CN209873080U - 掩膜板周转装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种掩膜板周转装置，用于装载并转运掩膜板，包括箱体及定位保持件，箱体具有收容腔及与所述收容腔相通的装载口，所述装载口适于所述掩膜板装入所述收容腔；定位保持件设在所述收容腔内，以将所述掩膜板竖向固定并保持在所述收容腔内。根据本实用新型实施例提供的掩膜板周转装置，可以将掩膜板通过定位保持件竖向固定并保持在收容腔内，由于掩膜板竖向布置，所以，在运输或转运过程，可以防止由于颠簸或其他压力导致掩膜基板的中心下沉，确保掩膜基板的精度不受影响，同时，掩膜板位于箱体内，利用箱体对掩膜板起到隔离保护作用，防止在转运过程中收到冲击或撞击造成损伤。

Description

掩膜板周转装置

技术领域

本实用新型涉及掩膜板技术领域，尤其涉及一种掩膜板周转装置。

背景技术

在有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)制造技术中，蒸镀制程用的掩膜板是至关重要的部件，该掩膜板用于控制有机材料沉积在玻璃基板上的位置，从而在玻璃基板上形成不同形状的有机图案。

掩膜板一般包括掩膜板框及设在掩膜板框上的掩膜基板，在蒸镀制程中，需要定期清洗掩膜板，每次清洗掩膜板都会对掩膜板造成一定的损伤，影响掩膜板的精度，而掩膜板清洗一定次数(例如20次)之后可能就需要报废了，由此可见，掩膜板是蒸镀制程中的一种重要的耗材。

由于掩膜板需要采用特殊的合金(Invar36合金)材料制造，并且，掩膜基板还需要将其加工至微米级的厚度，业内的一个标准是要低于30微米，此外，还需要在这种微米级的掩膜基板上加工形成蒸镀孔，而根据显示设备的分辨率要求，蒸镀孔的尺寸精度要求非常高，导致加工难度极高，由此，掩膜板作为一种耗材，其价格非常的昂贵，堪比白银的价格，一片掩膜板的价格一般高达数十万至上百万。

然而，在掩膜板在运输过程中，由于路途中颠簸、掩膜基板厚度极薄、掩膜板的总体重量大(由于掩膜板框是铸造成型的厚重结构)等各种因素，造成了掩膜板在运输途中容易损伤，进而造成重大的损失。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的目的在于提出一种掩膜板周转装置。

为实现上述目的，根据本实用新型实施例的掩膜板周转装置，用于装载并转运掩膜板，包括：

箱体，所述箱体具有收容腔及与所述收容腔相通的装载口，所述装载口适于所述掩膜板装入所述收容腔；

定位保持件，所述定位保持件设在所述收容腔内，以将所述掩膜板竖向固定并保持在所述收容腔内。

根据本实用新型实施例提供的掩膜板周转装置，可以将掩膜板通过定位保持件竖向固定并保持在收容腔内，由于掩膜板竖向布置，所以，在运输或转运过程，可以防止由于颠簸或其他压力导致掩膜基板的中心下沉，确保掩膜基板的精度不受影响，同时，掩膜板位于箱体内，利用箱体对掩膜板起到隔离保护作用，防止在转运过程中收到冲击或撞击造成损伤。

另外，根据本实用新型上述实施例的掩膜板周转装置还可以具有如下附加的技术特征：

根据本实用新型的一个实施例，所述定位保持件为多个，多个所述定位保持件沿所述收容腔的宽度方向依次间隔设置。

根据本实用新型的一个实施例，每个所述定位保持件包括：

第一轨道部，所述第一轨道部设在所述收容腔的顶壁，所述第一轨道部具有沿所述收容腔的长度方向延伸的第一卡槽；

第二轨道部，所述第二轨道部设在所述收容腔的底壁且与所述第一轨道部相对，所述第二轨道部具有沿所述收容腔的长度方向延伸的第二卡槽；

所述第一卡槽适于卡固所述掩膜板的上边沿，所述第二卡槽适于卡固所述掩膜板的下边沿。

根据本实用新型的一个实施例，还包括：

导向件，所述导向件设在所述收容腔，以引导所述掩膜板进入至所述定位保持件。

根据本实用新型的一个实施例，所述导向件包括：

第一滚轮，所述第一滚轮设在所述第一卡槽内且沿一水平轴线可枢转；

第二滚轮，所述第二滚轮设在所述第二卡槽内且沿一水平轴线可枢转。

根据本实用新型的一个实施例，所述导向件包括所述第一滚轮及第二滚轮均为多个，多个所述第一滚轮沿所述第一卡槽的延伸方向间隔设置，多个所述第二滚轮沿所述第二卡槽的延伸方向间隔设置。

根据本实用新型的一个实施例，所述箱体包括箱体外层、箱体内层及位于所述箱体外层和箱体内层之间的箱体中间层，所述箱体外层为金属材料，所述箱体内层为塑胶材料或金属材料，所述箱体中间层为减震缓冲材料。

根据本实用新型的一个实施例，所述金属材料为不锈钢、铁、铝、锌中的任意一种，所述塑胶材料为PP材料、PE材料、PPC材料及亚克力材料中的任意一种，所述减震缓冲材料为EV泡棉或海绵。

根据本实用新型的一个实施例，还包括门体，所述门体与所述箱体可枢转连接，以打开或关闭所述装载口。

根据本实用新型的一个实施例，所述箱体的底部设有脚轮。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例掩膜板周转装置(装载口关闭)的结构示意图；

图2是本实用新型实施例掩膜板周转装置(装载口打开)的结构示意图；

图3是本实用新型实施例掩膜板周转装置的剖视图；

图4是本实用新型实施例掩膜板周转装置使用状态下的结构示意图。

附图标记：

箱体10；

箱体外层101；

箱体中间层102；

箱体内层103；

收容腔P10；

装载口P101；

第一轨道部20；

第一卡槽201；

第二轨道部21；

第二卡槽211；

第一滚轮30；

第二滚轮31；

门体40；

脚轮50；

掩膜板60；

掩膜板框601；

掩膜基板602。

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”“轴向”、“周向”、“径向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面参照附图详细描述本实用新型实施例的掩膜板周转装置。

参照图1至图4所示，根据本实用新型实施例提供的掩膜板周转装置，用于装载并转运掩膜板60，包括箱体10及定位保持件。

具体地，箱体10具有收容腔P10及与所述收容腔P10相通的装载口P101，所述装载口P101适于所述掩膜板60装入所述收容腔P10。定位保持件设在所述收容腔P10内，以将所述掩膜板60竖向固定并保持在所述收容腔P10内。

也就是说，掩膜板60可以从装载口P101装入至收容腔P10内，当掩膜板60装入至收容腔P10内时，定位保持件可以对掩膜板60进行定位固定，并使得掩膜板60保持竖立状态。

需要说明的是，掩膜板60一般包括掩膜板框601及设在掩膜板框601上的掩膜基板602，掩膜基板602在掩膜板框601上并呈张紧状态，进而保持掩膜基板602的平面度及精度。相关技术中，掩膜板在转运没有专用的转运设备，掩膜板在转运时直接被水平放置在非动力托车或其他动力车上。然而，掩膜板在水平放置时，掩膜板框上的掩膜基板如果受到颠簸或震动影响，掩膜基板的中心部分会向下沉，此外，在批量运输时，多片掩膜板堆叠，掩膜板框上的掩膜基板也容易受到压力而造成下沉等，由此，导致掩膜基板的平面度及精度均受到影响。

根据本实用新型实施例提供的掩膜板周转装置，可以将掩膜板60通过定位保持件竖向固定并保持在收容腔P10内，由于掩膜板60竖向布置，所以，在运输或转运过程，可以防止由于颠簸或其他压力导致掩膜基板602的中心下沉，确保掩膜基板602的精度不受影响，同时，掩膜板60位于箱体10内，利用箱体10对掩膜板60起到隔离保护作用，防止在转运过程中收到冲击或撞击造成损伤。

可选地，定位保持件为多个，多个所述定位保持件沿所述收容腔P10的宽度方向依次间隔设置，其中，宽度方向是图2中的左右方向。

也就是说，在收容腔P10内设有多个定位保持件，多个定位保持件沿左右方向间隔设置，如此，每个定位保持件可以固定一个掩膜板60，多个定位保持件则可以固定多个掩膜板60，并且这些掩膜板60沿左右方向间隔布置在收容腔P10内，每个掩膜板60均保持竖立状态，进而实现装载多个掩膜板60，并保持多个掩膜板60之间不会发生碰撞。

参照图2至图4所示，在本实用新型的一些实施例中，每个所述定位保持件包括第一轨道部20及第二轨道部21，其中，第一轨道部20设在所述收容腔P10的顶壁，所述第一轨道部20具有沿所述收容腔P10的长度方向延伸的第一卡槽201。第二轨道部21设在所述收容腔P10的底壁且与所述第一轨道部20相对，所述第二轨道部21具有沿所述收容腔P10的长度方向延伸的第二卡槽211。第一卡槽201适于卡固所述掩膜板60的上边沿，所述第二卡槽211适于卡固所述掩膜板60的下边沿。在图1示例中，第一轨道部20和第二轨道部21上下相对，第一轨道部20上的第一卡槽201的开口朝下，第二轨道部21上的第二卡槽211的开口朝上，并且，第一卡槽201和第二卡槽211均延伸至装载口P101。

在掩膜板60装载时，可以将掩膜板60的竖立状态从装载口P101装入，并且，将掩膜板60的上边沿插入至第一卡槽201中，将掩膜板60的下边沿插入至第二卡槽211中，然后，用力将掩膜板60沿收容腔P10的长度方向推，使得掩膜板60完全收容至收容腔P10内。此时，第一卡槽201对掩膜板60的上边沿定位固定，第二卡槽211对掩膜板60的下边沿定位固定，掩膜板60即可保持竖向固定在收容腔P10内，其结构简单，定位固定可靠，并且，掩膜板60装载方便。

可以理解的是，上述定位保持件的实施例不能理解为对本发明的限制，定位保持件的具体结构不受特别限制，只要能够将掩膜板60固定并使得掩膜板60保持竖立状态即可。作为另一个示例，定位保持件包括沿收容腔P10的长度方向延伸的第一隔板及第二隔板，第一隔板和第二隔板相对设在收容腔P10，第一隔板和第二隔板之间限定出与掩膜板60相适配的间隙腔，掩膜板60可以竖立放置在间隙腔中。

继续参照图2至图4所示，在本实用新型的一个实施例中，还包括导向件，所述导向件设在所述收容腔P10，以引导所述掩膜板60进入至所述定位保持件。

也就是说，在收容腔P10中设有导向件，该导向件用于引导掩膜板60进入至定位保持件中，例如可以引导掩膜板60进入至第一卡槽201及第二卡槽211中，如此，方便于掩膜板60的装载，并更加省力，降低人工劳动强度。

在本实用新型的一个实施例中，导向件包括第一滚轮30及第二滚轮31，所述第一滚轮30设在所述第一卡槽201内且沿一水平轴线可枢转；所述第二滚轮31设在所述第二卡槽211内且沿一水平轴线可枢转，在图1示例中，第一滚轮30的转轴穿设在第一卡槽201的两侧壁，第二滚轮31的转轴穿设在第二卡槽211的两侧壁。

在掩膜板60装载时，将掩膜板60从装载口P101装入，掩膜板60的上边沿与第一卡槽201中的第一滚轮30相抵，掩膜板60的下边沿与第二卡槽211中第二滚轮31相抵，用力将掩膜板60沿收容腔P10的长度方向推，在掩膜板60的上边沿和下边沿分别在第一滚轮30和第二滚轮31上滑动，第一滚轮30和第二滚轮31转动，如此，可以使得掩膜板60滑动时的阻力较小，能够更加轻松地将掩膜板60推入至收容腔P10内。

可以理解的是，上述导向件的实施例不能理解为对本发明的限制，导向件可以根据需要选择现有技术中的导向件，只要能够将掩膜板60固定并使得掩膜板60保持竖立状态即可。作为另一个示例，导向件包括第一辊轴及第二辊轴，第一辊轴的两端穿设在第一卡槽201的两侧壁，第二辊轴的两端穿设在第二卡槽211的两侧壁。

有利地，导向件包括所述第一滚轮30及第二滚轮31均为多个，多个所述第一滚轮30沿所述第一卡槽201的延伸方向间隔设置，多个所述第二滚轮31沿所述第二卡槽211的延伸方向间隔设置，如此，多个第一滚轮30和多个第二滚轮31，可以使得掩膜板60装入至更加顺利可靠。

参照图3所示，在本实用新型的一些实施例中，箱体10包括箱体外层101、箱体内层103及位于所述箱体外层101和箱体内层103之间的箱体中间层102，所述箱体外层101为金属材料，所述箱体内层103为塑胶材料或金属材料，所述箱体中间层102为减震缓冲材料。

本实施例中，箱体外层101采用金属材料，具有较高的强度，可以抗冲击，防止外力冲击导致内部的掩膜板60损伤。而箱体中间层102采用减震缓冲材料，可以起到减震缓冲的效果，进一步防止掩膜板60外力冲击而损伤。箱体内层103采用塑胶材料或金属材料，具有一定的强度，支撑形成内部收容腔P10，且不易腐蚀，防水效果好。

可选地，金属材料为不锈钢、铁、铝、锌中的任意一种，所述塑胶材料为PP材料、PE材料、PPC材料及亚克力材料中的任意一种，所述减震缓冲材料为EV泡棉或海绵。

参照图1、图2及图4所示，在本实用新型的一个实施例中，还包括门体40，所述门体40与所述箱体10可枢转连接，以打开或关闭所述装载口P101，如此，在掩膜板60装载时，可以打开装载口P101，以便于将掩膜板60装入至收容腔P10，当掩膜板60装入至收容腔P10后，可以关闭装载口P101，使得掩膜板60被封闭在收容腔P10内，与外部环境完全隔离，起到更好的保护作用。

参照图1、图2及图4所示，在本实用新型的一些实施例中，箱体10的底部设有脚轮50。在掩膜板60的转运中，如果是近距离的周转，直接利用该箱体10的底部的脚轮50转移至所需位置，而如果是远距离的运输，则可以将该箱体10放置在运输车辆上，如此，利用脚轮50方便于箱体10的移动，进而方便于掩膜板60的转运。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的实用新型构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种掩膜板周转装置，用于装载并转运掩膜板，其特征在于，包括：

箱体，所述箱体具有收容腔及与所述收容腔相通的装载口，所述装载口适于所述掩膜板装入所述收容腔；

定位保持件，所述定位保持件设在所述收容腔内，以将所述掩膜板竖向固定并保持在所述收容腔内。

2.根据权利要求1所述的掩膜板周转装置，其特征在于，所述定位保持件为多个，多个所述定位保持件沿所述收容腔的宽度方向依次间隔设置。

3.根据权利要求1所述的掩膜板周转装置，其特征在于，每个所述定位保持件包括：

第一轨道部，所述第一轨道部设在所述收容腔的顶壁，所述第一轨道部具有沿所述收容腔的长度方向延伸的第一卡槽；

第二轨道部，所述第二轨道部设在所述收容腔的底壁且与所述第一轨道部相对，所述第二轨道部具有沿所述收容腔的长度方向延伸的第二卡槽；

所述第一卡槽适于卡固所述掩膜板的上边沿，所述第二卡槽适于卡固所述掩膜板的下边沿。

4.根据权利要求3所述的掩膜板周转装置，其特征在于，还包括：

导向件，所述导向件设在所述收容腔，以引导所述掩膜板进入至所述定位保持件。

5.根据权利要求4所述的掩膜板周转装置，其特征在于，所述导向件包括：

第一滚轮，所述第一滚轮设在所述第一卡槽内且沿一水平轴线可枢转；

第二滚轮，所述第二滚轮设在所述第二卡槽内且沿一水平轴线可枢转。

6.根据权利要求5所述的掩膜板周转装置，其特征在于，所述导向件包括所述第一滚轮及第二滚轮均为多个，多个所述第一滚轮沿所述第一卡槽的延伸方向间隔设置，多个所述第二滚轮沿所述第二卡槽的延伸方向间隔设置。

7.根据权利要求5所述的掩膜板周转装置，其特征在于，所述箱体包括箱体外层、箱体内层及位于所述箱体外层和箱体内层之间的箱体中间层，所述箱体外层为金属材料，所述箱体内层为塑胶材料或金属材料，所述箱体中间层为减震缓冲材料。

8.根据权利要求7所述的掩膜板周转装置，其特征在于，所述金属材料为不锈钢、铁、铝、锌中的任意一种，所述塑胶材料为PP材料、PE材料、PPC材料及亚克力材料中的任意一种，所述减震缓冲材料为EV泡棉或海绵。

9.根据权利要求1所述的掩膜板周转装置，其特征在于，还包括门体，所述门体与所述箱体可枢转连接，以打开或关闭所述装载口。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的掩膜板周转装置，其特征在于，所述箱体的底部设有脚轮。