CN209872360U - 一种气相法金属氧化物的生产装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种气相法金属氧化物的生产装置，涉及气相法氧化物生产设备技术领域，解决了现有技术中存在的气相法金属氧化物的生产装置不够完善，无法较好的处理气相法金属氧化物在生产过程中产生的尾气回收以及余热再利用的技术问题。该装置包括原料预处理装置、水解反应器、聚集器、余热回收装置、旋风分离装置、脱酸干燥器、袋式除尘器、盐酸吸收系统、尾气水洗塔以及除氯塔，原料预处理装置的出口均与水解反应器的进口相连接；水解反应器和聚集器的上方出口均与余热回收装置相连接。本实用新型增加了余热回收装置，使其能充分利用反应过程中产生的余热，整个装置可更好对气相金属氧化物的产物进行综合收集利用，避免了资源的浪费。

Description

一种气相法金属氧化物的生产装置

技术领域

本实用新型涉及气相法氧化物生产设备技术领域，尤其是涉及一种气相法金属氧化物的生产装置。

背景技术

气相法金属氧化物包括气相二氧化硅、气相二氧化钛、气相二氧化锆以及气相氧化铝等。以气相法二氧化硅(即气相法白炭黑)生产装置为例，目前气相法二氧化硅的生产装置包括反应炉、聚集装置、分离装置、脱酸装置以及尾气回收装置。但是本申请人发现现有技术至少存在以下技术问题：现有技术中用于气相法金属氧化物生产的反应炉通常采用立式、开式燃烧炉，其缺点是：导致物料反应不完全，原料在水解时会将其他杂质带入炉体内，从而产生二次腐蚀，影响产品的质量。另外，现有技术中通常是直接将原料通入反应炉内，导致反应原料无法与反应气体进行充分混合，从而导致反应不完全。现有技术中的尾气回收装置通常仅设置一道酸吸收系统，如此便导致对尾气中的酸吸收不充分的问题。另外，由于气相法金属氧化物生产过程为放热过程，在生产反应过程中会产生大量的热量，现有装置无法对生产过程产生的热量进行再回收利用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气相法金属氧化物的生产装置，以解决现有技术中存在的气相法金属氧化物的生产装置不够完善，无法较好的处理气相法金属氧化物在生产过程中产生的尾气回收以及余热再利用的技术问题。本实用新型提供的诸多技术方案中的优选技术方案所能产生的诸多技术效果详见下文阐述。

为实现上述目的，本实用新型提供了以下技术方案：

本实用新型提供的一种气相法金属氧化物的生产装置，包括原料预处理装置、水解反应器、聚集器、余热回收装置、旋风分离装置、脱酸干燥器、袋式除尘器、盐酸吸收系统、尾气水洗塔以及除氯塔，所述原料预处理装置的出口均与所述水解反应器的进口相连接；所述水解反应器的水平出口与所述聚集器的进口相连接，所述水解反应器和所述聚集器的上方出口均与所述余热回收装置相连接；所述聚集器的顶部出口与所述旋风分离装置相连接；

所述旋风分离装置包括第一级旋风分离器、第二级旋风分离器以及第三级旋风分离器，其中，所述第一级旋风分离器的底部出口与所述脱酸干燥器的进口相连接；所述第二级旋风分离器和第三级旋风分离器的底部出口均连接至所述第一级旋风分离器的进口，所述第一级旋风分离器的顶部出口与第二级旋风分离器的顶部进口相连接，所述第二级旋风分离器的顶部出口与第三级旋风分离器的顶部进口相连接；所述第三级旋风分离器的顶部出口以及所述脱酸干燥器的顶部出口与所述袋式除尘器相连接；在所述袋式除尘器的底部连接有粉体收集缓冲罐；所述袋式除尘器的顶部出口与所述盐酸吸收系统相连接；所述盐酸吸收系统与所述尾气水洗塔相连接；所述尾气水洗塔与所述除氯塔相连接。

根据一种优选实施方式，所述原料预处理装置包括氢气加热器、空气加热器以及原料气化器，其中，所述原料气化器的出口通过原料输送管路与所述水解反应器的进口相连接，所述氢气加热器和所述空气加热器出口分别通过氢气输送管路和空气输送管路与所述原料输送管路相连接，以使气化后的原料与加热空气以及加热氢气混合后进入所述水解反应器。

根据一种优选实施方式，所述水解反应器为夹套卧式结构，在所述水解反应器的进口处的底部分别设有助燃氢气进口、第一助燃空气进口以及第二助燃空气进口。

根据一种优选实施方式，所述余热回收装置包括蒸汽闪蒸罐，所述水解反应器的上方出口与所述蒸汽闪蒸罐的进口相连接，以使所述水解反应器中产生的热蒸汽进入所述蒸汽闪蒸罐进行余热蒸汽的回收；

所述水解反应器的水平出口与所述聚集器的底部进口相连接，所述聚集器的上方出口与所述蒸汽闪蒸罐的进口相连接，以使所述聚集器内的热蒸汽进入所述蒸汽闪蒸罐进行余热蒸汽的回收；所述聚集器的顶部出口连接至旋风分离装置。

根据一种优选实施方式，所述第二级旋风分离器和所述第三级旋风分离器的底部出口还连接至所述粉体收集缓冲罐的底部。

根据一种优选实施方式，所述脱酸干燥器包括脱酸干燥器本体以及位于所述脱酸干燥器本体内的搅拌器，其中，所述搅拌器横跨所述脱酸干燥器本体设置，在所述搅拌器的一端连接有减速箱，所述减速箱与电机相连接，以通过电机带动所述搅拌器在所述脱酸干燥器本体内旋转。

根据一种优选实施方式，在所述脱酸干燥器本体的底部设有水蒸气进口和空气进口，在所述脱酸干燥器本体的底部还设有气相金属氧化物出口。

根据一种优选实施方式，所述盐酸吸收系统包括第一级盐酸吸收塔、第二级盐酸吸收塔和第三级盐酸吸收塔，所述第一级盐酸吸收塔的底部气体出口与第二级盐酸吸收塔的顶部进口相连接，所述第二级盐酸吸收塔的底部气体出口与所述第三级盐酸吸收塔的顶部进口相连接。

根据一种优选实施方式，所述第一级盐酸吸收塔的底部盐酸出口通过泵经第一吸收剂回路连接至第一级盐酸吸收塔的顶部，所述第二级盐酸吸收塔的底部盐酸出口通过泵经第二吸收剂回路连接至所述第二级盐酸吸收塔的顶部，所述第三级盐酸吸收塔的底部盐酸出口通过泵经第三吸收剂回路连接至所述第三级盐酸吸收塔的顶部；其中，所述第二吸收剂回路能够与第一吸收剂回路相连接；所述第三吸收剂回路能够与第二吸收剂回路相连接。

根据一种优选实施方式，所述第三级盐酸吸收塔的底部气体出口连接至所述尾气水洗塔的底部进口，所述尾气水洗塔的顶部出口通过真空风机连接至所述除氯塔的底部进口。

基于上述技术方案，本实用新型实施例的气相法金属氧化物的生产装置至少具有如下技术效果：

1、本实用新型提供的气相法金属氧化物的生产装置增加了余热回收装置，使其能够充分利用气相法金属氧化物反应过程中产生的余热，有效避免了资源的浪费；同时，本实用新型的生产装置增加了原料预处理装置，在原料进入水解反应器之前，可以预先对原料进行加热混合，使原料之间能够更充分接触，反应更完全；

2、本实用新型实施例的气相法金属氧化物的生产装置中水解反应器采用夹套卧式结构，夹套层用于冷却，在水解反应器的底部设置了助燃氢气进口、第一助燃空气进口和第二助燃空气进口，通过助燃氢气进口、第一助燃空气进口和第二助燃空气进口分别通过助燃氢气和助燃空气，以便进行小气量点火，使得水解反应器内的火焰更加稳定；

3、本实用新型实施例的气相法金属氧化物的生产装置中的旋风分离装置采用三级旋风分离器，并且，第二级旋风分离器和第三级旋风分离器的底部出口均与第一级旋风分离器的进口相连接，从而可以使得经过第二级旋风分离器和第三级旋风分离器分离产生的粉尘进一步进入第一级旋风分离器进行分离并由第一级旋风分离器进入脱酸干燥器进行产品收集；

4、本实用新型实施例的气相法金属氧化物的生产装置中在袋式除尘器的底部连接了粉体收集缓冲罐，并且，第二级旋风分离器和第三级旋风分离器的底部出口还连接至粉体收集缓冲罐的底部，从而避免了自第二级旋风分离器和第三级旋风分离器分离产生的粉尘过多的进入袋式除尘器内，可以对尾气进行有效的处理；

5、本实用新型实施例的气相法金属氧化物的生产装置采用了三级盐酸吸收系统，并且第一级盐酸吸收塔的吸收剂来自第二级盐酸吸收塔，第二级盐酸吸收塔的吸收剂来自第三级盐酸吸收塔，从而可以有效进行资源利用，降低成本；

6、本实用新型实施例的气相法金属氧化物的生产装置的脱酸干燥装置采用了带搅拌器的脱酸干燥器，可以使得气相金属氧化物产品脱酸干燥更加充分，经过本实用新型的脱酸干燥器处理后的气相金属氧化物可以直接进行包装。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的气相法金属氧化物的生产装置的结构示意图；

图2是本实用新型的气相法金属氧化物的生产装置中脱酸干燥器的结构示意图。

图中：1-氢气加热器；2-空气加热器；3-原料气化器；4-水解反应器；5-聚集器；6-第一级旋风分离器；7-第二级旋风分离器；8-第三级旋风分离器；9-脱酸干燥器；10-袋式除尘器；11-粉体收集缓冲罐；12-第一级盐酸吸收塔；13-第二级盐酸吸收塔；14-第三级盐酸吸收塔；15-尾气水洗塔；16-真空风机；17-除氯塔；18-余热回收装置；19-助燃氢气进口；20-第一助燃空气进口；21-第二助燃空气进口；31-原料输送管路；121-第一吸收剂回路；131-第二吸收剂回路；141-第三吸收剂回路；91-脱酸干燥器本体；92-搅拌器；93-减速箱；94-电机。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。

气相法金属氧化物生产过程中：生产气相白炭黑的原料主要包括氢气、空气和氯硅烷。生产气相二氧化钛的原料主要包括氢气、空气和四氯化钛；生产气相氧化铝的原料主要包括氢气、空气和氯化铝；主要反应过程如下：

SiCl₄+2H₂+O₂(空气)→SiO₂+4HCl；

SiHCl₃+1.5H₂+O₂(空气)→SiO₂+3HCl；

CH₃SiCl₃+H₂+O₂(空气)→SiO₂+3HCl；

H₂SiCl₂+H₂+O₂(空气)→SiO₂+2HCl；

TiCl₄+2H₂+O₂(空气)→TiO₂+4HCl；

3AICl₃+3H₂+1.5O₂(空气)→Al₂O₃+6HCl；

H₂+O₂→2H₂O；

副反应过程包括：HCL+O₂→Cl₂+H₂O。由此可知，原料经过水解反应器后生成包含纳米气相二氧化硅、气相二氧化钛或气相三氧化二铝、水蒸气以及氯化氢等物质的气固混合物。

下面结合说明书附图1和图2对本实用新型的技术方案进行详细说明。

如图1所示，本实用新型提供了一种气相法金属氧化物的生产装置，包括原料预处理装置、水解反应器4、聚集器5、余热回收装置18、旋风分离装置、脱酸干燥器9、袋式除尘器10、盐酸吸收系统、尾气水洗塔15以及除氯塔17。原料预处理装置的出口均与水解反应器4的进口相连接；水解反应器4的水平出口与聚集器5的进口相连接，水解反应器4和聚集器5的上方出口均与余热回收装置18相连接；聚集器5的顶部出口与旋风分离装置相连接。本实用新型增加了余热回收装置，从而可充分利用气相法金属氧化物反应过程中产生的余热，使得资源得到合理再利用，避免了资源的浪费。同时，本实用新型在反应之前通过原料预处理装置可以预先将加热后的反应气体和气化原料混合，从而可使原料之间的反应更加充分。

优选的，旋风分离装置包括第一级旋风分离器6、第二级旋风分离器7以及第三级旋风分离器8。其中，第一级旋风分离器6的底部出口与脱酸干燥器9的进口相连接。第二级旋风分离器7和第三级旋风分离器8的底部出口均连接至第一级旋风分离器6的进口，从而使得经过第二级旋风分离器7和第三级旋风分离器8分离产生的粉尘可以再次进入第一级旋风分离器6进行旋风分离，以收集更多的气相金属氧化物粉尘。优选的，第一级旋风分离器6的顶部出口与第二级旋风分离器7的顶部进口相连接，第二级旋风分离器7的顶部出口与第三级旋风分离器8的顶部进口相连接；以使经过旋风分离产生的气体可以依次进入第二级旋风分离器和第三级旋风分离器，经过三级旋风分离器对产物进行旋风分离后，可以将气相金属氧化物和尾气充分分离。优选的，第三级旋风分离器8的顶部出口以及脱酸干燥器9的顶部出口与袋式除尘器10相连接；以便经过袋式除尘器10进一步对经过旋风分离的尾气以及脱酸干燥器内产生的气体进行除尘处理。优选的，袋式除尘器10的顶部出口与盐酸吸收系统相连接；以通过盐酸吸收系统对尾气中的氯化氢气体进行吸收。优选的，盐酸吸收系统与尾气水洗塔15相连接。优选的，尾气水洗塔15与除氯塔17相连接。通过尾气水洗塔利用水以去除尾气中的氯化氢气体；通过除氯塔利用氢氧化钠溶液去除尾气中的氯离子。

优选的，如图1所示，原料预处理装置包括氢气加热器1、空气加热器2以及原料气化器3。其中，原料气化器3的出口通过原料输送管路31与水解反应器4的进口相连接。氢气加热器1和空气加热器2出口分别通过氢气输送管路和空气输送管路与原料输送管路31相连接，以使气化后的原料与加热空气以及加热氢气混合后进入水解反应器4。优选的，氢气加热器1用于将氢气加热到60～120℃，并控制氢气流量在一定范围内；空气加热器2用于将空气加热到60～120℃，并控制空气流量在一定范围内，对原料空气和氢气进行加热处理，可以提高气相氧化物的反应生成率。优选的，原料气化器3用于将原料氯硅烷、四氯化钛或氯化铝等进行气化使其有液态变为气态，然后同预热后的空气和氢气混合进入水解反应器4进行反应，气化后的原料与氢气和空气的接触更充分，可以使反应更加完全。

优选的，水解反应器4为夹套卧式结构。在水解反应器4的进口处的底部分别设有助燃氢气进口19、第一助燃空气进口20以及第二助燃空气进口21。以便在水解反应器的进口处进行小气量点火，使其反应器内的火焰燃烧更加稳定。优选的，由第二助燃空气进口21进入的空气进入夹套层内进行冷却降温。气化后的原料以及加热氢气和加热空气在水解反应器中发生高温水解反应，反应温度为1500℃以上，生成包含纳米气相二氧化硅、气相二氧化钛或三氧化二氯以及H₂O蒸汽以及HCl等物质的气固混合物。

优选的，余热回收装置18包括蒸汽闪蒸罐。水解反应器4的上方出口与蒸汽闪蒸罐的进口相连接，以使水解反应器4中产生的热蒸汽进入蒸汽闪蒸罐进行余热蒸汽的回收。优选的，水解反应器4的水平出口与聚集器5的底部进口相连接，使得反应后混合物进入聚集器内进行碰撞聚集。聚集器5的上方出口与蒸汽闪蒸罐的进口相连接，以使聚集器5内的热蒸汽进入蒸汽闪蒸罐进行余热蒸汽的回收。聚集器5的顶部出口连接至旋风分离装置。

优选的，在袋式除尘器10的底部连接有粉体收集缓冲罐11。第二级旋风分离器7和第三级旋风分离器8的底部出口还连接至粉体收集缓冲罐11的底部。通过粉体收集缓冲罐11，可以减少进入袋式除尘器内的粉尘。

如图2所示，优选的，脱酸干燥器9包括脱酸干燥器本体91以及位于脱酸干燥器本体91内的搅拌器92。其中，搅拌器92横跨脱酸干燥器本体91设置，即搅拌器92自脱酸干燥器本体91的一端延伸至另一端设置。优选的，在搅拌器92的一端连接有减速箱93。减速箱93与电机94相连接，以通过电机94带动搅拌器92在脱酸干燥器本体91内旋转。通过搅拌器的设置，可以使得气相金属氧化物物料与水蒸气更好的接触进行脱酸干燥。优选的，在脱酸干燥器本体91的底部设有水蒸气进口和空气进口，在脱酸干燥器本体91的底部还设有气相金属氧化物出口。以便直接对气相金属氧化物进行包装。优选的，脱酸温度控制在400～700℃。

继续参考图1，盐酸吸收系统包括第一级盐酸吸收塔12、第二级盐酸吸收塔13和第三级盐酸吸收塔14。优选的，第一级盐酸吸收塔12的底部气体出口与第二级盐酸吸收塔13的顶部进口相连接。第二级盐酸吸收塔13的底部气体出口与第三级盐酸吸收塔14的顶部进口相连接。从而使得尾气依次经过第一级盐酸吸收塔、第二级盐酸吸收塔和第三级盐酸吸收塔进行盐酸吸收处理，更好的吸收尾气中的氯化氢气体使其形成盐酸溶液。优选的，第一级盐酸吸收塔12的底部盐酸出口通过泵经第一吸收剂回路121连接至第一级盐酸吸收塔12的顶部。第二级盐酸吸收塔13的底部盐酸出口通过泵经第二吸收剂回路131连接至第二级盐酸吸收塔13的顶部。第三级盐酸吸收塔14的底部盐酸出口通过泵经第三吸收剂回路141连接至第三级盐酸吸收塔14的顶部。优选的，第二吸收剂回路131能够与第一吸收剂回路121相连接；从而使得第一级盐酸吸收塔内的吸收剂来自于第二级吸收塔内的低浓度盐酸溶液。第三吸收剂回路141能够与第二吸收剂回路131相连接。使得第二级盐酸吸收塔内的吸收剂来自于第三级吸收塔内的低浓度盐酸溶液。优选的，第三级盐酸吸收塔的吸收剂为水。如此，可以起到节约资源的目的，使得资源得以合理循环利用。

优选的，第三级盐酸吸收塔14的底部气体出口连接至尾气水洗塔15的底部进口，通过尾气水洗塔经水洗进一步去除尾气中的氯化氢气体，形成的污水从尾气水洗塔15的底部排出，净化后的气体自尾气水洗塔15的顶部出口通过真空风机16连接至除氯塔17的底部进口。优选的，除氯塔17采用三级合成塔结构，通过水和氢氧化钠制得5％-7％的次氯酸钠溶液。在除氯塔内与氢氧化钠中和以除去其中的氯离子，然后将废水与双氧水反应，将其中的次氯酸钠转化为氯化钠，然后通过泵送往废水处理装置。优选的，整个系统为负压系统，该负压系统是由真空风机提供的。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种气相法金属氧化物的生产装置，其特征在于，包括原料预处理装置、水解反应器(4)、聚集器(5)、余热回收装置(18)、旋风分离装置、脱酸干燥器(9)、袋式除尘器(10)、盐酸吸收系统、尾气水洗塔(15)以及除氯塔(17)，所述原料预处理装置的出口均与所述水解反应器(4)的进口相连接；所述水解反应器(4)的水平出口与所述聚集器(5)的进口相连接，所述水解反应器(4)和所述聚集器(5)的上方出口均与所述余热回收装置(18)相连接；所述聚集器(5)的顶部出口与所述旋风分离装置相连接；

所述旋风分离装置包括第一级旋风分离器(6)、第二级旋风分离器(7)以及第三级旋风分离器(8)，其中，所述第一级旋风分离器(6)的底部出口与所述脱酸干燥器(9)的进口相连接；所述第二级旋风分离器(7)和第三级旋风分离器(8)的底部出口均连接至所述第一级旋风分离器(6)的进口，所述第一级旋风分离器(6)的顶部出口与第二级旋风分离器(7)的顶部进口相连接，所述第二级旋风分离器(7)的顶部出口与第三级旋风分离器(8)的顶部进口相连接；所述第三级旋风分离器(8)的顶部出口以及所述脱酸干燥器(9)的顶部出口与所述袋式除尘器(10)相连接；在所述袋式除尘器(10)的底部连接有粉体收集缓冲罐(11)；所述袋式除尘器(10)的顶部出口与所述盐酸吸收系统相连接；所述盐酸吸收系统与所述尾气水洗塔(15)相连接；所述尾气水洗塔(15)与所述除氯塔(17)相连接。

2.根据权利要求1所述的气相法金属氧化物的生产装置，其特征在于，所述原料预处理装置包括氢气加热器(1)、空气加热器(2)以及原料气化器(3)，其中，所述原料气化器(3)的出口通过原料输送管路(31)与所述水解反应器(4)的进口相连接，所述氢气加热器(1)和所述空气加热器(2)出口分别通过氢气输送管路和空气输送管路与所述原料输送管路(31)相连接，以使气化后的原料与加热空气以及加热氢气混合后进入所述水解反应器(4)。

3.根据权利要求1所述的气相法金属氧化物的生产装置，其特征在于，所述水解反应器(4)为夹套卧式结构，在所述水解反应器(4)的进口处的底部分别设有助燃氢气进口(19)、第一助燃空气进口(20)以及第二助燃空气进口(21)。

4.根据权利要求1所述的气相法金属氧化物的生产装置，其特征在于，所述余热回收装置(18)包括蒸汽闪蒸罐，所述水解反应器(4)的上方出口与所述蒸汽闪蒸罐的进口相连接，以使所述水解反应器(4)中产生的热蒸汽进入所述蒸汽闪蒸罐进行余热蒸汽的回收；

所述水解反应器(4)的水平出口与所述聚集器(5)的底部进口相连接，所述聚集器(5)的上方出口与所述蒸汽闪蒸罐的进口相连接，以使所述聚集器(5)内的热蒸汽进入所述蒸汽闪蒸罐进行余热蒸汽的回收；所述聚集器(5)的顶部出口连接至旋风分离装置。

5.根据权利要求1所述的气相法金属氧化物的生产装置，其特征在于，所述第二级旋风分离器(7)和所述第三级旋风分离器(8)的底部出口还连接至所述粉体收集缓冲罐(11)的底部。

6.根据权利要求1所述的气相法金属氧化物的生产装置，其特征在于，所述脱酸干燥器(9)包括脱酸干燥器本体(91)以及位于所述脱酸干燥器本体(91)内的搅拌器(92)，其中，所述搅拌器(92)横跨所述脱酸干燥器本体(91)设置，在所述搅拌器(92)的一端连接有减速箱(93)，所述减速箱(93)与电机(94)相连接，以通过电机(94)带动所述搅拌器(92)在所述脱酸干燥器本体(91)内旋转。

7.根据权利要求6所述的气相法金属氧化物的生产装置，其特征在于，在所述脱酸干燥器本体(91)的底部设有水蒸气进口和空气进口，在所述脱酸干燥器本体(91)的底部还设有气相金属氧化物出口。

8.根据权利要求1所述的气相法金属氧化物的生产装置，其特征在于，所述盐酸吸收系统包括第一级盐酸吸收塔(12)、第二级盐酸吸收塔(13)和第三级盐酸吸收塔(14)，所述第一级盐酸吸收塔(12)的底部气体出口与第二级盐酸吸收塔(13)的顶部进口相连接，所述第二级盐酸吸收塔(13)的底部气体出口与所述第三级盐酸吸收塔(14)的顶部进口相连接。

9.根据权利要求8所述的气相法金属氧化物的生产装置，其特征在于，所述第一级盐酸吸收塔(12)的底部盐酸出口通过泵经第一吸收剂回路(121)连接至第一级盐酸吸收塔(12)的顶部，所述第二级盐酸吸收塔(13)的底部盐酸出口通过泵经第二吸收剂回路(131)连接至所述第二级盐酸吸收塔(13)的顶部，所述第三级盐酸吸收塔(14)的底部盐酸出口通过泵经第三吸收剂回路(141)连接至所述第三级盐酸吸收塔(14)的顶部；其中，所述第二吸收剂回路(131)能够与第一吸收剂回路(121)相连接；所述第三吸收剂回路(141)能够与第二吸收剂回路(131)相连接。

10.根据权利要求9所述的气相法金属氧化物的生产装置，其特征在于，所述第三级盐酸吸收塔(14)的底部气体出口连接至所述尾气水洗塔(15)的底部进口，所述尾气水洗塔(15)的顶部出口通过真空风机(16)连接至所述除氯塔(17)的底部进口。