箱6内部相互连通，在第二管道10端部固定有第一法兰盘16，在第一支管15端部固定有第二法兰盘17，将第一法兰盘16和第二法兰盘17之间通过四个第二锁紧螺栓18连接，冷却箱6上第一支管15的存在，使得冷却箱6能够方便与第二管道10连接，当需要将第二管道10与冷却箱6连通时，操作者可以将第一法兰盘16和第二法兰盘17对接，之后拧紧第二锁紧螺栓18即可；为了使得第一支管15和第二管道10的连接起到密封的效果，将第一法兰盘16和第二法兰盘17在相互靠近的一面共同开设有第一放置槽23，在第一放置槽23内设置有密封圈24，第一放置槽23内的密封圈24能够使得第二管道10和第一支管15的连接起到良好的密封效果。

参考图3和图5，为了方便第三管道11与冷却箱6的连接，在冷却箱6上具有与冷却箱6一体成型的第二支管19，其中第二支管19与冷却箱6内部相互连通，在第二支管19的端部具有凸出的第一轴肩20，在第三管道11端部具有与第三管道11一体成型的第二轴肩21，同时在第一轴肩20和第二轴肩21的外部共同螺纹连接有螺纹环套22；冷却箱6上第二支管19的存在，使得冷却箱6能够方便与第三管道11连接，当需要将第三管道11与冷却箱6连通时，操作者可以将第一轴肩20和第二轴肩21对接，之后拧紧螺纹环套22即可；为了使得第二支管19和第三管道11连接后具有良好的密封效果，将第一轴肩20和第二轴肩21在相互靠近的一面共同开设有第二放置槽25，在第二放置槽25内设置有O形圈26，第二放置槽25内的O形圈26能够使得第三管道11和第二支管19的连接起到良好的密封效果。

参考图3和图4，为了使得冷却箱6安装到镀膜室1后结构更加稳定，在镀膜室1的内部通过第一弹簧27连接有两个抵触板28，其中第一弹簧27的一端固定在镀膜室1内部，第一弹簧27的另一端固定在抵触板28上，在第一弹簧27的弹力作用下，抵触板28将会牢靠的将冷却箱6的箱壁上，能够将冷却箱6牢靠的固定；为了方便操作者拧动第一锁紧螺栓4，在第一锁紧螺栓4的端部固定有两片旋转耳29，第一锁紧螺栓4端部的旋转耳29能够方便操作者拧动第一锁紧螺栓4；为了实现冷却箱6的安装定位，在环板3内开设有滑槽30，在滑槽30内沿水平方向滑移连接有弹性插柱31，同时在弹性插柱31与滑槽30槽底之间连接有第二弹簧32，并在冷却箱6上开设有供弹性插柱31插入的插槽33，在滑槽30中的第二弹簧32的弹力作用下，将会使得弹性插柱31稳定的插入的插槽33中。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种低温真空镀膜装置，包括镀膜室(1)，所述镀膜室(1)的外部固定有真空泵(2)，其特征在于：所述镀膜室(1)的内部固定有截面为L形的环板(3)，所述环板(3)的下方通过若干个第一锁紧螺栓(4)连接有冷却箱(6)，所述镀膜室(1)的外部固定有第一水泵(7)和第二水泵(8)，所述第一水泵(7)的高度高于所述第二水泵(8)的高度，所述第一水泵(7)的入水端连接有第一管道(9)，所述第一水泵(7)的出水端连接有第二管道(10)，所述第二管道(10)穿过所述镀膜室(1)与所述冷却箱(6)连通，所述第二水泵(8)的入水端连接有第三管道(11)，所述第三管道(11)与所述冷却箱(6)连通，所述第二水泵(8)的出水端连通有第四管道(12)，所述冷却箱(6)的底部均布有若干个第一散热片(13)，所述冷却箱(6)的内环壁上均布有若干个第二散热片(14)。

2.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于：所述冷却箱(6)上具有与所述冷却箱(6)一体成型的第一支管(15)，所述第一支管(15)与所述冷却箱(6)内部相互连通，所述第二管道(10)端部固定有第一法兰盘(16)，所述第一支管(15)端部固定有第二法兰盘(17)，所述第一法兰盘(16)和所述第二法兰盘(17)之间通过若干个第二锁紧螺栓(18)连接。

3.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于：所述冷却箱(6)上具有与所述冷却箱(6)一体成型的第二支管(19)，所述第二支管(19)与所述冷却箱(6)内部相互连通，所述第二支管(19)的端部具有凸出的第一轴肩(20)，所述第三管道(11)端部具有与所述第三管道(11)一体成型的第二轴肩(21)，所述第一轴肩(20)和所述第二轴肩(21)的外部共同螺纹连接有螺纹环套(22)。

4.根据权利要求2所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于：所述第一法兰盘(16)和所述第二法兰盘(17)在相互靠近的一面共同开设有第一放置槽(23)，所述第一放置槽(23)内设置有密封圈(24)。

5.根据权利要求3所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于：所述第一轴肩(20)和所述第二轴肩(21)在相互靠近的一面共同开设有第二放置槽(25)，所述第二放置槽(25)内设置有O形圈(26)。

6.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于：所述镀膜室(1)的内部通过第一弹簧(27)连接有两个抵触板(28)，所述第一弹簧(27)的一端固定在所述镀膜室(1)内部，所述第一弹簧(27)的另一端固定在所述抵触板(28)上。

7.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于：所述第一锁紧螺栓(4)的端部固定有两片旋转耳(29)。

8.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于：所述环板(3)内开设有滑槽(30)，所述滑槽(30)内沿水平方向滑移连接有弹性插柱(31)，所述弹性插柱(31)与所述滑槽(30)槽底之间连接有第二弹簧(32)，所述冷却箱(6)上开设有供所述弹性插柱(31)插入的插槽(33)。

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