CN213327807U - 一种真空蒸发镀膜用余热利用装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，包括自吸泵、铜管、基座、导热管和出水管，所述基座上表面一侧通过两个支撑架固定连接有镀膜仓本体，所述镀膜仓本体下方的基座上表面固定连接有蒸发器本体，所述蒸发器本体顶端固定连接在镀膜仓本体下表面，所述蒸发器本体内部嵌入安装有坩埚，所述坩埚顶端嵌入安装在镀膜仓本体下表面，所述蒸发器本体两侧上方均开孔，所述导热管两端分别嵌入安装在蒸发器本体两侧上方的开孔内，所述导热管呈螺旋状分布在基座内部，所述基座内部的导热管缠绕在铜管外壁，所述基座另一侧通过底座与自吸泵底端固定连接。本实用新型解决了因热能不能回收利用而导致的资源浪费的问题。

Description

一种真空蒸发镀膜用余热利用装置

技术领域

本实用新型涉及真空蒸发镀膜技术领域，具体为一种真空蒸发镀膜用余热利用装置。

背景技术

真空蒸发镀膜，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。

在目前使用的技术领域中，针对真空蒸发镀膜机工作时产生的热量并没有较好的回收再利用的方法及装置，从而造成了热能的白白浪费，尤其是在寒冷的冬季，一般的工厂卫生间内并不能够提供热水供员工洗手，因此需要提供一种真空蒸发镀膜用余热利用装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，具备热能回收并有效利用的优点，解决了因热能不能回收利用而导致的资源浪费的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，包括自吸泵、铜管、基座、导热管和出水管，所述基座上表面一侧通过两个支撑架固定连接有镀膜仓本体，所述镀膜仓本体下方的基座上表面固定连接有蒸发器本体，所述蒸发器本体顶端固定连接在镀膜仓本体下表面，所述蒸发器本体内部嵌入安装有坩埚，所述坩埚顶端嵌入安装在镀膜仓本体下表面，所述蒸发器本体两侧上方均开孔，所述导热管两端分别嵌入安装在蒸发器本体两侧上方的开孔内，所述导热管呈螺旋状分布在基座内部，所述基座内部的导热管缠绕在铜管外壁，所述基座另一侧通过底座与自吸泵底端固定连接。

优选的，所述镀膜仓本体前端一侧通过铰链转动连接有镀膜仓盖本体，镀膜仓盖本体后端通过插销与镀膜仓本体闭合。

优选的，所述坩埚外壁呈螺旋状缠绕有电阻加热线圈。

优选的，所述基座上方的导热管外壁包覆有隔热套。

优选的，所述自吸泵与镀膜仓本体相背离一侧下方通过法兰盘连通安装有进水管，自吸泵与镀膜仓本体相对一侧下方通过法兰盘与铜管一端连通安装，铜管另一端通过法兰盘与出水管一端连通安装，出水管另一端连通安装有三通连接头。

优选的，所述蒸发器本体前端开孔并通过机械螺丝固定连接有检修盖。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过设置导热管并将导热管的两端分别嵌入安装在蒸发器本体的两侧，将铜管穿过导热管在基座内的螺旋结构，并将铜管两端分别通过法兰盘与出水管和自吸泵进行连通安装，自吸泵另一测通过法兰盘与进水管连通安装，当电阻加热线圈通过接通外部电源而散发出大量的热量时，少部分热量通过导热管进行散发，从而对铜管进行加热，而铜管内的水同时受到导热管加热，达到了有效利用真空蒸发镀膜机工作时产生余热的效果。

附图说明

图1为本实用新型的主视结构示意图；

图2为本实用新型的正视结构示意图；

图3为本实用新型的后视结构示意图。

图中：1、支撑架；2、镀膜仓本体；3、坩埚；4、蒸发器本体；5、铰链；6、镀膜仓盖本体；7、进水管；8、自吸泵；9、底座；10、铜管；11、隔热套；12、电阻加热线圈；13、基座；14、导热管；15、法兰盘；16、出水管；17、三通连接头；18、检修盖；19、插销。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1至图3，本实用新型提供的一种实施例：一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，包括自吸泵8、铜管10、基座13、导热管14和出水管16，基座13上表面一侧通过两个支撑架1固定连接有镀膜仓本体2，镀膜仓本体2前端一侧通过铰链5转动连接有镀膜仓盖本体6，镀膜仓盖本体6后端通过插销19与镀膜仓本体2闭合。

镀膜仓本体2下方的基座13上表面固定连接有蒸发器本体4，蒸发器本体4顶端固定连接在镀膜仓本体2下表面，蒸发器本体4前端开孔并通过机械螺丝固定连接有检修盖18。蒸发器本体4内部嵌入安装有坩埚3，坩埚3外壁呈螺旋状缠绕有电阻加热线圈12。如本领域技术人员所熟知的，本实用新型的电阻加热线圈12还需要提供外部电源以使得其正常工作，并且正如本领域技术人员所熟知的，外部电源的提供司空见惯，其均属于常规手段或者公知常识，在此就不再赘述，本领域技术人员可以根据其需要或者便利进行任意的选配，坩埚3顶端嵌入安装在镀膜仓本体2下表面。

蒸发器本体4两侧上方均开孔，导热管14两端分别嵌入安装在蒸发器本体4两侧上方的开孔内，基座13上方的导热管14外壁包覆有隔热套11。导热管14呈螺旋状分布在基座13内部，基座13内部的导热管14缠绕在铜管10外壁，基座13另一侧通过底座9与自吸泵8底端固定连接。如本领域技术人员所熟知的，本实用新型的自吸泵8还需要提供外部电源以使得其正常工作，并且正如本领域技术人员所熟知的，外部电源的提供司空见惯，其均属于常规手段或者公知常识，在此就不再赘述，本领域技术人员可以根据其需要或者便利进行任意的选配，自吸泵8与镀膜仓本体2相背离一侧下方通过法兰盘15连通安装有进水管7，自吸泵8与镀膜仓本体2相对一侧下方通过法兰盘15与铜管10一端连通安装，铜管10另一端通过法兰盘15与出水管16一端连通安装，出水管16另一端连通安装有三通连接头17。通过设置导热管14并将导热管14的两端分别嵌入安装在蒸发器本体4的两侧，将铜管10穿过导热管14在基座13内的螺旋结构，并将铜管10两端分别通过法兰盘15与出水管16和自吸泵8进行连通安装，自吸泵8另一测通过法兰盘15与进水管7连通安装，当电阻加热线圈12通过接通外部电源而散发出大量的热量时，少部分热量通过导热管14进行散发，从而对铜管10进行加热，而铜管10内的水同时受到导热管14加热，达到了有效利用真空蒸发镀膜机工作时产生余热的效果。

工作原理：本实用新型在使用时通过导热管14将蒸发器本体4内部的电阻加热线圈12产生的过余热量向下传导并对铜管10进行加热，通过在三通连接头17上连通安装相应用水装置，打开相应用水装置时自吸泵8工作并将水从进水管7吸入，水流字通过铜管10时加热，并通过出水管16流出，从而实现真空蒸发镀膜的余热回收。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，包括自吸泵(8)、铜管(10)、基座(13)、导热管(14)和出水管(16)，其特征在于：所述基座(13)上表面一侧通过两个支撑架(1)固定连接有镀膜仓本体(2)，所述镀膜仓本体(2)下方的基座(13)上表面固定连接有蒸发器本体(4)，所述蒸发器本体(4)顶端固定连接在镀膜仓本体(2)下表面，所述蒸发器本体(4)内部嵌入安装有坩埚(3)，所述坩埚(3)顶端嵌入安装在镀膜仓本体(2)下表面，所述蒸发器本体(4)两侧上方均开孔，所述导热管(14)两端分别嵌入安装在蒸发器本体(4)两侧上方的开孔内，所述导热管(14)呈螺旋状分布在基座(13)内部，所述基座(13)内部的导热管(14)缠绕在铜管(10)外壁，所述基座(13)另一侧通过底座(9)与自吸泵(8)底端固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，其特征在于：所述镀膜仓本体(2)前端一侧通过铰链(5)转动连接有镀膜仓盖本体(6)，镀膜仓盖本体(6)后端通过插销(19)与镀膜仓本体(2)闭合。

3.根据权利要求1所述的一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，其特征在于：所述坩埚(3)外壁呈螺旋状缠绕有电阻加热线圈(12)。

4.根据权利要求1所述的一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，其特征在于：所述基座(13)上方的导热管(14)外壁包覆有隔热套(11)。

5.根据权利要求1所述的一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，其特征在于：所述自吸泵(8)与镀膜仓本体(2)相背离一侧下方通过法兰盘(15)连通安装有进水管(7)，自吸泵(8)与镀膜仓本体(2)相对一侧下方通过法兰盘(15)与铜管(10)一端连通安装，铜管(10)另一端通过法兰盘(15)与出水管(16)一端连通安装，出水管(16)另一端连通安装有三通连接头(17)。

6.根据权利要求1所述的一种真空蒸发镀膜用余热利用装置，其特征在于：所述蒸发器本体(4)前端开孔并通过机械螺丝固定连接有检修盖(18)。

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