CN208008874U - 一种真空镀膜机冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其是一种真空镀膜机冷却装置，包括两个竖直设置的金属导热管，两个所述金属导热管均设置在机体的内部，所述金属导热管设置为扁平状的宽导管，所述金属导热管靠近机体内壁的一侧设置有安装块，位于上方的金属导热管的顶端连接有进水管，且位于下方的金属导热管的底端连接有出水管，两个所述金属导热管相互靠近的一端通过多个间隔设置的弧形散热管连接，且两个所述金属导热管上均设置有与多个弧形散热管配合连接的连接管。本实用新型具有结构简单、使用方便的优点，能够提高灌输到金属导热管内部的冷却液的利用率，具有较好的冷却降温效果，便于实际使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机冷却装置。
背景技术
真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料)，属于物理气相沉积工艺。真空镀膜技术广泛应用到电子、宇航、包装、光伏等技术领域。当利用真空腔体在基片上对某种材料进行真空镀膜时，往往由于沉积反应或工艺要求，需要对基片进行高温加热，加热过程导致真空腔体内部温度过高，长期受热则会使真空腔体内部的机械结构发生形变，从而使真空腔体的功能失效。现有的用于真空镀膜机的冷却装置结构都较为单一，冷却效果不够理想，不能满足实际使用需求。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的不能满足实际使用需求的缺点，而提出的一种真空镀膜机冷却装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
设计一种真空镀膜机冷却装置，包括两个竖直设置的金属导热管，两个所述金属导热管均设置在机体的内部，所述金属导热管设置为扁平状的宽导管，所述金属导热管靠近机体内壁的一侧设置有安装块，位于上方的金属导热管的顶端连接有进水管，且位于下方的金属导热管的底端连接有出水管，两个所述金属导热管相互靠近的一端通过多个间隔设置的弧形散热管连接，且两个所述金属导热管上均设置有与多个弧形散热管配合连接的连接管，所述弧形散热管设置在机体的外侧；
两个所述金属导热管相互靠近的一端之间还连接有导热板，所述导热板的外侧面上间隔设置有多个散热板，且多个散热板远离导热板的一端均贯穿机体的侧壁并延伸至其外部。
优选的，所述弧形散热管的外表面间隔设置有多个散热凸起。
优选的，多个所述散热板的长度小于位于两端的弧形散热管之间的间距，且位于两端的弧形散热管的内侧均安装有散热风扇。
优选的，所述金属导热管与弧形散热管的内壁上均间隔设置有多个阻流块。
本实用新型提出的一种真空镀膜机冷却装置，有益效果在于：本实用新型具有结构简单、使用方便的优点，将金属导热管设置为扁平状的宽导管，能够提高灌输到金属导热管内部的冷却液的利用率，具有较好的冷却降温效果，便于实际使用。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种真空镀膜机冷却装置的安装结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种真空镀膜机冷却装置的侧面结构示意图。
图中：机体1、金属导热管2、进水管3、出水管4、导热板5、散热板6、连接管7、弧形散热管8、散热凸起9、散热风扇10、安装块11。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-2，一种真空镀膜机冷却装置，包括两个竖直设置的金属导热管2，两个金属导热管2均设置在机体1的内部，金属导热管2设置为扁平状的宽导管，金属导热管2靠近机体1内壁的一侧设置有安装块11，安装块11能够使金属导热管2与机体1的内壁之间产生一定的间距，这样设置可使金属导热管2与机体1内部的热空气进行充分接触，可提高冷却降温的效果。位于上方的金属导热管2的顶端连接有进水管3，且位于下方的金属导热管2的底端连接有出水管4。
两个金属导热管2相互靠近的一端通过多个间隔设置的弧形散热管8连接，且两个金属导热管2上均设置有与多个弧形散热管8配合连接的连接管7，弧形散热管8设置在机体1的外侧。弧形散热管8的外表面间隔设置有多个散热凸起9，这样设置能够对流经位于顶部的金属导热管2的冷却液进行快速降温处理。金属导热管2与弧形散热管8的内壁上均间隔设置有多个阻流块，多个阻流块能够降低冷却液在金属导热管2与弧形散热管8内部的流通速度，可有效提高冷却效果。在实际使用时，可通过进水管3向金属导热管2内灌输冷却液，金属导热管2设置为扁平状的宽导管，能够提高冷却液的利用率，提高冷却效果。
两个金属导热管2相互靠近的一端之间还连接有导热板5，导热板5的外侧面上间隔设置有多个散热板6，且多个散热板6远离导热板5的一端均贯穿机体1的侧壁并延伸至其外部。多个散热板6的长度小于位于两端的弧形散热管8之间的间距，且位于两端的弧形散热管8的内侧均安装有散热风扇10，这样设置便于散热风扇10的安装，并且散热风扇10能够有效提高散热板6与弧形散热管8的散热速度。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种真空镀膜机冷却装置，包括两个竖直设置的金属导热管(2)，两个所述金属导热管(2)均设置在机体(1)的内部，其特征在于，所述金属导热管(2)设置为扁平状的宽导管，所述金属导热管(2)靠近机体(1)内壁的一侧设置有安装块(11)，位于上方的金属导热管(2)的顶端连接有进水管(3)，且位于下方的金属导热管(2)的底端连接有出水管(4)，两个所述金属导热管(2)相互靠近的一端通过多个间隔设置的弧形散热管(8)连接，且两个所述金属导热管(2)上均设置有与多个弧形散热管(8)配合连接的连接管(7)，所述弧形散热管(8)设置在机体(1)的外侧；
两个所述金属导热管(2)相互靠近的一端之间还连接有导热板(5)，所述导热板(5)的外侧面上间隔设置有多个散热板(6)，且多个散热板(6)远离导热板(5)的一端均贯穿机体(1)的侧壁并延伸至其外部。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机冷却装置，其特征在于，所述弧形散热管(8)的外表面间隔设置有多个散热凸起(9)。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机冷却装置，其特征在于，多个所述散热板(6)的长度小于位于两端的弧形散热管(8)之间的间距，且位于两端的弧形散热管(8)的内侧均安装有散热风扇(10)。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机冷却装置，其特征在于，所述金属导热管(2)与弧形散热管(8)的内壁上均间隔设置有多个阻流块。
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| CN201820205349.2U CN208008874U (zh) | 2018-02-06 | 2018-02-06 | 一种真空镀膜机冷却装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113463065A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-10-01 | 湖南良诚新材料科技有限公司 | 一种化学气相沉积钻石的设备 |
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2018
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